CN102185118A - Oled玻璃基片清洗系统及其清洗方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种OLED玻璃基片清洗系统,包括清洗机构、传输机构、控制机构、升降装置和框架,其中,所述清洗机构包括安装在所述传输机构上的冲洗装置、风干装置以及烘干装置,所述风干装置包括至少两组吹风管组,所述吹风管组包括呈对称设于所述承载面的上、下侧的吹风管,所述吹风管呈水平倾斜设置且均匀开设有气流孔,所述气流孔朝向所述承载面并与所述OLED玻璃基片的传输方向呈锐角,所述吹风管与外界压缩空气装置连通。所述OLED玻璃基片清洗系统,其结构简单、自动化程度高。本发明同时公开了一种OLED玻璃基片清洗方法。

Description

OLED玻璃基片清洗系统及其清洗方法
技术领域
[0001] 本发明涉及一种自动清洗工艺系统,更具体地涉及一种OLED玻璃基片清洗系统及其清洗方法。
背景技术
[0002] 随着各种半导体产品的广泛应用及半导体技术的发展,半导体产品的批量生产规模越来越大。同时半导体产品的尺寸也越来越大,导致半导体工艺日趋复杂。而产品的生产不仅要求高精度,也要求高效率及高自动化,因此,对生产半导体产品的生产系统和生产工艺也提出了更高的要求。对于半导体制品,例如有机发光显示器件、液晶显示器件、非晶硅太阳能电池板等,其生产都需要利用玻璃等作为基片,在基片上进行多种工序进而形成多层薄膜,工艺步骤中涉及的镀膜、光刻、蚀刻等工艺会产生粉尘附着在基片上,进而影响基片的清洁度,基片的清洁度对产品的质量有着重大影响。因此,在于镀膜、光刻及蚀刻等步骤中必须贯穿有清洗步骤,以维持基片在生产过程中的表面清洁度。
[0003]以 0LED(0rganic Light-Emitting Diode,即有机发光二极管)为例,OLED 的制造一般都在玻璃基片上进行多次工艺步骤,进而在基片上相继沉积多层薄膜,其膜层主要包括在玻璃基片上形成的透明阳极,在阳极上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层,最后是金属阴极层;在上述各个工艺步骤中若基片上沉积有粉尘, 在下一膜层的形成过程中会将其覆盖,从而影响膜层的厚度和均勻性,进而影响后续的工艺质量,最终使OLED的质量降低。可见所述基片的清洁起着举足轻重的作用,因此需要一种基片清洗装置,对所述基片进行高效清洗的同时也能保证所述基片的高清洁度。
[0004] 而在所述OLED的多层膜层形成过程中,除了清洗之外,另一重要工序是风干。若所述玻璃基片上残留清洗液或水珠,将会影响OLED的质量。为解决上述问题,通常会另外增设风干装置来风干所述玻璃基片,但这样便导致整个清洁系统的结构复杂,且增加了生产成本。
[0005] 因此,急需一种结构简单、自动化程度高的OLED玻璃基片清洗系统。 发明内容
[0006] 本发明的目的是提供一种OLED玻璃基片清洗系统,其结构简单、自动化程度高。
[0007] 本发明的另一目的是提供一种清洗OLED玻璃基片的方法,其自动化程度高。
[0008] 为实现上述目的,本发明提供了一种OLED玻璃基片清洗系统,包括清洗机构、传输机构、控制机构、升降装置及放置于所述升降装置的框架,所述控制机构控制所述清洗机构清洗OLED玻璃基片及控制所述传输机构传输OLED玻璃基片,所述传输机构形成一呈水平状的承载面,所述OLED玻璃基片承载于所述承载面上并被传输。其中,所述清洗机构包括依次排列的冲洗装置、风干装置以及烘干装置,所述传输机构依次穿过所述冲洗装置、风干装置、烘干装置,所述冲洗装置、风干装置以及烘干装置依次对所述OLED玻璃基片进行洗刷、风干以及烘干,所述风干装置包括至少两组吹风管组,所述吹风管组包括呈对称设于所述承载面的上、下侧的吹风管,所述吹风管呈水平倾斜设置且均勻开设有气流孔,所述气流孔朝向所述承载面并与所述OLED玻璃基片的传输方向呈锐角,所述吹风管与外界压缩空气装置连通。
