CN102227396A - 用于微反应器流体分配的装置和方法 - Google Patents

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Abstract

一种微反应器(10)包括排列在m个处理单元(102)中的多个互连的微结构(14、50、40)，且该处理单元(102)配置成一起平行操作。m个处理单元(102)中的每一个具有n个相应的处理流体入口(104)，其中该n个相应处理流体入口(104)中的y个分别连接到相应的非歧管流体泵(20A、20B、20C、20D；22A、22B、22C、22D；24A、24B、24C、24D)，且其中该n个相应处理流体入口(104)中的n-y个经由歧管(80)连接到相应的歧管流体泵(20、22、24、26、28、30)，其中y是从大于等于1至小于等于n-1的整数。

Description

用于微反应器流体分配的装置和方法
优先权要求
本申请要求2008年11月28日提交的题为“Devices and Methods For Microreactor Fluid Distribution(用于微反应器流体分配的装置和方法)”的欧洲专利申请No.08305873.5和2009年4月30日提交的题为“Devices and Methods For Microreactor Fluid Distribution(用于微反应器流体分配的装置和方法)”的欧洲专利申请No.09305384.1的优先权。
背景技术
本申请涉及用于微反应器内流体分配的装置和方法，更具体地涉及尤其在采用包括玻璃、陶瓷和玻璃-陶瓷的微结构的微反应器中提供处理流体和热控制流体两者的期望流动的装置和方法。
发明概述
根据本发明的一个方面，一种微反应器(10)包括排列在m个处理单元(102)中的多个互连的微结构(14、50、40)，且处理单元(102)配置成可一起并行地操作。m个处理单元(102)中的每一个具有n个相应的处理流体入口(104)，其中该n个相应处理流体入口(104)中的y个分别连接到相应的非歧管流体泵(20A、20B、20C、20D；22A、22B、22C、22D；24A、24B、24C、24D)，且其中该n个相应处理流体入口(104)中的n-y个经由歧管(80)连接到相应的歧管流体泵(20、22、24、26、28、30)，其中y是从大于等于1至小于等于n-1的整数。
以下结合附图描述本发明的附加变型和特征，附图中：
附图简要说明
图1是分层微流体装置210形式的微结构14的横截面；
图2是图1的微结构14的另一个横截面；
图3是基于蜂窝体的单体微流体装置312形式的微结构14的另一个实例的立体图。
图4是类似于图3的微结构的蜂窝体微流体装置312形式的、具有流体连接的微结构14的横截面图；
图5是包括以多个多层微流体装置210为形式的三个单体微结构的微结构14的立体图；
图6是包括两个多层微流体装置210和一个基于蜂窝体的微流体装置312的混合或组合微结构14的立体图；
图7是包括多个微结构14的微反应器10的示意图；
图8是包括多个微结构14的另一个微反应器10的示意图；
图9是图7的微反应器10的示意图，其中示出热控制流体和处理流体的流体连接；
图10是根据本发明的一方面在热控制流体H的路径中具有两个处理单元102且具有歧管60的微反应器或微反应器的部分的示意图；
图11是根据本发明的另一个方面且包括平行排列的四个处理单元102的微反应器或微反应器的部分的示意图；
图12是根据本发明的另一个方面的微反应器或微反应器的部分的示意图，据此相对于图11的实施例处理流体中不同的一个由非歧管泵施压。
图13是根据本发明的又一个方面的微反应器或微反应器的部分的示意图，据此处理流体中一个以上的处理流体由非歧管泵施压。
图14是根据本发明又一个方面的微反应器或微反应器的部分的部分示意图；
图15是根据本发明的又一方面的微反应器或微反应器的部分的示意图，据此可监测和/或反馈控制来自非歧管泵和歧管泵之一或两者的流动。
发明详述
在可能时，将在所有附图中使用相同的附图标记来指示相同或类似的部件。按需要描述的特征是较佳的但不是最优的，代表本发明的变型。
