CN102015189B - 用于借助激光束和激光束的动态束转向对工件进行激光加工的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于借助激光束(2)对工件(7a，7b)进行激光加工的方法，所述激光束在转向镜(1)的第一镜面(3)上和在转向镜(1)的至少一个被所述第一镜面(3)至少部分地围绕的第二镜面(4)上被转向。在这里，在所述激光加工期间所述第二镜面(4)执行相对于优选位置固定的所述第一镜面(3)的摆动运动。本发明也涉及一种用于激光加工的激光束(2)的转向镜(1)，包括：第一镜面(3)和至少一个被所述第一镜面(3)至少部分地围绕的第二镜面(4)，其中，所述第二镜面(4)能以大于1000Hz、优选大于2000Hz、尤其大于3000Hz的摆动频率相对于所述第一镜面(3)摆动地被支承。本发明还涉及一种具有这样的转向镜(1)的激光加工头(6)。

Description

用于借助激光束和激光束的动态束转向对工件进行激光加工的方法

技术领域

本发明涉及一种用于借助激光束对工件进行激光加工的方法，激光束在转向镜的第一镜面上和在转向镜的至少一个被第一镜面至少部分地围绕的第二镜面上被转向。本发明也涉及一种用于激光加工的激光束的转向镜，包括第一镜面和至少一个被第一镜面至少部分地围绕的第二镜面，以及一种具有至少一个这样的转向镜的激光加工头。

背景技术

将具有多个镜面的转向镜尤其用于激光加工是众所周知的，其中，这样的转向镜的用途可能不同。

例如，在JP01271088A中描述了一种激光加工机，其中激光束的外部的部分区域和内部的部分区域之间的相位差通过以下方式来补偿：转向镜的运动的内部镜元件相对于外部镜元件的位置借助为此设置的直线运动的机构改变。

由JP2005314198A公知一种装置，其中为了优化用于玻璃切割的激光切割机而调节激光加工束的横截面形状和强度分布，其方式是使用具有多个其倾斜度可调的镜分段的棱镜或形状可变的镜使激光束转向。

GB1433563也描述了一种用于玻璃切割的激光加工机，其中，较小的镜面在激光束的光路中设置在较大的镜面前面。两个镜面能够通过伺服马达驱动，以使激光束转向到沿着构成在玻璃表面上的切割线的两个不同的焦点上。

DE102004043895A1描述一种微加工方法，其中多个可相互独立地定位的束控制元件使在束控制元件装置中接收到的激光束指向衬底上的可选地点。激光束聚焦模块的数量与束控制元件相适配，以将每个分束会聚到衬底上。

DE10220324A1描述了一种用于反(射)折射投影物镜的作为光瞳滤波器的凹面镜，该凹面镜设置在物镜的光瞳面的区域中。该凹面镜被分成若干个环形的或蜂窝形的镜分段，这些镜分段借助压电驱动元件相互独立地相对于彼此运动。该镜可以作为移相的光瞳滤波器使用，其中，滤波功能通过这些镜元件相对于彼此的相对移动来调节，其方式是通过压电元件抬升或降低这些镜元件。

分段化的转向镜在激光束焊接中的应用通常用于产生更大的蒸汽道(Keyhole)，由此构成更大的熔池体积。蒸汽道的增大可以例如通过双焦点焊接或串联焊接实现，其中激光束例如通过V形镜分成两个分束，这些分束接着被会聚到两个紧密相邻的焦点上。这允许在焊接过程期间产生的气体能够更好地溢出到表面上并且由此将焊缝中的通过形成气孔产生的薄弱部位减少到最少。

例如由EP0823304A1公知了一种用于双焦点焊接的光学系统。在那里，激光束在转向镜上被分成多个具有不同光轴的分束。在一种实施方式中，转向镜由外部的镜元件和内部的镜元件构成，其中，外部的镜元件具有圆柱形的中心孔，内部的镜元件装配在该中心孔中，从而内部的镜元件和外部的镜元件可相对于彼此旋转以及可轴向移动，由此允许调节与第一或第二分束相对应的焦点在两个待接合起来的工件上的相对位置。在调节出焦点的期望的相对位置之后，通过镜元件相对于彼此的固定使调节出的位置固定。

