CN102105932B - 头悬架组件和具有该头悬架组件的信息记录再现装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供头悬架组件和具有该头悬架组件的信息记录再现装置。该头悬架组件具有:悬浮体,其沿着记录介质的表面延伸设置,并且能够在厚度方向上挠曲变形;滑块,其以与所述记录介质的表面相对的方式配置在所述悬浮体的前端侧;支承部,其在中间隔着所述滑块的、所述记录介质的相反侧,在绕与所述记录介质的表面平行且彼此垂直的2个轴转动自如的状态下支承所述滑块;以及光波导,其与所述滑块连接,将从光源出射的光束导入所述滑块。所述滑块具有根据所述光束产生点光的点光产生元件,通过所述点光在所述记录介质中记录信息。在所述支承部与所述滑块之间,配置有用于所述光波导与所述滑块的定位的具有平坦面的定位部。

Description

头悬架组件和具有该头悬架组件的信息记录再现装置
技术领域
本发明涉及利用对光进行会聚后的点光在记录介质中记录再现各种信息的头悬架组件(head gimbal assembly)和具有该头悬架组件的信息记录再现装置。
本申请根据2008年7月23日在日本提出的日本特愿2008-189692号以及2009年1月26日在日本提出的日本特愿2009-014487号主张优先权,并在此引用它们的内容。
背景技术
近年来,按照希望进行更大量且高密度信息的记录再现等的需要,计算机设备中的硬盘等记录介质(以下称为盘)要求进一步的高密度化。因此,为了将相邻磁区彼此的影响和热扰动抑制为最小限度,开始采用顽磁力强的材料作为盘。因此,难以在盘中记录信息。
因此,为了消除上述不良情况,提供如下的混合磁记录方式的信息记录再现装置:利用对光进行会聚后的点光、或对光进行会聚后的近场光,对磁区进行局部加热,使顽磁力暂时降低,在该期间进行针对盘的写入。特别地,在利用近场光的情况下,能够对在现有光学系统中成为极限的光的波长以下的区域中的光学信息进行处理。由此,能够实现超越现有的光信息记录再现装置等的记录比特的高密度化。
作为上述混合磁记录方式的信息记录再现装置,提供了各种装置,但是,作为其中之一,公知有如下的信息记录再现装置:向近场光头供给用于生成近场光的光,由此,从微小开口生成足够大的近场光,能够实现超高分辨率的再现记录、高速记录再现、高SN比化。该信息记录再现装置使具有近场光头的滑块在盘上进行扫描,将滑块配置在盘上的期望位置。然后,使从光源放射的近场光与从滑块产生的记录磁场协作,由此,能够在盘中记录信息。
这里,作为向近场光头供给光束的结构,例如如专利文献1所示,公知有如下结构:在滑块的基端侧连接光纤等的光波导,经由该光波导将从光源出射的光束引导到近场光头。
专利文献1:日本特开2001-297463号公报
专利文献2:日本特开2006-323908号公报
但是,在上述信息记录再现装置中,公知有如下结构:将近场光头配置在滑块的前端面(流出端)侧,以使盘面与近场光头之间的距离更加接近。但是,该情况下,存在如下问题:在滑块的基端面(流入端)侧连接了光波导后,难以将光波导引导到滑块的前端面侧。即,为了引导光波导,需要从滑块的基端侧到前端侧,实施复杂的加工或者配置导光部件,所以,存在加工工序数和制造成本增加、制造效率低的问题。
这样,在使用光波导将光束导入近场光头的情况下,如何将光波导引导到近场光头成为问题。
因此,例如如专利文献2所示,公知有如下技术:利用具有近场光头的近场光元件基板和具有镜面的镜基板来构成滑块。该情况下,在镜基板上形成将光波导引导到近场光头的槽等,由此,不对近场光元件基板实施加工,就能够将光波导引导到近场光头。
但是,除了近场光元件基板以外还使用镜基板,由此,存在制造成本增加,并且,由于使用2个基板,所以滑块的板厚增加,滑块大型化的问题。
发明内容
因此,本发明正是考虑这样的情况而完成的,其目的在于,提供如下的头悬架组件和具有该头悬架组件的信息记录再现装置:在滑块内容易地将光波导配置到点光产生元件,由此,能够降低加工成本和制造成本并提高制造效率。
为了达成上述目的,本发明提供以下手段。
本发明的头悬架组件具有:悬浮体,其沿着记录介质的表面延伸设置,并且能够在厚度方向上挠曲变形;滑块,其以与所述记录介质的表面相对的方式配置在所述悬浮体的前端侧;支承部,其在中间隔着所述滑块的、所述记录介质的相反侧,在绕与所述记录介质的表面平行且彼此垂直的2个轴转动自如的状态下支承所述滑块;以及光波导,其与所述滑块连接,将从光源出射的光束导入所述滑块,所述滑块具有由所述光束产生点光的点光产生元件,通过所述点光在所述记录介质中记录信息,所述头悬架组件的特征在于,在所述支承部与所述滑块之间,配置有用于所述光波导与所述滑块的定位的具有平坦面的定位部。
在本发明的头悬架组件中,仅通过在平坦面与滑块的位置对准的状态下将定位部固定在滑块上,就能够将光波导固定在滑块上,所以,光波导与滑块的位置对准和固定变得容易。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述光波导具有:芯部,其在全反射条件下引导从所述光源出射的所述光束;以及包层,其由折射率比所述芯部的折射率低的材料构成,与所述芯部密接来对所述芯部进行密封,所述定位部与所述包层一体形成。
在本发明的头悬架组件中,与包层一体形成定位部,由此,在形成光波导时不用新设置用于形成定位部的工序,能够在与以往相同的工序中形成定位部。因此,能够提高制造效率。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述光波导的至少一部分具有:芯部,其在全反射条件下引导从所述光源出射的所述光束;以及包层,其由折射率比所述芯部的折射率低的材料构成,与所述芯部密接来对所述芯部进行密封,在所述包层的外周面,以覆盖所述包层的方式,与所述包层分体设置所述定位部。
在本发明的头悬架组件中,仅构成为在现有的光波导中设置定位部,所以,即使在滑块的外形由于各种滑块而不同的情况下,通过变更定位部的外形,就能够容易地与该外形对应。即,在针对各种滑块来安装光波导时,根据各滑块的外形来形成定位部,由此,能够在滑块上固定光波导,而不依赖于光波导的形状。因此,能够减少安装工序数,并容易地固定在滑块上。并且,仅构成为在光波导中设置定位部,所以,能够实现构造的简化,并降低制造成本。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述平坦面的至少一部分设于所述光波导,并且,与所述滑块和所述支承部的至少一方相对。
在本发明的头悬架组件中,平坦面的一部分形成于光波导,该平坦面与滑块和支承部的至少一方相对,所以,使用该平坦面也能够容易地固定光波导。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述定位部具有收纳所述光波导的导向槽,所述光波导在所述导向槽内被引导到所述点光产生元件。
在本发明的头悬架组件中,在滑块上配置定位部,由此,仅通过在形成于定位部的导向槽内配置光波导,就能够在滑块上定位并固定光波导,所以,光波导与滑块的位置对准和固定变得容易。并且,分体构成定位部和光波导,由此,能够根据用途来固定各种光波导,所以,能够提高设计的自由度。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述光波导的至少一部分包含渐变折射率光纤。
在本发明的头悬架组件中,随着从中心朝向外周侧,渐变折射率光纤的折射率连续减少,所以,通过调整渐变折射率光纤的长度,能够自由地设定光束的出射角。由此,能够调整光束的出射角来优化针对滑块的入射光的点形状,能够在点光产生元件中高效地产生点光。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述光波导的至少一部分利用其整体来传播光束。
在本发明的头悬架组件中,利用光波导的整体来传播光束,所以,能够在维持从基端侧(流入端)入射的入射角的情况下延长光路。因此,光波导的光路调整变得容易。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述芯部的与该芯部的延伸方向垂直的截面的横向宽度和纵向宽度彼此不同。
在本发明的头悬架组件中,使芯部的横向宽度和纵向宽度不同,由此,能够将从光源出射的光束的振动面保持为恒定方向,所以,能够在维持线偏振光的状态下向滑块引导光束。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,沿着所述芯部的延伸方向在所述包层上形成隧道部。
在本发明的头悬架组件中,在包层上配置隧道部,由此,能够将从光源出射的光束的振动面保持为恒定方向,所以,能够在维持线偏振光的状态下向滑块引导光束。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述光波导具有应力施加部,该应力施加部用于在与所述芯部的延伸方向垂直的方向上施加压缩应力。
