CN102012377B - 环型灯源检验平台 - Google Patents

Abstract

本发明为有关一种环型灯源检验平台，属于机电类，包括有承置架与复数发光件。该承置架包括有可供固定放置一预设光罩的承置平台与一支撑该承置平台的支架；而发光件距该承置架一预定距离且呈环绕设置于该承置架，该各发光件朝该承置架方向设置。藉由上述结构，本发明除了改善人工夹取光罩可能产生的掉落风险，更可提供多角度的检验，以提高光照的质量，避免视觉上的死角。

Description

环型灯源检验平台

技术领域

本发明涉及机电类，为提供一种环型灯源检验平台，尤指一种可以有效检验光罩上微粒，以提升检验物质量的环型灯源检验平台。

背景技术

晶圆是制造半导体最重要的材料，而制造晶圆最主要的原料是二氧化硅，将晶圆片经过沈积、蚀刻、加温、光阻处理、涂布、显影等数百道加工程序，一片晶圆依其不同的尺寸可制造出数十乃至数百颗集成电路半导体，而为了制作出具有不同电路以及电子组件的晶圆，就需要光罩来预先进行设计。

光罩，可以说是制作晶圆的模具，当集成电路公司设计出一款芯片的电路设计图时，必须将电路设计图传给光罩制作公司以进行光罩的制作，光罩制作公司即可以根据该电路设计图而设计规划出相对应的光罩。而当电路的设计图更复杂且更精密，则需要更多的光罩层数来设计出相对应的光罩。

而由于科技的进步，现有的电子产品的朝向越加的轻、薄、短、小的趋势进行发展，所以若光罩上有着微小的灰尘或是任何微粒，则都有可能导致产品良率不佳等问题，而为了能够检验出光罩上的微粒，则需要检验人员来对该光罩来进行目测检验。

然而上述光罩在检验时，为确实存在下列问题与缺失尚待改进：

现有的光罩检验都利用一固定光源，检验人员再将光罩用光罩夹夹取至灯源下进行检验，检验时，检验人员将光罩置于灯源下翻转角度以取得最佳照射视角，而由于光罩是由检验人员夹取，则有可能因人员操作不当，而造成光罩损伤。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种可以有效检验光罩上微粒，提升检验物质量的环型灯源检验平台。解决检验时，检验人员将光罩置于灯源下翻转角度以取得最佳照射视角，而由于光罩是由检验人员夹取，则有可能因人员操作不当，而造成光罩损伤的问题。

为了达到上述目的，本发明包括承置架与复数发光件，该承置架包括可供固定放置一预设光罩的承置平台与一支撑该承置平台的支架；而发光件距该承置架一预定距离且呈环绕设置于该承置架，该各发光件朝向该承置架方向设置。其中：

该发光件设置于一灯架上；

该灯架呈圆形环绕设置于承置架上；

该灯架呈半圆形环绕设置于承置架上；

该灯架呈至少一层设置；

该灯架连接有一可供令该灯架自由旋转的调整件；

该灯架连接有一可供令该灯架上下位移的升降件；

该承置平台与该支架间设有一可令该承置平台自由旋转的调整件；

该承置平台与该支架间设有一可令该承置平台上下位移的升降件；

该支架组构有一灯源调整件。

由于本发明包括有承置架，该承置架可供放置待检验物光罩，并且该承置架可包括有可令该承置平台自由旋转的调整件与升降件，藉此，使用者可以操作该承置架，以令该光罩放置为自己所需要的检验角度、高度；并且，该各发光件距该承置架一预定距离且呈环绕设置于该承置架，该各发光件可固定设置于一灯架，该灯架同样可包括有可令该灯架自由旋转的调整件与升降件，并可令灯架调整为所需要的角度、高度，藉由该发光件的光线的照射，检验人员可以清楚的检验光罩上的微粒，提高光罩（检验物）的质量，有效的解决光罩掉落的风险。

本发明的优点在于：本发明利用了环型光源来对光罩进行微粒检验，改善了已有光罩检验都为灯源固定，而检验员再以光罩夹夹取光罩并翻转光罩进行检验，有光罩掉落损坏的风险，藉由本发明的检验平台，当进行光罩微粒检验时，光罩可以放置于该承置架上，再通过操作开、关数个发光件以对光罩各个角度进行微粒检验，有效检验光罩上微粒，并提高光罩质量。

