CN102017013A - 用于光伏电池的导体:包含亚微米颗粒的组合物 - Google Patents
用于光伏电池的导体:包含亚微米颗粒的组合物 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102017013A CN102017013A CN2009801155914A CN200980115591A CN102017013A CN 102017013 A CN102017013 A CN 102017013A CN 2009801155914 A CN2009801155914 A CN 2009801155914A CN 200980115591 A CN200980115591 A CN 200980115591A CN 102017013 A CN102017013 A CN 102017013A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- composition
- submicron particles
- roasting
- thick film
- dielectric film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 116
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 45
- 239000004020 conductor Substances 0.000 title claims description 30
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 56
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 33
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 30
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 22
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 14
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 13
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 11
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 10
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 9
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 7
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 6
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce] ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 6
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 6
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 6
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 6
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 6
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011135 tin Substances 0.000 claims description 6
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 5
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000002902 bimodal effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 9
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 40
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 13
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 12
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 8
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 7
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 5
- IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N hexadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- -1 alcohol ester Chemical class 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 102220035083 rs199475898 Human genes 0.000 description 3
- 102220076495 rs200649587 Human genes 0.000 description 3
- 102220043159 rs587780996 Human genes 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentane-2,4-diol Chemical compound CC(O)CC(C)(C)O SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical group CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000021314 Palmitic acid Nutrition 0.000 description 2
