CN102181846B - 腔式石墨舟 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种腔式石墨舟，包括舟片、位于石墨舟左右两端的左、右电极，舟片包括与左电极导电连接的左电极片以及与右电极导电连接的右电极片。本发明通过将石墨舟的两电极设置在石墨舟的左右两端，改变现有的石墨舟的电极结构，各舟片相应分为与左电极连接的左电极片以及与右电极连接的右电极片，使得石墨舟工作时反应速度快，镀膜时间短，而且石墨舟的舟片数可以增加至21到41片，同时还在石墨舟的石墨隔块上设置用于测定石墨舟舟号并记录石墨舟使用次数的舟号柱，使得石墨舟更加智能化；另外石墨舟的支撑脚可以固定在运转小车上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本发明不仅结构新颖，安全可靠，而且极大的提高了生产效率。

Description

腔式石墨舟
技术领域
本发明涉及石墨舟技术领域，尤其涉及一种腔式石墨舟。
背景技术
石墨舟是给太阳能电池片中的硅片镀膜的载体，现有的太阳能电池片PECVD所用石墨舟均为管式石墨舟，其舟片数通常为11至19片，且石墨舟的两个电极均在石墨舟的同一侧，分为上电极和下电极。
现有的管式石墨舟，由于其舟片数相对较少，两个电极在同一侧，而且管式石墨舟的容量较小，导致石墨舟加工硅片时反应速度慢，加工时间长，生产效率低。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种载片量大、生产效率高的腔式石墨舟。
为了达到上述目的，本发明提出一种腔式石墨舟，包括舟片、位于所述石墨舟左右两端的左、右电极，所述舟片包括与所述左电极导电连接的左电极片以及与所述右电极导电连接的右电极片。
优选地，所述左电极片与右电极片间隔排列，各左电极片及右电极片之间通过陶瓷杆连接；所述陶瓷杆上套有陶瓷套。
优选地，所述舟片通过设置在该舟片一侧的连接片与相应电极导电连接。
优选地，每一舟片一侧的连接片包括上下两个，各舟片的连接片之间通过石墨隔块隔离。
优选地，位于舟片上面的连接片之间的石墨隔块上设有用于测定石墨舟舟号并记录石墨舟使用次数的舟号柱。
优选地，还包括支撑脚，在石墨舟的左右两端各设有两个，每一端的两所述支撑脚分别设置在所述左电极或右电极的两侧。
优选地，所述支撑脚底部设有与外部运转小车上固定柱配合的圆弧形凹槽。
优选地，所述舟片数量为21-41片。
优选地，所述舟片上设有装载硅片的硅片位，每个舟片上设有至少6个硅片位。
优选地，所述硅片位为凹槽；所述凹槽为镂空或不镂空。
本发明提出的一种腔式石墨舟，通过将石墨舟的两电极设置在石墨舟的左右两端，改变现有的石墨舟的电极结构，各舟片相应分为与左电极连接的左电极片以及与右电极连接的右电极片，使得石墨舟工作时反应速度快，镀膜时间短，而且石墨舟的舟片数可以增加至21到41片，同时还在石墨舟的石墨隔块上设置用于测定石墨舟舟号并记录石墨舟使用次数的舟号柱，使得石墨舟更加智能化，其自动化程度更高；另外石墨舟的支撑脚可以固定在运转小车上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本发明不仅结构新颖，安全可靠，而且极大的提高了生产效率。
附图说明
图1是本发明腔式石墨舟一实施例的立体结构示意图；
图2是本发明腔式石墨舟一实施例的主视图。
为了使本发明的技术方案更加清楚、明了，下面将结合附图作进一步详述。
具体实施方式
本发明技术方案总体思路是：通过在。
以下将结合附图及实施例，对实现发明目的的技术方案作详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
如图1及图2所示，本发明一实施例提出一种腔式石墨舟，包括舟片10、位于石墨舟左右两端的左、右电极40、50，舟片10包括与左电极40导电连接的左电极片102以及与右电极40导电连接的右电极片103。
其中，左电极片102与右电极片103间隔排列，各左电极片102及右电极片103之间通过陶瓷杆(图中未示出)连接；陶瓷杆上套有陶瓷套。
在本实施例中，每一舟片10的一侧均设有两个连接片101，通过该连接片101与相应电极导电连接。具体地，对于左电极片102，在其左端上下分别设有两个连接片101，各左电极片102的连接片101之间通过石墨隔块60隔离，各连接片101通过石墨隔块60与位于下方的左电极40导电连接。同理，对于右电极片103依此原理设置。