在本文件中，“单体微结构”指的是单件或者以其它方式一般永久组装的微流体装置，其具有特征横截面尺寸在几毫米至亚毫米范围内的内部通道。单体微结构可包括例如类似于且包括题为“A Microfluidic Device and Manufacture Thereof(微流体装置及其制造)”的专利No.US7007709中公开和描述的装置，不管是通过那里公开的方法还是其它方法制造。单体微结构还可包括类似于且包括题为“Extruded Body Devices and Methods for Fluid Processing(挤压体装置及流体处理的方法)”公开No.WO2008/121390中公开和描述的装置，不管是通过公开的方法还是其它方法制造。“微结构”指的是单体和其它微结构两者以及指代紧邻接合或互连的微结构的组合，被视为或可视为流体分配的单元。“微反应器”指的是用于进行化学或物理处理或其组合的装置，在本文件的背景下该装置包括两个或更多个微结构，该微结构具有排列在一个或多个生产单元中的相关流体连接。“生产单元”指的是微结构与相关流体连接的组合，其被安排为能够沿顺着或穿过微结构的单个主路径且不沿穿过多个平行微结构的多个平行主路径进行期望的反应或处理。“流动平衡”或“流动平衡化”涉及实现多个流体馈送之间任何特定的期望流动比，而不仅仅是相等的流动。
图1是可用于本发明的单体微结构或单体多层微流体装置210形式的微结构14的一个实例的横截面。微流体装置210可包括多个衬底220，一般如图顶部所示至少为四个，但如果需要的话可包括更多个，直到总共“k”个，如图1的左边标记的。在多个衬底220的每个相邻对之间，限定了装置210的层230，使得存在多个层230，一般最少三层，且任选更多层，并且直到总共k-1层，如图1右边标记的。衬底220彼此接合且通过壁234彼此相对支承(为了便于观看，没有标记所有的壁)，一些壁被图的横截面切割，如由交叉阴影所指示的。可贯穿衬底220中的一个或多个的入口和出口孔264、265提供对在层230中的一个或多个中或者穿过其中限定的热控制流体路径240的外部接入，在这种情况下是穿过层230的两个层232。如果需要的话，可使用替换的接入路线，诸如穿过壁234的孔或间隙(未示出)，来代替或附加于孔264。
图2是图1的微结构14或微流体装置210的另一个横截面，该横截面在与图1的平面不同但平行于图1的平面中获得。在图2的横截面中，可以看到入口和出口孔282、283，它们提供穿过衬底220对穿过装置的层230中的一层或多层限定的处理流体路径250的接入，在这种情况下是穿过一个层231。处理流体路径250可包括一个或多个附加的入口端口或孔282(在图1和2未示出的横截面中)，使得在处理流体路径250内两个或更多个处理流体可接触和/或混合和/或反应在一起。如果需要的话，在处理流体路径250的输出端上也可包括一个以上的出口端口或孔283，使得处理流体可在离开装置210时分开。
各种材料和方法可用于形成图1和2所示类型的微结构14或微流体装置210，包括同时将壁和衬底生产为一件的方法。另外的方法包括例如题为“Method for Making Microfluidic Devices and Devices Produced Thereof(制造微流体装置的方法及其制造的装置)”的专利公开No.EP1964817以及题为“Powder Injection Molding of Glass and Glass-Ceramics(玻璃和玻璃-陶瓷的喷粉成形)”的专利公开No.US2007/0154666中公开和描述的方法。
图3是可用于本发明的背景下以基于蜂窝体的单体微流体装置312形式的微结构14的另一个实例的立体图。
微流体装置312包括蜂窝体320。体320具有沿平行于从体320的第一端332至第二端334的公共方向延伸的、由壁382分开的孔道323。孔道323包括第一多个孔道322和第二多个孔道324，所述第一多个孔道322在体两端是开口的，所述第二多个孔道324在体的一端或两端被设置在体端部或其附近且任选地至少部分位于孔道324内的一个或多个塞子326或者是或多或少连续的堵塞材料326或通过其它适当的方式封闭。第二多个孔道324(封闭孔道)至少部分地包含贯穿体320的一个或多个通道328。如图3所示，当在垂直于孔道323的公共方向的平面内观察时，通道328可具有蜿蜒形状，但也可使用其它通道形状。如果需要的话，还可采用每个体20一个以上的通道328。
