CN102269663A - Icp-ms在线取样装置及金属杂质在线监测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种ICP-MS在线取样装置，该装置包括：框架、设置在所述框架内的管路连接系统以及管路控制系统，所述管路连接系统连接待测试的化学系统与ICP-MS取样针，所述管路控制系统对所述管路连接系统进行控制。同时本发明还公开了一种金属杂质在线监测方法，该方法通过所述ICP-MS在线取样装置连接ICP-MS分析仪和待测试化学系统，实现对所述待测试化学系统的金属杂质的监测。由于该ICP-MS在线取样装置可直接连接待测试的化学品系统与ICP-MS分析仪，从而使测量结果不受取样环境、样品转换交叉污染和取样容器的影响，可以满足ppt级别的化学品的日常监测，并且可实现一台ICP-MS分析仪监测多种化学品系统中的金属杂质，从而节省了成本。

Description

ICP-MS在线取样装置及金属杂质在线监测方法

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造领域，尤其涉及一种用于监测半导体制造用液体化学品中金属杂质的ICP-MS在线取样装置及金属杂质在线监测方法。

背景技术

在半导体行业的生产过程中，所使用的超纯水、液体化学品中的金属杂质，甚至空气中的金属杂质对半导体产品的良率影响重大；其中，由于直接参与器件的制造，超纯水和液体化学品中的金属杂质对半导体产品的影响更是重中之重。因此，通常来说，芯片加工厂针对不同线宽的产品所需使用的超纯水和液体化学品，都制定了一系列严谨的规格，从而确保所生产的产品良率不因金属杂质而受到影响。

然而，随着器件线宽的不断缩小，超纯水和液体化学品中的金属污染问题对产品良率的影响尤为突出。因此，要求超纯水和液体化学品中的金属杂质的规格尽可能的低。例如化学品中金属杂质的规格可能为10ppt(ppt：part pertrillion，万亿分之...)，超纯水中的金属杂质规格甚至要小于5ppt。所述ppt为体积浓度比。

并且对金属杂质在ppt级别的化学品需进行监测，以防止金属杂质含量超标而对产品造成影响。对于物质中含量在百万分之一以下的组合的分析方法称为痕量分析。痕量分析包括测定痕量元素在试样中的总浓度，和用探针技术测定痕量元素在试样中或试样表面的分布状况。一般分成3个基本步骤：取样、样品预处理和测定。由于被测元素在样品中含量很低、分布很不均匀，特别是环境样品，往往随时间、空间变化波动很大，要充分注意取样的代表性和保证一定的样品量。痕量分析较常用的方法有：(1)光学方法，包括分光光度法、原子发射光谱法、原子吸收分光光度法、原子荧光光谱法、分子荧光和磷光法、化学发光法、激光增强电离光谱法等；(2)电化学方法，包括极谱分析法、库仑分析法、电位法和计时电位法等；(3)X射线法，包括电子微探针法、X射线荧光光谱法等；(4)放射化学法，包括活化分析法、同位素稀释法、放射性标记分析法等；(5)质谱法，包括二次离子质谱分析、火花源固体质谱；(6)色谱法，包括气相色谱法、液相色谱法、离子色谱法等。其中，电感耦合等离子体质谱(ICP-MS：Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)分析是一种多元素分析技术，具有极好的灵敏度和高效的样品分析能力，它可以同时测量周期表中大多数元素，测定分析物浓度可低至亚纳克/升(ng/l)或万亿分之几(ppt)的水平，因此被广泛地应用于半导体中液体化学品的金属杂质监测分析。

针对化学品中的金属杂质的监测，目前的测试方法是：由化学实验室专业人员使用防腐材料-聚四氟乙烯(PFA：Polyfluoroalkoxy)制成的取样容器从化学品分配系统中取样，然后将样品带到化学实验室进行ICP-MS分析。

尽管专业人员使用专业容器取样，但是取样不可避免地受到取样环境、取样容器和样品分析过程的污染，从而导致结果的偏差。

因此，在对ppt级别化学品的金属杂质的日常监测中，如何避免测量结果不受取样环境、取样容器和样品分析过程的污染的影响，已成为业界亟需解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种ICP-MS在线取样装置及金属杂质在线监测方法，以解决目前半导体用化学品系统在进行金属杂质ICP-MS分析时，化学品系统的取样受到取样环境、取样容器和样品分析过程的污染，从而导致结果产生偏差的问题。

