CN102162531A - 风门装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种风门装置，包括：风门(1)；摆动气缸(4)，其转轴与风门(1)的转轴(2)连接；压差计(7)，其与风门(1)和设备外部连接。本发明的风门装置设计简单，效果好，当风门附近与设备外部的气压差超出设定范围时，可实现风门的自动打开，从而避免安全事故的发生。
Description
技术领域
本发明涉及半导体清洗设备领域，尤其涉及一种风门装置。
背景技术
在半导体清洗设备中，微环境的状态对晶片的清洗效果影响比较大，保持一个良好的设备微环境对工艺的进行至关重要。通常，设备上方的FFU(Filter Fan Unit)会产生过滤后的干净的气流，气流自上而下流向设备中的其他单元，如清洗腔室、机械手区域、CDS(Chemical Dispense System)，同时会有排气装置将设备中可能产生的被污染气体排出，从而使设备中的气流处于一个动态平衡的状态。通常会在设备的排气口安装风门，以控制排气的开关。半导体清洗设备的风门通常都是手动开关的，但是风门有时是安装在设备的上部，不方便人工控制。并且，在做半导体工艺的过程中，有时是没有人在现场的，如果出现需要开关风门的情况，这时候就不能满足设备的需要。如果设备中有化学液挥发出来，风门堵塞后，大量的化学气体会留在设备中，可能造成安全事故。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明的目的是设计一种自动开关的风门装置，以满足半导体设备的需要。
(二)技术方案
为达到上述目的，本发明提出了一种风门装置，包括：
风门；
摆动气缸，其转轴与所述风门的转轴连接；
压差计，其与所述风门和设备外部连接。
其中，还包括联轴器，其设置于所述摆动气缸的转轴和所述风门的转轴之间。
其中，还包括支架，用于将所述摆动气缸设置于所述风门上。
其中，所述转轴与所述风门内的挡板连接。
(三)有益效果
本发明的上述技术方案具有如下优点：本发明的风门装置设计简单，效果好，当风门附近与设备外部的气压差超出设定范围时，可实现风门的自动打开，从而避免安全事故的发生。
附图说明
图1为本发明风门装置实施例的示意图；
图2为本发明风门装置实施例的气缸的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1所示为本发明风门装置实施例的示意图，本发明的风门装置位于设备内部，并且包括：风门1、摆动气缸4、联轴器5、支架6和压差计7。差压计7的一端与风门1连接而另一端穿过设备外板8从而与设备外部连接，以检测它们之间的气压差。用联轴器5将风门1的转轴2与摆动气缸4的转轴连接，风门1的转轴2与风门1内的挡板3相连接，同时用支架6将摆动气缸4固定在风门1的面板上。
如图2所示，摆动气缸4的工作由两位五通电磁阀来控制(未示出，其设置于摆动气缸4上或附近)，摆动气缸4的气源由设备中的压缩空气来提供。
本发明的工作原理是：挡板3的初始位置为与风门法兰9成10°，当差压计7检测到气压差超出设定范围时，电磁阀动作，同时气缸4会摆动80°，带动转轴上的挡板3转动80°，此时挡板3与设备的风门法兰9垂直，风门完全打开，气体在风门中的流动横截面最大(气体的流动方向如图1中的箭头所示)，以保证设备中气体可以快速排出。当排出足够气体时，差压计会检测到气压差处于设定范围之内，从而控制电磁阀动作，气缸往回摆动80°，带动挡板回到初始位置，风门自动关闭。
以上所述仅是本发明的实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
Claims (4)
1.一种风门装置，其特征在于，包括：
风门(1)；
摆动气缸(4)，其转轴与所述风门(1)的转轴(2)连接；
压差计(7)，其与所述风门(1)和设备外部连接。
2.如权利要求1所述的风门装置，还包括联轴器(5)，其设置于所述摆动气缸(4)的转轴和所述风门(1)的转轴(2)之间。
3.如权利要求2所述的风门装置，还包括支架(6)，用于将所述摆动气缸(4)设置于所述风门(1)上。
4.如权利要求3所述的风门装置，其特征在于，所述转轴(2)与设置于所述风门(1)内的挡板(3)连接在一起。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010621565 CN102162531A (zh) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | 风门装置 |
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| CN 201010621565 CN102162531A (zh) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | 风门装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN102162531A true CN102162531A (zh) | 2011-08-24 |
Family
ID=44463913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN 201010621565 Pending CN102162531A (zh) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | 风门装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN102162531A (zh) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1038281A (ja) * | 1996-07-26 | 1998-02-13 | Toshiba Corp | 加熱調理器 |
| CN1377510A (zh) * | 1999-09-30 | 2002-10-30 | 拉姆研究公司 | 具有受控制的小型环境的晶片大气压输送组件 |
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2010
- 2010-12-27 CN CN 201010621565 patent/CN102162531A/zh active Pending
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