图4是类似于图3的微结构的以微流体装置312形式的蜂窝体微结构14的横截面图，且还示出一种类型的流体连接.在图4中，流体外壳340经由密封件342支承蜂窝体320。通常用于热控制流体的通道348与外壳340协作穿过体320的所有开放通道322平行地形成。可以经由穿过密封件343的管道360进入体320中的通道328。如图4的横截面中所看到的，体320中的路径或通道328也可在平行于孔道323的公共方向的平面中蜿蜒，但还可采用其它的通道形状。
为达到耐久性和化学惰性，蜂窝体320期望地由挤出玻璃、玻璃-陶瓷、或陶瓷材料形成。氧化铝陶瓷因具有良好的强度、惰性以及比玻璃和一些陶瓷更高的热导率而被优选。在以上参考的PCT公开第WO 2008/121390号中，可找到有关本发明人和/或本发明人的同事开发出的一般材料和制造工艺的更详细描述。
诸如图1-4所示的单体微结构也可被组合以形成如图5和6所示的混合或组合微结构。图5示出包括以多层微流体装置210形式的通过任何适当方式在物理和流体上连接在一起的三个单体微结构的微结构14。图6示出包括两个多层微流体装置210和一个基于蜂窝体的微流体装置312的混合或组合微结构14。
如微反应技术领域中所能理解的，对于微反应器技术的很多期望应用，具有在给定一组微结构中或穿过该组微结构的单个主路径的单个生产单元中可实现的生产率可能不足以满足商业需要。即使所考虑的微结构利用称为流动管道的“内部增加(internal numbering up)”或内部平行的技术，也是这种情况。为此，期望操作多个平行的微结构生产单元，即使用有时称为“外部增加(external numbering up)”的技术。
可在转让给本申请的受让人的专利公开No.EP1854543中找到由本发明人和/或其同事开发出的用于流体微结构的安装和互连系统的示例。可使用这种系统和任何其它适当的装置通过串联、并联以及串联和并联配置的组合连接微结构来来形成各种微反应器装置。
对于很多处理，通过复制生产单元的每个部件——包括用于将处理流体和热控制流体的多个流馈送到每个生产单元的多个泵——来实现外部增加不是非常经济。这可从图7-9所示的微反应器10中认识到，图7-9中的每幅图表示由一起形成单个处理单元102或单个处理单元102的一部分的微结构14的互连网络12构成的微反应器10的实例。
图7和8示出以微结构14的互连网络12形式的、本质上无限种可能配置中微反应器10的两种配置的示意图。每个微结构14通常但并非必须包括其中的处理流体通道或路径及热控制或热控制流体通道或路径，并且因此具有一个或多个处理流体馈送和通常一个(但可能是多个)热控制流体馈送。在图7和8中，仅示出处理流体馈送——处理流体A-F的馈送。为了便于观察，从图7和8中省略热控制流体馈送。
微结构14可采用以下形式：具有两个或更多个处理流体输入的微结构40，诸如混合或接触微结构；以及仅具有一个处理流体输入的微结构50，诸如热控制或停留时间或催化微结构；或具有处理流体输入和输出的各种组合的各种其它微结构中的任一种。在图7所示的实施例中，处理流体A通过泵20抽取，且处理流体B通过泵22抽取，直接进入第一微结构40，在这里流体组合并混合。处理流体C通过泵24抽取通过微结构50，在微结构50中流体在进入第二微结构40之前被预热或预冷，以便与将流体A和B混合的混合物或产物进行组合或混合。接下来的处理流体D、E和F类似地通过泵26、28和30添加，且在输出O交付所得的流体产物。
图8的微反应器等同于图7，且可类似操作，但微反应器是这样配置的：在处理流体D、E和F的添加和最初组合和混合后，处理流体流穿过相应的热微结构50，这提供了附加的停留时间和热控制能力。
图9示出图7的微反应器10，但增加了热控制流体馈送。可使用两个或更多个热控制流体。在该实施例中，使用两个热控制流体G和H，使得在微反应器10的相应相关联部分中接近或维持两个不同的温度。热控制流体G由泵32馈送通过微结构50并离开到流体返回RG，在流体返回RG中如果需要的话流体可在任何必要的加热后冷却后再次循环通过相同的回路。热控制流体H由泵34馈送，但经由具有分支62的歧管60馈送到平行的五个微结构40。收集歧管70在流体返回RH处收集并返回热控制流体H。从效率、成本和可靠性上考虑，在可能之处，热控制流体的这种平行馈送是期望的。
在平行馈送热流体的情况下，如通过图9中的泵34，如此馈送的每个微结构40应接收所需流速的热控制流体。不充分的热流体流动可导致差的反应控制或者甚至是失去控制的情况。