为解决上述问题，本发明提出一种ICP-MS在线取样装置，用于连接ICP-MS分析仪和待测试化学系统，其中所述ICP-MS分析仪包括ICP-MS取样针，所述待测试化学系统包括多个化学品系统，所述ICP-MS在线取样装置包括：框架、设置在所述框架内的管路连接系统以及管路控制系统，所述管路连接系统连接所述待测试的化学系统与所述ICP-MS取样针，所述管路控制系统控制所述管路连接系统的开关及流量。

可选的，所述管路连接系统包括空白验证管路系统以及化学测试管路系统。

可选的，所述空白验证管路系统包括通过管道依次相连的第一阀门、第四阀门、水槽、第五阀门以及第一连接器，所述第一阀门连接一超纯水系统，所述水槽通过管道与一微量取样泵相连，所述微量取样泵通过管道与一标准溶液瓶相连，所述第一连接器与所述ICP-MS取样针相连。

可选的，所述化学测试管路系统包括一主管道以及多个化学测试管路，且每个化学测试管路包括一第二阀门，所述第二阀门的一端通过管道与所述待测试化学系统中的一个化学品系统相连，所述第二阀门的另一端通过一三通管道与所述主管道相连，所述主管道的一端连接在所述空白验证管路系统的第一阀门与第四阀门之间，所述主管道的另一端与所述第一连接器相连。

可选的，所述管路连接系统还包括一废弃液体管路，所述废弃液体管路包括废弃溶液瓶、第六阀门、第四三通管道以及第五三通管道，所述第六阀门的一端通过管道与所述废弃溶液瓶相连，另一端与所述第四三通管道的一端相连，所述第四三通管道的另两端分别连接所述主管道以及所述第五三通管道，所述第五三通管道的另两端分别连接所述第五阀门以及所述第一连接器。

可选的，所述ICP-MS在线取样装置还包括样品盘以及旋转升降杆，所述样品盘设置在所述框架内，且所述样品盘内固定有多个取样烧杯，所述旋转升降杆设置在所述样品盘的中央，所述ICP-MS取样针固定在所述旋转升降杆上，所述管路连接系统连接所述待测试的化学系统与所述取样烧杯。

可选的，所述取样烧杯为内外双层共底杯，内层的高度比外层低，外层包括一带孔盖且底部具有一排液管。

可选的，所述管路连接系统包括标准溶液管路、超纯水管路、多个化学测试管路以及第二连接器，所述标准溶液管路包括第十阀门，所述第十阀门的一端通过管道连接一标准溶液瓶，其另一端连接所述第二连接器，所述超纯水管路包括第九阀门，所述第九阀门的一端通过管道连接一超纯水系统，其另一端连接所述第二连接器，所述多个化学测试管路的每个化学测试管路包括一第三阀门，所述第三阀门的一端通过管道与所述待测试化学系统中的一个化学品系统相连，其另一端连接所述第二连接器，所述第二连接器通过管道与所述取样烧杯的内层相连。

可选的，所述管路连接系统还包括废弃液体管路，所述废弃液体管路包括废弃溶液瓶以及第十一阀门，所述第十一阀门的一端通过管道与所述废弃溶液瓶相连，其另一端通过管道与所述取样烧杯的排液管相连。

可选的，所述管路连接系统的材质为PFA或PTFE。

同时，为解决上述问题，本发明还提出一种利用所述ICP-MS在线取样装置的金属杂质在线监测方法，所述方法包括如下步骤：

启动ICP-MS在线取样装置；

通过所述管路控制系统控制所述超纯水系统对所述管路连接系统进行冲洗，并通过所述ICP-MS分析仪判断是否冲洗干净；

通过所述管路控制系统控制所述超纯水系统中的超纯水与所述标准溶液瓶中的液体进行混合形成混合液体，并通过所述ICP-MS分析仪进行分析，同时通过改变所述混合液体中金属杂质的浓度，得出所述ICP-MS分析仪测量出的信号强度与浓度的关系；

通过所述管路控制系统控制所述超纯水系统对所述管路连接系统进行冲洗，并通过所述ICP-MS分析仪判断是否冲洗干净；

对所述待测试化学系统中的多个化学品系统的金属杂质分别进行检测；

关闭所述ICP-MS在线取样装置。

本发明由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果：

1、本发明提供的ICP-MS在线取样装置可直接连接待测试的化学品系统与ICP-MS分析仪，从而使测量结果不受取样环境、样品转换交叉污染和取样容器的影响，可以满足ppt级别的化学品的日常监测；