通过双焦点焊接增大蒸汽道的缺点在于与仅具有一个焦点的激光焊接相比需要的区间能量更大。由电子束焊接已知，借助摆动镜使束横向于焊接坡口高频地摆动，即以超过2000Hz的频率和小于一毫米的摆动幅值摆动。在EP0823304A1中，在一种实施方式中也设有用于使分束转向的另外的镜，该另外的镜执行振荡运动，使得工件上的两个焦点能够在垂直于焊接线的方向上执行摆动运动。

US5690845也描述一种用于激光加工的光学装置，该光学装置具有作为用于将激光束分裂成多个分束的装置的第一转向镜。与第一转向镜分开的第二转向镜将这些分束会聚到多个焦点上。在一种实施方式中，第一转向镜具有两个或更多个平的镜部分，这些镜部分能够相互独立地倾斜。在另一种变换的实施方式中，第一转向镜具有多个围绕激光束的光轴同心地设置的凹的、凸的或平的镜面。第一转向镜在这里可以分别作为整体在给定的方向上倾斜或者旋转，以产生焦点在工件上的摆动的或螺旋形的运动。

激光束的用于产生摆动运动的动态转向和运动通常如在以上例子中那样借助所谓的扫描镜实现，其中整个镜面借助振动子驱动装置围绕一轴线旋转。如果这样的镜被置入到光路中的一个位置上(在该位置上激光束具有大直径)，则为此需要大的且由此重的镜。这将最大可能的摆动频率限制在＜＜1500Hz的值。只有当镜设置在束腰附近的焦散面的收敛或发散部分中(例如对于具有中间焦点的系统)或者在光缆的端部附近中时，才允许实现较小的镜和由此较高的频率。

发明内容

本发明的任务是提供一种方法、一种转向镜和一种具有这样的转向镜的激光加工头，它们即便在使用大的束横截面时也允许用于激光加工的激光束高动态地转向。

该任务根据本发明通过开头所述类型的方法解决，其中在激光加工期间第二镜面执行相对于优选位置固定的第一镜面的摆动运动。发明人发现，当来自转向镜的整个镜面的仅一个小部分(第二镜面)高动态地摆动时，尤其当激光束的大部分出现在该部分上时，就足以产生增大蒸汽道(Keyhole)的期望效果。激光束的在摆动的第二镜面上被反射的部分接下来被会聚在一个焦点上，该焦点围绕由激光束的在第一镜面上被反射的部分产生的位置固定的焦点执行摆动运动。不言自明，第一镜面优选直接地连接到第二镜面上，以尽可能使所有激光功率转向。在这里，在第一和第二镜面之间在必要时可以视功能而定保留宽度约为0.02mm的小间隙，该小间隙允许第二镜面相对于第一镜面相对运动。

不言自明，也可以设置两个或更多个允许激光束高动态地转向的第二镜面，其中，激光束的各个被这些动态运动的镜面反射的部分典型地会聚到各自的焦点上。第一镜面也可以在必要时被分成多个分面(棱面)。摆动运动在本申请的意义上被理解为围绕静止位置的协调的振荡运动。

在一种优选变型中，第二镜面相对于第一镜面执行具有大于1000Hz、优选大于2000Hz、尤其大于3000Hz的摆动频率的摆动运动。在根据本发明的方法中，第二镜面可以选择得比较小，例如200mm²或者更小，使得其上构成镜面的镜元件的质量可以被选择得足够小，以便达到上面给出的高摆动频率。

在另一种有利的变型中，第二镜面相对于第一镜面执行形式为倾斜运动、旋转运动和/或直线运动的摆动运动。尤其地，将摆动运动实现为倾斜运动在这里被证明是有利的，其中，倾斜典型地围绕一个或两个在第一镜面的平面中延伸的轴进行。直线运动可以垂直于第一镜面地进行并且与倾斜运动一样借助压电致动器转化。为了实现倾斜运动，第二镜面或其上构成由第二镜面的镜元件可以支承在固体铰链上。变换地或附加地，也可以发生第二镜面相对于第一镜面的旋转运动，其中，旋转轴典型地以相对于第二镜面的角度(不等于90°)延伸，如在开头引用的EP0823304A1中对于旋转角的固定调节所述的那样。如果例如第二镜面相对于第一镜面倾斜地设置并且围绕垂直于第一镜面的轴线旋转，则激光束在工件上执行圆形的运动。在根据本发明的方法中，可以使用例如电动机来产生旋转运动。

