CN102147019A - 闸阀及使用该闸阀的基板处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供闸阀及使用该闸阀的基板处理装置。其能够微调基板搬入搬出口的周围的壁面与阀体之间的间隙。闸阀(200)构成为利用凸轮机构(260)使阀体(210)进退来开闭基板搬入搬出口(112)。凸轮机构具有：纵长构件(261)，其沿与阀体的进退方向正交的方向自由滑动；板状凸轮(270)，其设置在纵长构件与阀体之间，与纵长构件的动作连动地将纵长构件的滑动动作转换为阀体的进退动作；阀体驱动构件(280)，其与板状凸轮连动地与阀体相抵接，通过沿阀体的进退方向滑动而进退驱动阀体；间隙调整构件(310)，其设置在阀体驱动构件的与阀体相抵接的顶端面上，用于调整阀体与基板搬入搬出口之间的间隙。

Description

闸阀及使用该闸阀的基板处理装置
技术领域
本发明涉及用于开闭基板的搬入搬出口的闸阀及使用该闸阀的基板处理装置。
背景技术
在对半导体晶圆等基板、液晶基板等FPD(Flat PanelDisplay)基板进行例如蚀刻、成膜等规定处理的基板处理装置中，具有用于移送基板的基板搬入搬出口，具有多个在关闭基板搬入搬出口的状态下内部为真空气氛的腔室。作为这种腔室，可列举出例如在真空气氛中进行基板的处理的工艺处理室(包含反应容器)、在真空气氛中输送基板的输送室、在真空氛围与大气气氛之间交换基板的加载互锁真空室等。
通常来说，闸阀是如上所述那样在关闭时以气密状隔断处于真空氛围的腔室、在打开时能够移送基板的真空闸阀，用于开闭腔室的基板搬入搬出口或者分隔相邻的腔室之间。
具体而言，闸阀具有形成为横向长的长条板状的阀体，该阀体能够闭塞用于供基板以水平姿势搬入搬出的基板搬入搬出口，利用气缸或液压缸等致动器驱动阀体来开闭基板搬入搬出口。在该情况下，使阀体从在输送基板时不成为障碍的位置(例如基板搬入搬出口下方的位置)移动至基板搬入搬出口，为了密封基板搬入搬出口而以规定的按压力将阀体按压于基板搬入搬出口而使阀体闭塞基板搬入搬出口，从而关闭基板搬入搬出口。
作为这种闸阀，例如，如专利文献1的图11A所示，在设置在腔室的侧壁上的壳体内，设有进行升降的板状的阀体和用于按压该阀体的多个阀体驱动用辊。使用该闸阀，在阀体位于上升位置时，使板状凸轮滑动地与阀体驱动用辊相抵接，从而将该滑动动作转换为阀体驱动用辊的进退动作。由此，阀体驱动用辊的辊支承体与阀体相抵接而使阀体进退，从而能够使阀体按压并闭塞基板搬入搬出口。
专利文献1：日本特开2009-109006号公报
这样，通过在基板搬入搬出口的周围与阀体之间设置O形密封圈等密封构件，能够提高基板搬入搬出口与阀体之间的密封效果。但是，当具有多个如阀体驱动用辊那样与阀体相抵接的部分时，由于各个构件的安装误差等，有时会在安装位置产生微小的偏差。在这种情况下，因为在基板搬入搬出口与阀体之间产生有偏差，所以也担心当该偏差较大时不能够保持密封构件的密封效果。
发明内容
因此，本发明就是鉴于这种问题而做成的，其目的在于提供一种由于能够微调整基板搬入搬出口的周围的壁面与阀体之间的间隙、所以能够提高该壁面与阀体之间的密封效果的闸阀等。