[0009] 具体地,所述吹风管的横截面呈矩形,所述气流孔沿所述吹风管的轴向形成排状。
[0010] 具体地,所述传输机构包括驱动装置、滚轮及固定架,所述滚轮均勻枢接于所述固定架的两侧并形成所述承载面,所述驱动装置驱动所述滚轮转动并带动所述OLED玻璃基片移动。
[0011] 较佳地,所述OLED玻璃基片清洗系统还包括用于储存清洗液的水箱及与所述水箱连通的总水管,所述总水管分别与所述喷淋管连通。
[0012] 具体地,所述风干装置包括至少两组吹风管组,所述吹风管组包括成对称设于所述承载面的上、下侧的吹风管,所述吹风管呈水平倾斜设置且均勻开设有气流孔,所述气流孔朝向所述承载面并与所述OLED玻璃基片呈锐角,所述吹风管相互连通且与外界压缩空气装置连通。
[0013] 较佳地,所述烘干装置为紫外发光装置。
[0014] 与现有技术相比,由于本发明清洗机构的冲洗装置、风干装置以及烘干装置依次对OLED玻璃基片进行洗刷、风干及烘干,所述风干装置包括至少两组吹风管组,所述吹风管组包括呈对称设于所述传输机构的承载面的上、下侧的吹风管,所述吹风管呈水平倾斜设置且均勻开设有气流孔,所述气流孔朝向所述承载面并与所述OLED玻璃基片的传输方向呈锐角,所述吹风管与外界压缩空气装置连通;所述冲洗装置对所述OLED玻璃基片进行洗刷后,外界压缩空气通入所述吹风管,再通过所述气流孔斜向吹于OLED玻璃基片的上下侧面,将洗刷残留于OLED玻璃基片的清洗液吹扫除去,实现对OLED玻璃基片的风干。所述风干装置结构简单、风干效果好、效率高,从而使得整个清洗系统结构简单、效率高。另外, 可通过所述控制机构对整个清洗过程进行完全的自动化控制,即所述OLED玻璃基片清洗系统自动化程度高。
[0015] 相应地,本发明还提供了一种清洗OLED玻璃基片的方法,其特征在于,包括:
[0016] (1)上载待清洗的OLED玻璃基片于框架,通过控制机构控制升降装置升降于传输机构的输入端处;
[0017] (2)上载待清洗的OLED玻璃基片于传输机构;
[0018] (3)通过控制机构控制传输机构和清洗机构,对所述OLED玻璃基片依次进行洗刷、风干以及烘干;
[0019] (4)卸载已清洗完的OLED玻璃基片。
[0020] 具体地,所述步骤(¾具体包括:
[0021 ] (31)控制所述控制机构将清洗液输入喷淋管内,喷淋管内的清洗液通过喷嘴喷洒在传输机构上传输的OLED玻璃基片上进行冲洗,同时驱动滚刷对所述OLED玻璃基片进行刷擦,同时冲洗和刷擦形成对所述OLED玻璃基片的洗刷;
[0022] (32)控制所述控制机构将压缩空气输入吹风管中,吹风管内压缩空气通过气流孔斜向吹于OLED玻璃基片的上、下侧面上,洗刷残留于OLED玻璃基片上的清洗液被压缩空气吹扫除去,实现对OLED玻璃基片的风干。
[0023] (33)启动烘干装置对经风干的所述OLED玻璃基片进行烘干。[0024] 具体地,所述步骤(31)之后进一步包括:控制所述控制机构将纯水输入喷淋管内,喷淋管内的纯水通过喷嘴喷洒在OLED玻璃基片上,以对所述OLED玻璃基片进行进一步地冲洗。
[0025] 通过以下的描述并结合附图,本发明将变得更加清晰,这些附图用于解释本发明的实施例。
附图说明
[0026] 图1为本发明OLED玻璃基片清洗设备一实施例的示意图。
[0027] 图2为图1所示框架的结构示意图。
[0028] 图3为图1所示传输机构的结构示意图。
[0029] 图4为图1所示冲洗装置的结构示意图,其中还示出了固定架和总水管。
[0030] 图如为图4所示冲洗装置的喷淋管的结构示意图。
[0031] 图5为图1所示风干装置的吹风管组的结构示意图,其中还示出了承载面。