在本发明的头悬架组件中,配置应力施加部,由此,在芯部作用有压缩应力。该压缩应力使芯部产生双折射性,能够将光束的振动面保持为恒定方向,所以,能够在维持线偏振光的状态下向滑块引导光束。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,以夹持所述芯部两侧的方式配置所述应力施加部。
在本发明的头悬架组件中,以夹持芯部的方式配置应力施加部,由此,能够在芯部作用有均等的压缩应力,所以,更容易维持线偏振光。
本发明的头悬架组件的特征在于,所述应力施加部配置在所述包层的表面。
在本发明的头悬架组件中,以夹持芯部的方式配置应力施加部,由此,能够在芯部作用有均等的压缩应力,所以,更容易维持线偏振光。
并且,由于是仅在包层的表面配置应力施加部的简单结构,因此,能够防止制造效率的增加。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述光波导的前端面是朝向所述点光产生元件反射被导入所述光波导内的所述光束的镜面。
在本发明的头悬架组件中,使在光波导内传播的光束入射到镜面,由此,能够通过该镜面来反射光束,向点光产生元件引导光束。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,在所述定位部中的与所述滑块接触的接触面侧,且在所述镜面与所述点光产生元件之间,形成有使所述包层的外周面平面状露出的平坦面。
在本发明的头悬架组件中,形成有使包层的外周面平面状露出的平坦面,由此,镜面与点光产生元件之间的边界面为平坦面。由此,在准直光通过平坦面的情况下,不折射而直线前进。因此,能够优化针对滑块的入射光的点形状,能够在点光产生元件中高效地产生点光。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述定位部是平板部。
在本发明的头悬架组件中,设定位部为包含光波导的平板部,由此,仅通过在滑块上固定平板部,就能够在光波导和滑块位置对准的状态下进行固定。由此,不需要如以往那样对滑块的滑块基板实施复杂的加工或者配置导光部件,所以,能够减少加工工序数和制造成本,并提高制造效率。
并且,不用如以往那样在2个基板(例如近场光元件基板和镜基板)之间保持光波导,所以,能够降低制造成本,并且,能够抑制滑块的厚度,能够实现滑块的小型薄型化。
这里,通过抑制滑块的厚度,由此,从滑块的支承部中的支承点到光波导针对滑块的固定点的距离缩短。由此,在滑块的记录再现动作时,在滑块以跟随记录介质表面的凹凸或起伏、伴随记录介质的旋转而产生的面抖动的方式变动姿势的情况下,从光波导对滑块作用的旋转力矩减小。即,能够防止光波导妨碍滑块的姿势控制。因此,能够维持滑块的稳定浮起,并尽可能地减小浮起量,所以,对滑块的浮起特性或跟踪的精度等造成的影响小。
因此,能够同时实现光的传播效率和滑块的浮起特性这双方,所以,能够提高滑块的扫描性能,并准确且高密度地进行信息的记录再现。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述平板部的侧面中的至少一部分与所述滑块的侧面中的至少一部分为同一平面。
在本发明的头悬架组件中,平板部的至少一个侧面与滑块的至少一个侧面为同一平面,由此,组装时两者的位置对准变得容易。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述平板部的宽度比所述光波导的宽度宽。
在本发明的头悬架组件中,平板部的宽度形成为比光波导的宽度宽,由此,在滑块的记录再现动作时,在滑块以跟随记录介质表面的凹凸或起伏、伴随记录介质的旋转而产生的面抖动的方式变动姿势的情况下,能够经由平板部均等地对滑块施加来自悬浮体的荷重。即,能够防止光波导妨碍滑块的姿势控制。因此,能够维持滑块的稳定浮起,并尽可能地减小浮起量,所以,对滑块的浮起特性或跟踪的精度等造成的影响小。
并且,本发明的头悬架组件的特征在于,所述头悬架组件还具有连接部,该连接部连接所述平板部和所述光波导,所述连接部随着从所述平板部朝向所述光波导,所述连接部的截面形状减小。
在本发明的头悬架组件中,平板部与光波导的连接部的截面形状形成为逐渐减小,由此,能够分散对连接部作用的应力。由此,能够防止连接部由于使用时的滑块的姿势变动等或制造时针对连接部的应力集中而发生故障。
另一方面,本发明的信息记录再现装置的特征在于,该信息记录再现装置具有:上述本发明的头悬架组件;在固定方向上旋转的磁记录介质;光源,其出射光束,以对所述磁记录介质进行加热;枢轴,其配置在所述磁记录介质的外侧;以及支架,其能够绕所述枢轴转动,并且,具有支承所述头悬架组件的臂部。
在本发明的信息记录再现装置中,使记录介质旋转后,使支架绕枢轴转动,使支承于臂部的滑块进行扫描。然后,将滑块配置在记录介质上的期望位置。然后,使光束从光源入射到光波导内。由此,能够利用头悬架组件的滑块,针对记录介质进行各种信息的记录再现。
特别地,由于具有本发明的头悬架组件,所以,能够准确且高密度地进行信息的记录再现,能够实现高品质化。
根据本发明的头悬架组件,在滑块内容易地将光波导配置到点光产生元件,由此,能够降低加工成本和制造成本并提高制造效率,所以,能够提供高性能的信息记录再现装置。
附图说明
图1是示出本发明的信息记录再现装置的一个实施方式的结构图。
图2是图1所示的头悬架组件的立体图。
图3是图2所示的悬架的俯视图。
图4是第1实施方式的沿着图3的A-A’线的剖面图。
图5是第1实施方式的滑块的放大剖面图。
图6是图1所示的接线基板的俯视图。
图7是第1实施方式的沿着图3的B-B’线的剖面图。
图8是第1实施方式的沿着图3的C-C’线的剖面图。
图9是示出第1实施方式的光波导的前端部分的立体图。
图10是第2实施方式的悬架单元的剖面图。
图11是图10的F部放大图。
图12是示出第3实施方式的光波导的前端部分的立体图。
图13是沿着图12的G-G’线的剖面图。
图14是第4实施方式的悬架单元的剖面图。
图15是第4实施方式的滑块的放大剖面图。
图16是第4实施方式的相当于图12的G-G’线的剖面图。
图17是第5实施方式的滑块的放大剖面图。
图18是第6实施方式的悬架单元的剖面图。
图19是示出第6实施方式的光波导的前端部分的立体图。
图20是第7实施方式的头悬架组件的立体图。
图21是示出第8实施方式的光波导的前端部分(平板部)的立体图。
图22是示出本发明的第9实施方式的相当于图7的剖面图。
图23是示出本发明的其他实施方式的相当于图7的剖面图。
图24是示出本发明的第10实施方式的相当于图3的I-I’线的剖面图。
图25是示出本发明的第11实施方式的相当于图3的I-I’线的剖面图。
图26是示出本发明的其他实施方式的相当于图3的I-I’线的剖面图。
图27是示出本发明的第12实施方式的头悬架组件的前端部分的放大立体图。
图28是沿着图27的I-I’线的剖面图。
图29是示出本发明的其他实施方式的头悬架组件的前端部分的放大立体图。
图30是发明的第13实施方式的相当于图14的H-H’线的剖面图。
图31是发明的第14实施方式的相当于图14的H-H’线的剖面图。
图32是发明的第15实施方式的光波导的剖面图。
图33是发明的第15实施方式的相当于图14的H-H’线的剖面图。
具体实施方式
(第1实施方式)
(信息记录再现装置)
下面,参照图1~图9对本发明的第1实施方式进行说明。图1是示出本发明的信息记录再现装置1的一个实施方式的结构图。另外,本实施方式的信息记录再现装置1是以垂直记录方式对具有垂直记录层的盘(记录介质)D进行写入的装置。
如图1所示,本实施方式的信息记录再现装置1具有:支架11;激光光源20,其从支架11的基端侧经由光电复合布线33供给光束;头悬架组件(HGA)12,其被支承于支架11的前端侧;致动器6,其使头悬架组件12向与盘面D1(盘D的表面)平行的XY方向扫描移动;主轴电动机7,其使盘D向规定方向旋转;控制部5,其对头悬架组件12的滑块2供给根据信息调制后的电流;以及壳体9,其在内部收纳这些构成部件。
壳体9是由铝等金属材料构成的具有上部开口部的箱形形状,由俯视为四边形状的底部9a和在底部9a的周缘相对于底部9a沿着铅直方向竖立设置的周壁(未图示)构成。而且,在由周壁包围的内侧形成有收纳上述各构成部件等的凹部。另外,在图1中,为了使说明容易理解,省略了包围壳体9的周围的周壁。
并且,在该壳体9上,以堵住壳体9的开口的方式,可装卸地固定有未图示的盖。在底部9a的大致中心安装有上述主轴电动机7,将中心孔嵌入该主轴电动机7中,由此,装卸自如地固定盘D。
在盘D的外侧、即底部9a的角部安装有上述致动器6。在该致动器6上安装有支架11,该支架11能够以枢轴10为中心相对于XY方向转动。
该支架11通过切削加工等,一体形成有沿着盘面D1从基端部朝向前端部延伸设置的臂部14、和经由基端部悬臂状地支承臂部14的基部15。
基部15形成为长方体形状,被支承为能够绕枢轴10转动。即,基部15经由枢轴10与致动器6连接,该枢轴10成为支架11的旋转中心。