为了解决上述课题，根据本发明的技术方案，提供一种用于开闭被设置在腔室的侧壁上的基板搬入搬出口的闸阀，其特征在于，该闸阀包括：壳体，其以围绕上述基板搬入搬出口的方式设置在上述腔室的侧壁上；阀体，其自由升降地设置在上述壳体内，用于开闭上述基板搬入搬出口；升降驱动部件，其使上述阀体在与上述基板搬入搬出口相对的位置和从上述基板搬入搬出口退避的位置之间升降；开闭驱动部件，其由使上述阀体在与上述基板搬入搬出口相对的位置和按压并闭塞上述基板搬入搬出口的位置之间进退的凸轮机构构成；上述凸轮机构包括：纵长构件，其跨越上述阀体的长度方向地配置在上述阀体的背面侧，且自由滑动地支承在上述壳体上；驱动部件，其使上述纵长构件向与上述阀体的进退方向正交的方向滑动；板状凸轮，其设置在上述纵长构件与上述阀体之间，与上述纵长构件的动作连动地将上述纵长构件的滑动动作转换为上述阀体的进退动作；阀体驱动构件，其与上述板状凸轮连动地与上述阀体相抵接，通过沿阀体的进退方向滑动而进退驱动上述阀体；间隙调整构件，其设置在上述阀体驱动构件的与阀体相抵接的顶端面上，用于调整上述阀体与上述基板搬入搬出口之间的间隙。
另外，上述间隙调整构件优选构成为由连续设置有头部和螺纹部的螺栓构成，使上述螺栓的螺纹部与设置在上述阀体驱动构件的顶端面的螺纹孔螺纹接合，并且使上述螺栓的头部的顶端面与上述阀体抵接。在该情况下，上述阀体驱动构件优选构成为在上述螺纹孔的侧面从其基端向顶端设有狭缝状的第1切口，能利用螺钉调整该第1切口的宽度。而且，上述阀体驱动构件也可以在比上述螺钉更靠基端侧的位置沿与上述第1切口垂直的方向设置第2切口。
另外，上述间隙调整构件也可以构成为在上述阀体驱动构件的顶端面上能自由装卸地设有构成与上述阀体相抵接的抵接面的板状构件，在该板状构件与上述阀体驱动构件的顶端面之间夹持垫片构件，该垫片构件能自由更换为厚度不同的垫片构件。
为了解决上述课题，根据本发明的另一技术方案，提供一种一边向多个腔室输送基板一边对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于，上述各个腔室在设置在其侧壁上的基板搬入搬出口处设有上述闸阀。
采用本发明，能够微调整基板搬入搬出口的周围的壁面与阀体之间的间隙，因此能够提高该壁面与阀体之间的密封效果。
附图说明
图1A是表示本发明的实施方式的闸阀的概略结构的横剖视图，是阀体位于与基板搬入搬出口相对的位置时的图。
图1B是表示本发明的实施方式的闸阀的概略结构的横剖视图，是阀体位于按压并闭塞基板搬入搬出口的位置时的图。
图2A是表示本发明的实施方式的闸阀的概略结构的纵剖视图，是阀体位于与基板搬入搬出口相对的位置时的图。
图2B是表示本发明的实施方式的闸阀的概略结构的纵剖视图，是阀体位于按压并闭塞基板搬入搬出口的位置时的图。
图2C是表示本发明的实施方式的闸阀的概略结构的纵剖视图，是阀体位于退避位置时的图。
图3A是表示本发明的实施方式的闸阀的概略结构的局部放大图，是阀体位于与基板搬入搬出口相对的位置时的图。
图3B是表示本发明的实施方式的闸阀的概略结构的局部放大图，是阀体位于开始向基板搬入搬出口移动的位置时的图。
图3C是表示本发明的实施方式的闸阀的概略结构的局部放大图，是阀体位于按压并闭塞基板搬入搬出口的位置时的图。
图4是表示本发明的实施方式的间隙调整构件的结构例的纵剖视图，是阀体位于按压并闭塞基板搬入搬出口的位置时的图。
图5是用于说明图4所示的间隙调整构件的结构的立体图。
图6是表示本发明的实施方式的间隙调整构件的变形例的纵剖视图，是阀体位于按压并闭塞基板搬入搬出口的位置时的图。
图7是用于说明图6所示的间隙调整构件的结构的立体图。
图8是用于说明应用了本发明的实施方式中的闸阀的基板处理装置的概略结构的图。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的优选实施方式。另外，在本说明书及附图中，对实质上具有相同功能结构的结构要素标记相同的附图标记而省略重复说明。
(闸阀)