石墨舟的左右两端各设有两个支撑脚20，每一端的两支撑脚20分别设置在左电极40或右电极50的两侧，即左电极40的两侧分别设置有一个支撑脚20；右电极50的两侧分别设置有一个支撑脚20。
本实施例中，支撑脚20的底部设有圆弧形凹槽201，其作用是：在运输石墨舟至PECVD真空镀膜设备时，通过支撑脚20底部的圆弧形凹槽201与外部运转小车上固定柱配合，将石墨舟固定在运转小车上，然后通过运转小车将石墨舟送至PECVD真空镀膜设备对硅片进行镀膜加工，从而提高了石墨舟的使用安全性。
此外，为了实现石墨舟的智能化工作，提高石墨舟的自动化程度，本实施例在位于舟片10上面的连接片101之间的石墨隔块上设有舟号柱70，用于测定石墨舟舟号并记录石墨舟使用次数。
具体地，可以在石墨舟的一侧石墨隔块上设置八个舟号柱70，使PECVD真空镀膜设备自动测定石墨舟舟号并记录石墨舟的使用次数，其中，舟号柱70可以通过螺纹固定在石墨隔块60上，并可拆卸。PECVD真空镀膜设备根据石墨舟上是否有舟号柱70进行编号，其编号的原理与计算机二进制一样，编号包括1和0，石墨舟上有舟号柱时为1，没有舟号柱时为0，通过舟号柱上标识的编号即可测定石墨舟舟号并记录石墨舟的使用次数。
本实施例腔式石墨舟的舟片数量可达21-41片。每个舟片10可以设置至少6个用于装载硅片的硅片位30。具体地，比如，对于装载125mm*125mm尺寸规格的硅片的石墨舟而言，每个舟片10可以具有7-14个硅片位30；对于装载156mm*156mm尺寸规格的硅片的石墨舟而言，每个舟片10可以具有6-13个硅片位30。
其中，硅片位30可以为凹槽；凹槽可以为镂空或不镂空。
先比现有的管式石墨舟，本发明腔式石墨舟，通过将石墨舟的两电极设置在石墨舟的左右两端，改变现有的石墨舟的电极结构，各舟片相应分为与左电极连接的左电极片以及与右电极连接的右电极片，使得石墨舟工作时反应速度快，镀膜时间短，而且石墨舟的舟片数可以增加至21到41片，同时还在石墨舟的石墨隔块上设置用于测定石墨舟舟号并记录石墨舟使用次数的舟号柱，使得石墨舟更加智能化，其自动化程度更高；另外石墨舟的支撑脚可以固定在运转小车上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本发明不仅结构新颖，安全可靠，而且极大的提高了生产效率。
以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种腔式石墨舟，包括舟片，其特征在于，还包括：位于所述石墨舟左右两端的左、右电极，所述舟片包括与所述左电极导电连接的左电极片以及与所述右电极导电连接的右电极片；所述舟片的数量为21-41片；所述各舟片上设有装载硅片的硅片位，所述硅片的尺寸为125mm*125mm时，所述硅片位的数量为7-14个，所述硅片的尺寸为156*156mm时，所述硅片位的数量为6-13个；每一舟片一侧的连接片包括上下两个，各舟片的连接片之间通过石墨隔块隔离，位于舟片上面的连接片之间的石墨隔块上设有用于测定石墨舟舟号并记录石墨舟使用次数的舟号柱。
2.根据权利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述左电极片与右电极片间隔排列，各左电极片及右电极片之间通过陶瓷杆连接；所述陶瓷杆上套有陶瓷套。
3.根据权利要求2所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片通过设置在该舟片一侧的连接片与相应电极导电连接。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的腔式石墨舟，其特征在于，还包括支撑脚，在石墨舟的左右两端各设有两个，每一端的两所述支撑脚分别设置在所述左电极或右电极的两侧。
5.根据权利要求4所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述支撑脚底部设有与外部运转小车上固定柱配合的圆弧形凹槽。
6.根据权利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述硅片位为凹槽；所述凹槽为镂空或不镂空。
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