2、本发明提供的ICP-MS在线取样装置通过阀门的控制，可方便地实现一台ICP-MS分析仪监测多种化学品系统中的金属杂质，从而节省了成本。

附图说明

图1为本发明第一个实施例提供的ICP-MS在线取样装置结构示意图；

图2为本发明第二个实施例提供的ICP-MS在线取样装置的俯视图；

图3为本发明第二个实施例提供的ICP-MS在线取样装置的管路连接系统的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的ICP-MS在线取样装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

本发明的核心思想在于，提供一种ICP-MS在线取样装置，该装置包括：框架、设置在所述框架内的管路连接系统以及管路控制系统，所述管路连接系统连接所述待测试的化学系统与ICP-MS取样针，所述管路控制系统对所述管路连接系统进行控制。同时本发明还提供一种利用所述ICP-MS在线取样装置的金属杂质在线监测方法，该方法通过所述ICP-MS在线取样装置连接ICP-MS分析仪和待测试化学系统，实现对所述待测试化学系统的金属杂质的监测。由于该ICP-MS在线取样装置可直接连接待测试的化学品系统与ICP-MS分析仪，从而使测量结果不受取样环境、样品转换交叉污染和取样容器的影响，可以满足ppt级别的化学品的日常监测，并且通过管路控制系统的控制，可方便地实现一台ICP-MS分析仪监测多种化学品系统中的金属杂质，从而节省了成本。

实施例1

请参考图1，图1为本发明第一个实施例提供的ICP-MS在线取样装置结构示意图，如图1所示，该ICP-MS在线取样装置包括：框架100、设置在所述框架100内的管路连接系统200以及管路控制系统，所述管路连接系统200连接所述待测试的化学系统300与所述ICP-MS取样针401，所述ICP-MS取样针401与ICP-MS分析仪400相连，所述管路控制系统对所述管路连接系统200进行控制。

其中，所述管路连接系统200包括空白验证管路系统以及化学测试管路系统，所述空白验证管路系统包括通过管道依次相连的第一阀门V1、第四阀门V4、水槽203、第五阀门V5以及第一连接器204，所述第一阀门V1连接一超纯水系统301，所述水槽203通过管道与一微量取样泵202相连，所述微量取样泵202通过管道与一标准溶液瓶201相连，所述第一连接器204与所述ICP-MS取样针401相连。

进一步地，所述化学测试管路系统包括一主管道205以及两个化学测试管路，其中，第一个化学测试管路包括一第二阀门V2，所述第二阀门V2的一端通过管道与所述待测试化学系统中的第一个化学品系统302相连，所述第二阀门V2的另一端通过一三通管道T2与所述主管道205相连；第二个化学测试管路包括一第二阀门V3，所述第二阀门V3的一端通过管道与所述待测试化学系统中的第二个化学品系统303相连，所述第二阀门V3的另一端通过一三通管道T3与所述主管道205相连；所述主管道205的一端连接在所述空白验证管路系统的第一阀门V1与第四阀门V4之间，所述主管道205的另一端与所述第一连接器204相连。

进一步地，所述管路连接系统还包括一废弃液体管路，所述废弃液体管路包括废弃溶液瓶500、第六阀门V6、第四三通管道T4以及第五三通管道T5，所述第六阀门V6的一端通过管道与所述废弃溶液瓶500相连，另一端与所述第四三通管道T4的一端相连，所述第四三通管道T4的另两端分别连接所述主管道205以及所述第五三通管道T5，所述第五三通管道T5的另两端分别连接所述第五阀门V5以及所述第一连接器204。

进一步地，所述管路连接系统的材质为PFA或PTFE。

进一步地，所述管路控制系统由计算机通过软件进行控制。

在上述的第一个具体实施例中，所述化学测试管路系统包括两个化学测试管路，然而应该认识到，根据实际情况，所述化学测试管路系统还可以包括其它数量的化学测试管路，例如5个；所述化学测试管路的数量根据所述待测试的化学系统中的化学品系统的数量而变化。

利用本发明第一个实施例提供的ICP-MS在线取样装置的金属杂质在线监测方法，包括如下步骤：

(1)启动ICP-MS在线取样装置；

(2)通过所述管路控制系统开启所述第一阀门V1，其它阀门关闭，从而使得所述超纯水系统301中的超纯水通过所述第一阀门V1以及所述主管道205进入到所述第一连接器204中，对所述第一连接器204进行冲洗，并通过所述ICP-MS取样针401吸取所述超纯水至所述ICP-MS分析仪400进行分析，验证所述第一连接器204是否冲洗干净；