首先，参照附图说明本发明的实施方式的闸阀。图1A、图1B、图1C、图2A、图2B、图2C是用于说明本实施方式的闸阀的结构的图。在本实施方式中，以如图1A、图1B所示的闸阀200为例，该闸阀200具有能够开闭腔室100的基板搬入搬出口112的大小的阀体210，该闸阀200通过升降驱动及进退驱动该阀体210来开闭基板搬入搬出口112。
图1A、图1B是在以通过基板搬入搬出口的中央附近的水平面剖切闸阀时从上方观察闸阀的剖视图。图2A、图2B、图2C是在以与腔室的侧壁平行的铅垂面剖切闸阀时从背面观察闸阀的剖视图，是图1A所示的A-A剖视图。
图1A、图2A表示阀体位于与基板搬入搬出口相对的位置的状态，图1B、图2B表示阀体位于按压并闭塞基板搬入搬出口112的位置的状态。图2C表示阀体位于从基板搬入搬出口退避的位置的状态。
设有本实施方式的闸阀200的腔室100是处于真空气氛的能够密闭的任意的室(包含容器)，例如可列举出在FPD基板等上进行蚀刻、成膜等规定处理的基板处理装置中的处理室、输送室、加载互锁真空室等。
如图1A、图1B、图2C所示，腔室100在侧壁110的靠上侧的位置形成有沿水平方向延伸的横向长的基板搬入搬出口112，利用未图示的输送臂等能够经由该基板搬入搬出口112搬入搬出例如FPD基板等基板。
在腔室100的侧壁110上，也可以安装边缘框114，该边缘框114围着基板搬入搬出口112的周缘。由此，例如在相对于基板搬入搬出口112搬入搬出玻璃基板等基板时，即使产生基板破裂或偏移，也能够保护侧壁110不被划伤。
闸阀200设置在这种腔室100的形成有基板搬入搬出口112的侧壁110上，通过使阀体210升降、进退来开闭基板搬入搬出口112。阀体210形成为能够闭塞基板搬入搬出口112的大小。而且，在关闭基板搬入搬出口112时，阀体210按压并闭塞基板搬入搬出口112。具体而言，将阀体210按压在基板搬入搬出口112的周围的壁面上来闭塞基板搬入搬出口112而密封该基板搬入搬出口112。
例如在侧壁110上设置边缘框114的情况下，使阀体210按压在边缘框114的表面(阀体抵接面)上来闭塞基板搬入搬出口112。在边缘框114的与阀体210相接触的表面上，以围绕基板搬入搬出口112的方式设有O形密封圈等密封构件115。
另外，不是一定要设置边缘框114。在不设置边缘框114的情况下，将阀体210直接按压在侧壁110的表面(阀体抵接面)来闭塞基板搬入搬出口112。在该情况下，优选在侧壁110的与阀体210相接触的表面上，以围绕基板搬入搬出口112的方式设置O形密封圈等密封构件115。代替在基板搬入搬出口112的周围的壁面(侧壁110的表面或边缘框114的表面)上设置密封构件115，也可以在阀体210的与该壁面相接触的表面上以围绕基板搬入搬出口112的方式设置密封构件115。
(闸阀的具体结构例)
接着，说明闸阀200的具体结构例。如图1A、图2A所示，闸阀200具有以至少围绕基板搬入搬出口112的方式设置在腔室100的侧壁110上的大致箱状的壳体(外壳)202。壳体202具有与侧壁110平行地相对的背板202a，并且具有侧板202b、202c、顶板202d、底板202e，利用这些板覆盖侧壁110。为了供经由基板搬入搬出口112取出放入的基板通过，在壳体202的背板202a的、与基板搬入搬出口112相对的位置处形成有形状与基板搬入搬出口112的形状相同的开口部203。
阀体210在壳体202内被支承为能沿着后述的升降引导件相对于基板搬入搬出口112自由升降，并且被支承为能沿着后述的开闭引导件在开闭基板搬入搬出口112的方向上自由进退。闸阀200包括：升降驱动部件230，其使阀体210沿着升降引导件在与基板搬入搬出口112相对的位置(规定的上升位置)和从基板搬入搬出口112退避的位置(规定的下降位置)之间升降；开闭驱动部件250，其利用凸轮机构260使阀体210在与基板搬入搬出口112相对的位置和按压并闭塞基板搬入搬出口112的位置之间进退。