在一种特别优选的变型中，优选环形的第一镜面和优选圆形的第二镜面同心地设置。其上出现大部分激光功率(例如86％)的内部镜面在这里被摆动，以便在激光加工中产生具有高的束功率的摆动的焦点。环形的外部镜面保持位置固定并且引起激光束(例如以45°)恒定地转向到位置固定的具有较小激光功率(例如14％)的焦点上。不言自明，不仅环形的镜面，而且其它的、尤其椭圆形状的镜面可能是有利的。

在一种有利的变型中，第一镜面构成在第一镜元件上，第二镜面构成在第二镜元件上，其中，第一镜元件优选以液体冷却，第二镜元件优选以气体冷却。对于在激光加工中典型地出现的高激光功率而言，镜元件的冷却有利于保护镜元件免受由过强的温度变化引起的损坏和/或变形。尤其地，第二镜元件在这里应以气体冷却(例如以氮或空气)，因为用液体冷却由于附加的质量会减小摆动频率。

在一种特别优选的变型中，激光束的强度的超过50％、优选超过70％、尤其超过80％的份额在第二镜面上被转向。在被第一和第二镜面反射的束份额接下来会聚时，以这种方式产生功率强的、摆动的焦点，其围绕具有较小束强度的固定的焦点摆动，这对于激光加工被证明是特别有利的。不言自明，激光功率的出现在第一或第二镜面上的相对份额允许通过改变出现在转向镜上的激光束的束直径来调节。

本发明的另一个方面在开头所述类型的转向镜中实现，其中第二镜面能以大于1000Hz、优选大于2000Hz、尤其大于3000Hz的摆动频率相对于第一镜面摆动地被支承。优选地，转向镜具有用于产生第二镜面相对于第一镜面的摆动运动的驱动装置。根据本发明的转向镜尤其可以用于激光加工，以实现激光束焦点在该/这些待加工工件上的具有高频率的摆动运动。

在一种优选实施方式中，驱动装置被设计用于产生第二镜面相对于第一镜面的形式为倾斜运动、旋转运动和/或直线运动的摆动运动。如上所述，摆动装置能够以各种方式实现，其中，必要时也可以使两个摆动运动叠加，例如其方式是叠加的倾斜运动围绕两个相互垂直的倾斜轴线进行，例如以便达到焦点的螺旋形运动，如在开头引用的US5690845中所示，该文献在这个方面通过引用作为本申请的内容。

在另一种优选的实施方式中，驱动装置具有至少一个用于产生摆动运动的压电致动器。借助压电致动器尤其能够实现第二镜面的具有高摆动频率的倾斜运动和/或直线运动。

在一种优选实施方式中，第一镜面构成在位置固定地被支承的第一镜元件上，第一镜元件优选具有用于将冷却气体输入到第二镜元件上的输入装置，在第二镜元件上构成第二镜面。作为输入装置可以在第一镜元件中设置例如喷嘴。

在一种优选的扩展构型中，第一镜面构成在盘状元件上并且放置在第一镜元件的基体上，其中，在基体中优选开设用于导通冷却液体的冷却通道和/或用于导通用于第二镜元件的冷却气体的另外的冷却通道。该基体可以由合金钢制成，由此能够达到高稳定性和镜面的小变形。盘状镜面优选由铜或铝组成。基体和镜面可以例如通过钎焊或粘接相互连接。为了冷却第一镜元件可以使用水，水例如通过基体中的环形槽流动。将第一镜元件一分为二地分成基体和具有镜面的盘状元件的优点在于，冷却介质可以靠近镜表面地沿着传导。

在另一种有利的实施方式中，第二镜面构成在可运动地被支承且优选单件式的第二镜元件上。第二镜元件可以支承在一个或多个固体铰链上，以允许摆动运动。

在一种特别有利的扩展构型中，在优选金属的第二镜元件中开设用于导通冷却气体的槽。第二镜元件优选由铜或铝组成。因为第二镜元件受到高的辐射功率，所以它必须被冷却，其中，优选气体通过铣出在第二镜元件中的槽引导。为了更好的热交换，这些槽可以构造成香蕉形的。

本发明的另一方面在用于将激光束引导到工件上的激光加工头中实现，该激光加工头包括：至少一个上述的转向镜，其中，在激光加工头中优选设有用于激光束的聚焦装置。具有这样的转向镜的激光加工头被设计成将激光束会聚到两个或更多个焦点上，其中至少一个焦点在激光加工期间执行摆动运动。