(3)通过所述管路控制系统开启所述第一阀门V1以及所述第四阀门V4，其它阀门关闭，同时开启所述微量取样泵202，并且通过所述管路控制系统设置所述微量取样泵202、第四阀门V4以及第一阀门V1的流量，以定义所述超纯水与所述标准溶液混合形成的混合液体中金属杂质的浓度，同时通过所述ICP-MS分析仪400进行分析；通过改变所述混合液体中金属杂质的浓度，得出所述ICP-MS分析仪测量出的信号强度与浓度的关系；

(4)通过所述管路控制系统开启所述第一阀门V1，其它阀门关闭，并且关闭所述微量取样泵202，对所述主管道205以及所述第一连接器204进行冲洗，并通过所述ICP-MS分析仪400进行验证是否冲洗干净；

(5)通过所述管路控制系统关闭所述第一阀门V1以及其它阀门，开启所述第二阀门V2，对所述第一个化学品系统302中的金属杂质进行检测；

(6)通过所述管路控制系统关闭所述第二阀门V2及其它阀门，开启所述第一阀门V1，对所述主管道205以及所述第一连接器204进行冲洗，并通过所述ICP-MS分析仪400进行验证是否冲洗干净；

(7)通过所述管路控制系统关闭所述第一阀门V1以及其它阀门，开启所述第二阀门V3，对所述第二个化学品系统303中的金属杂质进行检测；

(8)关闭所述ICP-MS在线取样装置。

其中，上述每个步骤的废弃液体都通过开启所述第六阀门V6流入到所述废弃溶液瓶500内，并且废弃液体流完后及时关闭所述第六阀门V6。

实施例2

请参考图2至图3，其中，图2为本发明第二个实施例提供的ICP-MS在线取样装置的俯视图，图3为本发明第二个实施例提供的ICP-MS在线取样装置的管路连接系统的结构示意图，如图2至图3所示，该ICP-MS在线取样装置包括：框架100、管路连接系统200、管路控制系统、样品盘600以及旋转升降杆700，所述管路连接系统200、管路控制系统、样品盘600以及旋转升降杆700设置在所述框架100内，所述管路连接系统200连接所述待测试的化学系统300与所述ICP-MS取样针401，所述ICP-MS取样针401与ICP-MS分析仪400相连，所述管路控制系统对所述管路连接系统200进行控制，所述样品盘600内固定有多个取样烧杯1～8，所述旋转升降杆700设置在所述样品盘600的中央，所述ICP-MS取样针401固定在所述旋转升降杆700上，所述管路连接系统连接所述待测试的化学系统与所述取样烧杯。

其中，所述取样烧杯1～8为内外双层共底杯，内层的高度比外层低，外层包括一带孔盖且底部具有一排液管。

进一步地，所述管路连接系统包括标准溶液管路、超纯水管路、两个个化学测试管路以及第二连接器800；所述标准溶液管路包括第十阀门V10，所述第十阀门V10的一端通过管道连接一标准溶液瓶201，其另一端连接所述第二连接器800；所述超纯水管路包括第九阀门V9，所述第九阀门V9的一端通过管道连接一超纯水系统301，其另一端连接所述第二连接器800；所述两个化学测试管路的第一个化学测试管路包括一第三阀门V8，所述第三阀门V8的一端通过管道与所述待测试化学系统中的第一个化学品系统302相连，其另一端连接所述第二连接器800；所述第二个化学测试管路包括一第三阀门V7，所述第三阀门V7的一端通过管道与所述待测试化学系统中的第二个化学品系统303相连，其另一端连接所述第二连接器800；所述第二连接器800通过管道与所述取样烧杯1～8的内层相连。

进一步地，所述管路连接系统还包括废弃液体管路，所述废弃液体管路包括废弃溶液瓶500以及第十一阀门V11，所述第十一阀门V11的一端通过管道与所述废弃溶液瓶500相连，其另一端通过管道与所述取样烧杯1～8的排液管相连。

进一步地，所述管路连接系统的材质为PFA或PTFE。

进一步地，所述管路控制系统由计算机通过软件进行控制。

在上述的第二个具体实施例中，所述化学测试管路系统包括两个化学测试管路，然而应该认识到，根据实际情况，所述化学测试管路系统还可以包括其它数量的化学测试管路，例如5个；所述化学测试管路的数量根据所述待测试的化学系统中的化学品系统的数量而变化。