阀体210的升降引导件和关闭引导件例如如下构成。此处的升降引导件用于引导阀体210沿铅垂方向升降，开闭引导件用于引导阀体210沿水平方向进退而进行开闭。具体而言，例如，如图1A、图2A所示，在腔室100的侧壁110上设有被配置在基板搬入搬出口112的左右、沿铅垂方向延伸的一对导轨220。在导轨220上分别设有能沿着这些导轨滑动的滑块222。在各个滑块222上分别设有从滑块222的背面向阀体210的水平进退方向突出的引导棒(支承棒)224。各个引导棒224能自由滑动地与从端部向外侧突出地设置在阀体210的左右的阀体支承板212的插入孔212a带有间隙地嵌合。
采用这种结构，通过滑块222沿着导轨220移动来使阀体210沿铅垂方向自由升降。另外，阀体210能沿着引导棒224在开闭基板搬入搬出口112的方向上水平地自由进退。这种升降引导件和关闭引导件的结构并不限于上述结构。
这样，在上述引导棒224上，施力构件(例如螺旋弹簧)226介于阀体支承板212与滑块222之间。该施力构件226对阀体210向与按压到基板搬入搬出口112的方向相反的方向(打开方向)施力。而且，在引导棒224的顶端设有固定构件224a，以避免阀体支承板212从引导棒224脱落。
另外，利用该固定构件224a能限制阀体210，使阀体210不会从基板搬入搬出口112离开规定间隔以上。即，阀体210利用施力构件226的作用力被支承在由固定构件224a固定的位置(离基板搬入搬出口112最远的位置)处，因此，能够总是在离开基板搬入搬出口112规定间隔的状态下进行升降。采用该结构，能够使阀体210总是上升至基板搬入搬出口112与凸轮机构260之间的相同的位置。
另外，上述施力构件226还具有这样的作用：在利用后述的凸轮机构260的作用驱动阀体驱动构件280时，对阀体驱动构件280施力使其不从凸轮面离开。由此，能够使阀体210的动作稳定，并且能够可靠地开闭驱动阀体210。
(升降驱动部件)
接着，参照附图说明升降驱动部件230的具体结构例。升降驱动部件230使阀体210沿着导轨220在与基板搬入搬出口112相对的位置(例如图2A所示的位置)和从基板搬入搬出口112退避的位置(例如图2C所示的位置)之间升降。
具体而言，如图2A、图2C所示，升降驱动部件230由能够进行直线运动的致动器232构成。作为这种致动器232，可列举出通过使活塞杆234伸缩而能够进行直线运动的气缸或液压缸等，但是并不限定于这些。在此，以由气缸构成致动器232的情况为例。
具体而言，致动器232形成在底板202e上，以活塞杆234从气密设置的贯通孔204a插入到壳体202内的方式安装在壳体202的底板202e上。而且，通过用活塞杆234的顶端从下方支承阀体210，能够利用致动器232使活塞杆234伸缩驱动(上下驱动)规定的冲程，从而能够使阀体210沿着导轨220沿铅垂方向升降移动。另外，在保持壳体202内的气密的状态下使活塞杆234伸缩时，借助未图示的套筒将活塞杆234插入到贯通孔204a内。
活塞杆234的顶端隔着设置在阀体210的下表面的中央部位的阀体滑动机构240支承阀体210。该阀体滑动机构240能将阀体210支承为相对于活塞杆234沿进退方向(开闭方向)自由移动。
(开闭驱动部件)