[0032] 图fe为图5所示吹风管组的吹风管结构示意图。
[0033] 图6a为本发明OLED玻璃基片清洗设备清洗基片的示意图,其中OLED玻璃基片未上载于框架。
[0034] 图6b为图6a所示OLED玻璃基片被传输至冲洗装置冲洗的示意图。
[0035] 图6c为图6a所示OLED玻璃基片被传输至风干装置风干的示意图。
[0036] 图6d为图6a所示OLED玻璃基片被传输至烘干装置烘干的示意图。
[0037] 图6e为OLED玻璃基片清洗完后卸载于所述清洗设备的示意图。
[0038] 图7为本发明清洗OLED玻璃基片的方法流程图。
具体实施方式
[0039] 现在参考附图描述本发明的实施例,附图中类似的元件标号代表类似的元件。如上所述,本发明提供了一种OLED玻璃基片清洗设备,由于所述清洗机构的冲洗装置包括至少两组喷淋管组,所述喷淋管组包括呈对称设于所述承载面的上、下侧的喷淋管,所述喷淋管均勻设有朝向所述承载面的喷嘴,所述喷淋管相互连通且均与外界清洗液连通,位于同一侧的相邻的所述喷淋管之间设有滚刷,位于所述承载面的上、下侧的所述滚刷呈对称设置;清洗时,外界清洗液输入喷淋管内,再通过喷嘴喷洒到OLED玻璃基片上进而对基片进行清洗,在此过程中,滚刷会进一步的刷擦所述基片,使得对所述基片的清洗更加彻底,提高了清洁度和清洁效率。另外,可通过所述控制机构对整个清洗过程进行完全的自动化控制,即所述OLED玻璃基片清洗设备自动化程度高,且结构简单。
[0040] 请参考图1,本发明OLED玻璃基片清洗设备的一实施例包括传输机构100、清洗机构200、控制机构300、两个升降装置400、两个框架500、两个水箱600、两条总水管700以及压缩空气装置800,其中图中只示出了一个升降装置400和一个框架500,所述控制机构300 控制所述传输机构100传输所述OLED玻璃基片及控制所述清洗机构200清洗所述OLED玻璃基片,所述控制机构300还与所述升降装置400电连接并控制所述升降装置400的升降, 所述两个升降装置400分别对接于所述传输机构100的输入端和输出端处,所述框架500 放置于所述升降装置400上,所述两个水箱600分别用于储存清洗液和纯水,所述两个水箱600分别与所述两条总水管700连通。所述清洗机构200包括均安装在所述传输机构100 上并依次排列的冲洗装置20、风干装置22以及烘干装置M,所述两条总水管700与所述冲洗装置20连通,所述压缩空气装置800与所述风干装置22连通。所述传输机构100依次穿过所述冲洗装置20、风干装置22以及烘干装置M,所述冲洗装置20、风干装置22以及烘干装置M依次对所述OLED玻璃基片进行洗刷、风干以及烘干。
[0041] 具体地,如图2所示,所述框架500内呈层状的设置若干相互平行的供OLED玻璃基片放置的卡槽501。
[0042] 具体地,如图3所示,所述传输机构100包括驱动装置10、滚轮12以及固定架14, 所述滚轮12均勻枢接于所述固定架14的两侧并形成一呈水平状的承载面,所述OLED玻璃基片承载于所述承载面上并被传输,所述驱动装置10驱动所述滚轮12转动并带动所述 OLED玻璃基片移动。具体地,所述滚轮12包括冲洗滚轮和导向滚轮,冲洗滚轮位于导向滚轮之间,导向滚轮在所述传输机构100传输所述基片的过程中起到一定的导向作用,从而保证所述基片的行进方向。
[0043] 较佳地,所述控制机构300包括传感器,所述传感器设置于所述清洗机构200的冲洗装置20、风干装置22以及烘干装置M的两端。这样,通过所述控制机构300设定预定的程序,并结合所述传感器的感知与计数功能,便可自动地将所述玻璃基片传输到所述清洗机构200的各个装置进行清洗,并对整个清洗过程进行全程控制。