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000004110 Zinc silicate Substances 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-N decanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCC(O)=O GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N n-Pentadecanoic acid Natural products CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- XSMMCTCMFDWXIX-UHFFFAOYSA-N zinc silicate Chemical group [Zn+2].[O-][Si]([O-])=O XSMMCTCMFDWXIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000019352 zinc silicate Nutrition 0.000 description 2
- WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N (E)-8-Octadecenoic acid Natural products CCCCCCCCCC=CCCCCCCC(O)=O WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-SECBINFHSA-N (S)-(-)-alpha-terpineol Chemical compound CC1=CC[C@@H](C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-SECBINFHSA-N 0.000 description 1
- RUJPNZNXGCHGID-UHFFFAOYSA-N (Z)-beta-Terpineol Natural products CC(=C)C1CCC(C)(O)CC1 RUJPNZNXGCHGID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWJNQYPJQDRXPH-UHFFFAOYSA-N 2-cyanobenzohydrazide Chemical compound NNC(=O)C1=CC=CC=C1C#N TWJNQYPJQDRXPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXDLWJWIAHWIKI-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCO HXDLWJWIAHWIKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 20:1omega9c fatty acid Natural products CCCCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 9-Heptadecensaeure Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016569 AlF 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005632 Capric acid (CAS 334-48-5) Substances 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010013786 Dry skin Diseases 0.000 description 1
- 229920000896 Ethulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001859 Ethyl hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- OYHQOLUKZRVURQ-HZJYTTRNSA-N Linoleic acid Chemical compound CCCCC\C=C/C\C=C/CCCCCCCC(O)=O OYHQOLUKZRVURQ-HZJYTTRNSA-N 0.000 description 1
- 235000021360 Myristic acid Nutrition 0.000 description 1
- TUNFSRHWOTWDNC-UHFFFAOYSA-N Myristic acid Natural products CCCCCCCCCCCCCC(O)=O TUNFSRHWOTWDNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005642 Oleic acid Substances 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N Oleic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPYPAHLBTDXSSS-UHFFFAOYSA-N Potassium ion Chemical compound [K+] NPYPAHLBTDXSSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- FKNQFGJONOIPTF-UHFFFAOYSA-N Sodium cation Chemical compound [Na+] FKNQFGJONOIPTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 238000013019 agitation Methods 0.000 description 1