接着，参照附图说明开闭驱动部件250。开闭驱动部件250由凸轮机构260构成，该凸轮机构260使阀体210沿着引导棒224在与基板搬入搬出口112相对的位置(图1A、图2A所示的位置)和按压并闭塞基板搬入搬出口112的位置(图1B、图2B所示的位置)之间沿开闭方向进退。本实施方式的凸轮机构260以由所谓的直动式凸轮机构构成的情况为例。在此，使安装有板状的凸轮270的纵长构件261沿着阀体210沿与进退方向正交的方向滑动，从而能利用板状凸轮270的斜面272使阀体210沿着进退方向移动，并且能利用板状凸轮270的平面274将阀体210保持在按压于基板搬入搬出口112的状态。
用于驱动纵长构件261的驱动部件由使纵长构件261滑动的、能够进行直线运动的例如气缸或液压缸等的致动器252构成。在此，作为致动器252，以由使活塞杆254伸缩的、能够进行直线运动的气缸构成的情况为例。另外，致动器252并不限定于这些。
更详细地说明这种凸轮机构260的结构。例如如图1A、图1B所示，纵长构件261构成为至少比阀体的长度方向的长度长，沿阀体210的长度方向配置在壳体202的靠背板202a的一侧。纵长构件261与基板搬入搬出口112之间分开成在阀体210升降时不与凸轮机构260发生干涉而能够插入那样的程度。
本实施方式中的纵长构件261构成为能够使分别配置在壳体202的开口部203的上侧和下侧的各一个棒状构件262一体地滑动。由此，能够防止在输送基板时基板、输送臂干涉凸轮机构260，并且在使阀体210进行开闭动作时，能够使阀体210不倾斜地相对于基板搬入搬出口112水平进退。
具体而言，各个棒状构件262的端部分别从侧板202b、202c突出，在侧板202b、202c的与各个棒状构件262相接触的部分，能够气密地滑动地分别安装有例如由树脂构成的套筒263。另外，各个棒状构件262的端部、例如从侧板202c突出的端部，分别被板状的连接构件264固定而一体化。在该连接构件264上安装有致动器252的活塞杆254的顶端。由此，仅利用1个致动器252使该活塞杆254伸缩就能够使各个棒状构件262一体地同时滑动。在该情况下，致动器252例如隔着支承构件256安装在侧板202c的外侧。
纵长构件261的各个棒状构件262，利用从壳体202的内表面突出设置的多个支承辊290隔着抵接板276支承在壳体202的背板202a上。另外，在各个支承辊290的相对位置上分别配设有阀体驱动构件280。阀体驱动构件280设为隔着纵长构件261的各个棒状构件262与各个支承辊290相对。
也如将图1A的局部放大了的图3A所示，阀体驱动构件280由与板状凸轮270相抵接的辊284和自由滚动地支承该辊284、与辊284一起向阀体210自由滑动的支承体282构成。在支承体282的阀体210侧设有突起部282a。而且，当各个阀体驱动构件280的支承体282与辊284一起滑动时，各个支承体282的突起部282a与阀体210相抵接并按压该阀体210，从而将阀体210按压于基板搬入搬出口112。另外，后面详述阀体驱动构件280及其周边的结构和作用。
在纵长构件261的各个棒状构件262的阀体210侧设有多个板状凸轮270，该多个板状凸轮270用于分别与多个阀体驱动构件280相抵接并驱动该多个阀体驱动构件280。板状凸轮270包括：作为第1凸轮面的斜面272，其通过在纵长构件261上向一个方向滑动，而使阀体驱动构件280向关闭阀体210的方向前进并移动至按压并闭塞基板搬入搬出口112的位置处；作为第2凸轮面的平面274，其通过利用壳体202的背板202a隔着阀体驱动构件280及支承辊290承受从基板搬入搬出口112侧推回阀体210的力，而将阀体210保持在闭塞位置处。
板状凸轮270的斜面272由以自纵长构件261算起的厚度沿着纵长构件261的滑动方向增加的方式(以使阀体驱动构件280慢慢前进或后退的方式)倾斜的斜面构成，板状凸轮270的平面274由在第1凸轮面的厚度最大的部位(在阀体210按压并闭塞基板搬入搬出口112的位置处)以该厚度连续的平面构成。
