CN101970993A - 分光模块 - Google Patents

Abstract

本发明提供高可靠性分光模块(1)，其具备使从一个面(2a)入射的光透过的基板(2)、具有与基板(2)的另一面(2b)相对的入射面(3a)且使透过基板(2)入射于入射面(3a)的光透过的透镜部(3)、被形成于透镜部(3)且将入射于透镜部(3)的光分光并反射的分光部(4)、检测被分光部(4)反射的光的光检测元件(5)、设置于另一面(2b)与入射面(3a)间并相对于基板(2)支撑透镜部(3)的支撑部(8)。根据分光模块(1)，由支撑部(8)在基板(2)的另一面(2b)与透镜部(3)的入射面(3a)间形成间隙(S)，防止了基板(2)的另一面(2b)与透镜部(3)的入射面(3a)接触而产生伤痕，提高了分光模块(1)的可靠性。

Description

分光模块

技术领域

本发明涉及对光进行分光并检测的分光模块。

背景技术

作为以往的分光模块，众所周知的是例如具备双凸透镜的块状支撑体、并在支撑体的一个凸面上设置有衍射光栅等的分光部、在支撑体的另一凸面侧设置有光电二极管等光检测元件的分光模块(参照例如专利文献1)。在这样的分光模块中，从另一凸面侧入射的光在分光部上被分光，由光检测元件检测已经被分光的光。

专利文献1：日本专利特开平4-294223号公报

发明内容

然而，对于如上所述的分光模块而言，在相对于支撑体而安装分光部时，大多情况下由光固化性的光学树脂将分光部的一个面粘结于支撑体的一个凸面上。在此情况下，在将树脂涂布于支撑体的凸面之后，一边将分光部按压于凸面上一边沿着凸面往复移动以使树脂剂渗入，从而相对于支撑体高精度地粘结分光部。但是，在如上所述将分光部粘结于支撑部时，可能存在分光部与支撑体接触而产生伤痕的情况。这样就存在如下问题，即如果伤痕产生于分光部以及支撑体的光路上，则由于伤痕而导致光散射，使得分光模块的可靠性降低。

在此，本发明正是鉴于这样的情况，目的在于提供一种高可靠性的分光模块。

为了达到上述目的，本发明所涉及的分光模块的特征在于，具备：基板，使从一个面入射的光透过；透镜部，具有与基板的另一面相对的入射面并使透过基板而入射于入射面的光透过；分光部，被形成于透镜部，将入射于透镜部的光分光并反射；光检测元件，被配置于基板的一个面侧并检测由分光部反射的光；以及支撑部，以另一面与入射面相分离的方式相对于基板支撑透镜部。

在该分光模块中，在将透镜部安装于基板时，因为由支撑部而在基板的另一面与透镜部的入射面之间形成有间隙，所以能够防止由于基板的另一面与透镜部的入射面接触而产生伤痕。此外，因为基板和透镜部被支撑部支撑，使得透镜部的入射面被定位为相对于基板的另一面具有规定的间隔，因此可以高精度地将透镜部安装于基板，从而可以提高分光模块的可靠性。

在本发明所涉及的分光模块中，优选：在入射面上设置有相对于分光部而具有规定的位置关系的第1凹部；支撑部被设置于基板的另一面侧且被嵌合于第1凹部，且相对于用于将光检测元件定位于基板的基准部而具有规定的位置关系。根据这样的结构，由于支撑部相对于用于将光检测元件定位于基板的基准部而具有规定的位置关系，所以仅通过使支撑部嵌合于被设置于透镜部的入射面的第1凹部，就可以将光检测元件定位于透镜部。此时，由于第1凹部相对于分光部具有规定的位置关系，因此可以容易地进行分光部与光检测元件的对准。因此，根据该分光模块，可以简便地组装分光模块。

在本发明所涉及的分光模块中，优选在另一面上设置有相对于用于将光检测元件定位于基板的基准部而具有规定的位置关系的第2凹部；且支撑部被设置于透镜部的入射面侧并被嵌合于第2凹部，且相对于分光部具有规定的位置关系。根据这样的结构，因为支撑部相对分光部具有规定的位置关系，所以仅通过使支撑部嵌合于被设置于基板的另一面上的第2凹部，就能够相对于基板定位分光部。此时，由于第2凹部相对于用于将光检测元件定位于基板的基准部具有规定的位置关系，因此可以容易地进行分光部与光检测元件的对准。因此，根据该分光模块，可以简便地组装分光模块。