- OVKDFILSBMEKLT-UHFFFAOYSA-N alpha-Terpineol Natural products CC(=C)C1(O)CCC(C)=CC1 OVKDFILSBMEKLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- DQUIAMCJEJUUJC-UHFFFAOYSA-N dibismuth;dioxido(oxo)silane Chemical compound [Bi+3].[Bi+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O DQUIAMCJEJUUJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-M dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC([O-])=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 235000019326 ethyl hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-M hexadecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940051250 hexylene glycol Drugs 0.000 description 1
- GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N hydron Chemical compound [H+] GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N isooleic acid Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCCC(O)=O QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003350 kerosene Substances 0.000 description 1
- 229940070765 laurate Drugs 0.000 description 1
- OYHQOLUKZRVURQ-IXWMQOLASA-N linoleic acid Natural products CCCCC\C=C/C\C=C\CCCCCCCC(O)=O OYHQOLUKZRVURQ-IXWMQOLASA-N 0.000 description 1
- 235000020778 linoleic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- 235000021313 oleic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 229910001414 potassium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000005389 semiconductor device fabrication Methods 0.000 description 1
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- QJVXKWHHAMZTBY-GCPOEHJPSA-N syringin Chemical compound COC1=CC(\C=C\CO)=CC(OC)=C1O[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](CO)O1 QJVXKWHHAMZTBY-GCPOEHJPSA-N 0.000 description 1
- 150000003505 terpenes Chemical class 0.000 description 1
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011345 viscous material Substances 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
- 229910052844 willemite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MXODCLTZTIFYDV-UHFFFAOYSA-L zinc;1,4a-dimethyl-7-propan-2-yl-2,3,4,4b,5,6,10,10a-octahydrophenanthrene-1-carboxylate Chemical compound [Zn+2].C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C([O-])=O.C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C([O-])=O MXODCLTZTIFYDV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
- H01B1/14—Conductive material dispersed in non-conductive inorganic material
- H01B1/16—Conductive material dispersed in non-conductive inorganic material the conductive material comprising metals or alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
- H01B1/20—Conductive material dispersed in non-conductive organic material
- H01B1/22—Conductive material dispersed in non-conductive organic material the conductive material comprising metals or alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Abstract
本发明的实施方案涉及硅半导体装置，以及用于太阳能电池装置的导电厚膜组合物。
Description
发明领域
本发明的实施方案涉及硅半导体装置，以及用于太阳能电池装置的导电厚膜组合物。
发明技术背景
具有p型基板的常规太阳能电池结构具有可位于电池正面(也称为光照面和受光面)的负极和可位于相对侧的正极。在半导体的p-n结上入射的合适波长的辐射充当在该半导体中产生空穴-电子对的外部能源。由于p-n结处存在电势差，因此空穴和电子以相反的方向跨过该结移动，从而产生能够向外部电路输送电力的电流。大部分太阳能电池为金属化的硅片形式，即，具有导电的金属触点。