板状凸轮270的斜面272为高度从板状凸轮270的平面274朝向致动器252侧逐渐变低的斜面，使阀体210在沿牵拉纵长构件261的方向滑动时慢慢前进而按压基板搬入搬出口112。
另外，板状凸轮270的斜面272并不限于上述结构，也可以为以在沿推出纵长构件261的方向滑动时阀体210慢慢前进并按压基板搬入搬出口112的方式能够驱动阀体驱动构件280的斜面。该情况未图示，板状凸轮270的斜面272为高度从板状凸轮270的平面274朝向与致动器252相反的一侧逐渐变低的斜面。
在此，参照附图说明各个阀体驱动构件280及其周边的结构和作用。图3A、图3B、图3C是着眼于1个板状凸轮270来说明凸轮机构260和阀体210的动作的放大图。图3A是阀体210位于与基板搬入搬出口112相对的位置时的图，图3B是阀体210位于开始向基板搬入搬出口112移动的位置时的图，图3C是阀体210位于按压并闭塞基板搬入搬出口112的位置时的图。
如图3A所示，阀体驱动构件280和支承辊290设置在大致箱状的框300内。框300以在与阀体210之间空出间隙的方式安装在背板202a上。纵长构件261与板状凸轮270和抵接板276一起插入到形成在框300的两端部的孔303、304内，在阀体驱动构件280与支承辊290之间滑动。
支承辊290通过在固定于框300内的靠背板202a侧的支承体292上自由转动地安装辊294而构成。与此相对，阀体驱动构件280通过在自由滑动地安装于框300内的靠阀体210侧的支承体282上自由转动地安装辊284而构成。
即，支承体282自由滑动地支承在安装于框300内的靠阀体210侧的一对引导棒302上。此处的支承体282具有向阀体210侧(辊284的相反侧)突出的突起部282a，通过支承体282前后滑动，该突起部282a从形成在框300上的孔306突出或没入该孔306内。在突起部282a的顶端设有间隙调整构件310。后面详述该间隙调整构件310的具体结构例。
采用这种结构，通过辊284与板状凸轮270相接触地进行转动，支承体282向阀体210侧前进。由此，从突起部282a未从框300突出的图3A所示的状态变为突起部282a从框300突出的图3C所示的状态，从而能借助间隙调整构件310按压并闭塞阀体210。这样，突起部282a与阀体210相接触地沿进退方向进行开闭驱动。另外，支承体282也可以利用设置在框300内的未图示的螺旋弹簧或板簧等施力构件向背板202a侧施力。采用该结构，利用施力构件的作用力能够使支承体282后退。
参照附图详细说明该实施方式的闸阀200的动作。首先，当图2C所示的阀体210沿着导轨220从下方的退避位置上升至与基板搬入搬出口112相对的位置时，变成如图1A、图2A、图3A所示的状态。此时，纵长构件261位于初始位置，阀体驱动构件280与板状凸轮270的斜面272的底部(第1凸轮面的厚度最薄的部位)相接触，突起部282a也未从框300突出。
接着，当利用致动器252的作用力沿图示的箭头方向牵拉纵长构件261时，如图3B所示，阀体驱动构件280沿着板状凸轮270的斜面272移动。由此，突起部282a也从框300突出而与阀体210相抵接，并且按压着阀体210地向关闭基板搬入搬出口112的方向移动。而且，当阀体210与基板搬入搬出口112的周围的壁面(在此为边缘框114的壁面)相抵接时，进一步按压该壁面来闭塞基板搬入搬出口112。
当从该状态进一步牵拉纵长构件261时，如图1B、图2B、图3C所示，阀体驱动构件280上升到板状凸轮270的平面274上。由此，阀体210保持在按压基板搬入搬出口112的周围的壁面并闭塞基板搬入搬出口112的状态。