[0044] 具体地,结合图4和图4a,所述冲洗装置20包括至少两组喷淋管组201,所述喷淋管组201包括呈对称设于所述承载面的上、下侧的喷淋管201a、滚刷201b以及喷嘴201c, 所述滚刷201b设于位于同一侧的相邻的所述喷淋管201a之间,且位于所述承载面的上、下侧的所述滚刷201b呈对称设置,所述喷嘴201c设于所述喷淋管201a上且朝向所述承载面。所述喷淋管201a与所述总水管700连通。具体地,所述冲洗装置20对所述OLED玻璃基片进行冲洗和刷擦两个步骤。所述传输机构100传输所述OLED玻璃基片过程中,先将清洗液通过第一条所述总水管700流入喷淋管201a内,再通过所述喷淋管201a上的喷嘴 201c喷洒到所述OLED玻璃基片上进而对所述OLED玻璃基板进行冲洗,在此过程中,所述滚刷201b会进一步的刷擦所述OLED玻璃基片,使得对所述OLED玻璃基片的清洗更加彻底, 提高了清洁度和清洁效率。之后,再将纯水通过第二条所述总水管700、喷淋管201a及其喷嘴201c喷洒到所述OLED玻璃基片上,以清洗所述OLED玻璃基片上残留的清洗液、粉尘等。需要注意的是,所述水箱600与高压水泵及气动阀门连接,这样当所述清洗液或纯水进入所述总水管700和喷淋管201a后会产生一定的水流压力,而形成柱状水流,再从所述喷嘴201c喷射到所述OLED玻璃基片时会形成一定的冲击力,更好地增强了清洗效果。
[0045] 具体地,结合图5及图fe,所述风干装置22包括至少两组吹风管组221,所述吹风管组221包括呈对称设于所述承载面16的上、下侧的吹风管221a,所述吹风管221a呈水平倾斜地设置且均勻开设有气流孔221al,所述气流孔221al朝向所述承载面16并与所述 OLED玻璃基片的传输方向呈锐角,所述吹风管221a与外界压缩空气装置800连通。较佳地,所述吹风管221a与水平方向呈60度夹角。需要注意的是,所述吹风管221a内可通入干燥洁净且压力可调的压缩空气,当所述OLED玻璃基片被传输至所述风干装置22时,所述 OLED玻璃基片上的水珠将被与所述OLED玻璃基片行进方向相反、按一定切向角度并具有一定压力的压缩空气吹扫干净,为进入下一步的烘干工序做好准备。[0046] 较佳地,如图1所示,所述烘干装置M为紫外发光装置。当所述OLED玻璃基片完成风干工序后,所述传输机构100将所述OLED玻璃基片传输至烘干工序。所述烘干装置M 包括多排紫外发光装置,其安装在所述固定架14上。所述紫外发光装置散发出高温热辐能量,将所述OLED玻璃基片上残留的细微水珠蒸发掉,从而实现烘干的目的。待完成烘干工序后,再通过所述传输机构100将所述OLED玻璃基片卸载,从而完成整个清洗过程。
[0047] 再请参考图6a_6e,描述了本发明OLED玻璃清洗设备清洗OLED玻璃基片的清洗流程:(1)将待清洗的OLED玻璃基片900放置于所述框架500的卡槽501内(如图6a所示);(¾所述传输机构100将所述OLED玻璃基片900传输至冲洗装置20洗刷(如图6b 所示);(¾所述传输机构100将所述OLED玻璃基片900传输至风干装置22风干(如图6c 所示);(4)所述传输机构100将所述OLED玻璃基片900传输至烘干装置M进行烘干(如图6d所示);(¾所述传输机构100继续将已清洗的所述OLED玻璃基片900传输至另一框架500,完成整个清洗过程,并卸载于所述清洗设备(如图6e所示)。
[0048] 综上,从以上描述可以看出,本发明的OLED玻璃基片清洗设备结构简单,各模块功能层次分明,清洗效率及清洁度高,清洗彻底。另外,通过所述控制机构300易于实现对整个清洗过程的全自动化控制,即自动化程度高。
[0049] 相应地,如图7所示,本发明OLED玻璃基片清洗方法包括:
[0050] S101,上载待清洗的OLED玻璃基片于框架,通过控制机构控制升降装置升降于传输机构的输入端处;