在一种优选实施方式中，转向镜设置在聚焦装置前面或后面的光路中或者构造成聚焦装置。在将转向镜设置在聚焦装置后面的收敛的光路中的情况下，待摆动的第二镜面可以被缩小，由此可以将摆动频率选择得更大。但是，当转向镜例如设计成凹面反射镜时，转向镜本身也可以用作聚焦装置。

本发明的其它优点从说明书和附图中得出。上述的和有待继续说明的特征同样可以单独地或者成组地以任意的组合使用。所示的和所述的实施方式不应理解为穷尽性列举，而是具有用于描述本发明的示例性的特征。

附图说明

其示出：

图1a-c以俯视图和以侧视图示出根据本发明的转向镜的实施方式的示意图，

图2a，b示出根据本发明的具有转向镜的激光加工头的两个实施方式的示意图，

图3a，b示出图1的转向镜的内部镜元件的立体图，

图4示出图1的转向镜的外部镜元件的立体图，和

图5a，b示出用于根据本发明的转向镜的内部镜元件的支承装置的例子的示意图。

具体实施方式

图1a-c示出用于激光束2的转向镜1，该转向镜的圆形镜面被分成外部的第一镜面3和内部的第二镜面4。激光束2的束直径D在这里被这样地选择，使得该激光束完全在两个镜面3、4上被反射。第一和第二镜面3、4在这里同心地设置并且仅通过窄的间隙5相互隔开，使得激光束2的几乎100％的强度在转向镜1上被反射。圆形的第二镜面4被可运动地支承，环形的第一镜面3被静止地支承，其中，第二镜面4的支承被这样地设计，使得该第二镜面能够执行形式为沿着一轴线的倾斜运动的摆动运动，该轴线经过第二镜面4的中心点M或者经过垂直于第二镜面4穿过中心点M延伸的轴线上的一个点以及平行于第一镜面3的平面延伸。倾斜轴线的方向对应于在图1a中所示的XYZ坐标系的X轴或Y轴的方向。

如在图1b、1c中所示，第二镜面4能够从初始位置(图1b)运动到倾斜位置(图1c)中，在初始位置中第二镜面位于与第一镜面3相同的平面中，其中，最大倾斜角α典型地位于±1.1毫弧度。第一和第二镜面3、4之间的间隙5具有一宽度，该宽度被这样地选择，使得第二镜面4能够以最大倾斜角相对于第一镜面3倾斜。在上面给出的最大倾斜角的选择情况下，间隙宽度最小为约0.02毫米。

入射的激光束2的束横截面D与镜面3、4的大小相一致并且被这样地设计，使得(例如)具有86％的激光功率的第二分束2b被第二镜面4反射，以便使该第二分束实施摆动运动。为了能够利用剩下的14％激光功率，环形的第一镜面3围绕第二镜面4设置。激光束2的第一分束2a被第一镜面3反射，经反射的第一分束与入射的激光束2在XY平面(转向平面)中围成例如45°的恒定角度。

上述类型的束划分具有以下优点：可通过小的第二镜面4实现高的摆动频率以及通过设置围绕第二镜面4的第一镜面3几乎不损失激光功率。第二镜面4在这里可以具有例如小于15.8毫米的直径，使得摆动的第二镜面4足够小，以至于使第二镜面达到超过3000赫兹的摆动频率。此外可行的是，通过改变激光束1的直径D将更多或更少的功率射入到摆动的第二镜面4上。尤其地，也可以通过非常小的第二镜面4使超过一半的现有激光功率偏摆，因为激光束在束横截面上的强度分布基本上相应于高斯分布，在高斯分布中大部分的束强度集中在第二镜面4的中心点M附近。

图2a示出激光加工头6的第一变型，其中安装有图1a-c的转向镜1，以便执行用于沿着加工方向8连接两个工件部分7a、7b的激光加工过程。激光加工头6为了使来自未示出的束引导装置的、平行校准的激光束2转向而具有第一转向镜9。被转向的激光束2随后遇到图1a-c的转向镜1并且被该转向镜分成两个分束2a、2b，它们为了简化在图2a中通过一个唯一的束代表。转向镜1被这样地设置，使得转向镜的中心点M位于激光束2的光轴10上。在转向镜1之后的光路中设有聚焦镜11，分束2a、2b被该聚焦镜会聚在工件部分7a、b之间的加工区12上，在加工方向8上在该加工区后面形成焊缝13。