臂部14是在基部15的安装有致动器6的侧面15a的相反侧的侧面(角部的相反侧的侧面)15b中,与基部15的上表面的面方向(XY方向)平行延伸的平板状,沿着基部15的高度方向(Z方向)延伸出三个。具体而言,臂部14形成为随着从基端部朝向前端部而变细的锥形形状,以在各臂部14之间夹入盘D的方式进行配置。即,臂部14和盘D以交错的方式配置,通过致动器6的驱动,臂部14能够在与盘D的表面平行的方向(XY方向)上移动。另外,在盘D的旋转停止时,通过致动器6的驱动,支架11和头悬架组件12从盘D上退避。
(头悬架组件)
头悬架组件12向后述的具有点尺寸转换器(点光产生元件)40(参照图5)的近场光头即滑块2引导来自激光光源20的光束,使其产生近场光(点光),利用该近场光针对盘D记录再现各种信息。
图2是在使滑块2朝上的状态下从滑块2侧观察悬浮体3的立体图。图3是在使滑块2朝上的状态下观察悬架17的俯视图。图4是沿着图3的A-A’线的剖面图,图5是滑块的放大剖面图。
如图2~图5所示,本实施方式的头悬架组件12具有使上述滑块2从盘D浮起的功能,该头悬架组件12具有:滑块2;悬浮体3,其由金属性材料形成为薄板状,并且能够沿着与盘面D1平行的XY方向移动;以及悬架单元16,其在使滑块2绕与盘面D1平行且彼此垂直的2个轴(X轴、Y轴)转动自如的状态下,即以使滑块2能够以2个轴为中心扭转的方式,固定在悬浮体3的下表面。
(滑块)
滑块2在配置于盘D与悬浮体3之间的状态下,隔着后述的悬架17支承于悬浮体3的下表面。
如图5所示,滑块2具有:滑块基板60,其在从盘面D1浮起规定距离的状态下与盘D(参照图1)相对配置,并具有与盘面D1相对的浮起面2a;记录元件42,其固定在滑块基板60的前端面(流出端)60c上;上述点尺寸转换器40,其与记录元件42邻接固定;以及再现元件41,其以中间隔着点尺寸转换器40的方式固定在记录元件42的相反侧。即,在滑块基板60的前端面60c上,在并列的状态下配置记录元件42、点尺寸转换器40以及再现元件41。但是,在滑块2的长度方向(Y方向)上,前端侧最接近盘面D1。因此,通过在滑块基板60的前端面60c侧配置记录元件42、点尺寸转换器40以及再现元件41,由此,能够使记录元件42、点尺寸转换器40以及再现元件41尽可能地接近盘面D1,能够降低盘D的顽磁力,所以,针对盘D的写入变得容易。
滑块基板60通过石英玻璃等的光透射性材料或AlTiC(铝钛碳)等的陶瓷等形成为长方体状。该滑块基板60被支承为在使浮起面2a为盘D侧的状态下,经由悬架17(参照图3)悬挂在悬浮体3(参照图3)的前端。
再现元件41是电阻根据从盘D漏出的磁场的大小而转换的磁阻效应膜。经由后述的电气布线31从控制部5(参照图1)向该再现元件41供给偏置电流。由此,控制部5能够检测从盘D漏出的磁场的变化作为电压的变化,能够根据该电压的变化来进行信号的再现。
记录元件42具有:副磁极43,其固定在滑块基板60的前端面60c上;主磁极45,其经由磁气电路44与副磁极43连接,在与副磁极43之间产生与盘D垂直的记录磁场;以及线圈46,其以磁气电路44为中心,涡旋状卷绕在磁气电路44的周围。两个磁极43、45和磁气电路44由磁通密度高的高饱和磁通密度(Bs)材料(例如CoNiFe合金、CoFe合金等)形成。并且,线圈46以在相邻的线圈线之间、与磁气电路44之间、与两个磁极43、45之间空出间隙的方式配置,以便不发生短路,在该状态下通过绝缘体47制模。然后,从控制部5向线圈46供给根据信息调制后的电流。另外,主磁极45和副磁极43被设计成,与盘D相对的端面与滑块2(滑块基板60)的浮起面2a为同一平面。
点尺寸转换器40是根据从基端侧导入的光束L来生成点光并从前端侧向外部发出点光的大致板状的元件,由SSC(spot size converter)芯部48和SSC包层49构成。这样构成的点尺寸转换器40在基端侧朝向滑块2的上方(Z轴上方)且前端侧朝向盘D侧的状态下,与主磁极45邻接固定,在主磁极45附近产生点光。
SSC芯部48以与长度方向(Z方向)垂直的截面积沿着从基端侧朝向前端侧的方向逐渐减少的方式缩小形成,在内部会聚从基端侧导入的光束L而向前端侧传播,从而生成点光。在本实施方式中,SSC芯部48形成为具有3个侧面(在剖面图中大致为三角形状),并配置成其中一个侧面与主磁极45相对。并且,SSC芯部48的端面被设计成与滑块2的浮起面2a为同一平面。
SSC包层49由折射率比SSC芯部48的折射率低的材料构成,与SSC芯部48密接并对SSC芯部48进行密封,并形成为嵌入再现元件41与记录元件42之间。而且,由于SSC芯部48与SSC包层49之间的折射率的差异,从后述的光波导32供给的光束L在全反射条件下被引导到前端侧的端面。
另外,记载被用作SSC包层49和SSC芯部48的材料的组合的一例时,例如考虑如下组合:利用石英(SiO2)来形成SSC芯部48,利用掺杂了氟的石英来形成SSC包层49。该情况下,在光束L的波长为400nm时,SSC芯部48的折射率为1.47,SSC包层49的折射率小于1.47,所以是优选的组合。并且,还考虑如下组合:利用掺杂了锗的石英来形成SSC芯部48,利用石英(SiO2)来形成SSC包层49。该情况下,在光束L的波长为400nm时,SSC芯部48的折射率大于1.47,SSC包层49的折射率为1.47,所以,还是优选的组合。
特别地,SSC芯部48与SSC包层49的折射率之差越大,将光束L封入SSC芯部48内的力越大,所以,更加优选在SSC芯部48中使用氧化钽(Ta2O5:波长为550nm时折射率为2.16),在SSC包层49中使用石英等,从而增大两者的折射率之差。并且,在利用红外区域的光束L的情况下,利用相对于红外光透明的材料即硅(Si:折射率大约为4)来形成SSC芯部48也是有效的。
并且,如图2~图5所示,滑块2(滑块基板60)的下表面如上所述成为与盘面D1相对的浮起面2a。该浮起面2a是利用由旋转的盘D产生的空气流的粘性来产生用于浮起的压力的面,被称为ABS(Air Bearing Surface)。具体而言,被设计成,对要使滑块2离开盘面D1的正压和要使滑块2靠近盘面D1的负压进行调整,从而使滑块2在最佳状态下浮起。
滑块2通过该浮起面2a承受从盘面D1浮起的力,并且,通过悬浮体3承受向盘D侧按压的力。而且,滑块2通过这两个力的平衡,从盘面D1浮起。
(悬浮体)
如图2、3所示,上述悬浮体3由形成为俯视为大致四边形的基体板22、和经由铰链板23与基体板22的前端侧连接的俯视为大致三角形的承载梁24构成。
基体板22由不锈钢等厚度较薄的金属材料构成,在基端侧形成有在厚度方向上贯通的开口22a。而且,基体板22借助该开口22a固定在臂部14的前端。在基体板22的下表面配置有由不锈钢等金属材料构成的片状的铰链板23。该铰链板23是形成在基体板22的下表面的整个表面的平板状部件,其前端部分形成为从基体板22的前端沿着基体板22的长边方向延伸的延伸部23a。延伸部23a从铰链板23的宽度方向两端部延伸出两根,在其前端部分连接有承载梁24。
承载梁24与基体板22同样,由不锈钢等厚度较薄的金属材料构成,其基端在与基体板22的前端之间具有间隙的状态下与铰链板23连接。由此,悬浮体3以基体板22与承载梁24之间为中心进行弯曲,容易向与盘面D1垂直的Z方向挠曲。
在悬浮体3上设有弯曲件25。弯曲件25是由不锈钢等金属材料构成的片状部件,通过形成为片状,从而构成为能够在厚度方向上挠曲变形。弯曲件25由以下部件构成:悬架17,其固定在承载梁24的前端侧,外形形成为俯视为大致五边形状;以及支承体18,其形成为比悬架17的宽度窄,从悬架17的基端沿着悬浮体3延伸。
悬架17形成为从中间附近到前端朝向盘面D1在厚度方向上稍微翘曲。而且,以施加该翘曲的前端侧不与承载梁24接触的方式,将悬架17从基端侧到大致中间附近固定在承载梁24上。
并且,在该浮起状态的悬架17的前端侧形成有周围被挖通成コ形状的切口部26,在由该切口部26包围的部分,形成有由连接部17a悬臂状支承的衬垫部(支承部)17b。即,该衬垫部17b通过连接部17a从悬架17的前端侧朝向基端侧伸出形成,在其周围具有切口部26。由此,衬垫部17b容易在悬架17的厚度方向上挠曲,以仅该衬垫部17b与悬浮体3的下表面平行的方式进行角度调整。而且,在该衬垫部17b上载置固定有上述滑块2。即,滑块2成为经由衬垫部17b悬挂在承载梁24上的状态。
并且,如图2~图4所示,在承载梁24的前端形成有朝向衬垫部17b和滑块2的大致中心突出的突起部19。该突起部19的前端成为带圆角的状态。而且,在滑块2由于从盘D承受的风压而向承载梁24侧浮起时,突起部19与衬垫部17b的表面(上表面)点接触。即,突起部19隔着悬架17的衬垫部17b支承滑块2,并且,朝向盘面D1(朝向Z方向)对滑块2施加荷重。而且,突起部19与衬垫部17b的接触点(支承点)成为基于突起部19的滑块2的荷重点F。另外,这些突起部19和具有衬垫部17b的悬架17构成悬架单元16。
图2所示的支承体18是一体形成在悬架17上的片状部件,在悬浮体3上朝向臂部14延伸设置。即,支承体18构成为在悬浮体3变形时跟随悬浮体3的变形。支承体18从臂部14上绕到侧面,并引绕到支架11的基部15。