附图说明

图1 为本发明较佳实施例的立体图。

图2 为本发明较佳实施例的立体分解图。

图3 为本发明较佳实施例的实施示意图一。

图4 为本发明较佳实施例的实施示意图二。

具体实施方式

为达成上述目的及功效，本发明所采用的技术手段及构造，兹绘图就本发明较佳实施例详加说明其特征与功能如下，以利完全了解。

如附图1与附图2所示，为本发明较佳实施例的立体图与立体分解图，由图中可清楚看出本发明包括：

承置架１，该承置架1包括有可供固定放置一预设光罩13的承置平台11与一支撑该承置平台11的支架12，该支架12可以自由旋转或上下位移该承置平台11，该承置平台11与该支架12间设置有一可令该承置平台11自由旋转的调整件以及可令该承置平台11上下位移的升降件，又该支架12组构有一灯源调整件22；

复数发光件2，该发光件2距该承置架1一预定距离且呈环绕设置于该承置架1，该各发光件2朝该承置架1方向设置，该发光件2可设置于一灯架21上，而该灯架21可呈圆形、半圆形、一层或多层环绕设置于承置架1，该灯架21连接有一可供令该灯架21自由旋转的调整件以及可供令该灯架21上下位移的升降件，以及该灯源调整件22可供自由调整该灯架21的角度，进一步的调整该发光件2的照射角度。

藉由上述的结构、组成设计，兹就本发明的使用情形说明如下：

如附图3与附图4所示，为本发明较佳实施例的实施示意图一与二，由图中可清楚看出，由于本发明包括有一可供承置光罩13的承置平台11，藉此，检验人员即可以将光罩13固定放置于该承置平台11上，而固定方式可利用夹具进行夹持；又因为本发明包括有环绕于该承置平台11的数个发光件2，该各发光件2都可以分别的照射出检验光线，并且该各发光件2呈现环绕设置，藉此，使用者即可以自由的选择需要发光的发光件2，以针对该光罩13进行各种不同角度的微粒3检验。

其中，由于该检验平台包括有可令该承置平台11自由旋转的调整件以及可令该承置平台11上下位移的升降件，使用者可以控制该调整件与该升降件以微调该承置平台11；再者，该灯架21也包括有可供令该灯架21自由旋转的调整件以及可供令该灯架21上下位移的升降件，使用者同样可以控制该调整件与该升降件以微调该灯架21，藉由上述结构，使用者可以以全方面的角度来彻底检验该光罩13上的微粒３，以避免视觉上的死角。

Claims (7)

1.一种作为晶圆模具的光罩的环型灯源检验平台，其特征在于：

一承置架，包括有能够固定放置一预设光罩的承置平台与一支撑该承置平台的支架；

复数发光件，距该承置架一预定距离且呈环绕设置于该承置架，该复数发光件设置于一灯架上，朝该承置架方向设置，该灯架呈圆形环绕设置于承置架上。

2.根据权利要求1的作为晶圆模具的光罩的环型灯源检验平台，其特征在于：其中该灯架呈至少一层设置。

3.根据权利要求1所述的作为晶圆模具的光罩的环型灯源检验平台，其特征在于：其中该灯架连接有一可供令该灯架自由旋转的调整件。

4.根据权利要求1述的作为晶圆模具的光罩的环型灯源检验平台，其特征在于：其中该灯架连接有一可供令该灯架上下位移的升降件。

5.根据权利要求1所述的作为晶圆模具的光罩的环型灯源检验平台，其特征在于：其中该承置平台与该支架间设置有一可令该承置平台自由旋转的调整件。

6.根据权利要求1所述的作为晶圆模具的光罩的环型灯源检验平台，其特征在于：其中该承置平台与该支架间设置有一可令该承置平台上下位移的升降件。

7.根据权利要求1所述的作为晶圆模具的光罩的环型灯源检验平台，其特征在于：其中该支架设置有一灯源调整件。

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