CN102114455A - 平面模块式设备结构 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及半导体匀胶领域，具体为一种平面模块式设备结构，它是应用于半导体制程中对晶片涂覆工艺中匀胶设备。该设备结构设有位于同一平面的热盘I、工艺模块、片盒、热盘II、两轴机械手，两轴机械手在中心，热盘I、工艺模块、片盒、热盘II分布于两轴机械手的四周。传统紧凑型结构为机械手可X、Y、T三轴运动，取放不同位置不同高度的晶片。本发明结构所有工艺单元在同一平面，不涉及Y轴运动。机械手在中心转动，通过手指伸缩，简单快速取送晶片。
Description
技术领域
本发明涉及半导体匀胶领域，具体为一种平面模块式设备结构，它是应用于半导体制程中对晶片涂覆工艺中匀胶设备。
背景技术
传统紧凑型结构为机械手可X、Y、T三轴运动，取放不同位置不同高度的晶片。传统的线性TRACK(涂胶、显影及清洗设备)系统在机械手同其他单元配合的环节会躲避干涉，影响工作速度。
发明内容
本发明的目的在于提供一种平面模块式设备结构，可实现对机械手去其他单元的走行路径缩短，运动轨迹变短。
本发明的技术方案是：
一种平面模块式设备结构，该设备结构设有位于同一平面的热盘I、工艺模块、片盒、热盘II、两轴机械手，两轴机械手在中心，热盘I、工艺模块、片盒、热盘II分布于两轴机械手的四周。
所述的平面模块式设备结构，两轴机械手的伸缩部分设有滑台、基座，两轴机械手通过基座上连接的滑台驱动，实现机械手伸缩。
所述的平面模块式设备结构，基座上的滑台采用电机驱动，用电机实现对机械手伸缩的控制。
本发明的有益效果是：
1、本发明利用中心两轴机械手旋转对周围工艺单元进行操作。
2、本发明设备单元布局紧凑，且可以添加模块。
3、本发明结构所有工艺单元在同一平面，不涉及Y轴运动。机械手在中心转动，通过手指伸缩，简单快速取送晶片。
附图说明
图1为本发明平面模块式设备结构示意图。
图2为图1中两轴机械手的伸缩部分结构示意图。
图中，1热盘I；2工艺模块；3片盒；4热盘II；5两轴机械手；6滑台；7基座。
具体实施方式：
如图1-图2所示，本发明平面模块式设备结构主要包括：热盘I 1、工艺模块2、片盒3、热盘II 4、两轴机械手5、滑台6、基座7等，具体结构如下：
两轴机械手5在中心，热盘I 1、工艺模块2、片盒3、热盘II 4分布于两轴机械手5的四周，热盘I 1、工艺模块2、片盒3、热盘II 4、两轴机械手5位于同一平面，两轴机械手5只有旋转和伸缩动作，没有升降。由居于中心的两轴机械手5调度，实现晶圆在各模块间的流转。
两轴机械手5的伸缩部分设有滑台6、基座7，两轴机械手5通过基座7上连接的滑台6驱动，实现机械手伸缩。基座7上的滑台6也可以更改为电机驱动，用电机实现对机械手伸缩的控制。
本发明中，片盒3的作用是通过对被处理晶圆进行扫描来记录晶圆的数量及位置，以便机械手能顺利的将被处理晶圆取出，并将处理过的晶圆放回。片盒具体实现方式：伺服电机通过滚珠丝杠带动片盒做垂直方向运动。在此过程中，由对射式激光传感器判断每一个槽中是否有晶圆，记住每一个晶圆的位置。
本发明中，工艺模块2的作用是对晶圆进行工艺处理，包括匀胶、显影等。工艺模块2数量可根据需要增减，机械手也可根据需要更换成双臂形式以提高工作效率。工艺模块具体实现方式：通过伺服电机采用真空吸附的方式带动晶圆高速旋转，通过电机控制摆臂运动，将喷嘴移动至晶圆待处理位置，喷涂或喷洒。
本发明中，热盘I 1、热盘II 4的作用是对工艺处理后的晶圆进行热处理，以达到最佳工艺效果。热盘具体实现方式为：给加热片加热，再有与之相连的盘体传导至热盘表面，实现加热目的。同时采用热电阻传感器感应，并监控热盘表面实时温度。
本发明中，两轴机械手5的作用是实现晶圆在各个模块之间的传递。它有两个方向的运动：一、由伺服电机通过减速器、同步带以及带轮等传动部件实现该机械手的旋转运动；二、由导杆气缸驱动机械手手指实现伸缩运动。两轴机械手的具体实现方式为：旋转部分由伺服电机驱动，通过减速器、皮带轮等传递装置带动主轴旋转。伸缩部分由气缸驱动，实现滑台在基座上做水平方向运动。可控制气源压力及流速达到伸缩可控的目的。
Claims (3)
1.一种平面模块式设备结构，其特征在于：该设备结构设有位于同一平面的热盘I、工艺模块、片盒、热盘II、两轴机械手，两轴机械手在中心，热盘I、工艺模块、片盒、热盘II分布于两轴机械手的四周。
2.按照权利要求1所述的平面模块式设备结构，其特征在于：两轴机械手的伸缩部分设有滑台、基座，两轴机械手通过基座上连接的滑台驱动，实现机械手伸缩。
3.按照权利要求2所述的平面模块式设备结构，其特征在于：基座上的滑台采用电机驱动，用电机实现对机械手伸缩的控制。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108648991A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-10-12 | 侯玉闯 | 一种晶圆片光刻工艺 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07211636A (ja) * | 1993-12-03 | 1995-08-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体作製方法およびその作製装置 |
| US5935768A (en) * | 1993-07-16 | 1999-08-10 | Semiconductor Systems, Inc. | Method of processing a substrate in a photolithography system utilizing a thermal process module |
| CN101342700A (zh) * | 2008-08-11 | 2009-01-14 | 武汉大学 | 机器人 |
| CN201226082Y (zh) * | 2008-06-27 | 2009-04-22 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 星型点阵结构的涂胶显影设备 |
| CN101920238A (zh) * | 2010-07-30 | 2010-12-22 | 东莞新能源科技有限公司 | 自动涂胶机 |
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2010
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5935768A (en) * | 1993-07-16 | 1999-08-10 | Semiconductor Systems, Inc. | Method of processing a substrate in a photolithography system utilizing a thermal process module |
| JPH07211636A (ja) * | 1993-12-03 | 1995-08-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体作製方法およびその作製装置 |
| CN201226082Y (zh) * | 2008-06-27 | 2009-04-22 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 星型点阵结构的涂胶显影设备 |
| CN101342700A (zh) * | 2008-08-11 | 2009-01-14 | 武汉大学 | 机器人 |
| CN101920238A (zh) * | 2010-07-30 | 2010-12-22 | 东莞新能源科技有限公司 | 自动涂胶机 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108648991A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-10-12 | 侯玉闯 | 一种晶圆片光刻工艺 |
| CN108648991B (zh) * | 2018-05-29 | 2020-11-13 | 徐州诚凯知识产权服务有限公司 | 一种晶圆片光刻工艺 |
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