(光波导)
图6是在支架11的基部15安装的接线基板30的俯视图。
如图1、6所示,在支架11的基部15中的侧面15c配置有接线基板30。该接线基板30成为对设于壳体9的控制部5和滑块2进行电连接时的中继点,在其表面形成有各种控制电路(未图示)。控制部5与接线基板30通过具有挠性的扁平电缆4电连接,另一方面,接线基板30与滑块2通过电气布线31连接。电气布线31对应于针对各支架11设置的滑块2的数量而设有三组,经由扁平电缆4从控制部5输出的信号经由电气布线31输出到滑块2。
并且,在接线基板30上配置有朝向滑块2的点尺寸转换器40供给光束的上述激光光源20。激光光源20接收经由扁平电缆4从控制部5输出的信号,并根据该信号出射光束,对应于设于各臂部14的滑块2的数量,沿着基部15的高度方向(Z方向)排列有3个。在各激光光源20的出射侧连接有光波导32,该光波导32将从各激光光源20出射的光束引导到滑块2的聚光透镜。
如图2、3所示,与各滑块2对应的一个光波导32和一组电气布线31在激光光源20与滑块2之间构成为从其基端侧到前端一体形成的光电复合布线33。该光电复合布线33从接线基板30的表面通过臂部14的侧面引绕到臂部14上。具体而言,光电复合布线33在臂部14和悬浮体3上配置在弯曲件25的上述支承体18上,在中间隔着支承体18的状态下引绕到悬浮体3的前端。
并且,光电复合布线33在悬浮体3的前端、即悬架17的中间位置分支为电气布线31和光波导32。具体而言,光波导32从光电复合布线33的前端侧的分支地点起沿着悬架17的长度方向延伸,跨过悬架17的切口部26与滑块2的基端侧直接连接。光波导32在光电复合布线33的分支地点从悬架17的下表面离开,随着从分支地点朝向滑块2的基端侧,以架设在衬垫部17b与悬架17之间的方式在稍微浮起的状态下延伸。即,在悬架17的下表面,光波导32在大致直线(曲率半径大致无限大)延伸的状态下,从滑块2的宽度方向(X方向)中央部引绕到滑块2的基端面2b侧。
另一方面,在分支地点,电气布线31朝向悬架17的外周部分弯曲,从悬架17的外周部分、即切口部26的外侧引绕。而且,从切口部26的外侧引绕的电气布线31通过连接部17a上方与滑块2的前端面侧连接。即,电气布线31从滑块2的外部与设于滑块2的前端面侧的上述再现元件41和记录元件42分别连接。
图7是沿着图3的B-B’线的剖面图。
如图7所示,构成光电复合布线33的电气布线31由铝或铜等构成,与芯部35一起封入包层34内。另一方面,构成光电复合布线33的光波导32的剖面为矩形状,其具有:芯部35,其厚度例如形成为3~10μm,在全反射条件下引导从激光光源20出射的光束;以及包层34,其厚度例如形成为数十μm,由折射率比芯部35的折射率低的材料构成,与芯部35密接并对芯部35进行密封。而且,由于芯部35与包层34之间的折射率的差异,从激光光源20出射的光束在全反射条件下被引导到滑块2的聚光透镜。
另外,光波导32的构成材料能够使用与上述SSC芯部48和SSC包层49(均参照图5)相同的材料,但是,在本实施方式中,优选使用以下所示的树脂材料。例如考虑如下组合:通过PMMA(甲基丙烯酸甲酯树脂)形成厚度为3~10μm的芯部35,通过含有氟的聚合物形成厚度为数十μm的包层34。并且,芯部35和包层34也可以均由环氧树脂(例如,芯部折射率为1.522~1.523,包层折射率为1.518~1.519)构成,或者均由氟化聚酰亚胺构成。该情况下,对构成芯部35和包层34的树脂材料的比例等进行调整,优选增大两者的折射率之差。例如在氟化聚酰亚胺的情况下,能够调整氟含量,或者通过放射光等的能量照射来控制折射率。这样,通过在光波导32的构成材料中使用树脂材料,能够通过半导体工艺来制造光电复合布线33。
(平板部)
这里,图8是沿着图3的C-C’线的剖面图,图9是示出光波导的前端部分(平板部)的立体图。
如图4、5、8、9所示,光波导32的前端部分一体形成有在宽度方向(Y方向)上扩大了光波导32的前端部分后的平板部(定位部)50。具体而言,平板部50是仅在宽度方向(Y方向)上扩大了光波导32中的包层34后的俯视为矩形状的部件,与滑块2的上表面(XY平面)的外形同样形成。这样,与包层34一体形成平板部50,由此,在形成光波导32时不用新设置用于形成平板部50的工序,能够在与以往相同的工序中形成定位部。因此,能够提高制造效率。
而且,平板部50粘接固定在衬垫部17b上,滑块2以在中间隔着该平板部50的方式固定在衬垫部17b上。即,不对滑块2的滑块基板60实施用于连接光波导32的加工,仅通过在平板部50上粘接滑块2,就能够固定滑块2与光波导32。而且,光波导32的芯部35在平板部50内的宽度方向中心部从滑块2的基端侧延伸到前端侧,被引导到上述点尺寸转换器40。
另外,设对滑块基板60和光波导32(平板部50)进行粘接固定的区域中与上述荷重点F最远的点为光波导32与滑块2的固定点T。该固定点T设定在滑块2中的宽度方向(X方向)中央部、且长度方向(Y方向)基端部、厚度方向(Z方向)上端部。因此,将从上述荷重点F、即悬浮体3的突起部19与衬垫部17b的上表面的接触点到固定点T的空间距离设定为距离d。
并且,光波导32的基端面与平板部50的基端面、以及光波导32与平板部50的两侧面分别构成为同一平面,另一方面,平板部50的前端面朝向与光波导32的轴方向(延伸方向)交叉的方向(例如45度左右)被切断。而且,该切断面构成用于向与导入方向不同的方向反射在芯部35内传播的光束L(参照图5)的镜面32a。该镜面32a以使光束L的朝向大致改变90度的方式,反射由光波导32导入的光束L。由此,由镜面32a反射的光束L被导入上述点尺寸转换器40内。另外,镜面32a也可以构成为,通过蒸镀法等在至少包含芯部35的区域形成由铝等构成的反射板。
(信息记录再现方法)
接着,下面说明通过这样构成的信息记录再现装置1在盘D中记录再现各种信息的步骤。
首先,驱动主轴电动机7使盘D向规定方向旋转。接着,使致动器6动作,使支架11以枢轴10为旋转中心转动,经由支架11使头悬架组件12在XY方向上进行扫描。由此,能够使滑块2位于盘D上的期望位置。
此时,滑块2由悬浮体3支承,并且通过规定力向盘D侧按压。并且,与此同时,滑块2的浮起面2a与盘D相对,所以,受到由旋转的盘D产生的风压的影响而承受浮起的力。通过这两个力的平衡,滑块2成为在从盘D上离开的位置悬浮的状态。
此时,滑块2受到风压而被按向悬浮体3侧,所以,固定滑块2的悬架17的衬垫部17b与形成于悬浮体3的突起部19成为点接触的状态。然后,该浮起的力经由突起部19传递到悬浮体3,以使该悬浮体3朝向与盘面D1垂直的Z方向挠曲的方式进行作用。由此,如上所述滑块2浮起。并且,由于盘D的凹凸或起伏等,在对滑块2施加朝向XY方向的风压时,滑块2和衬垫部17b以突起部19为中心绕X轴和Y轴这2个轴扭转。由此,能够吸收由于盘D的起伏而导致的Z方向的移位(针对与盘面D1大致垂直的方向的移位),滑块2的姿势稳定。
并且,滑块2即使受到由于盘D的起伏而产生的风压(朝向XY方向的风压),也经由悬架单元16、即与突起部19的前端点接触的衬垫部17b绕XY轴扭转。因此,能够吸收由于起伏而导致的Z方向的移位,能够使浮起时的滑块2的姿势稳定。
这里,在本实施方式的信息记录再现装置1中,构成为在衬垫部17b与滑块2之间配置包含光波导32的平板部50。根据该结构,不用如以往那样在2个基板(例如近场光元件基板和镜基板)之间保持光波导32,所以,能够抑制滑块2的板厚(Z方向)。
通过抑制滑块2的板厚,由此,对滑块2和光波导32进行固定的固定点T与对滑块2施加荷重的荷重点F(突起部19)之间的厚度方向(Z方向)的距离缩短。进而,在滑块2的宽度方向(X方向)中央部设定固定点T,由此,固定点T与荷重点F在滑块2的宽度方向上一致,所以,也能够缩短从荷重点F到固定点T的宽度方向(X方向)的距离。由此,固定点T与荷重点F的空间距离d缩短。
由此,在滑块2的记录再现动作时,在滑块2以跟随盘面D1的凹凸或起伏、伴随盘D的旋转而产生的面抖动的方式变动姿势的情况下,从光波导32作用于滑块2的旋转力矩减小。并且,平板部50与滑块2的上表面(XY平面)的外形同样形成,所以,能够经由平板部50均等地对滑块施加来自悬浮体3的荷重。即,能够防止光波导32妨碍滑块2的姿势控制。因此,能够维持滑块2的稳定浮起,并尽可能地减小浮起量,所以,对滑块2的浮起特性或跟踪的精度等造成的影响小。因此,能够同时实现光的传播效率和滑块2的浮起特性这双方,所以,能够提高滑块2的扫描性能,并准确且高密度地进行信息的记录再现。
这里,在进行信息记录的情况下,控制部5使激光光源20动作,并且,对线圈46供给根据信息调制后的电流,使记录元件42动作。
首先,使光束从激光光源20入射到光波导32(光电复合布线33),将光束L引导到滑块2。从激光光源20出射的光束L在光波导32的芯部35内朝向前端(流出端)侧前进,被镜面32a反射而导入点尺寸转换器40的SSC芯部48内。导入SSC芯部48内的光束L朝向位于盘D侧的另一端侧,在点尺寸转换器40的SSC芯部48与SSC包层49之间反复进行反射而传播。