这样，在阀体210按压在基板搬入搬出口112时，能够利用壳体202的背板202a隔着阀体驱动构件280及支承辊290承受来自基板搬入搬出口侧的推回阀体210的力(反作用力)。由此，能够将阀体210保持在闭塞位置处。因而，在各个阀体驱动构件280上升到平面274上的状态下，即使不保持致动器252的作用力，也能够将阀体210牢固地保持在按压在基板搬入搬出口112的状态的闭塞位置处。
这样，在阀体210按压在基板搬入搬出口112时，密封构件115在边缘框114的壁面(基板搬入搬出口112的周围的壁面)与阀体210之间紧密接触而进行密封。为了提高该密封构件115的密封效果，需要使边缘框114的壁面与阀体210之间的间隙d在整个阀体210上为规定的距离。
但是，因为具有多个阀体驱动构件280，所以有时由于多个阀体驱动构件280的安装误差而使阀体210与边缘框114的壁面之间的间隙d产生偏差，当这些偏差较大时，也存在不能保持充分的密封等问题。
因此，在本实施方式中的各个阀体驱动构件280上，在支承体282的突起部282a的顶端设有间隙调整构件310。通过调整各个阀体驱动构件280的间隙调整构件310，能够微调整基板搬入搬出口112的周围的壁面(在此为边缘框114的壁面)与阀体210之间的间隙d。
以下，参照附图说明间隙调整构件310的具体结构。在此，首先，以由螺栓构成间隙调整构件310的情况为例。图4是用于说明螺栓型的间隙调整构件310的结构的图。图4所示的间隙调整构件310是由其顶端的头部312和与该头部312连续设置的螺纹部313构成的螺栓。头部312例如构成为六边形。在支承体282的突起部282a的顶端设有螺纹孔283，间隙调整构件310的螺纹部313与该螺纹孔283螺纹接合。
采用这种结构，通过在阀体210与边缘框114的壁面相抵接的状态下、向突起部282a的顶端插入工具而使间隙调整构件310的头部312旋转，能够容易地微调整阀体210与边缘框114的壁面之间的间隙d。由此，能够消除间隙d的偏差，因此能够利用密封构件115保持充分的密封效果。另外，由于能够在阀体210与边缘框114的壁面相抵接的状态下微调整间隙d，因此，不必在每次调整间隙d时都使阀体210下降，能够大幅度减少调整的工夫。
但是，由于在按压阀体210时对间隙调整构件310施加有较大的力，因此，优选能够可靠地保持由间隙调整构件310微调整的位置。因此，间隙调整构件310例如也可以为图5所示的结构。即，也可以在支承体282的突起部282a上的螺纹孔283的侧面从其基端向顶端设置狭缝状的第1切口314，利用螺钉316调整该第1切口314的宽度。
采用该结构，在对间隙调整构件310进行微调整之后，通过利用螺钉316调整第1切口314的宽度，能够紧固间隙调整构件310的螺纹部313。在该情况下，也可以进一步在比螺钉316靠基端侧的位置沿与第1切口314垂直的方向设置第2切口315。采用该结构，能够仅紧固突起部282a中的、比第2切口315靠顶端侧的部分即设有螺钉316的部分，因此能够更容易地紧固设有螺钉316的部分。
另外，间隙调整构件310的结构并不限于上述结构。例如如图6、图7所示，也可以使间隙调整构件310为能够更换不同厚度的垫片构件322的结构。图7所示的间隙调整构件310通过利用固定板324在突起部282a的顶端夹持垫片构件322并用多个(在此为两个)螺钉326固定而构成。采用该结构，如图7所示，通过卸下垫片构件322并更换为厚度不同的垫片构件322，能够调整间隙调整构件310的厚度。由此，能够微调整阀体210与边缘框114的壁面之间的间隙d。由此，也能够消除间隙d的偏差，因此能够利用密封构件115保持充分的密封效果。