在本发明所涉及的分光模块中，优选支撑部在与所述分光部的光栅沟槽的延伸方向大致一致的方向上延伸。根据这样的结构，在相对于基板而定位透镜部时，由于可以在与光栅沟槽的延伸方向大致垂直的方向上高精度地进行透镜部与光检测元件的对准，因此可以准确地使由分光部进行了分光的光入射于光检测元件，从而进一步提高分光模块的可靠性。

根据本发明，可以提高分光模块的可靠性。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的分光模块平面图。

图2是沿着图1所示的II-II线的截面图。

图3是分光模块的概略组装图。

图4是表示透镜部的立体图。

图5是表示第2实施方式所涉及的分光模块的对应于图3的概略组装图。

图6是表示第2实施方式所涉及的分光模块的变形例的对应于图2的截面图。

图7是表示第3实施方式所涉及的分光模块的对应于图4的立体图。

图8是表示第4实施方式所涉及的分光模块的对应于图3的概略组装图。

图9是表示第4实施方式所涉及的透镜部的立体图。

图10是表示第5实施方式所涉及的分光模块的对应于图3的概略组装图。

图11是表示第5实施方式所涉及的透镜部的立体图。

图12是表示第5实施方式所涉及的分光模块的变形例的对应于图3的概略组装图。

符号说明

1，21，31，51，61：分光模块；2，22，32，52，62，72：基板；

2a，22a，32a，52a，62a，72a：前表面(一个面)；

2b，22b，32b，52b，62b，72b：后表面(另一面)；

3，43，53，63：透镜部；4：分光部；5：光检测部；

6：衍射层6a：衍射光栅沟槽；7：反射层；11：布线；

12a，12b，12c，12d：对准标记(基准部)；

2c，52d，62c，72d：凹部(第2凹部)；

3c，53c，63c：凹部(第1凹部)；

22c，32c，43c：凸部(支撑部)；S：间隙

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明所涉及的分光模块的优选实施方式。其中，在各个附图中，将相同的符号标注于相同或者相当的部分，省略重复的说明。

(第1实施方式)

如图1以及图2所示，分光模块1具备使从前表面(一个面)2a入射的光L1透过的基板2、使透过基板2而从入射面3a入射的光L1透过的透镜部3、将入射于透镜部3的光L1分光并反射的分光部4、检测由分光部4反射的光L2的光检测元件5。分光模块1为利用分光部4将光L1分光为多个光L2，通过利用光检测元件5检测该光L2，从而测定光L1的波长分布和特定波长成分的强度等的微型分光模块。

基板2由BK7和Pyrex(登录商标，派热克斯玻璃)以及石英等光透过性玻璃、塑料等而被形成为长方形板状(例如全长为15～20mm、宽为11～12mm、厚度为1～3mm)。在基板2的前表面2a上形成有由Al和Au等单层膜、或者Cr-Pt-Au、Ti-Pt-Au、Ti-Ni-Au、Cr-Au等层叠膜构成的布线11。布线11具有被配置于基板2的中央部的多个焊垫部11a、被配置于基板2的长边方向上的一个端部的多个焊垫部11b、以及连接对应的焊垫部11a和焊垫部11b的多个连接部11c。此外，布线11在基板2的前表面2a侧具有由CrO等单层膜或者Cr-CrO等层叠膜形成的光反射防止层11d。

此外，在基板2的前表面2a上，由与布线11相同的结构形成有用于将光检测元件5定位于基板2的十字状的对准标记(基准部)12a、12b、12c、12d。对准标记12a、12b分别被形成于基板2的长边方向的两个端部，且被配置于基板2的与长边方向大致垂直的方向上的中央位置。此外，对准标记12c、12d分别被形成于基板2的与长边方向大致垂直的方向上的两端部，且被配置于基板2的长边方向的中央位置。

如图2以及图3所示，在基板2的后表面(另一面)2b上。设置有2列在与基板2的长边方向大致垂直的方向上延伸的截面为矩形状(例如宽度为50～500μm，深度为50～200μm)的凹部(第2凹部)2c。凹部2c由平行于后表面2b的大致为长方形状的底面以及在大致垂直于底面且与基板2的长边方向大致垂直的方向上延伸的侧壁构成，通过蚀刻而被形成为相对于对准标记12a、12b、12c、12d具有规定的位置关系。