此时,SSC芯部48以与从基端侧朝向前端侧的长度方向(Z方向)垂直的截面积逐渐减少的方式缩小形成。因此,在光束通过该点尺寸转换器40时,逐渐会聚并在SSC芯部48内部传播。因此,光束L在到达SSC芯部48的前端侧的时点被缩小,点尺寸减小。由此,能够生成点光,能够从基端侧的端面向外部发出。于是,盘D通过该点光被局部加热,顽磁力暂时降低。
另一方面,通过控制部5对线圈46供给电流时,由于电磁铁的原理,电流磁场使磁气电路44内产生磁场,所以,能够在主磁极45与副磁极43之间产生与盘D垂直的方向的记录磁场。结果,能够通过使点光与由两个磁极43、45产生的记录磁场协作的混合磁记录方式,进行信息记录。而且,利用垂直记录方式进行记录,所以,难以受到热扰动现象等的影响,能够进行稳定的记录。由此,能够提高写入的可靠性。而且,能够在记录磁场局部作用的位置包含加热温度的加热器位置,所以,能够降低盘D的规定位置的顽磁力。因此,能够可靠地进行记录,能够实现可靠性的提高,并且,能够实现高密度记录。
接着,在对记录于盘D的信息进行再现的情况下,与点尺寸转换器40邻接固定的再现元件41承受从盘D漏出的磁场,其电阻根据该磁场的大小而变化。由此,再现元件41的电压变化。由此,控制部5能够检测从盘D漏出的磁场的变化作为电压的变化。而且,控制部5根据该电压的变化进行信号的再现,由此能够进行信息的再现。
这样,能够利用滑块2针对盘D记录再现各种信息。
这里,在本实施方式的信息记录再现装置1中,构成为在衬垫部17b与滑块2之间配置包含光波导32的平板部50。
根据该结构,在衬垫部17b与滑块2之间配置包含光波导32的平板部50,由此,能够与平板部50一起配置光波导32,所以,能够容易地将光波导32引导到滑块2的点尺寸转换器40。
因此,不需要如以往那样对滑块2的滑块基板60实施复杂的加工或者配置导光部件,所以,能够减少加工工序数和制造成本,提高制造效率。并且,仅通过在滑块2上固定平板部50,就能够在滑块2上固定光波导32,所以,光波导32与滑块2的位置对准和固定变得容易。
并且,不用如以往那样在2个基板(例如近场光元件基板和镜基板)之间保持光波导,所以,能够降低制造成本,并且,能够抑制滑块的板厚,能够实现滑块的小型薄型化。
这样,本发明的信息记录再现装置1具有上述头悬架组件12,所以,能够准确且高密度地进行信息的记录再现,能够实现高品质化。
(第2实施方式)
接着,根据图10、11对本发明的第2实施方式进行说明。图10是第2实施方式的悬架单元的剖面图,图11是图10的F部放大图。另外,在以下的说明中,对与上述第1实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。并且,在本实施方式中,滑块的结构与上述第1实施方式不同。
如图10、11所示,本实施方式的滑块102具有滑块基板160,该滑块基板160在使浮起面102a与盘D(参照图1)相对的状态下,经由衬垫部17b被支承为悬挂在悬浮体3的前端。在本实施方式的滑块基板160的前端(流出端)侧形成有多面体70,该多面体70形成为从浮起面102a朝向盘D沿着厚度方向(Z方向)突出,并具有相对于所导入的光束L的光轴倾斜的4个侧面(例如侧面71、72)。
在构成多面体70的前端面侧的侧面71上形成有再现元件73,该再现元件73输出与从盘D漏出的磁场的大小对应的电信号。并且,在构成多面体70的基端面侧的侧面72上形成有记录元件74、以及在构成记录元件74的主磁极75和副磁极76之间产生记录磁场的线圈77。记录元件74由以在中间隔着绝缘膜78的方式层叠而成的主磁极75和副磁极76构成,在本实施方式中,从侧面72侧起依次层叠主磁极75、绝缘膜78、副磁极76。
主磁极75通过蒸镀等从侧面72上形成到浮起面102a。副磁极76由与主磁极75相同的材料构成,以在中间隔着绝缘膜78的方式层叠在主磁极75上。并且,主磁极75和副磁极76通过磁气电路79连接。并且,在磁气电路79的周围,在绝缘膜78上制模的状态下,设置以磁气电路79为中心涡旋状卷绕的线圈77。
并且,在滑块102的上表面,在与多面体70的厚度方向正上方(Z方向)接触的位置形成有透镜80。该透镜80例如是通过使用灰度掩模的蚀刻来形成的非球面的微型透镜。进而,在滑块102的上表面与衬垫部17b之间配置有上述光波导32的平板部50。而且,对安装位置进行调整,以使光波导32的镜面32a位于透镜80的正上方。
这样,在上述实施方式中,将从激光光源20(参照图1)入射到光波导32的光束L引导到前端面(流出端)侧,能够由镜面32a反射而改变朝向后,出射到透镜80。并且,出射的光束L由透镜80会聚,并沿着厚度方向(Z方向)在滑块基板160内部前进,被导入多面体70。然后,会聚后的光束L在到达多面体70的顶部的时点,作为点光漏出到外部。因此,能够发挥与第1实施方式相同的作用效果。
(第3实施方式)
接着,根据图12、13对本发明的第3实施方式进行说明。图12是第3实施方式的光波导的前端部分的立体图,图13是沿着图12的G-G’线的剖面图。另外,在本实施方式中,对与上述第1实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。
如图12、13所示,本实施方式的光波导132使用剖面为圆形状的具有芯部135和包层134的光纤(单模(SM)光纤)。该光波导132由与上述SSC芯部48和SSC包层49(均参照图5)相同的构成材料构成,在其前端部分设有平板部150。
该平板部150是由树脂材料或金属材料等构成的俯视为矩形状的部件,设计成覆盖光波导132的包层134。而且,光波导132的前端面与平板部150的前端面构成为同一平面,该前端面构成朝向与光波导132的轴方向(延伸方向)交叉的方向(例如45度左右)被切断的镜面132a。另外,在安装平板部150与光波导132时,能够在成型了平板部150后,在平板部150中形成贯通孔,在该贯通孔内安装光波导132,或者在平板部150的成形时对光波导132的前端部分进行制模。
这样,根据本实施方式,构成为在由光纤构成的光波导132的前端部分设置与光波导132分体的平板部150。
根据该结构,除了上述第1实施方式的效果以外,仅构成为在现有的光波导132中设置平板部150,所以,即使在滑块2(参照图3)的外形由于各种滑块2而不同的情况下,仅变更平板部150的外形,就能够容易地与该外形对应。即,在针对各种滑块2来安装光波导132时,根据各滑块2的外形来形成平板部150,由此,能够在滑块2上固定光波导132,而不依赖于光波导132的形状。因此,能够减少安装工序数,并容易地固定在滑块2上。并且,仅构成为在光波导132中设置平板部150,所以,能够实现构造的简化,并降低制造成本。
(第4实施方式)
接着,对本发明的第4实施方式进行说明。图14是第4实施方式的悬架单元的剖面图,图15是滑块的放大剖面图。并且,图16是相当于图14的H-H’线的剖面。
如图14、15所示,本实施方式的光波导232与上述第3实施方式同样,是使用光纤的光波导232,其具有:单模光纤(以下称为SM光纤)90、与SM光纤90的前端侧连接的渐变折射率光纤(graded index fiber)(以下称为GI光纤)91、以及与GI光纤91的前端侧连接的没有包层的光纤92(参照图15)。
SM光纤90由与上述第3实施方式相同的构成材料构成,具有芯部135和包层134。
GI光纤91是如下的光纤:在传播光束L的场内,其中心的折射率大于外周的折射率,随着从中心朝向径向外侧,折射率连续减小。由此,在GI光纤91内,以正弦波的光路来传播光束L。即,通过调整GI光纤91的长度,能够调整从GI光纤91出射的光束L的出射角。在本实施方式中,GI光纤91的长度被设定为,通过GI光纤91使从SM光纤90的芯部135出射的光束L成为准直光并出射。另外,也可代替GI光纤91或SM光纤90,使用用于将光束L的振动面保持为恒定方向的偏振保持光纤。偏振保持光纤在包层内,内装有用于从芯部的两侧对芯部施加应力的应力施加部件,由此,能够在芯部内仅流通特定方向的线偏振光。
没有包层的光纤92仅由与构成上述SM光纤90的芯部135相同的构成材料构成,利用与长度方向垂直的剖面整体来传播从GI光纤91出射的光束L。由此,从GI光纤91出射的准直光在平行状态下向没有包层的光纤92的流出端侧传播。而且,没有包层的光纤92的前端面朝向与没有包层的光纤92的轴方向(延伸方向)交叉的方向(例如45度)被切断,该切断面构成用于向与导入方向不同的方向反射在没有包层的光纤92内传播的光束L的镜面92a。该镜面92a以使光束L的朝向大致改变90度的方式,反射在没有包层的光纤92内传播的光束L,准直光朝向点尺寸转换器40入射。另外,镜面92a也可以构成为通过蒸镀法等形成由铝等构成的反射板。