通过这些分束的会聚在加工区12上产生两个焦点(未示出)。功率更强的焦点(例如具有86％激光功率)在此围绕固定的焦点(例如具有14％激光功率)例如以0.6毫米的偏移垂直于加工方向8摆动，如在图2a中通过锯齿形的线表示的那样。在这里，摆动频率在激光加工期间通常保持不变，但是在必要时也可以改变。

在图2b中所示的转向镜1在激光加工头6中的布置的变型与结合图2a描述的变型的区别仅仅在于，转向镜1和聚焦镜11的位置互换，该聚焦镜使激光束2转向45°。因此，转向镜1被设置在部分会聚的光路中并且使部分会聚的激光束2进一步以45°向加工区12转向。在该变型中，转向镜1的直径由此可以选择比结合图2a描述的变型的转向镜直径更小，因此在该变型中能够以典型方式达到更高的摆动频率。

下面根据图3至5描述用于达到高摆动频率的转向镜1的构造的例子。图3a、3b在这里示出第二镜元件14，在第二镜元件的顶面上构成第二镜面4。第二镜元件14由金属材料(铜、铝等)制成，该第二镜元件由于高的束功率而必须被冷却。为此目的，在第二镜元件14的底面上铣出作为冷却通道15的槽，这些冷却通道为了更好的热交换被实施为香蕉形的。通过冷却通道15传导冷却气体(空气、氮等)，因为冷却液体的使用由于附加的待运动的质量并且由于软管和接头的衰减作用对第二镜元件14的摆动频率具有负面影响。基本上盘状构造的第二镜元件14在这里具有典型地小于5克的质量。

图4示出第一镜元件16，其中在由合金钢制成的基体17上构成由铜制成的环形的盘状元件18，该盘状元件的顶面构成第一镜面3，其中，基体17和盘状元件18例如通过钎焊相互连接。水被用于冷却第一镜元件16，水通过作为冷却通道19的基本上环形的槽传导。另外的冷却通道20用于将冷却气体导通到喷嘴21a、21b，这些喷嘴作为输入装置用于将冷却气体输入到第二镜元件14的冷却通道15并且同样被铣削到基体17中。显然，其它的未示出的冷却通道被开设用于排出基体17中的冷却气体。通过将第一镜元件16分成基体17和盘状元件18，使得冷却介质能够几乎沿着镜表面3引导。

为了达到第二镜面4或第二镜元件14的高运动频率，如在图5a中所示，该第二镜元件可围绕平行于第一镜面3的轴线倾斜支承地装配在作为驱动装置的压电倾斜系统22a上。该第二镜元件14在这里设置在载体元件25上。压电致动器23组合在该倾斜系统22a中并且允许驱动第二镜元件14，该第二镜元件支承在固体铰链24上。在作为驱动装置的压电倾斜系统22a的在图5b中所示的变换实施方式中，设有四个压电致动器，在图5b中示出其中两个压电致动器23a、23b，它们允许第二镜元件14在Z方向上倾斜。两个另外的、未示出的压电致动器允许围绕垂直于图面的轴线(X轴，参见图1a)的倾斜，从而第二镜元件14能够在所有方向上倾斜。固体铰链24弹性地构造，使得通过以相同的电压同时地控制所有的压电致动器能够实现第二镜元件14的直线运动。显然，作为在这里描述的运动形式的变换，例如也可以例如借助电动机实现第二镜面4相对于第一镜面3的旋转运动。

此外显然的是，转向镜1不必一定具有圆的镜面3、4，而是也可以为镜面选择其它的造型，例如椭圆的形状。转向镜也不是一定要构造成平面镜，镜面3、4也可以(例如椭圆形地、抛物线地)弯曲。在这种情况下，转向镜也可以作为聚焦镜使用。

Claims (21)

1.用于对工件(7a，7b)进行加工的方法，包括：

执行激光加工，在所述激光加工中，激光束在转向镜(1)的第一镜面(3)和第二镜面(4)上被转向，所述第二镜面(4)被所述第一镜面(3)完全地围绕，

在被以静止方式支撑的所述第一镜面(3)处提供第一分束的恒定转向，所述第一分束具有第一份额的出现在转向镜(1)上的激光束(2)的激光功率，并且

在所述激光加工期间，执行所述第二镜面(4)相对于固定的所述第一镜面(3)的摆动运动，以使具有第二份额的出现在所述转向镜(1)上的激光束(2)的激光功率的第二分束转向，以便以大于2000Hz的摆动频率产生所述第二分束相对于所述第一分束的摆动运动。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于，所述第二镜面(4)相对于所述第一镜面(3)执行具有大于3000Hz的摆动频率的摆动运动。