在各个凹部2c中，嵌合有棒状的支撑部8。支撑部8是用于相对于基板2而支撑透镜部3从而使基板2的后表面2b与透镜部3的入射面3a相分离的部件，由与基板2相同的材料、石英等光透过性玻璃以及塑料等被形成为具有圆形(例如直径0.1～1.0mm)的截面。作为支撑部8，例如可以使用光纤。支撑部8的一部分被嵌合于基板2的凹部2c，从而在基板2的板厚方向上突出。

如图4所示，透镜部3由与基板2相同的材料、光透过性树脂、光透过性的无机·有机混合材料或者复制成型用光透过性低熔点玻璃、塑料等而被形成为如下形状，即利用与其入射面(即底面)3a大致垂直且大致相互平行的2个平面切割半球状的透镜从而形成侧面3b的形状(例如曲率半径为6～10mm，入射面3a的全长为12～18mm，入射面3a的宽度(即侧面3b间距离)为6～10mm，高度为5～8mm)，其作用是作为使由分光部4进行了分光的光L2成像于光检测元件5的光检测部5a的透镜。

如图2～图4所示，在透镜部3的入射面3a上，设置有2列嵌合支撑部8的截面为矩形状(例如宽度为50～500μm，深度为50～200μm)的凹部(第1凹部)3c。这些凹部3c由平行于入射面3a的大致为长方形状的上表面、以及大致垂直于上表面并且在与侧面3b大致垂直的方向上延伸的侧壁构成，通过切割加工等而被形成为在大致垂直于侧面3b的方向上延伸、且相对于分光部4具有规定的位置关系。在此，透镜部3的凹部3c以及基板2的凹部2c被设置于不妨碍光L1、L2的通路的位置上。

透镜部3被支撑部8支撑，且入射面3a与基板2的后表面2b相对。在透镜部3的入射面3a与基板2的后表面2b之间，形成有在基板2的板厚方向上大致均匀的间隙S(例如10μm～100μm)。这样，在该间隙S中充填光学树脂剂16。

分光部4是反射型光栅，具有被形成于透镜部3的外侧表面的衍射层6和被形成于衍射层6的外侧表面的反射层7。通过沿着基板2的长边方向并列设置多个光栅沟槽6a而形成衍射层6，光栅沟槽6a的延伸方向与大致垂直于基板2的长边方向的方向基本一致。衍射层6例如可以使用锯齿状截面的闪耀光栅(blazed grating)、矩形状截面的二元光栅(binary grating)以及正弦波状截面的全息光栅(holographicgrating)等，通过使光固化性的环氧树脂、丙烯酸树脂或者有机无机混合树脂等复制用光学树脂光固化而形成。反射层7为膜状，例如通过将Al和Au等蒸镀于衍射层6的外侧表面而被形成。

如图1以及图2所示，光检测元件5被形成为长方形板状(例如全长为5～10mm，宽为1.5～3mm，厚度为0.1～0.8mm)。光检测元件5的光检测部5a为CCD图像传感器、PD阵列或者CMOS图像传感器等，由多个通道被排列在与分光部4的光栅沟槽6a的延伸方向大致垂直的方向(即光栅沟槽6a并列设置的方向)上而形成。在光检测部5a为CCD图像传感器的情况下，通过对入射于二维配置的像素的位置上的光强度信息实施线分块(line binning)，将其作为一维位置上的光强度信息，从而时序性地读出其一维位置上的光强度信息。总之，被线分块的像素线(pixel line)成为1个通道。在光检测部5a为PD阵列或者CMOS图像传感器的情况下，由于时序性地读出入射于一维配置的像素的位置上的光强度信息，所以1个像素成为1个通道。在此，在光检测部5a为PD阵列或者CMOS图像传感器且像素被二维排列的情况下，在任意的一维排列方向上排列的像素线成为1个通道。此外，在光检测部5a为CCD图像传感器的情况下，例如排列方向上的通道彼此的间隔为12.5μm、通道全长(被实施了线分块的一维像素列的长度)为1mm、被排列的通道数为256的部件被用于光检测元件5。