这里,如图14、16所示,在光波导232的前端部分、即滑块2与衬垫部17b之间,以覆盖光波导232的方式设有平板部250。而且,平板部250中的与滑块基板60的粘接面侧(下表面侧)设有使SM光纤90的包层134的外周面平面状露出的平坦面250a。关于该平坦面250a,平板部250中的与滑块基板60的粘接面在厚度方向上被研磨到使包层134露出的位置,从滑块2的基端侧到前端面、即GI光纤91和没有包层的光纤92,形成有平坦面250a。而且,对平坦面250a与滑块基板60的粘接面进行粘接,由此,固定滑块2和光波导232。而且,由没有包层的光纤92的镜面92a反射的光束L(准直光)在通过平坦面250a与点尺寸转换器40的边界部时,进行透射而不是折射。即,相对于平坦面250a与点尺寸转换器40的边界部垂直通过的光束L在边界部中直线前进,入射到点尺寸转换器40。
因此,根据本实施方式,除了发挥与上述第3实施方式相同的效果以外,在光波导232中采用GI光纤91,所以,通过调整GI光纤91的长度,能够自由地设定光束L的出射角。
并且,在GI光纤91的前端连接有没有包层的光纤92,所以,在没有包层的光纤92内,利用其整体来传播光束L,所以,能够在维持从GI光纤91入射的入射角的情况下延长光路。因此,光波导232的光路调整变得容易。即,能够通过设定GI光纤91的长度,优化入射到点尺寸转换器40的光束L。
进而,形成使包层134(光波导232)的外周面平面状露出的平坦面250a,由此,镜面92a与点尺寸转换器40之间的边界面为平坦面。由此,在准直光通过平坦面250a的情况下,不折射而直线前进。
因此,能够调整光束L的出射角来优化针对滑块2的入射光的点形状,能够在点尺寸转换器40中高效地产生点光。
(第5实施方式)
接着,对本发明的第5实施方式进行说明。图17是第5实施方式的滑块的剖面图。另外,在以下的说明中,对与上述第4实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。
如图17所示,本实施方式的光波导332将GI光纤191的长度设定为比第4实施方式的GI光纤91(参照图15)的长度长。即,将GI光纤191的长度设定为,从GI光纤191的前端向没有包层的光纤92出射的光束L会聚。具体而言,在镜面92a中反射后,在头波导(点光产生元件)140的波导芯部148内设定焦点。该情况下,不需要在滑块2上设置用于使光束L会聚的透镜或SSC 芯部48等。即,头波导140的波导芯部148与上述第1实施方式的SSC芯部48不同,在从基端侧朝向前端侧的方向上,与长度方向(Z方向)垂直的截面积相同。
因此,根据本实施方式,除了发挥与上述第4实施方式相同的效果以外,对GI光纤191的长度进行设定以使光束L会聚,由此,不需要SSC芯部48,所以,能够降低制造成本。
(第6实施方式)
接着,对本发明的第6实施方式进行说明。图18是第6实施方式的悬架单元的剖面图,图19是示出第6实施方式的光波导的前端部分的立体图。另外,在以下的说明中,对与上述第5实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。
如图18、19所示,在本实施方式中,在滑块2的长度方向的中途部配置点尺寸转换器(未图示)。
该情况下,在光波导332的前端部分形成的平板部350由第1平板部351和配置于第1平板部351的前端面的第2平板部352构成。第1平板部351在滑块2与衬垫部17b之间,配置在从滑块2的基端面到中途部的区域,其前端面朝向与光波导332的轴方向(延伸方向)交叉的方向(例如45度)被切断,构成镜面292a。即,光波导332的镜面292a形成为位于点尺寸转换器的正上方。在镜面292a上,通过蒸镀法等成膜有铝等高反射率的金属材料。
另一方面,第2平板部352构成为,在第1平板部351的前端侧即镜面292a的前端侧,以嵌入滑块2与衬垫部17b之间的方式,充填与第1平板部351相同的构成材料。另外,如果利用高反射率的金属材料来形成第2平板部,则能够使与第1平板部之间的边界面成为镜面。
这样,根据本实施方式,即使在滑块2的中途部存在点尺寸转换器的情况下,在光波导332的前端侧,在滑块2与衬垫部17b之间也不会产生间隙。因此,能够发挥与第4实施方式相同的效果,并且,即使在滑块2的前端面侧没有配置点尺寸转换器的情况下,也能够对应于点尺寸转换器的配置位置来容易地引导光波导332。
(第7实施方式)
接着,对本发明的第7实施方式进行说明。图20是第7实施方式的头悬架组件的立体图。另外,在以下的说明中,对与上述第1实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。
如图20所示,在弯曲件25的支承体118上设有支承光波导132的多个支承部件400、401。这些支承部件400、401是形成有能够具有间隙地插入光波导132的贯通孔的部件,将光波导132支承为能够相对于滑块2的移动而在长度方向上移动。
多个支承部件400、401中的支承部件401以围绕光波导132周围的方式,使在与沿着支承体118的长度方向的方向垂直的方向上形成的舌部52折曲来形成。
在本实施方式中,伴随信息记录再现装置1动作时的滑块2和承载梁24的姿势变动,光波导132也能够沿着长度方向移动。因此,在浮起时(动作时)不对滑块2作用来自光波导132的力,能够使滑块2稳定地浮起。并且,即使在光波导132以轴方向为中心在扭转方向上作用有力的情况下,通过支承部件400、401,光波导132也仅被约束在轴直角方向上,所以,不对滑块2作用来自光波导132的力。并且,在弯曲件25的支承体118上形成舌部52,仅通过折曲舌部52,就能够支承光波导132,所以,能够利用简易的结构可靠地支承光波导132。
(第8实施方式)
接着,对本发明的第8实施方式进行说明。图21是示出第8实施方式的光波导的前端部分(平板部)的立体图。另外,在以下的说明中,对与上述第1实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。
如图21所示,本实施方式的光波导532与上述第1实施方式同样,与平板部550一体形成。而且,在该平板部550的基端侧、即光波导532与平板部550的连接部501中,平板部550的截面形状形成为随着朝向基端侧而减小。具体而言,平板部550的连接部501形成为,随着朝向基端侧,宽度方向(X方向)的长度逐渐缩小。而且,连接部501的侧面具有规定的曲率半径R的曲面。
根据该结构,平板部550与光波导532的连接部501的截面形状形成为逐渐减小,由此,能够分散对连接部501作用的应力。由此,能够防止连接部501由于使用时的滑块2的姿势变动等或制造时针对连接部501的应力集中而发生故障。
另外,连接部501形状能够适当设计变更,例如形成为朝向基端侧直线变细的锥形形状等。并且,在上述实施方式中,连接部501形成为,随着朝向基端侧,宽度方向(X方向)的长度逐渐缩小,但是,也可以形成为高度方向(Z方向)的长度逐渐缩小,或者形成为宽度方向和高度方向的长度均逐渐缩小。进而,在上述第8实施方式中,对一体形成光波导532和平板部550的情况进行了说明,但是不限于此,也可以如上述第3实施方式那样,分体设置光波导132和平板部150。
(第9实施方式)
接着,对本发明的第9实施方式进行说明。图22是示出本发明的第9实施方式的相当于图7的剖面图。另外,在以下的说明中,对与上述第1实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。
如图22所示,本实施方式的光波导632与上述第1实施方式的不同之处在于,芯部635的与延伸方向垂直的剖面(YZ平面)形成为长方形状。更加详细地说明时,芯部635被设定为,在YZ平面中长边和短边的长度不同,在使其长边方向与Y方向一致、且短边方向与Z方向一致的状态下形成。该情况下,如果芯部635的长边长度超过短边长度的1倍,则当然能够发挥本发明的效果,更加优选为1.1倍以上(即长宽比为1.1:1以上)。
这样,在芯部635的YZ平面中使长边和短边的长度不同,由此,能够将光束L的振动面保持为恒定方向,所以,能够在维持线偏振光的状态下向滑块2引导光束L(单一偏振保持)。该情况下,能够通过与上述各实施方式的剖面为正方形状的芯部35的制造方法相同的制造方法,来制造本实施方式的芯部635。即,在利用半导体工艺统一制造光波导632和电气布线31时,仅适当变更芯部635的膜厚,因此,能够防止制造成本的增加和制造效率的降低。
另外,如图23所示,也可以采用在YZ平面中使芯部735的长边与Z方向一致、且短边与Y方向一致的光波导732。通过该结构,也能够发挥与上述效果相同的效果。并且,虽然没有图示,但是,芯部的截面形状不限于长方形状,只要是椭圆形状等的扁平形状,就能够适当设计变更。该情况下,只要芯部的长轴为短轴的1倍以上即可,更加优选设定为长轴与短轴之比为1:1.1以上。即,只要芯部形成为与延伸方向(X方向)垂直的2个方向(Y方向、Z方向)的长度分别不同即可。
(第10实施方式)
接着,对本发明的第10实施方式进行说明。图24是示出本发明的第10实施方式的相当于图3的I-I’线的剖面图。另外,在以下的说明中,对与上述第1实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。