3.根据权利要求1或2的方法，其特征在于，所述第二镜面(4)相对于所述第一镜面(3)执行形式为倾斜运动、旋转运动和/或直线运动的摆动运动。

4.根据权利要求1或2的方法，其特征在于，环形的所述第一镜面(3)和圆形的所述第二镜面(4)同心地设置。

5.根据权利要求1或2的方法，其特征在于，所述第一镜面(3)构成在第一镜元件(16)上，所述第二镜面(4)构成在第二镜元件(14)上，其中，所述第一镜元件(16)以液体冷却，所述第二镜元件(14)以气体冷却。

6.根据权利要求1或2的方法，其特征在于，所述激光束(2)的强度的超过50％的份额在所述第二镜面(4)上被转向。

7.根据权利要求6的方法，其特征在于，所述激光束(2)的强度的超过70％的份额在所述第二镜面(4)上被转向。

8.根据权利要求7的方法，其特征在于，所述激光束(2)的强度的超过80％的份额在所述第二镜面(4)上被转向。

9.用于激光加工的激光束(2)的转向镜(1)，包括：

第一镜面(3)，所述第一镜面(3)被以静止方式支撑以便引起第一分束的恒定转向，所述第一分束具有第一份额的出现在所述转向镜(1)上的激光束(2)的激光功率，第二镜面(4)，所述第二镜面(4)被所述第一镜面(3)完全地围绕并且被支撑使得所述第二镜面(4)能够相对于所述第一镜面(3)摆动运动的方式移动，以使具有第二份额的出现在所述转向镜(1)上的激光束(2)的激光功率的第二分束转向，

其中，

所述第二镜面(4)被构造成以大于2000Hz的摆动频率相对于所述第一镜面(3)执行摆动运动，以便产生所述第二分束相对于所述第一分束的摆动运动。

10.根据权利要求9的转向镜，其特征在于，所述转向镜具有用于产生所述第二镜面(4)相对于所述第一镜面(3)的摆动运动的驱动装置(22a，22b)。

11.根据权利要求10的转向镜，其特征在于，所述驱动装置(22a，22b)被设计用于产生所述第二镜面(4)相对于所述第一镜面(3)的形式为倾斜运动、旋转运动和/或直线运动的摆动运动。

12.根据权利要求10或11的转向镜，其特征在于，所述驱动装置(22a，22b)具有至少一个用于产生所述摆动运动的压电致动器(23；23a，23b)。

13.根据权利要求9至10之一的转向镜，其特征在于，所述第一镜面(3)构成在位置固定地被支承的第一镜元件(16)上。

14.根据权利要求13的转向镜，其特征在于，所述第一镜面(3)构成在盘状元件(18)上，所述盘状元件放置在所述第一镜元件(16)的基体(17)上，其中，在所述基体(17)中开设用于导通冷却液体的冷却通道(19)和/或用于导通用于第二镜元件(14)的冷却气体的另外的冷却通道(20)。

15.根据权利要求9至10之一的转向镜，其特征在于，所述第二镜面(4)构成在可运动地被支承且单件式的第二镜元件(14)上。

16.根据权利要求15的转向镜，其特征在于，在金属的所述第二镜元件(14)中开设用于导通冷却气体的槽(15)。

17.根据权利要求9的转向镜，其特征在于，所述转向镜具有用于产生所述第二镜面(4)相对于所述第一镜面(3)的具有大于3000Hz的摆动频率的摆动运动的驱动装置(22a，22b)。

18.根据权利要求13的转向镜，其特征在于，所述第一镜元件具有用于将冷却气体输入到第二镜元件(14)上的输入装置(21a，21b)，在所述第二镜元件上构成所述第二镜面(4)。

19.根据权利要求9的转向镜，其特征在于，所述第二镜面(4)被构造成以大于3000Hz的摆动频率相对于所述第一镜面(3)执行摆动运动，以便产生所述第二分束相对于所述第一分束的摆动运动。

20.用于将激光束(2)引导到工件(7a，7b)上的激光加工头(6)，包括：至少一个根据权利要求9至19之一的转向镜(1)，其中，在所述激光加工头(6)中设有用于所述激光束(2)的聚焦装置(11)。

21.根据权利要求20的激光加工头，其特征在于，所述转向镜(1)设置在所述聚焦装置(11)前面或后面的光路中或者构造成聚焦装置。