CN102220995A

CN102220995A - 改良的真空室角阀

Info

Publication number: CN102220995A
Application number: CN2011101659474A
Authority: CN
Inventors: 阮佳龙; 康进昌
Original assignee: KUNSHAN ZHENKUN NANO TECHNOLOGY CO LTD
Current assignee: KUNSHAN ZHENKUN NANO TECHNOLOGY CO LTD
Priority date: 2011-06-20
Filing date: 2011-06-20
Publication date: 2011-10-19

Abstract

本发明公开了一种改良的真空室角阀，该角阀包括：气缸、进气口、抽气口一、抽气口二、密封片、以及活动接头等。本发明改良的真空室角阀中，所述密封片通过活动接头安装于所述活塞杆的顶端，以及在所述活动接头中所述弧形接头被卡在所述连接槽内且所述弧形接头与连接槽之间留有间隙。因此，当密封片通过所述活塞杆的压力密封住所述分子泵的进气口时，如果所述密封片与所述分子泵的进气口处并非完全贴合在一起，可以通过弧形接头在所述连接槽内的活动而加以自动调整，使得密封片与进气口均匀且紧密的结合在一起，从而提高了密封效果和密封的稳定性。

Description

改良的真空室角阀

技术领域

本发明涉及一种改良的真空室角阀，特别是涉及一种用于真空室角阀中的密封结构。

背景技术

角阀是阀门的一种，能够起到连接管件以及控制管件中气体流动的作用。随着各种高新技术的不断涌现，角阀的应用领域也得到了不断的扩展。比如在纳米工艺中，往往需要首先创造出一个真空的环境即通过一定的抽真空设备在某一封闭空间中产生、改善和维持真空。然而，在抽真空时，抽真空装置往往需要通过角阀与真空室即被抽气封闭空间进行密封连接。

为了能满足实际生产中对真空室中真空度的要求，在抽真空过程中，对角阀内部的结构及其密封性提出了新的要求，因此，也导致了现有的普通角阀已不再能够胜任。比如，在现有的一些普通角阀中，其采用的密封结构是，将一个密封片固定在一个压杆顶端，工作时通过外部的压力借助压杆将密封片盖在角阀接口处以起到密封作用。但是，在上述过程中，当密封片盖住角阀接口时，由于密封片与角阀接口的连接处并非每次都可以完全贴合在一起，因此会导致密封片受力不均，进而影响了密封效果。综上所述，亟待解决的问题是，对现有的角阀结构加以改进以改善其密封性和稳定性。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种改良的真空室角阀，其在工作时具有更好的密封性和稳定性。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种改良的真空室角阀，该角阀包括：气缸，其固定于角阀体上；进气口，其用于与真空室密封连接；抽气口一，其用于与外部机械泵密封连接；抽气口二，其作为分子泵的出气口；以及密封片，其通过活动接头安装于所述活塞杆的顶端，该密封片通过所述活塞杆的压力可以密封住所述分子泵的进气口；其中，所述活动接头包括：连接槽，其位于所述密封片的中部；弧形接头，其固定于所述活塞杆的顶端，该弧形接头被卡在所述连接槽中且所述弧形接头与连接槽之间留有空隙。

所述的改良的真空室角阀的活动接头中，所述连接槽为顶端开口的长方体。

本发明的优点是，本发明改良的真空室角阀中，所述密封片通过活动接头安装于所述活塞杆的顶端，以及在所述活动接头中所述弧形接头被卡在所述连接槽内且所述弧形接头与连接槽之间留有间隙。因此，当密封片通过所述活塞杆的压力密封住所述分子泵的进气口时，如果所述密封片与所述分子泵的进气口处并非完全贴合在一起，可以通过弧形接头在所述连接槽内的活动而加以自动调整，使得密封片与进气口均匀且紧密的结合在一起，从而提高了密封效果和密封的稳定性。

附图说明

图1为本发明改良的真空室角阀的整体结构示意图；

图2为本发明改良的真空室角阀中活动接头的结构示意图。

具体实施方式

为进一步揭示本发明的技术方案，兹结合附图详细说明本发明的实施方式。

图1为本发明改良的真空室角阀的整体结构示意图，图2为本发明改良的真空室角阀中活动接头的结构示意图，图中，包括：气缸11，其固定于角阀体10上，该气缸11的活塞杆12通过无油轴承13伸入所述角阀体10内部，该无油轴承13可以保证活塞杆12沿直线作往复运动；进气口19，其用于与真空室即被抽气封闭空间密封连接；进气口19，其用于与真空室密封连接；抽气口一14，其与外部机械泵密封连接；抽气口二18，其作为分子泵17的出气口；以及密封片15，其通过活动接头16安装于所述活塞杆12的顶端，该密封片15通过所述活塞杆12的压力可以密封住所述分子泵17的进气口；其中，所述活动接头16包括：连接槽21，其位于所述密封片15的中部，该连接槽21为顶端开口的长方体；弧形接头20，其固定于所述活塞杆12的顶端，该弧形接头20被卡在所述连接槽21中且所述弧形接头20与连接槽21之间留有活动空隙以保证所述弧形接头20可以在连接槽21中进行一定的活动。

以下结合附图说明本发明改良的真空室角阀在工作时的动作情况。

在需要对所述分子泵17的进气口进行密封时，利用所述活塞杆12的压力使得所述密封片15封盖在所述分子泵17的进气口上，此时如果所述密封片15与所述分子泵17的进气口处并非完全贴合在一起，可以通过弧形接头在所述连接槽内的活动而加以自动调整，使得密封片与进气口均匀且紧密的结合在一起。

通常，本领域技术人员在面对本发明中的技术问题时，通常会想到采用凸球面和与凸球面外形相配合的凹球面结合在一起的方式实现活动连接，但采用该种活动连接方式时，不但制作工艺较为复杂，而且球面之间的摩擦也较大甚至会产生卡死的现象。因此，本发明克服了本领域技术人员在技术方面的一些偏见，同时也取得了较为明显的有益技术效果。

以上通过对所列实施方式的介绍，阐述了本发明的基本构思和基本原理。但本发明绝不限于上述所列实施方式，凡是基于本发明的技术方案所作的等同变化、改进及故意变劣等行为，均应属于本发明的保护范围。

Claims

1.一种改良的真空室角阀，其特征在于，该角阀包括：气缸（11），其固定于角阀体（10）上；进气口（19），其用于与真空室密封连接；抽气口一（14），其用于与外部机械泵密封连接；抽气口二（18），其作为分子泵（17）的出气口；以及密封片（15），其通过活动接头（16）安装于所述活塞杆（12）的顶端，该密封片（15）通过所述活塞杆（12）的压力可以密封住所述分子泵（17）的进气口；其中，所述活动接头（16）包括：连接槽（21），其位于所述密封片（15）的中部；弧形接头（20），其固定于所述活塞杆（12）的顶端，该弧形接头（20）被卡在所述连接槽（21）中且所述弧形接头（20）与连接槽（21）之间留有空隙。

2.根据权利要求1所述的改良的真空室角阀，其特征在于，所述活动接头（16）中，所述连接槽（21）为顶端开口的长方体。