需要具有改善的电气性能和制备方法的组合物、结构(例如半导体、太阳能电池或光电二极管结构)以及半导体装置(例如半导体、太阳能电池或光电二极管装置)。
发明概述
本发明的一个实施方案涉及组合物，所述组合物包含：(a)一种或多种导电材料；(b)一种或多种无机粘合剂；和(c)有机载体，其中1％至15％的无机组分为亚微米颗粒。在一个实施方案中，85％至99％的无机组分可具有1.5至10微米的d50。在一个实施方案中，一种或多种导电材料可包括银。在一个实施方案中，一部分银包含亚微米颗粒。在一个实施方案中，亚微米颗粒具有0.1至1微米的d50。在一个实施方案中，亚微米颗粒具有0.1至0.6微米的d50。在一个实施方案中，该颗粒具有双峰粒度分布。
组合物可包含一种或多种添加剂，所述添加剂选自：(a)金属，其中所述金属选自锌、铅、铋、钆、铈、锆、钛、锰、锡、钌、钴、铁、铜和铬；(b)一种或多种金属的金属氧化物，所述一种或多种金属选自锌、铅、铋、钆、铈、锆、钛、锰、锡、钌、钴、铁、铜和铬；(c)在焙烧时能够生成(b)的金属氧化物的任何化合物；以及(d)它们的混合物。在一个实施方案中，添加剂可包括ZnO或在焙烧时形成ZnO的化合物。在一个实施方案中，ZnO和/或无机粘合剂可包括亚微米颗粒。ZnO可占总组合物的2至10重量％。玻璃料可占总组合物的1至6重量％。导电材料可包括银。银可占组合物中固体的90至99重量％。在一个实施方案中，无机组分可占总组合物的70至95重量％。
另一个实施方案涉及一种制造半导体装置的方法，所述方法包括以下步骤：(a)提供半导体基板、一个或多个绝缘膜、和本文所述的厚膜组合物；(b)将绝缘膜施加到半导体基板上；(c)将厚膜组合物施加到半导体基板的绝缘膜上，以及(d)焙烧半导体、绝缘膜和厚膜组合物。在一个方面，绝缘膜可包括一种或多种组分，所述组分选自：氧化钛、氮化硅、SiNx:H、氧化硅、和氧化硅/氧化钛。
另一个实施方案涉及用本文所述方法制造的半导体装置。一个方面涉及包括电极的半导体装置，其中电极在焙烧之前包括本文所述组合物。一个实施方案涉及包括半导体装置的太阳能电池。
一个实施方案涉及包括半导体基板、绝缘膜和正面电极的半导体装置，其中正面电极包含一种或多种组分，所述组分选自硅酸锌、硅锌矿和硅酸铋。
附图简述
图1为示出半导体装置制造过程的工艺流程图。
图1中所示的附图标号说明如下。
10：p型硅基板
20：n型扩散层
30：氮化硅膜、氧化钛膜或氧化硅膜
40：p+层(背表面场，BSF)
60：背面上形成的铝浆
61：铝背面电极(通过烧制背面铝浆获得)
70：背面上形成的银浆或银/铝浆
71：银背面电极或银/铝背面电极(通过烧制背面银浆获得)
500：根据本发明在正面上形成的银浆
501：根据本发明的银正面电极(通过焙烧正面银浆获得)
发明详述
需要具有更高效率的改善的太阳能电池。需要适于形成具有更高的高度的狭窄导线的导电组合物。本发明的一个方面涉及包含亚微米颗粒的组合物。这些组合物可为厚膜组合物。这些组合物可用于形成太阳能电池的电极。该电极可位于太阳能电池正面。在一个实施方案中，电极导线可为狭窄的并具有更高的高度。
如本文所用，“厚膜组合物”是指在焙烧到基板上之后具有1至100微米厚度的组合物。厚膜组合物可包含导电材料、玻璃组合物和有机载体。厚膜组合物可包含附加组分。如本文所用，附加组分称为“添加剂”。
本文所述的组合物包含分散在有机介质内的一种或多种电功能性材料和一种或多种玻璃料。这些组合物可为厚膜组合物。这些组合物也可包含一种或多种添加剂。示例性添加剂可包括金属、金属氧化物、或任何在焙烧时能够生成这些金属氧化物的化合物。
在一个实施方案中，电功能粉可为导电粉。在一个实施方案中，组合物例如导电性组合物可在半导体装置中使用。在该实施方案的一个方面，半导体装置可为太阳能电池或光电二极管。在该实施方案的另一个方面，半导体装置可为多种半导体装置中的一种。在一个实施方案中，半导体装置可为太阳能电池。
在一个实施方案中，本文所述厚膜组合物可用于太阳能电池中。在该实施方案的一个方面，太阳能电池的效率可以比基准太阳能电池的效率高70％。在另一个实施方案中，太阳能电池的效率可以比基准太阳能电池的效率高80％。太阳能电池的效率可以比基准太阳能电池的高90％。
在一个实施方案中，厚膜组合物中的有机介质与分散体中的无机组分的比率可取决于施加浆料的方法和所用有机介质的类型，具体由本领域的技术人员确定。在一个实施方案中，为获得良好的润湿，分散体可包含70至95重量％的无机组分和5至30重量％的有机介质(载体)。
在一个实施方案中，无机组分的一部分可为亚微米颗粒。在该实施方案的一个方面，亚微米颗粒可具有0.1至1微米的d50。在另一个方面，亚微米颗粒可具有0.1至0.8微米的d50。在另一个方面，亚微米颗粒可具有0.2至0.6微米的d50。
在一个实施方案中，亚微米颗粒可占组合物的1至15重量％。在另一个实施方案中，亚微米颗粒可占组合物的2至10重量％。在另一个实施方案中，亚微米颗粒可占组合物的3至6重量％。
在一个实施方案中，亚微米颗粒可包括一部分导电材料。在一个方面，1至15重量％的导电材料可为亚微米颗粒。在另一个方面，2至10重量％的导电材料可为亚微米颗粒。在另一个方面，3至6重量％的导电组合物可为亚微米颗粒。
在一个实施方案中，组合物的一部分可具有1.5至10微米的d50。在该实施方案的一个方面，组合物的85至99重量％的无机组分可具有1.5至10微米的d50。在该实施方案的一个方面，组合物的一部分可具有2.0至7.0微米的d50。在该实施方案的一个方面，组合物的一部分可具有2.5至5.0微米的d50。
在另一个方面，导电材料可包括银。在一个方面，50至100重量％的导电材料可为银。在另一个方面，70至99重量％、70至98重量％、或80至95重量％的导电材料可为银。
玻璃料
在本发明的一个方面，组合物包含玻璃料组合物。可用于本发明的玻璃料组合物是本领域的技术人员易于识别的。例如，可使用在用于制备正面太阳能电池电极的组合物中可用的玻璃料组合物。示例性玻璃料组合物包括硼硅酸铅玻璃。在一个实施方案中，可用于本发明的玻璃料组合物可包含20至24重量％SiO2、0.2至0.8重量％Al2O3、40至60重量％PbO、以及5至8重量％B2O3。在一个实施方案中，玻璃料组合物也可任选地包含3至7重量％TiO2。在一个实施方案中，玻璃料组合物也可任选地包含一种或多种含氟组分，包括但不限于：氟的盐、氟化物、金属氟氧化物化合物等。此类含氟组分包括但不限于PbF2、BiF3、AlF3、NaF、LiF、KF、CsF、ZrF4、TiF4和/或ZnF2。在一个实施方案中，玻璃料组合物可包含8至13重量％PbF2。
在该实施方案的另一个方面，厚膜组合物可包含分散在有机介质内的电功能粉和玻璃陶瓷料。在一个实施方案中，这些厚膜导体组合物可用于半导体装置中。在该实施方案的一个方面，半导体装置可为太阳能电池或光电二极管。