如图24所示,本实施方式的光波导832在包层34中的芯部35的Y方向两侧形成有一对隧道部801。这些隧道部801是配置成从两侧夹持芯部35的空间,与芯部35的延伸方向平行地延伸。即,隧道部801是在包层34内形成的与延伸方向垂直的剖面(YZ平面)俯视为矩形状的空间,在其内部填充有空气或适当的气体。另外,隧道部801内也可以保持真空。即,隧道部801的折射率大约为1。
因此,根据本实施方式,发挥与上述第1实施方式相同的效果,并且,通过在芯部35的两侧配置隧道部801,由此,能够将光束L的振动面保持为恒定方向(单一偏振保持)。因此,能够在芯部35内仅流通特定方向的线偏振光,所以,能够优化针对滑块2的入射光的点形状,能够在点尺寸转换器40中高效地产生点光。
另外,隧道部801的截面形状不限于矩形状,也可以采用圆形等的各种形状。并且,隧道部801的数量也可以设置2个以上的多个。进而,隧道部801的布局也能够适当设计变更,例如在芯部35的X方向两侧配置一对,或者以包围芯部35周围的方式进行配置等。
(第11实施方式)
接着,对本发明的第11实施方式进行说明。图26是示出本发明的第11实施方式的相当于图3的A-A’线的剖面图。另外,在以下的说明中,对与上述第1实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。
如图26所示,本实施方式的光波导932在包层34中的芯部35的Y方向两侧形成有一对应力施加部901。这些应力施加部901是配置成从两侧夹持芯部35的剖面为矩形状的部件,与芯部35的延伸方向平行地延伸。
作为应力施加部901的形成材料,能够采用线膨胀系数与构成光波导932的材料不同的材料,例如铝、镍等的金属或液晶聚合物等的合成树脂等。该情况下,由于应力施加部901与包层34的相对热膨胀/热收缩,在与芯部35的延伸方向垂直的方向上作用有压缩应力。
因此,根据本实施方式,与上述第2实施方式同样,通过在芯部35的Y方向两侧配置应力施加部901,由此,均等地从两侧对芯部35作用有压缩应力。该压缩应力使芯部35产生双折射性,能够将光束L的振动面保持为恒定方向,所以,能够在维持线偏振光的状态下向滑块2引导光束L。
另外,作为应力施加部901的制造方法,除了上述方法以外,还能够通过以下的方法来形成。即,在包层34的形成材料中使用石英玻璃等,对该包层34的应力施加部901的形成区域照射离子束,由此,仅照射区域局部为高密度。由此,离子束的照射区域成为应力施加部901,从该应力施加部901朝向芯部35作用有压缩应力。该情况下,压缩应力不由于温度变化而变化,所以,没有温度依赖性,能够形成可靠性高的应力施加部901。
并且,与上述第2实施方式的隧道部801同样,应力施加部901的截面形状不限于矩形状,也可以采用圆形等的各种形状。并且,应力施加部901的数量也可以设置2个以上的多个。进而,应力施加部901的布局能够适当设计变更,例如在芯部35的X方向两侧配置一对,或者以包围芯部35周围的方式进行配置等。
进而,作为应力施加部的结构,除了上述结构以外,还能够采用以下所示的结构。例如如图26所示,光波导1032具有在包层34的表面(与盘面D1的相对面)上配置的应力施加部1001。该应力施加部1001由与上述应力施加部901相同的形成材料构成,配置在芯部35的正上方。该情况下,在从芯部35的上方对芯部35进行压缩的方向上,从应力施加部1001作用有应力。由此,能够发挥与上述第3实施方式相同的效果。并且,根据该结构,仅是在包层34上配置应力施加部1001的简单结构,所以,能够防止制造效率的增加。
(第12实施方式)
接着,对本发明的第12实施方式进行说明。图27是示出本发明的第12实施方式的头悬架组件的前端部分的放大立体图,图28是沿着图27的I-I’线的剖面图。另外,在以下的说明中,对与上述第1实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。在本实施方式中,与上述各实施方式的不同之处在于,分割构成本发明的定位部和光波导。
如图27、28所示,本实施方式的定位部1100配置在滑块2的背面2c(滑块2中的与衬垫部17b(参照图8)的相对面)上。具体而言,定位部1100在滑块2的X方向两侧设置一对,是分别具有沿着Y方向形成的平坦面的平板状部件。这一对定位部1100的基端面和两侧面分别与滑块2的基端面和两侧面构成为同一平面,另一方面,定位部1100的前端面朝向与光波导232的轴方向(延伸方向)交叉的方向(例如45度左右)被切断。即,定位部1100的前端面与光波导232的前端面(镜面92a)形成为同一平面。
在一对定位部1100内(各定位部1100之间),在滑块2的X方向中央部,沿着Y方向从滑块2的前端面到基端面形成有导向槽1101。而且,在该导向槽1101内,以夹入定位部1100之间的方式配置上述光波导232。具体而言,光波导232例如与上述第4实施方式同样,是在与滑块2的粘接面侧具有平坦面250a的光纤,在导向槽1101的宽度方向(X方向)中央部,在导向槽1101的延伸方向与光波导232的延伸方向一致的状态下,粘接固定在滑块2的背面2c。另外,导向槽1101的宽度只要设定为光波导232的直径以上即可,但是,比较窄的话容易定位,能够没有晃动地在导向槽1101内配置光波导232。
在本实施方式中,在滑块2上固定光波导232时,首先,在滑块2的背面2c中的两侧,在对滑块2的端面与定位部1100的端面进行了定位的状态下,在滑块2上粘接固定定位部1100。然后,在形成于定位部1100之间的导向槽1101内配置光波导232,并且,在对光波导232的镜面92a与定位部1100的前端面进行了定位的状态下,对光波导232和滑块2进行粘接固定。由此,能够在滑块2上定位并固定光波导232。
根据本实施方式,发挥与上述实施方式相同的效果,并且,在滑块2的背面2c配置定位部1100,由此,仅通过在形成于两者之间的导向槽1101内配置光波导232,就能够在滑块2上固定光波导232,所以,光波导232与滑块2的位置对准和固定变得容易。并且,分体构成定位部1100和光波导232,由此,能够根据用途来固定各种光波导232,所以,能够提高设计的自由度。
另外,在上述实施方式中,作为光波导,例如对采用第3实施方式的光纤的情况进行了说明,但是不限于此,也能够采用上述各种光纤。
并且,如图29所示,能够采用如上述第1实施方式那样具有芯部35和与芯部35密接并对芯部35进行密封的包层34(均参照图7)的剖面为矩形状的树脂波导1232。该情况下,树脂波导1232的厚度(Z方向的厚度)需要与定位部1100的厚度相同,或者形成为树脂波导1232较薄。
(第13实施方式)
接着,对本发明的第13实施方式进行说明。图30是发明的第13实施方式的相当于图14的H-H’线的剖面图。另外,在以下的说明中,对与上述第1实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。在上述第12实施方式中,对将本发明的定位部分割为一对定位部1100并配置在滑块2的背面2c的情况进行了说明,但是不限于此,两侧的定位部也可以在至少一部分连接。
具体而言,如图30所示,定位部1300具有与滑块2的背面2c(参照图28)的外形相同形状的薄板部1301,在该薄板部1301的X方向两侧形成有向Z方向鼓出的鼓出部1302。即,本实施方式的定位部1300的剖面形成为C字状,在鼓出部1302之间形成的槽作为光波导232的导向槽1303发挥功能。而且,在该导向槽1303的底部粘接固定光波导232。
另外,薄板部1301设于定位部1300的滑块2侧(图30的下侧),但是不限于此,薄板部1301也可以设于定位部1300的滑块2侧的相反侧(图30的上侧)。
根据该结构,除了发挥与上述实施方式相同的效果以外,与第12实施方式那样分割构成定位部1100(参照图27)的情况相比,仅通过按照滑块2的外形来配置定位部1300的薄板部1301的背面,就能够对滑块2和定位部1300进行定位固定。由此,不需要进行鼓出部1302之间的位置对准等,所以,更加简单地进行定位部1300与滑块2的定位,光波导232与滑块2的位置对准和固定变得容易。
(第14实施方式)
接着,对本发明的第14实施方式进行说明。图31是本发明的第14实施方式的相当于图14的H-H’线的剖面图。另外,在以下的说明中,对与上述实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。在上述实施方式中,对朝向滑块2(参照图14)侧配置光波导232的平坦面250a的情况、即导向槽1303的底面与光波导232的平坦面250a抵接的情况进行了说明。
与此相对,在本实施方式中,如图31所示,光波导232的平坦面250a在朝向衬垫部17b(参照图14)侧配置的状态下被收纳在导向槽1303内。该情况下,平坦面250a与鼓出部1302的表面(衬垫部17b侧)配置成同一平面。
根据该结构,与上述第3实施方式同样,仅通过按照滑块2的外形来配置定位部1300的背面(薄板部1301的背面),就能够对滑块2和定位部1300进行定位固定。