在上述的第二个具体实施例中，所述取样烧杯的数量为8个，这是为了方便扩展化学品系统的数量，并且应该认识到，所述取样烧杯的数量还可以为其它值，例如16。

利用本发明第二个实施例提供的ICP-MS在线取样装置的金属杂质在线监测方法，包括如下步骤：

(1)启动ICP-MS在线取样装置；

(2)通过所述管路控制系统开启所述第九阀门V9，其它阀门关闭，从而使得所述超纯水系统301中的超纯水通过所述第九阀门V9进入到所述第二连接器800中，并进一步进入到所述取样烧杯1～8中，对所述第二连接器800以及所述取样烧杯1～8进行冲洗，并通过所述旋转升降杆700的升降及旋转将所述ICP-MS取样针401置于所述取样烧杯1中，并吸取所述超纯水至所述ICP-MS分析仪400进行分析，验证所述第二连接器800以及所述取样烧杯1～8是否冲洗干净；

(3)通过所述管路控制系统开启所述第九阀门V9以及所述第十阀门V10，其它阀门关闭，并且通过所述管路控制系统设置所述第九阀门V9以及所述第十阀门V10的流量，以定义所述超纯水与所述标准溶液混合形成的混合液体中金属杂质的浓度，同时通过所述旋转升降杆700的升降及旋转将所述ICP-MS取样针401置于所述取样烧杯2中，并通过所述ICP-MS分析仪400进行分析；通过改变所述混合液体中金属杂质的浓度，得出所述ICP-MS分析仪测量出的信号强度与浓度的关系；

(4)通过所述管路控制系统开启所述第九阀门V9，其它阀门关闭，对所述第二连接器800以及所述取样烧杯1～8进行冲洗，并通过所述ICP-MS分析仪400进行验证是否冲洗干净；

(5)通过所述管路控制系统关闭所述第九阀门V9以及其它阀门，开启所述第三阀门V8，通过所述旋转升降杆700的升降及旋转将所述ICP-MS取样针401置于所述取样烧杯3中，对所述第一个化学品系统302中的金属杂质进行检测；

(6)通过所述管路控制系统关闭所述第三阀门V8及其它阀门，开启所述第九阀门V9，对所述第二连接器800以及所述取样烧杯1～8进行冲洗，并通过所述ICP-MS分析仪400进行验证是否冲洗干净；

(7)通过所述管路控制系统关闭所述第九阀门V9以及其它阀门，开启所述第三阀门V7，通过所述旋转升降杆700的升降及旋转将所述ICP-MS取样针401置于所述取样烧杯4中，对所述第二个化学品系统303中的金属杂质进行检测；

(8)关闭所述ICP-MS在线取样装置。

其中，上述每个步骤的废弃液体都通过开启所述一阀门V11流入到所述废弃溶液瓶500内，并且废弃液体流完后及时关闭所述一阀门V11。

综上所述，本发明提供了一种ICP-MS在线取样装置，该装置包括：框架、设置在所述框架内的管路连接系统以及管路控制系统，所述管路连接系统连接所述待测试的化学系统与ICP-MS取样针，所述管路控制系统对所述管路连接系统进行控制。同时本发明还提供一种利用所述ICP-MS在线取样装置的金属杂质在线监测方法，该方法通过所述ICP-MS在线取样装置连接ICP-MS分析仪和待测试化学系统，实现对所述待测试化学系统的金属杂质的监测。由于该ICP-MS在线取样装置可直接连接待测试的化学品系统与ICP-MS分析仪，从而使测量结果不受取样环境、样品转换交叉污染和取样容器的影响，可以满足ppt级别的化学品的日常监测，并且通过管路控制系统的控制，可方便地实现一台ICP-MS分析仪监测多种化学品系统中的金属杂质，从而节省了成本。

显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (11)

1.一种ICP-MS在线取样装置，用于连接ICP-MS分析仪和待测试化学系统，其中所述ICP-MS分析仪包括ICP-MS取样针，所述待测试化学系统包括多个化学品系统，其特征在于，包括：框架、设置在所述框架内的管路连接系统以及管路控制系统，所述管路连接系统连接所述待测试的化学系统与所述ICP-MS取样针，所述管路控制系统对所述管路连接系统进行控制。