导电材料
在一个实施方案中，厚膜组合物可包括赋予组合物适当电功能性质的功能相。在一个实施方案中，电功能粉可为导电粉。在一个实施方案中，电功能相可包括导电材料(本文也称之为导电颗粒)。例如，导电颗粒可包括导电粉、导电薄片、或它们的混合物。
在一个实施方案中，导电颗粒可包括银。在另一个实施方案中，导电颗粒可包括银(Ag)和铝(Al)。在另一个实施方案中，导电颗粒可包括例如下列一种或多种：铜、金、银、钯、铂、铝、银-钯、铂-金等。在一个实施方案中，导电颗粒可包括下列一种或多种：(1)铝、铜、金、银、钯和铂；(2)铝、铜、金、银、钯和铂的合金；以及(3)它们的混合物。
在一个实施方案中，组合物的功能相可包括涂覆的或未涂覆的导电银粒子。在涂覆银粒子的一个实施方案中，它们至少部分地涂覆有表面活性剂。在一个实施方案中，表面活性剂可包括下列一种或多种非限制性表面活性剂：硬脂酸、棕榈酸、硬脂酸盐、棕榈酸盐、月桂酸、棕榈酸、油酸、硬脂酸、癸酸、肉豆蔻酸和亚油酸、以及它们的混合物。抗衡离子可为但不限于氢离子、铵离子、钠离子、钾离子、以及它们的混合物。
在一个实施方案中，银可占浆料组合物的60至90重量％。在另一个实施方案中，银可占浆料组合物的70至85重量％。在另一个实施方案中，银可占浆料组合物的75至85重量％。在另一个实施方案中，银可占浆料组合物的78至82重量％。
在一个实施方案中，银可占组合物中固体(即不包括有机载体)的90至99重量％。在另一个实施方案中，银可占组合物中固体的92至97重量％。在另一个实施方案中，银可占组合物中固体的93至95重量％。
如本文所用，“粒度”旨在表示“平均粒度”，“平均粒度”是指50％体积分布粒度。体积分布粒度可通过本领域的技术人员理解的许多方法确定，包括但不限于使用Microtrac粒度分析仪的激光衍射和分散方法。
在一个实施方案中，导电材料的一部分可为亚微米颗粒。在该实施方案的一个方面，亚微米颗粒可具有0.1至1微米的d50。在另一个方面，亚微米颗粒可具有0.1至0.8微米的d50。在另一个方面，亚微米颗粒可具有0.2至0.6微米的d50。
在一个实施方案中，1至15重量％的导电材料可为亚微米颗粒。在另一个方面，2至10重量％的导电材料可为亚微米颗粒。在另一个方面，3至6重量％的导电组合物可为亚微米颗粒。
在一个实施方案中，导电材料的一部分可具有1.5至10微米的d50。在该实施方案的一个方面，85至99重量％的导电材料可具有1.5至10微米的d50。在该实施方案的一个方面，导电材料的一部分可具有2.0至7.0微米的d50。在该实施方案的一个方面，导电材料的一部分可具有2.5至5.0微米的d50。
添加剂
在一个实施方案中，厚膜组合物可包含一种或多种添加剂。在一个实施方案中，添加剂可选自以下一种或多种：(a)金属，其中所述金属选自锌、铅、铋、钆、铈、锆、钛、锰、锡、钌、钴、铁、铜和铬；(b)一种或多种金属的金属氧化物，所述一种或多种金属选自锌、铅、铋、钆、铈、锆、钛、锰、锡、钌、钴、铁、铜和铬；(c)在焙烧时能够生成(b)的金属氧化物的任何化合物；以及(d)它们的混合物。
在一个实施方案中，添加剂可包括含锌添加剂。含锌添加剂可包括以下一种或多种：(a)锌，(b)锌的金属氧化物，(c)在焙烧时能够生成锌的金属氧化物的任何化合物，以及(d)它们的混合物。在一个实施方案中，含锌添加剂可包括树脂酸锌。
在一个实施方案中，含锌添加剂可包括ZnO。在一个实施方案中，ZnO的一部分可包括亚微米颗粒。
在一个实施方案中，ZnO可以总组合物的2至10重量％的范围存在于组合物中。在一个实施方案中，ZnO可以总组合物的3至7重量％的范围存在。在一个实施方案中，ZnO可以总组合物的4至6重量％的范围存在。
有机介质
在一个实施方案中，本文所述厚膜组合物可包含有机介质。无机组分可通过例如机械搅拌与有机介质混合以形成浆料。可将多种惰性粘稠材料用作有机介质。在一个实施方案中，有机介质可使得无机组分能够以适当的稳定度在其中分散。在一个实施方案中，介质的流变学特性可赋予组合物某些应用特性，包括：固体物质的稳定分散性、适合于丝网印刷的粘度和触变性、基板与浆料固体物质的合适的可润湿性、良好的干燥速率、以及良好的焙烧性能。在一个实施方案中，厚膜组合物中所用有机载体可为非水性惰性液体。可以想到使用多种有机载体，所述载体可包含或不包含增稠剂、稳定剂和/或其他常用添加剂。有机介质可为一种或多种聚合物在一种或多种溶剂中的溶液。在一个实施方案中，有机介质也可包括一种或多种组分，例如表面活性剂。在一个实施方案中，聚合物可为乙基纤维素。其他示例性聚合物包括乙基羟乙基纤维素、木松香、乙基纤维素和酚醛树脂的混合物、低级醇的聚甲基丙烯酸酯、以及乙二醇单乙酸酯的单丁基醚、或它们的混合物。在一个实施方案中，在一个实施方案中，本文所述的厚膜组合物中可用的溶剂包括醇酯和萜烯，例如α或β萜品醇或它们与其他溶剂例如煤油、邻苯二甲酸二丁酯、丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯、己二醇和高沸点醇以及醇酯的混合物。在另一个实施方案中，有机介质可包括挥发性液体，该液体在施加到基板上后有助于快速硬化。
在一个实施方案中，聚合物可以总组合物的例如8重量％至11重量％范围内的比例存在于有机介质中。可使用有机介质将厚膜银组合物调整为预定的、可进行丝网印刷的粘度。
焙烧的厚膜组合物
在一个实施方案中，可在干燥和焙烧半导体装置过程中移除有机介质。在一个方面，可在焙烧过程中将玻璃料、银和添加剂烧结以形成电极。焙烧电极可包括焙烧和烧结过程产生的组分、组合物等。
在该实施方案的一个方面，半导体装置可为太阳能电池或光电二极管。
半导体装置的制备方法
一个实施方案涉及半导体装置的制备方法。在一个实施方案中，半导体装置可用于太阳能电池装置中。半导体装置可包括正面电极，其中在焙烧之前正面(受光面)电极可包括本文所述组合物。
在一个实施方案中，制备半导体装置的方法包括以下步骤：(a)提供半导体基板；(b)将绝缘膜施加到半导体基板上；(c)将本文所述的组合物施加到绝缘膜上；以及(d)焙烧该装置。
可用于本文所述方法和装置中的示例性半导体基板是本领域技术人员认识的并且包括但不限于：单晶硅、多晶硅、带状硅等。半导体基板可以是承载结点的。半导体基板可掺入磷和硼以形成p/n结。半导体基板的掺杂方法是本领域技术人员所了解的。
如本领域技术人员所知的，半导体基板的尺寸(长度×宽度)和厚度可以变化。在一个非限制性实例中，半导体基板的厚度可为50至500微米、100至300微米、或140至200微米。在一个非限制性实例中，半导体基板的长度和宽度均可为100至250mm、125至200mm、或125至156mm。