而且,光波导232的平坦面250a与鼓出部1302的表面配置成同一平面,所以,定位部1300和光波导232与衬垫部17b的表面彼此抵接。即,在固定定位部1300和光波导232与衬垫部17b时,光波导232的平坦面250a也作为与衬垫部17b进行定位的定位部发挥功能。因此,能够容易且可靠地针对容易挠曲的衬垫部17b固定光波导232。
(第15实施方式)
接着,对本发明的第15实施方式进行说明。图32是本发明的第15实施方式的光波导的剖面图,图33是相当于图14的H-H’线的剖面图。另外,在以下的说明中,对与上述实施方式相同的结构标注相同的标号并省略说明。
如图32、33所示,本实施方式的光波导1432在包层134的外周面,形成有对在周向上相对的位置(图32中为Y方向)进行研磨后的平坦面1433、1434。光波导1432被收纳在导向槽1101内,以使平坦面1433、1434与定位部1100的表面和背面分别成为同一平面。
根据该结构,首先,在包层134的外周面形成平坦面1434,由此,与上述第4实施方式(参照图14)同样,镜面92a与点尺寸转换器40之间的边界面为平坦面。由此,能够调整光束L的出射角来优化针对滑块2的入射光的点形状,能够在点尺寸转换器40(参照图14)中高效地产生点光。
并且,光波导1432的平坦面1433、1434与定位部1100的两面配置成同一平面,所以,光波导1432的平坦面1433、1434与滑块2(参照图14)和衬垫部17b的表面彼此分别抵接。即,在滑块2上固定定位部1100和光波导1432后,在衬垫部17b上进行固定时,光波导1432的平坦面1433也作为与衬垫部17b进行定位的定位部发挥功能。因此,能够容易且可靠地针对容易挠曲的衬垫部17b固定光波导1432。
另外,本发明的技术范围不限于上述各实施方式,还包含在不脱离本发明主旨的范围内对上述实施方式施加各种变更后的实施方式。即,在上述实施方式中列举的结构等只不过是一例,能够适当变更。例如,能够适当组合来采用上述各实施方式。
并且,在上述实施方式中,以使滑块浮起的空气浮起类型的信息记录再现装置为例进行了说明,但是不限于该情况,只要与盘面相对配置,则盘与滑块也可以接触。即,本发明的滑块也可以是接触滑块类型的滑块。该情况下,也能够发挥相同的作用效果。
并且,在上述实施方式中,对仅在臂部的单面侧设有头悬架组件的结构进行了说明,但是,也可以构成为,以与各盘相对的方式在插入各盘之间的臂部的两面分别设置头悬架组件。该情况下,通过设于臂部的两面侧的头悬架组件的各滑块,能够进行与各滑块相对的盘面的信息的记录再现。即,能够通过1个臂部对2张盘的信息进行记录再现,所以,能够实现信息记录再现装置的记录容量的增加以及装置的小型化。
进而,在上述各实施方式中,将本发明的定位部作为与滑块2的上表面(XY平面)的外形相同的平板部(例如平板部50)进行了说明,但是不限于此,也可以形成为比平板部大,还可以形成为比平板部小。例如,也可以将平板部的宽度和光波导的宽度形成为大致相同的宽度。即,也可以在光波导的延长线上设置与该光波导的宽度大致相同的平板部。该情况下,将平板部的上下表面(与滑块2和衬垫部17b的粘接面)形成为平坦面,由此,针对滑块2的光波导的定位变得容易,能够提高制造效率。
产业上的可利用性
在滑块内容易地将光波导配置到点光产生元件,由此,能够降低加工成本和制造成本并提高制造效率。
标号说明
D:盘(记录介质);D1:盘面(记录介质的表面);1:信息记录再现装置;2:滑块;3:悬浮体;10:枢轴;11:支架;12:头悬架组件;14:臂部;17:悬架;17b:衬垫部(支承部);20:激光光源(光源);32、132、232、332、532、632、732、832、932、1032、1432:光波导;32a、132a、92a、292a:镜面;34:包层;35、635、735:芯部;50、150、250、350、550:平板部;60、160:滑块基板;40:点尺寸转换器(点光产生元件);91:GI光纤(渐变折射率光纤);92:没有包层的光纤;140:头波导(点光产生元件);250a:平坦面;270:镜基板;501:连接部;801:隧道部;901、1001:应力施加部;1101、1303:导向槽。

Claims (19)

1.一种头悬架组件,该头悬架组件具有:悬浮体,其沿着记录介质的表面延伸设置,并且能够在厚度方向上挠曲变形;滑块,其以与所述记录介质的表面相对的方式配置在所述悬浮体的前端侧;支承部,其在中间隔着所述滑块的、所述记录介质的相反侧,在绕与所述记录介质的表面平行且彼此垂直的2个轴转动自如的状态下支承所述滑块;以及光波导,其与所述滑块连接,将从光源出射的光束导入所述滑块,
所述滑块具有由所述光束产生点光的点光产生元件,
通过所述点光在所述记录介质中记录信息,
所述头悬架组件的特征在于,
在所述支承部与所述滑块之间,配置有用于所述光波导与所述滑块的定位的具有平坦面的定位部,
所述光波导具有:芯部,其在全反射条件下引导从所述光源出射的所述光束;以及包层,其由折射率比所述芯部的折射率低的材料构成,与所述芯部密接而对所述芯部进行密封,
所述定位部与所述包层一体形成,
所述光波导的前端面是朝向所述点光产生元件反射被导入所述光波导内的所述光束的镜面,
在所述定位部的与所述滑块接触的接触面侧,且在所述镜面与所述点光产生元件之间,形成有使所述包层的外周面平面状露出的平坦面。
2.根据权利要求1所述的头悬架组件,其特征在于,
所述芯部的与该芯部的延伸方向垂直的截面的横向宽度和纵向宽度彼此不同。
3.根据权利要求1所述的头悬架组件,其特征在于,
沿着所述芯部的延伸方向在所述包层上形成隧道部。
4.根据权利要求1所述的头悬架组件,其特征在于,
所述光波导具有应力施加部,该应力施加部用于在与所述芯部的延伸方向垂直的方向上施加压缩应力。
5.根据权利要求4所述的头悬架组件,其特征在于,
以夹着所述芯部的两侧的方式配置所述应力施加部。
6.根据权利要求4所述的头悬架组件,其特征在于,
所述应力施加部配置在所述包层的表面。
7.根据权利要求1所述的头悬架组件,其特征在于,
所述定位部是平板部。
8.根据权利要求7所述的头悬架组件,其特征在于,
所述平板部的侧面中的至少一部分与所述滑块的侧面中的至少一部分为同一平面。
9.根据权利要求8所述的头悬架组件,其特征在于,
所述平板部的宽度比所述光波导的宽度宽。
10.根据权利要求7所述的头悬架组件,其特征在于,
所述头悬架组件还具有连接部,该连接部连接所述平板部和所述光波导,
所述连接部随着从所述平板部朝向所述光波导,所述连接部的截面形状减小。
11.一种头悬架组件,该头悬架组件具有:悬浮体,其沿着记录介质的表面延伸设置,并且能够在厚度方向上挠曲变形;滑块,其以与所述记录介质的表面相对的方式配置在所述悬浮体的前端侧;支承部,其在中间隔着所述滑块的、所述记录介质的相反侧,在绕与所述记录介质的表面平行且彼此垂直的2个轴转动自如的状态下支承所述滑块;以及光波导,其与所述滑块连接,将从光源出射的光束导入所述滑块,
所述滑块具有由所述光束产生点光的点光产生元件,
通过所述点光在所述记录介质中记录信息,
所述头悬架组件的特征在于,
在所述支承部与所述滑块之间,配置有用于所述光波导与所述滑块的定位的具有平坦面的定位部,
所述光波导的至少一部分具有:芯部,其在全反射条件下引导从所述光源出射的所述光束;以及包层,其由折射率比所述芯部的折射率低的材料构成,与所述芯部密接而对所述芯部进行密封,
在所述包层的外周面,以覆盖所述包层的方式,与所述包层分体地设置所述定位部,
所述平坦面的至少一部分属于所述光波导,并且,与所述滑块和所述支承部中的至少一方相对。
12.根据权利要求11所述的头悬架组件,其特征在于,
所述定位部具有收纳所述光波导的导向槽,
所述光波导在所述导向槽内被引导到所述点光产生元件。
13.根据权利要求11或12所述的头悬架组件,其特征在于,
所述光波导的至少一部分包含渐变折射率光纤。
14.根据权利要求13所述的头悬架组件,其特征在于,
所述光波导的至少一部分利用其整体来传播光束。
15.根据权利要求11所述的头悬架组件,其特征在于,
所述定位部是平板部。
16.根据权利要求15所述的头悬架组件,其特征在于,
所述平板部的侧面中的至少一部分与所述滑块的侧面中的至少一部分为同一平面。
17.根据权利要求16所述的头悬架组件,其特征在于,
所述平板部的宽度比所述光波导的宽度宽。
18.根据权利要求15所述的头悬架组件,其特征在于,
所述头悬架组件还具有连接部,该连接部连接所述平板部和所述光波导,
所述连接部随着从所述平板部朝向所述光波导,所述连接部的截面形状减小。
19.一种信息记录再现装置,其特征在于,该信息记录再现装置具有:
权利要求1或11所述的头悬架组件;
在固定方向上旋转的磁记录介质;
光源,其出射光束,以对所述磁记录介质进行加热;
枢轴,其配置在所述磁记录介质的外侧;以及
支架,其能够绕所述枢轴转动,并且,具有支承所述头悬架组件的臂部。
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