图9的微反应器10仅构成单个处理单元102——即，具有在多个微结构中或穿过多个微结构的单个主处理路径的微反应器——沿处理流体路径不平行地使用微结构以形成多个主处理路径。在图9的微反应器中，单个处理单元102具有六个处理流体馈送A-F和两个热控制流体馈送G和H。取决于要执行的反应，可能需要更多的处理流体馈送、更多的热控制流体馈送和/或微结构14的更复杂的网络12。
从图9(且从图8，省略热控制流体馈送示出的)，可认识到仅由单个处理单元102构成的微反应器10可能是相当复杂的。虽然如此，为了满足可能需要的高生产量，期望多个处理单元102并行操作。尽管复制平行的整个处理单元102是可能的，然而各种流体连接和流体处理组件(尤其是泵)增加成本，并且在多个处理单元上复制图9的八个泵对于很多处理可能是高得惊人的昂贵。因此，期望在可能的程度上，由单个泵操作平行的多个处理单元102用于每个馈送。
为此，在使用多个处理单元102的情况下，热控制流体馈送除在每个处理单元内在多个微结构40、50上分支外，如果需要的话可在多个处理单元上分支，如图10的实施例所示。
图10的微反应器10包括标记为1和2的配置成并行操作的两个处理单元102。此外，为了便于观察省略处理流体馈送。微反应器10包括两个热控制流体泵32、34，并且在这种情况下，每个泵经由相应的热控制流体歧管60连接，其中一个还包括亚歧管60A和60B。歧管60(以及亚歧管60A、60B)各自向多个互连微结构40、50中的两个或更多个提供热控制流体。热控制流体亚歧管60A和60B各自包括分支62。
热控制通道或路径或各个微结构40和50内部的通道——诸如图1和2的微结构中的路径或通道240、图3和4的微结构中的路径或通道348、图5和6的微结构中的这些路径或通道的组合——期望地具有相对低的流阻，允许在给定微反应器中相对高流速的热控制流体。
尽管流阻期望地较低，但层232也期望是低高度233，一般在0.2至3mm的范围中，期望在0.2至1.5mm的范围中，更期望在0.5至1.0mm的范围中，使得在热流体流动期间形成的任何边界层较薄，保留良好的热性能。通过图1和2的出口孔265可在大部分中实现期望的低流阻，出口孔具有1至10mm范围内的直径，期望的是2至5mm或更期望的是3至5mm。处理流体路径250也不大，期望其通道或路径高度235在0.1至2mm的范围中，且处理流体路径250位于一般为平面的体积或层231内。热控制流体层232可具有入口孔264，该入口孔264的直径与出口265在相同范围内。
在传热率必须最大化的情况下，热流体通道的高度233(层232的高度)应保持较小，诸如在0.5-1.0mm的范围中。在传热率不是非常关键的情况下，为了层232中路径240中的流阻较低，可增加高度233。不管高度233的某种灵活性是否可用，相对于这种类型微结构的先前产品增加输入和输出端口的直径，由此在即使需要高传热率的情况下仍提供较低流阻的期望益处。
尽管如本文公开的相对较大直径的端口或孔264、265，然而相对于具有较小孔径的先前装置，输入和输出端口或孔264、265不经历显著的应力增加，或者甚至是略微的应力减少，由此至少提供与先前所实现的相同的耐压性能。这已经通过实验和有限元建模来证明。如果需要的话可还将输入和输出端口或孔的这种放大直径应用在处理流体路径中，即，输入和输出端口或孔282和283的直径也可期望地在从1至10mm范围尺寸中，期望地是2至5mm或者更期望地是3至5mm，在处理流体路径250中允许减少的流阻和至少相同的耐压性。
在类似图10的微反应器中，除减少热控制流体所需的泵数外，还期望减少处理流体所需的泵数。由于很多反应对化学计量上的少量变化的敏感性，处理流体的流体平衡可能是关键的。
图11示出根据本发明的微反应器10的另一个实施例。图11的微反应器10包括平行排列且标记为1-4的四个处理单元102。仅示出处理流体馈送线。为了便于观察省略热流体馈送线。
在图11的实施例中，处理流体馈送B-F均通过在四个处理单元102上连接的相应歧管泵22-30抽取。通过使一个处理流体(在此情况下为处理流体A)通过非歧管泵20A-20D抽取来以显著程度保持流体平衡，每个处理单元102一个非歧管泵。通过对处理流体流之一施压使其以理想速率流动，且通过使用低限制歧管80，各个处理单元102内的下游变化被抑制。期望的是，第一或开始部分的处理流体(在该图中是处理流体A)在这种情况下是被施压的流体，或是如下图13所示被施压流体之一。换言之，期望的是单独连接到相应非歧管流体泵的处理流体入口(104)是开始部分处理流体A的入口(104)。