可用于本文所述方法和装置中的示例性绝缘膜是本领域技术人员认识的并且包括但不限于：氮化硅、氧化硅、氧化钛、SiNx:H、氢化非晶氮化硅和氧化硅/氧化钛膜。绝缘膜可通过等离子体增强化学气相沉积、化学气相沉积和/或本领域技术人员已知的其他技术形成。在绝缘膜为氮化硅的一个实施方案中，氮化硅膜可通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、热化学气相沉积或物理气相沉积(PVD)工艺形成。在绝缘膜为氧化硅的一个实施方案中，氧化硅膜可通过热氧化、热化学气相沉积、等离子化学气相沉积或物理气相沉积形成。绝缘膜(或层)也可称为减反射涂层(ARC)。
本文所述组合物可通过本领域技术人员已知的多种方法施加到涂覆ARC的半导体基板上，所述方法包括但不限于丝网印刷、喷墨、共挤出、注射器分配、直接描绘和气溶胶喷墨。在一个实施方案中，可使用美国专利申请公布2003/0100824中描述的方法和装置将组合物施加到基板上，据此该专利以引用方式并入本文中。可将组合物施加成图案。可将组合物在预定位置施加成预定形状。在一个实施方案中，可用组合物形成正面电极的导电指状物和母线。在一个实施方案中，导电指状物的导线宽度可为10至200微米、40至150微米、或60至100微米。在一个实施方案中，导电指状物的导线宽度可为10至100微米、15至80微米、或20至75微米。在一个实施方案中，导电指状物的导线厚度可为5至50微米、10至35微米、或15至30微米。在另一个实施方案中，可用组合物形成导电性硅接触指状物。
如本领域技术人员所知，可将涂覆ARC的半导体基板上涂覆的组合物干燥例如0.5至10分钟，然后再焙烧。在一个实施方案中，可在干燥过程中移除挥发性溶剂和有机物。焙烧条件为本领域的技术人员所了解的。在示例的非限制性焙烧条件中，硅片基板被加热至介于600和900℃之间的最高温度，持续时间为1秒至2分钟。在一个实施方案中，焙烧过程中达到的硅片最高温度在650至800℃之间的范围内，持续时间为1至10秒。在另一个实施方案中，由导电厚膜组合物形成的电极可在由氧气与氮气的混合气体构成的气氛中进行焙烧。该焙烧方法移除有机介质并烧结导电厚膜组合物中含有银粉的玻璃料。在另一个实施方案中，由导电厚膜组合物形成的电极可在有机介质移除温度以上在不含氧气的惰性气氛中焙烧。该焙烧方法烧结或熔融厚膜组合物内的贱金属导电材料，例如铜。
在一个实施方案中，焙烧过程中，被焙烧的电极(优选指状物)可与绝缘膜反应并穿透绝缘膜，从而与硅基板之间形成电接触。
在另一个实施方案中，焙烧之前，将其他导电性装置增强材料施加到半导体装置的反型区域，并与本文所述组合物一起焙烧或依次焙烧。半导体装置的反型区域位于该装置的相对侧。该材料充当电接触、钝化层和可软焊固定区域。
在一个实施方案中，反型区域可位于该装置的非受光面(背面)。在该实施方案的一个方面，背面导电材料可包含铝。示例性背面含铝组合物和施加方法在例如US 2006/0272700中有所描述，据此该专利以引用方式并入本文中。
在另一个方面，可软焊固定材料可包含铝和银。含铝和银的示例性固定组合物在例如US 2006/0231803中有所描述，据此该专利以引用方式并入本文中。
在另一个实施方案中，由于p区和n区并排成形，施加到装置反型区域的材料邻近本文所述材料。该装置将金属接触材料全部设置在装置的非受光面(背面)，以最大限度增加受光面(正面)的入射光。
半导体装置可通过以下方法由结构元件制造，所述结构元件由承载结点的半导体基板和在其主表面上形成的氮化硅绝缘膜构成。制造半导体装置的方法包括以下步骤：将能够穿透绝缘膜的导电厚膜组合物以预定的形状并在预定位置施加(例如涂覆和印刷)到绝缘膜上，然后进行焙烧以便使导电厚膜组合物熔融并且穿透绝缘膜，从而形成与硅基板的电接触。导电厚膜组合物为厚膜浆料组合物，如本文所述，所述组合物由分散在有机载体中的银粉、含锌添加剂、具有300至600℃的软化点的玻璃或玻璃粉混合物、以及任选地附加的金属/金属氧化物添加剂制成。
本发明的一个实施方案涉及按本文所述方法制造的半导体装置。含本文所述组合物的装置可包含硅酸锌，如上所述。
本发明的一个实施方案涉及按上述方法制造的半导体装置。
可使用本文所述厚膜组合物的其他基板、装置、制造方法等在美国专利申请公布号US 2006/0231801、US 2006/0231804和US 2006/0231800中有所描述，据此这些专利以引用方式全文并入本文中。
实施例
通过在100℃下将聚合物溶解于有机溶剂中来制备有机介质。向有机介质中添加其他成分，包括银粉、玻璃料、氧化锌和其他添加剂。通过厚膜浆料制造业已知的三辊轧制方法分散所得混合物。形成表1所示组合物I、II和III。
将来自组合物I和II的浆料在印刷前通过Roki 40L-SHP-200XS囊式过滤器进行过滤。组合物III使用时不进行过滤。
室温下，使用nScrypt Inc制造的3D-450Smart PumpTM打印机和可重复使用的ID/OD 50/75μm陶瓷笔尖评估浆料。泵压介于10psi和100psi之间。打印速度介于200mm/s和300mm/s之间。笔尖和基板表面之间的间隙为150μm。
打印10组4英寸长的线，在150℃的烘箱内干燥20分钟，然后在峰值温度850℃的带式炉内焙烧2分钟。
表I：银浆组合物汇总
| 成分 | 组合物I | 组合物II | 组合物III |
| 银粉I | 81.05 | ||
| 银粉II | 81.05 | ||
| 银粉III | 81.05 | ||
| 玻璃料I | 2.5 | ||
| 玻璃料II | 2.5 | ||
| 玻璃料III | 2.5 |
| 氧化锌 | 5.5 | 5.5 | 5.5 |
| 有机介质 | 10.95 | 10.95 | 10.95 |
*按总组合物的重量％计
银粉I为球形和薄片形混合物，其粒度D10＝0.88微米，D50＝4.60微米，D95＝10.73微米。
银粉II为球形粉末，其粒度D10＝1.0微米，D50＝1.71微米，D95＝4.41微米，表面积为0.44m2/g。
银粉III为球形粉末，其粒度D10＝0.26微米，D50＝0.45微米，D95＝1.67微米，固体含量为99.5％。其表面积为1.0m2/g。
玻璃料I，按玻璃组合物的重量％计，包含SiO223.0％、Al2O30.4％、PbO 58.8％、以及B2O37.8％，其粒度D10＝0.36微米，D50＝0.61微米，D95＝1.44微米。
玻璃料II，按玻璃组合物的重量％计，包含SiO222.08％、Al2O30.38％、PbO 46.68％、B2O36.79％、TiO25.86％、PbF210.72％，其粒度D10＝0.42微米，D50＝0.77微米，D90＝1.96微米。
玻璃料III，按玻璃组合物的重量计，包含SiO222.08％、Al2O30.38％、PbO 46.68％、B2O36.79％、TiO25.86％、PbF210.72％，其粒度D10＝0.34微米，D50＝0.50微米，D95＝0.89微米。