[0051] S102,上载待清洗的OLED玻璃基片于传输机构;
[0052] S103,控制所述控制机构将清洗液输入喷淋管内,喷淋管内的清洗液通过喷嘴喷洒在传输机构上传输的OLED玻璃基片上进行冲洗,同时驱动滚刷对所述OLED玻璃基片进行刷擦,同时冲洗和刷擦形成对所述OLED玻璃基片的洗刷;
[0053] S104,控制所述控制机构将纯水输入喷淋管内,喷淋管内的纯水通过喷嘴喷洒在 OLED玻璃基片上,以对所述OLED玻璃基片进行进一步地冲洗;
[0054] S105,控制所述控制机构将压缩空气输入吹风管中,吹风管内压缩空气通过气流孔斜向吹于OLED玻璃基片的上、下侧面上,洗刷残留于OLED玻璃基片上的清洗液被压缩空气吹扫除去,实现对OLED玻璃基片的风干;
[0055] S106,启动烘干装置对经风干的所述OLED玻璃基片进行烘干;
[0056] S107,卸载已清洗完的OLED玻璃基片。
[0057] 以上结合最佳实施例对本发明进行了描述,但本发明并不局限于以上揭示的实施例,而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、等效组合。

Claims (9)

1. 一种OLED玻璃基片清洗系统,包括清洗机构、传输机构以及控制机构,所述控制机构控制所述清洗机构清洗OLED玻璃基片及控制所述传输机构传输OLED玻璃基片,所述传输机构形成一呈水平状的承载面,所述OLED玻璃基片承载于所述承载面上并被传输,其特征在于,还包括升降装置及放置于所述升降装置的框架,所述清洗机构包括依次排列的冲洗装置、风干装置以及烘干装置,所述传输机构依次穿过所述冲洗装置、风干装置、烘干装置,所述冲洗装置、风干装置以及烘干装置依次对所述OLED玻璃基片进行洗刷、风干以及烘干,所述风干装置包括至少两组吹风管组,所述吹风管组包括呈对称设于所述承载面的上、下侧的吹风管,所述吹风管呈水平倾斜设置且均勻开设有气流孔,所述气流孔朝向所述承载面并与所述OLED玻璃基片的传输方向呈锐角,所述吹风管与外界压缩空气装置连通。
2.如权利要求1所述的OLED玻璃基片清洗系统,其特征在于,所述吹风管的横截面呈矩形,所述气流孔沿所述吹风管的轴向形成排状。
3.如权利要求1所述的OLED玻璃基片清洗系统,其特征在于,所述传输机构包括驱动装置、滚轮及固定架,所述滚轮均勻枢接于所述固定架的两侧并形成所述承载面,所述驱动装置驱动所述滚轮转动并带动所述OLED玻璃基片移动。
4.如权利要求1所述的OLED玻璃基片清洗系统,其特征在于,所述OLED玻璃基片清洗系统还包括用于储存清洗液的水箱及与所述水箱连通的总水管,所述总水管分别与所述喷淋管连通。
5.如权利要求1-4任一项所述的OLED玻璃基片清洗系统,其特征在于,所述冲洗装置包括至少两组喷淋管组,所述喷淋管组包括呈对称设于所述承载面的上、下侧的喷淋管,所述喷淋管均勻设有朝向所述承载面的喷嘴,所述喷淋管相互连通且均与外界清洗液连通, 位于同一侧的相邻的所述喷淋管之间设有滚刷,位于所述承载面的上、下侧的所述滚刷呈对称设置。
6.如权利要求5所述的OLED玻璃基片清洗系统,其特征在于,所述烘干装置为紫外发光装置。
7. 一种使用如权利要求5所述的OLED玻璃基片清洗系统清洗OLED玻璃基片的方法, 其特征在于,包括:(1)上载待清洗的OLED玻璃基片于框架,通过控制机构控制升降装置升降于传输机构的输入端处;(2)上载待清洗的OLED玻璃基片于传输机构;(3)通过控制机构控制传输机构和清洗机构,对所述OLED玻璃基片依次进行洗刷、风干以及烘干;(4)卸载已清洗完的OLED玻璃基片。