(闸阀的应用例)
接着，参照附图说明上述实施方式的闸阀200的具体应用例。在此，列举应用于多腔室型的FPD基板处理装置时的具体例子。图8是表示FPD基板处理装置的概略结构的框图。图8所示的FPD基板处理装置400具有容纳输送机械手(未图示)的共用输送室410，该输送机械手具有用于输送基板的输送臂，在该共用输送室410的周围设置有多个处理室420A、420B、420C及加载互锁真空室430。该共用输送室410、各个处理室420A、420B、420C、加载互锁真空室430分别构成上述那样的处于真空气氛的能够密闭的腔室。
在图8所示的FPD基板处理装置400中，共用输送室410及其周围的各个处理室420A、420B、420C、加载互锁真空室430分别借助本实施方式的闸阀200相连接。另外，也可以在加载互锁真空室430的大气压侧的用于从输送臂搬入搬出基板的基板搬入搬出口也设置闸阀200。
以上，参照附图说明了本发明的优选实施方式，但是当然本发明并不限定于该例子。对于本领域技术人员而言，在权利要求所述的范围内能够想到各种变形例或修正例是显而易见的，这些变形例或修正例当然也应理解为属于本发明的技术范围。
工业实用性
本发明能够应用于开闭腔室的基板搬入搬出口的闸阀及使用该闸阀的基板处理装置。

Claims (6)

1.一种闸阀，其用于对设置在腔室的侧壁上的基板搬入搬出口进行开闭，其特征在于，该闸阀具有：
壳体，其以围绕上述基板搬入搬出口的方式设置在上述腔室的侧壁上；
阀体，其自由升降地设置在上述壳体内，用于对上述基板搬入搬出口进行开闭；
升降驱动部件，其使上述阀体在与上述基板搬入搬出口相对的位置和从上述基板搬入搬出口退避的位置之间升降；
开闭驱动部件，其由使上述阀体在与上述基板搬入搬出口相对的位置和按压并闭塞上述基板搬入搬出口的位置之间进退的凸轮机构构成；
上述凸轮机构具有：
纵长构件，其跨越上述阀体的长度方向地配置在上述阀体的背面侧，并自由滑动地支承在上述壳体上；
驱动部件，其使上述纵长构件向与上述阀体的进退方向正交的方向滑动；
板状凸轮，其设置在上述纵长构件与上述阀体之间，与上述纵长构件的动作连动地将上述纵长构件的滑动动作转换为上述阀体的进退动作；
阀体驱动构件，其与上述板状凸轮连动地与上述阀体相抵接，通过沿上述阀体的进退方向滑动而进退驱动上述阀体；
间隙调整构件，其设置在上述阀体驱动构件的与阀体相抵接的顶端面上，用于调整上述阀体与上述基板搬入搬出口之间的间隙。
2.根据权利要求1所述的闸阀，其特征在于，
上述间隙调整构件由连续设置有头部和螺纹部的螺栓构成，构成为使上述螺栓的螺纹部与设置在上述阀体驱动构件的顶端面的螺纹孔螺纹接合、并且使上述螺栓的头部的顶端面与上述阀体抵接。
3.根据权利要求2所述的闸阀，其特征在于，
上述阀体驱动构件在上述螺纹孔的侧面从其基端向顶端设有狭缝状的第1切口，构成为利用螺钉能够调整该第1切口的宽度。
4.根据权利要求3所述的闸阀，其特征在于，
上述阀体驱动构件还在比上述螺钉更靠基端侧的位置沿与上述第1切口垂直的方向设有第2切口。
5.根据权利要求1所述的闸阀，其特征在于，
上述间隙调整构件构成为在上述阀体驱动构件的顶端面上能自由装卸地设有构成与上述阀体相抵接的抵接面的板状构件，在该板状构件与上述阀体驱动构件的顶端面之间夹持垫片构件，该垫片构件能自由更换为厚度不同的垫片构件。
6.一种基板处理装置，其一边向多个腔室输送基板一边对基板进行规定处理，其特征在于，
上述各个腔室在设置在其侧壁上的基板搬入搬出口处设有权利要求1～5中任一项所述的闸阀。
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