氧化锌，购自Aldrich Chemicals。
实施例I：在泵压小于50psi的情况下，组合物I能够从50/75微米的笔尖中通过，在不到5分钟的时间内笔尖堵塞。所得最佳焙烧线宽83微米，高13微米。
实施例II：在泵压小于60psi的情况下，组合物I能够从75/125微米的笔尖中通过，在不到30分钟的时间内笔尖堵塞。所得最佳焙烧线宽100微米，高12微米。
实施例III：泵压在10psi至100psi范围内的情况下，组合物II能够从50/75微米的笔尖中通过，至少经过30分钟印刷才停止。所得最佳焙烧线宽89微米，高19微米。
实施例IV：泵压在10psi至80psi范围内的情况下，重量百分比比率为95.5比4.5的组合物II和组合物III的共混物能够从50/75微米的笔尖中通过，至少经过3小时印刷才停止。所得最佳焙烧线宽67微米，高25微米。
实施例V：在大于30psi的泵压下，组合物III无法穿过50/75微米的笔尖进行印刷。在30psi下，印刷持续不到5秒笔尖就出现堵塞。
实施例VI：在大于60psi的泵压下，组合物III无法穿过75/125微米的笔尖进行印刷。在60psi下，印刷持续不到5分钟笔尖就出现堵塞。
实施例VII：制备重量百分比比率在90比10至10比90的范围内的组合物II和组合物III的一系列共混物，并进行印刷。当组合物III大于30％时，50/75微米的笔尖在1分钟内堵塞。
实施例VIII：对上述印刷基质的效率进行分析。下面提供了示例性的效率测试。据预测，实施例IV的太阳能电池的效率高于其他实施例的太阳能电池的效率。
测试程序-效率
测试根据本文所述方法形成的太阳能电池的转换效率。下面提供了示例性的效率测试方法。
在一个实施方案中，将根据本文所述方法形成的太阳能电池放入测量效率的商用I-V测试仪(ST-1000)。用I-V测试仪中已知强度的氙弧灯模拟日光，并照射电池正面。
测试仪利用多点接触方法测量大约400负载电阻设置下的电流(I)和电压(V)以确定电池的电流-电压曲线。填充因数(FF)和效率(Eff)均由电流电压曲线计算。
Claims (15)
1.由下述方法制备的半导体装置，所述方法包括以下步骤：
(a)提供半导体基板、一个或多个绝缘膜、和厚膜组合物；
(b)将所述绝缘膜施加在所述半导体基板上，
(c)将所述厚膜组合物施加在所述半导体基板上的绝缘膜上，以及
(d)焙烧所述半导体、绝缘膜和厚膜组合物，其中所述厚膜组合物包含：
(i)一种或多种导电材料；
(ii)一种或多种无机粘合剂；和
(iii)有机载体；
其中1％至15％的所述无机组分为亚微米颗粒。
2.包括电极的半导体装置，其中所述电极在焙烧之前包含组合物，所述组合物包含：
(a)一种或多种导电材料；
(b)一种或多种无机粘合剂；和
(c)有机载体，
其中1％至15％的所述无机组分为亚微米颗粒。
3.权利要求2的装置，其中85％至99％的所述无机组分具有1.5至10微米的d50。
4.权利要求2的装置，其中所述一种或多种导电材料包含银。
5.权利要求4的装置，其中所述亚微米颗粒包含银。
6.权利要求2的装置，其中所述亚微米颗粒具有0.1至1微米的d50。
7.权利要求2的装置，其中所述亚微米颗粒具有0.1至0.6微米的d50。
8.权利要求2的装置，其中所述无机组分具有双峰粒度分布。
9.权利要求2的装置，其中所述厚膜组合物还包含一种或多种添加剂。
10.权利要求9的装置，其中所述一种或多种添加剂包含选自下列的组分：(a)金属，其中所述金属选自锌、铅、铋、钆、铈、锆、钛、锰、锡、钌、钴、铁、铜和铬；(b)一种或多种金属的金属氧化物，所述一种或多种金属选自锌、铅、铋、钆、铈、锆、钛、锰、锡、钌、钴、铁、铜和铬；(c)在焙烧时能够生成(b)的金属氧化物的任何化合物；以及(d)它们的混合物。
11.权利要求10的装置，其中所述一种或多种无机添加剂包括ZnO。
12.权利要求5的装置，其中所述亚微米颗粒还包含ZnO和无机粘合剂。
13.权利要求2的装置，所述装置还包括绝缘膜和半导体基板。
14.包括权利要求2的半导体装置的太阳能电池。
15.权利要求13的装置，其中所述绝缘膜包括选自下列的一种或多种组分：氧化钛、氮化硅、SiNx:H、氧化硅、和氧化硅/氧化钛。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US5660208P | 2008-05-28 | 2008-05-28 | |
| US61/056,602 | 2008-05-28 | ||
| PCT/US2009/045412 WO2009146356A1 (en) | 2008-05-28 | 2009-05-28 | Conductors for photovoltaic cells: compositions containing submicron particles |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102017013A true CN102017013A (zh) | 2011-04-13 |
Family
ID=40934860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2009801155914A Pending CN102017013A (zh) | 2008-05-28 | 2009-05-28 | 用于光伏电池的导体:包含亚微米颗粒的组合物 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP2286417A1 (zh) |
| JP (1) | JP2011522423A (zh) |
| KR (1) | KR20110014676A (zh) |
| CN (1) | CN102017013A (zh) |
| TW (1) | TW201013699A (zh) |
| WO (1) | WO2009146356A1 (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012044281A1 (en) * | 2010-09-28 | 2012-04-05 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Conductive paste for solar cell electrode |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1395259A (zh) * | 2001-06-28 | 2003-02-05 | 住友电木株式会社 | 导电糊剂和使用该糊剂制备的半导体装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7556748B2 (en) * | 2005-04-14 | 2009-07-07 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method of manufacture of semiconductor device and conductive compositions used therein |