2.如权利要求1所述的ICP-MS在线取样装置，其特征在于，所述管路连接系统包括空白验证管路系统以及化学测试管路系统，所述空白验证管路系统对所述化学测试管路系统建立测试标准，并对所述化学测试管路系统进行清洁。

3.如权利要求2所述的ICP-MS在线取样装置，其特征在于，所述空白验证管路系统包括通过管道依次相连的第一阀门、第四阀门、水槽、第五阀门以及第一连接器，所述第一阀门连接一超纯水系统，所述水槽通过管道与一微量取样泵相连，所述微量取样泵通过管道与一标准溶液瓶相连，所述第一连接器与所述ICP-MS取样针相连。

4.如权利要求3所述的ICP-MS在线取样装置，其特征在于，所述化学测试管路系统包括一主管道以及多个化学测试管路，且每个化学测试管路包括一第二阀门，所述第二阀门的一端通过管道与所述待测试化学系统中的一个化学品系统相连，所述第二阀门的另一端通过一三通管道与所述主管道相连，所述主管道的一端连接在所述空白验证管路系统的第一阀门与第四阀门之间，所述主管道的另一端与所述第一连接器相连。

5.如权利要求4所述的ICP-MS在线取样装置，其特征在于，所述管路连接系统还包括一废弃液体管路，所述废弃液体管路包括废弃溶液瓶、第六阀门、第四三通管道以及第五三通管道，所述第六阀门的一端通过管道与所述废弃溶液瓶相连，另一端与所述第四三通管道的一端相连，所述第四三通管道的另两端分别连接所述主管道以及所述第五三通管道，所述第五三通管道的另两端分别连接所述第五阀门以及所述第一连接器。

6.如权利要求1所述的ICP-MS在线取样装置，其特征在于，还包括样品盘以及旋转升降杆，所述样品盘设置在所述框架内，且所述样品盘内固定有多个取样烧杯，所述旋转升降杆设置在所述样品盘的中央，所述ICP-MS取样针固定在所述旋转升降杆上，所述管路连接系统连接所述待测试的化学系统与所述取样烧杯。

7.如权利要求6所述的ICP-MS在线取样装置，其特征在于，所述取样烧杯为内外双层共底杯，内层的高度比外层低，外层包括一带孔盖且底部具有一排液管。

8.如权利要求7所述的ICP-MS在线取样装置，其特征在于，所述管路连接系统包括标准溶液管路、超纯水管路、多个化学测试管路以及第二连接器，所述标准溶液管路包括第十阀门，所述第十阀门的一端通过管道连接一标准溶液瓶，其另一端连接所述第二连接器，所述超纯水管路包括第九阀门，所述第九阀门的一端通过管道连接一超纯水系统，其另一端连接所述第二连接器，所述多个化学测试管路的每个化学测试管路包括一第三阀门，所述第三阀门的一端通过管道与所述待测试化学系统中的一个化学品系统相连，其另一端连接所述第二连接器，所述第二连接器通过管道与所述取样烧杯的内层相连。

9.如权利要求8所述的ICP-MS在线取样装置，其特征在于，所述管路连接系统还包括废弃液体管路，所述废弃液体管路包括废弃溶液瓶以及第十一阀门，所述第十一阀门的一端通过管道与所述废弃溶液瓶相连，其另一端通过管道与所述取样烧杯的排液管相连。

10.如权利要求1所述的ICP-MS在线取样装置，其特征在于，所述管路连接系统的材质为PFA或PTFE。

11.一种利用权利要求1至10中任一项所述的ICP-MS在线取样装置的金属杂质在线监测方法，其特征在于，包括如下步骤：

启动ICP-MS在线取样装置；

通过所述管路控制系统控制所述超纯水系统对所述管路连接系统进行冲洗，并通过所述ICP-MS分析仪判断是否冲洗干净；

通过所述管路控制系统控制所述超纯水系统中的超纯水与所述标准溶液瓶中的液体进行混合形成混合液体，并通过所述ICP-MS分析仪进行分析，同时通过改变所述混合液体中金属杂质的浓度，得出所述ICP-MS分析仪测量出的信号强度与浓度的关系；

通过所述管路控制系统控制所述超纯水系统对所述管路连接系统进行冲洗，并通过所述ICP-MS分析仪判断是否冲洗干净；

对所述待测试化学系统中的多个化学品系统的金属杂质分别进行检测；

关闭所述ICP-MS在线取样装置。

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