8.如权利要求7所述的清洗OLED玻璃基片的方法,其特征在于,所述步骤C3)具体包括:(31)控制所述控制机构将清洗液输入喷淋管内,喷淋管内的清洗液通过喷嘴喷洒在传输机构上传输的OLED玻璃基片上进行冲洗,同时驱动滚刷对所述OLED玻璃基片进行刷擦, 同时冲洗和刷擦形成对所述OLED玻璃基片的洗刷;(32)控制所述控制机构将压缩空气输入吹风管中,吹风管内压缩空气通过气流孔斜向吹于OLED玻璃基片的上、下侧面上,洗刷残留于OLED玻璃基片上的清洗液被压缩空气吹扫除去,实现对OLED玻璃基片的风干。(33)启动烘干装置对经风干的所述OLED玻璃基片进行烘干。
9.如权利要求8所述的清洗OLED玻璃基片的方法,其特征在于,所述步骤(31)之后进一步包括:控制所述控制机构将纯水输入喷淋管内,喷淋管内的纯水通过喷嘴喷洒在OLED 玻璃基片上,以对所述OLED玻璃基片进行进一步地冲洗。
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103017500A (zh) * 2012-12-04 2013-04-03 彩虹(佛山)平板显示有限公司 一种盖板玻璃的清洗机干燥工艺
CN103084366A (zh) * 2013-01-18 2013-05-08 深圳市易天自动化设备有限公司 一种玻璃清洗设备
CN103990624A (zh) * 2014-05-28 2014-08-20 深圳市汉东电子玻璃清洗设备有限公司 清洗机
CN105170528A (zh) * 2015-09-29 2015-12-23 北京洁禹通环保科技有限公司 一种移动式扶梯梯级自动清洗方法及装置
CN105957822A (zh) * 2016-06-22 2016-09-21 贵州雅光电子科技股份有限公司 一种二极管自动清洗系统及清洗方法
CN106098593A (zh) * 2016-06-22 2016-11-09 贵州雅光电子科技股份有限公司 一种二极管自动清洗控制系统及控制方法
CN106915158A (zh) * 2016-06-01 2017-07-04 广东聚华印刷显示技术有限公司 印刷系统和方法
CN107980033A (zh) * 2016-11-17 2018-05-01 深圳市柔宇科技有限公司 传送装置和玻璃清洗装置
CN108097686A (zh) * 2017-12-15 2018-06-01 西安电子科技大学 一种基于智能制造的玻璃生产清洗机
CN108114959A (zh) * 2017-12-21 2018-06-05 郑州格瑞塔电子信息技术有限公司 一种带有烘干功能的立式玻璃清洗装置
CN108380577A (zh) * 2018-05-11 2018-08-10 王丽 一种平面玻璃板加工用双面清洗装置
CN109248878A (zh) * 2018-08-31 2019-01-22 深圳市华星光电技术有限公司 一种清洗平台以及清洗方法
CN110614260A (zh) * 2019-09-17 2019-12-27 苏州晶洲装备科技有限公司 一种分子级红外干燥系统及具有其的oled基板清洗机

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101170056A (zh) * 2007-11-28 2008-04-30 上海广电电子股份有限公司 有机电致发光显示面板蚀刻设备及其方法
US20080261409A1 (en) * 2007-04-20 2008-10-23 Applied Materials, Inc. Processing device and method for processing a substrate
WO2010055851A1 (ja) * 2008-11-14 2010-05-20 東京エレクトロン株式会社 基板処理システム
CN202076333U (zh) * 2011-04-02 2011-12-14 东莞宏威数码机械有限公司 Oled玻璃基片清洗系统