| US7435361B2 (en) * | 2005-04-14 | 2008-10-14 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Conductive compositions and processes for use in the manufacture of semiconductor devices |
-
2009
- 2009-05-28 JP JP2011511805A patent/JP2011522423A/ja not_active Withdrawn
- 2009-05-28 EP EP09755717A patent/EP2286417A1/en not_active Withdrawn
- 2009-05-28 WO PCT/US2009/045412 patent/WO2009146356A1/en active Application Filing
- 2009-05-28 KR KR1020107029441A patent/KR20110014676A/ko not_active Application Discontinuation
- 2009-05-28 CN CN2009801155914A patent/CN102017013A/zh active Pending
- 2009-06-01 TW TW98118099A patent/TW201013699A/zh unknown
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1395259A (zh) * | 2001-06-28 | 2003-02-05 | 住友电木株式会社 | 导电糊剂和使用该糊剂制备的半导体装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2009146356A1 (en) | 2009-12-03 |
| TW201013699A (en) | 2010-04-01 |
| JP2011522423A (ja) | 2011-07-28 |
| EP2286417A1 (en) | 2011-02-23 |
| KR20110014676A (ko) | 2011-02-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100837994B1 (ko) | 전도성 조성물 및 반도체 소자의 제조에 사용하는 방법 | |
| KR101086183B1 (ko) | 후막 전도성 조성물 및 반도체 소자의 제조에 사용하기 위한 공정 | |
| US8123985B2 (en) | Electroconductive thick film composition(s), electrode(s), and semiconductor device(s) formed therefrom | |
| US8748304B2 (en) | Devices containing silver compositions deposited by micro-deposition direct writing silver conductor lines | |
| US10069021B2 (en) | Electro-conductive pastes with salts with an anion consisting of halogen and oxygen in solar cell applications | |
| CN102348657A (zh) | 用于光伏电池导体中的玻璃组合物 | |
| CN102369168A (zh) | 用于光伏电池导体中的玻璃组合物 | |
| CN102348656A (zh) | 用于光伏电池导体中的玻璃组合物 | |
| CN102803167A (zh) | 用于光伏电池导体中的玻璃组合物 | |
| CN102017014A (zh) | 包含光伏电池导体中所用的亚微米颗粒的组合物 | |
| SG190520A1 (en) | Thick film conductive composition and use thereof | |
| EP2750141B1 (en) | An electro-conductive paste comprising coarse inorganic oxide particles in the preparation of electrodes in MWT solar cells | |
| CN102047346A (zh) | 包含光伏电池导体中所用亚微米颗粒的组合物的使用方法 | |
| US20110278507A1 (en) | Thick film silver pastes containing iodonium and/or sulfonium salts and their use in photovoltaic cells | |
| US8008179B2 (en) | Methods using silver compositions for micro-deposition direct writing silver conductor lines on photovoltaic wafers | |
| US20110057314A1 (en) | Conductors for photovoltaic cells | |
| EP2750139B1 (en) | An electro-conductive paste comprising a vanadium containing compound in the preparation of electrodes in MWT solar cells | |
| CN102017013A (zh) | 用于光伏电池的导体:包含亚微米颗粒的组合物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20110413 |