作为图11的实施例的替换，如图12所示，可通过非歧管泵对处理流体中不同的一个施压。例如，可对特定的低流速处理流体流动施压，或者可对产生最大的反应性能变化或另外对期望结果具有最大影响的流体流动施压。例如，在流体B的流动要求比流体A小的情况下，则图12的微反应器可期望地用于提供对流体B的引入的严格控制。在图12的反应器中，如此利用，分别连接到相应非歧管流体泵的处理流体入口(104)是用于处理流体B的入口(104)，期望的是流体B的流动要求比流体A的低。连接到非歧管泵的流体B入口可以是所连接的唯一入口，或者如另一个选择，可对两个或更多个处理流体施压，如图13的微反应器10所示。在该微反应器10中，处理流体A(开始部分的流体)和B(在一个期望的选择的情况下，下部流体)均通过相应的非歧管泵20A-20D以及22A-22D施压。其它组合当然也是可能的。
图14示出根据本发明包括总共m个处理单元102的微反应器10的部分示意图。微反应器10包括排列在m个处理单元102中的多个互连微结构14(如在左侧标记的在图中表现为行)，且处理单元102配置成可一起并行操作，m个处理单元中的每一个具有n个相应的处理流体入口104(在图中排列为顶部所标记的列)。注意，尽管图是按行和列的，但是这种布置与根据本发明的组件实际物理布局无关。例如，处理单元102不需要是线性的或单分支的或排列为行。要紧的是本文所述的关系以及借助于图理解、把握。对于每个处理单元102，n个相应处理流体入口104中的y个分别连接到相应的非歧管流体泵(为了便于观察而未示出)。在该特定情况下，三个处理流体入口(在图14的左侧用于处理流体A、B和C)分别连接到非歧管泵(对于A为20A-20D，对于B和C未示出)。n个相应处理流体入口104中的n-y个——在该情况下在图的右侧至少是2，用于处理流体E和F——经由歧管80连接到相应的歧管流体泵28、30，其中y可以是从大于等于1至小于等于n-1的整数。期望的是，从相应的歧管流体泵沿相关联的歧管80至相关联的微结构14的流阻小于穿过相关联的微结构14的相关联处理流体路径150的流阻，或者换言之，期望的是相对于相关联的微结构14歧管80是低阻歧管。还期望的是，使各个泵的数量最小化，所以y期望是1或2，且仅仅是足以控制进行期望的反应所需的那样多。最终结果是微结构(包括含有玻璃、玻璃-陶瓷和陶瓷材料的微结构)可用于在外部增加的微反应器中进行高度复杂且灵敏的反应，而不需要用于每个微结构的每个馈送的单独的馈送线和泵。
图15是根据本发明的又一方面的按照可监测和/或反馈控制来自非歧管泵和/或歧管泵之一或两者的流动的微反应器或微反应器的部分的示意图。在来自歧管泵的流动的严格被动分流不足以维持所需流动平衡的情况下，适当类型的一个或多个流动监测器142可用于监测一个或多个歧管泵的输出。这些可包括例如容积式流量计144或期望的转子流量计146。流量计输出可由操作员监测，该操作员可调整手动阀162以调节微反应器的流动平衡。或者，控制系统计算机、工厂生产控制系统、微处理器等110可经由流动信息链路140接收流动信息，并且可利用所接收的信息经由阀控制链路160自动调整所控制的阀164。控制系统计算机、工厂生产控制系统、微处理器等110还可经由处理-信息链路150从各个微结构或与其相关联的传感器接收各种输入，且还可经由泵-控制链路170自动调整诸如泵20D之类的非歧管泵的流速。应该理解这些链路不需要是硬连线的。
本文所揭示的方法和/或装置通常可用来进行任何工艺，所述工艺包括在微型结构中对流体或流体混合物进行混合、分离、萃取、结晶、沉淀或其它的处理，所述流体混合物包括流体的多相混合物，并包括流体或包括还含有固体的流体的多相混合物的流体混合物。所述处理可以包括物理过程，化学反应，生物化学过程，或者任意其它形式的处理，化学反应被定义为导致有机物、无机物、或者有机物和无机物发生相互转化的过程。以下列出了可以通过所述方法和/或装置进行的反应的非限制性例子：氧化；还原；取代；消除；加成；配体交换；金属交换；以及离子交换。更具体来说，以下列出了可以通过所揭示的方法和/或装置进行的反应的非限制性例子：聚合；烷基化；脱烷基化；硝化；过氧化；磺化氧化；环氧化；氨氧化；氢化；脱氢；有机金属反应；贵金属化学/均相催化剂反应；羰基化；硫羰基化；烷氧基化；卤化；脱卤化氢；脱卤化；加氢甲酰化；羧化；脱羧；胺化；芳基化；肽偶联；醇醛缩合；环化缩合；脱氢环化；酯化；酰胺化；杂环合成；脱水；醇解；水解；氨解；醚化；酶合成；酮化；皂化；异构化；季铵化；甲酰化；相转移反应；甲硅烷化；腈合成；磷酸化；臭氧分解；叠氮化学反应；复分解；氢化硅烷化；偶联反应；以及酶反应。

