CN102242401A - 用于卧式扩散炉的扩散均流板 - Google Patents

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张忠卫
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Shanghai Solar Energy Science and Technology Co Ltd
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Abstract

本发明提供了一种用于卧式扩散炉的扩散均流板，包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管，其中的连通管为中空波纹管形连通管。采用本发明的用于卧式扩散炉的扩散均流板，可使POCl3气体更均匀地通过，将扩散工艺的片内均匀性提高至波动范围为±3％、片间均匀性提高至波动范围为±5％。从而使POCl3气体能够更均匀地和硅片反应。

Description

用于卧式扩散炉的扩散均流板
技术领域
本发明涉及一种太阳电池制造过程中的设备部件，尤其涉及一种用于卧式扩散炉的扩散均流板。
背景技术
太阳电池作为新兴的清洁可再生能源，因具有直接将太阳能转换为电能，且寿命长、维护简单、可实现无人值守等优势而备受瞩目。太阳能电源系统取得了越来越广泛的应用。
扩散工艺是常规太阳电池制备过程中重要的一道工艺，目前在大批量生产中，普遍采用了卧式扩散炉，其工作原理是，在高温下，通过导入液态POCl3，与硅片发生置换反应，从而在硅片上扩散形成一层P，形成PN结。
液态POCl3通过N2管路被通入扩散炉管内，普遍采用在炉管尾部安装一匀流板，使气体能够均匀地与硅片反应。因此，匀流板的结构对气体的均匀性十分重要。现有技术采用的匀流板结构如图1所示，它包括进口管1、出口管2和连接在进口管和出口管之间的多个连通管3，POCl3气体从各连通管3之间的一个个平直的开口4通过，进入扩散炉。采用这种结构的匀流板，扩散工艺的均匀性只能保持在片内波动范围为±5％、片间波动范围为±8％。
发明内容
本发明的目的，就是为了解决现有技术存在的上述问题，提供一种新型结构的用于卧式扩散炉的扩散均流板。
为了达到上述目的，本发明采用了以下技术方案：一种用于卧式扩散炉的扩散均流板，包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管，其特点是，所述的连通管为中空波纹管形连通管。
所述的中空波纹管形连通管上间隔设有多个凸环，使连通管沿轴向形成凹凸间隔相连的波纹结构。
采用本发明的用于卧式扩散炉的扩散均流板，可使POCl3气体更均匀地通过，将扩散工艺的片内均匀性提高至波动范围为±3％、片间均匀性提高至波动范围为±5％。从而使POCl3气体能够更均匀地和硅片反应。
附图说明
图1是现有技术用于卧式扩散炉的扩散均流板的结构示意图；
图2是本发明用于卧式扩散炉的扩散均流板的结构示意图。
具体实施方式
参见图2，本发明用于卧式扩散炉的扩散均流板，包括进口管1、出口管2和连接在进口管和出口管之间的多个连通管5，其中的连通管5为中空波纹管形连通管。在该中空波纹管形连通管5上间隔设有多个凸环51，使连通管沿轴向形成凹凸间隔相连的波纹结构。
采用本发明用于卧式扩散炉的扩散均流板，POCl3气体从各连通管5之间的一条条波纹形通道6通过，进入扩散炉，扩散工艺的均匀性得到了很大的提高，可使扩散工艺的片内均匀性提高至波动范围为±3％、片间均匀性提高至波动范围为±5％。从而使POCl3气体能够更均匀地和硅片反应。

Claims (2)

1.一种用于卧式扩散炉的扩散均流板，包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管，其特征在于：所述的连通管为中空波纹管形连通管。
2.如权利要求1所述的用于卧式扩散炉的扩散均流板，其特征在于：所述的中空波纹管形连通管上间隔设有多个凸环，使连通管沿轴向形成凹凸间隔相连的波纹结构。
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Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20111116