CN102087481A - 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 - Google Patents
一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102087481A CN102087481A CN 201010599705 CN201010599705A CN102087481A CN 102087481 A CN102087481 A CN 102087481A CN 201010599705 CN201010599705 CN 201010599705 CN 201010599705 A CN201010599705 A CN 201010599705A CN 102087481 A CN102087481 A CN 102087481A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- holographic grating
- grating
- light
- spatial filter
- exposure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
Description
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010105997051A CN102087481B (zh) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010105997051A CN102087481B (zh) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102087481A true CN102087481A (zh) | 2011-06-08 |
CN102087481B CN102087481B (zh) | 2012-06-13 |
Family
ID=44099334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2010105997051A Expired - Fee Related CN102087481B (zh) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102087481B (zh) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103698835A (zh) * | 2013-12-17 | 2014-04-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法 |
CN105954977A (zh) * | 2016-07-08 | 2016-09-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 全息光栅制作装置、曝光干涉条纹相位稳定装置及方法 |
CN108415110A (zh) * | 2018-02-09 | 2018-08-17 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种平面全息光栅扫描曝光装置 |
CN108469643A (zh) * | 2018-02-09 | 2018-08-31 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种平面全息光栅扫描曝光装置的调试方法 |
CN108761603A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-11-06 | 苏州大学 | 一种制作平行等间距条纹全息光栅的光刻系统 |
CN108761602A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-11-06 | 苏州大学 | 一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01172903A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回折格子形成装置 |
JPH0572959A (ja) * | 1991-09-17 | 1993-03-26 | Fujitsu Ltd | ホログラム描画装置 |
CN1737612A (zh) * | 2005-09-08 | 2006-02-22 | 上海交通大学 | 光栅应变花的制作方法 |
CN101082480A (zh) * | 2006-06-02 | 2007-12-05 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 凹面光栅制作光路中测量波源点与毛坯中心点距离的方法 |
CN101726778A (zh) * | 2009-11-05 | 2010-06-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 凹面全息光栅制作中光栅基底的双光束定位方法 |
-
2010
- 2010-12-22 CN CN2010105997051A patent/CN102087481B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01172903A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回折格子形成装置 |
JPH0572959A (ja) * | 1991-09-17 | 1993-03-26 | Fujitsu Ltd | ホログラム描画装置 |
CN1737612A (zh) * | 2005-09-08 | 2006-02-22 | 上海交通大学 | 光栅应变花的制作方法 |
CN101082480A (zh) * | 2006-06-02 | 2007-12-05 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 凹面光栅制作光路中测量波源点与毛坯中心点距离的方法 |
CN101726778A (zh) * | 2009-11-05 | 2010-06-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 凹面全息光栅制作中光栅基底的双光束定位方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103698835A (zh) * | 2013-12-17 | 2014-04-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法 |
CN103698835B (zh) * | 2013-12-17 | 2015-10-28 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法 |
CN105954977A (zh) * | 2016-07-08 | 2016-09-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 全息光栅制作装置、曝光干涉条纹相位稳定装置及方法 |
CN108415110A (zh) * | 2018-02-09 | 2018-08-17 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种平面全息光栅扫描曝光装置 |
CN108469643A (zh) * | 2018-02-09 | 2018-08-31 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种平面全息光栅扫描曝光装置的调试方法 |
CN108415110B (zh) * | 2018-02-09 | 2019-12-17 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种平面全息光栅扫描曝光装置 |
CN108761603A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-11-06 | 苏州大学 | 一种制作平行等间距条纹全息光栅的光刻系统 |
CN108761602A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-11-06 | 苏州大学 | 一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法 |
CN108761603B (zh) * | 2018-05-22 | 2020-06-16 | 苏州大学 | 一种制作平行等间距条纹全息光栅的光刻系统 |
CN108761602B (zh) * | 2018-05-22 | 2020-06-16 | 苏州大学 | 一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102087481B (zh) | 2012-06-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102087481B (zh) | 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 | |
CN104034279B (zh) | 一种利用小孔衍射波面拼接测量面形的检测装置及方法 | |
CN102128600B (zh) | 一种利用激光测量透镜曲率半径的方法及其装置 | |
CN102087480B (zh) | 一种平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 | |
CN103777467B (zh) | 一种套刻误差测量装置及方法 | |
KR20120077330A (ko) | 패턴드 유리기판 투과율 측정장치 | |
CN108761602B (zh) | 一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法 | |
CN102901463B (zh) | 轴锥镜面形的测量装置和测量方法 | |
CN105278253B (zh) | 套刻误差测量装置及方法 | |
KR20130084863A (ko) | 투과율 측정 장치 | |
CN102759332A (zh) | 散射计量装置及其计量方法 | |
CN103792795A (zh) | 以光纤作为空间滤波器与扩束器的激光干涉微影设备 | |
CN103134600A (zh) | 一种自相关仪 | |
TWI647448B (zh) | 用於晶圓檢測之基於透鏡陣列之照明 | |
CN103245487A (zh) | 一种测试透射光栅绝对衍射效率的方法 | |
CN101819323B (zh) | 一种调整洛艾镜装置中洛艾镜与光栅基底垂直度的方法 | |
CN104777718A (zh) | 一种大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法 | |
CN101441431B (zh) | 全息光栅制作中实时监测曝光量的方法 | |
CN101216610A (zh) | 空间滤波器光路准直的调整装置及调整方法 | |
WO2019222909A1 (zh) | 一种全息光栅光刻系统及其干涉光路自准直的调节方法 | |
CN101408680A (zh) | 四程放大系统远场监视装置及其准直方法 | |
CN103064140B (zh) | 全息变间距光栅曝光光路的装调方法 | |
LI AW et al. | Research progress of optical fiber Fabry-Perot interferometer high temperature sensors | |
JP5821092B2 (ja) | 照度分布測定装置及び照度分布測定方法 | |
Leiner et al. | A simulation procedure interfacing ray-tracing and finite-difference time-domain methods for a combined simulation of diffractive and refractive optical elements |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C53 | Correction of patent of invention or patent application | ||
CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Tang Yuguo Inventor after: Kong Peng Inventor after: Li Wenhao Inventor after: Bayin Hexige Inventor after: Qi Xiangdong Inventor before: Kong Peng Inventor before: Li Wenhao Inventor before: Bayin Hexige Inventor before: Tang Yuguo Inventor before: Qi Xiangdong |
|
COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: INVENTOR; FROM: KONG PENG LI WENHAO BAYIN HEXIGE TANG YUGUO QI XIANGDONG TO: TANG YUGUO KONG PENG LI WENHAO BAYIN HEXIGE QI XIANGDONG |
|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120613 Termination date: 20131222 |