Claims (15)

1.一种微反应器(10)，包括排列在m个处理单元(102)中的多个互连的微结构(14、50、40)，所述处理单元(102)配置成可一起并行操作，所述m个处理单元(102)中的每一个具有n个相应的处理流体入口(104)，其中所述n个相应的处理流体入口(104)中的y个分别连接到相应的非歧管流体泵(20A、20B、20C、20D；22A、22B、22C、22D；24A、24B、24C、24D)，且其中所述n个相应的处理流体入口(104)中的n-y个经由歧管(80)连接到相应的歧管流体泵(20、22、24、26、28、30)，其中y是从大于等于1至小于等于n-1的整数。
2.如权利要求1所述的微反应器(10)，其特征在于，从相应歧管流体泵(104)沿相关联的歧管(80)至相关联的微结构(14、40、50)的流阻小于穿过所述相关联的微结构(14、40、50)的相关联处理流体路径(250、328)的流阻。
3.如权利要求1或2所述的微反应器(10)，其特征在于，所述微反应器(10)包括经由热控制流体歧管(60、60A、60B)连接到多个互连的微结构(14、40、50)中的两个或更多个的至少一个热控制流体泵(32、34)。
4.如权利要求3所述的微反应器，其特征在于，所述多个互连的微结构(14、40、50)中的两个或更多个包括热控制流体出口孔(265)，所述热控制流体出口孔(265)的直径在1至10mm的范围中。
5.如权利要求4所述的微反应器，其特征在于，所述多个互连的微结构(14、40、50)中的两个或更多个包括热控制流体出口孔(265)，所述热控制流体出口孔(265)的直径在2至5mm的范围中。
6.如权利要求4或5所述的微反应器，其特征在于，所述多个互连的微结构(14、40、50)中的两个或更多个包括热控制流体入口孔(264)，所述热控制流体入口孔(265)的直径在2至5mm的范围中。
7.如权利要求1-6中任一项所述的微反应器，其特征在于，所述微结构(14、40、50)包括玻璃、陶瓷和玻璃-陶瓷中的至少一种。
8.如权利要求1-7中任一项所述的微反应器，其特征在于，所述微结构(14、40、50)包括至少一个多层微流体装置(210)。
9.如权利要求1-8中任一项所述的微反应器，其特征在于，所述微结构(14、40、50)包括至少一个基于蜂窝体的微流体装置(312)。
10.如权利要求1-9中任一项所述的微反应器，其特征在于，y是2。
11.如权利要求1-9中任一项所述的微反应器，其特征在于，y是1。
12.如权利要求1-11中任一项所述的微反应器，其特征在于，分别连接到相应的非歧管流体泵(20A、20B、20C、20D；22A、22B、22C、22D；24A、24B、24C、24D)的处理流体入口(104)是开始部分流体(A)的入口(104)。
13.如权利要求1-11中任一项所述的微反应器，其特征在于，分别连接到相应的非歧管流体泵(20A、20B、20C、20D；22A、22B、22C、22D；24A、24B、24C、24D)的处理流体入口(104)是流体(B)的入口(104)，所述流体(B)的入口(104)的流动要求低于开始部分流体(A)的入口(104)。
14.如权利要求1-13中任一项所述的微反应器，其特征在于，还包括一个或多个流量计(142、144、146)用于监测相应歧管流体泵(20、22、24、26、28、30)的输出中的流速。
15.一种用于调节微反应器的流动平衡的方法，包括以下步骤：
提供如权利要求1-14中任一项所述的微反应器，所述微反应器还包括一个或多个流量计142和一个或多个手动阀162；
监测所述一个或多个流量计142；以及
调整所述一个或多个手动阀162以调整所述微反应器的流动平衡。
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