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080261409A1 (en) * 2007-04-20 2008-10-23 Applied Materials, Inc. Processing device and method for processing a substrate
CN101170056A (zh) * 2007-11-28 2008-04-30 上海广电电子股份有限公司 有机电致发光显示面板蚀刻设备及其方法
WO2010055851A1 (ja) * 2008-11-14 2010-05-20 東京エレクトロン株式会社 基板処理システム
CN202076333U (zh) * 2011-04-02 2011-12-14 东莞宏威数码机械有限公司 Oled玻璃基片清洗系统

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103017500A (zh) * 2012-12-04 2013-04-03 彩虹(佛山)平板显示有限公司 一种盖板玻璃的清洗机干燥工艺
CN103084366A (zh) * 2013-01-18 2013-05-08 深圳市易天自动化设备有限公司 一种玻璃清洗设备
CN103990624B (zh) * 2014-05-28 2016-08-31 深圳市汉东电子玻璃清洗设备有限公司 清洗机
CN103990624A (zh) * 2014-05-28 2014-08-20 深圳市汉东电子玻璃清洗设备有限公司 清洗机
CN105170528A (zh) * 2015-09-29 2015-12-23 北京洁禹通环保科技有限公司 一种移动式扶梯梯级自动清洗方法及装置
CN106915158A (zh) * 2016-06-01 2017-07-04 广东聚华印刷显示技术有限公司 印刷系统和方法
CN105957822B (zh) * 2016-06-22 2018-09-21 贵州雅光电子科技股份有限公司 一种二极管自动清洗系统及清洗方法
CN105957822A (zh) * 2016-06-22 2016-09-21 贵州雅光电子科技股份有限公司 一种二极管自动清洗系统及清洗方法
CN106098593A (zh) * 2016-06-22 2016-11-09 贵州雅光电子科技股份有限公司 一种二极管自动清洗控制系统及控制方法
WO2018090303A1 (zh) * 2016-11-17 2018-05-24 深圳市柔宇科技有限公司 传送装置和玻璃清洗装置
CN107980033A (zh) * 2016-11-17 2018-05-01 深圳市柔宇科技有限公司 传送装置和玻璃清洗装置
CN108097686A (zh) * 2017-12-15 2018-06-01 西安电子科技大学 一种基于智能制造的玻璃生产清洗机
CN108114959A (zh) * 2017-12-21 2018-06-05 郑州格瑞塔电子信息技术有限公司 一种带有烘干功能的立式玻璃清洗装置
CN108380577A (zh) * 2018-05-11 2018-08-10 王丽 一种平面玻璃板加工用双面清洗装置
CN109248878A (zh) * 2018-08-31 2019-01-22 深圳市华星光电技术有限公司 一种清洗平台以及清洗方法
CN110614260A (zh) * 2019-09-17 2019-12-27 苏州晶洲装备科技有限公司 一种分子级红外干燥系统及具有其的oled基板清洗机

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