此外，在光检测元件5中，在通道的排列方向上并列设置有光检测部5a，并形成有使在分光部4中行进的光L1通过的光通过孔5b。光通过孔5b为在与基板2的长边方向大致垂直的方向上延伸的狭缝(例如长度为0.5～1mm，宽度为10～100μm)，且在相对于光检测部5a而被高精度地定位的状态下通过蚀刻等方法而被形成。

此外，在基板2的前表面2a上，以使布线11的焊垫部11a、11b以及对准标记12a、12b、12c、12d露出且覆盖布线11的连接部11c的方式形成有吸光层13。在吸光层13上，以使通过基板2的凹部2c之间而在分光部4中行进的光L1通过的方式，在与光检测元件5的光通过孔5b相对的位置上形成有狭缝13a，且以使在光检测元件5的光检测部5a中行进的光L2通过的方式，在与光检测部5a相对的位置上形成有开口部13b。吸光层13被图形化为规定的形状，并由CrO、含有CrO的层叠膜或者黑色抗蚀剂(black resist)等一体成型。

在从吸光层13露出的焊垫部11a上，利用经由凸块14的倒装焊接而电连接光检测元件5的外部端子。此外，焊垫部11b与外部的电气元件(未图示)电连接。而且，在光检测元件5的基板2侧(在此为光检测元件5与基板2或者吸光层13之间)，充填有至少使光L2透过的底部填充剂(underfill)15，由此，可以保持机械强度。

接着，说明上述分光模块1的制造方法。

首先，在基板2的前表面2a上形成布线11以及对准标记12a、12b、12c、12d的图形。之后，以露出焊垫部11a、11b以及对准标记12a、12b、12c、12d且形成有狭缝13a以及开口部13b的方式形成吸光层13的图形。该吸光层13是利用光刻进行对准而形成的。此外，在基板2的后表面2b上，利用蚀刻法、半切穿切割(half-cut dicing)或者激光加工等形成相对于对准标记12a、12b、12c、12d而具有规定的位置关系的凹部2c。

在吸光层13上，利用表面倒装焊接安装光检测元件5。此时，光检测元件5被配置为光检测部5a的通道的排列方向与基板2的长边方向大致一致且光检测部5a朝向基板2的前表面2a侧，并通过图像识别被安装于以对准标记12a、12b、12c、12d为基准的规定位置。

另一方面，将分光部4形成于透镜部3。首先，使刻有对应于衍射层6的光栅的光透过性母光栅(master grating)(未图示)与滴到透镜部3的顶点附近的复制用光学树脂相接触。接着，在使母光栅接触于复制用光学树脂的状态下进行曝光，使得复制用光学树脂固化，从而形成具有在与基板2的长边方向大致垂直的方向上延伸的多个光栅沟槽6a的衍射层6。在此，优选在进行固化之后通过进行加热固化而进一步使其稳定化。复制用光学树脂固化之后，剥离母光栅，通过将铝或者金蒸镀于衍射层6的外表面而形成反射层7。

接着，分别使2根支撑部8嵌合于基板2上的2列凹部2c中，并分别使2根支撑部8嵌合于透镜部3上的2列凹部3c中。由此，透镜部3以分光部4的光栅沟槽6a的延伸方向与垂直于基板2的长边方向的方向大致一致的方式被配置于基板2。之后，将光固化性的光学树脂剂16充填于基板2的后表面2b与透镜部3的入射面3a之间的间隙S中，通过沿着支撑部8使透镜部3往复移动，从而使光学树脂剂16渗入。然后，通过曝光使光学树脂剂16固化，从而将透镜部3安装于基板2。

接着，说明上述分光模块1的作用效果。

在该分光模块1中，在将透镜部3安装于基板2时，由于由支撑部8而在基板2的后表面12b与透镜部3的入射面3a之间形成有间隙S，因此可以防止由于基板2的后表面2b与透镜部3的入射面3a的接触而产生的伤痕。此外，由于利用支撑部8支撑基板2和透镜部3从而使基板2的后表面2b与透镜部3的入射面3a在基板2的板厚方向上形成有大致均匀的间隙S，因此能够高精度地将透镜部3安装于基板2。因此，可以提高分光模块的可靠性。

此外，在分光模块1中，基板2的凹部2c被形成为在光检测元件5的通道的延伸方向(与基板2的长度方向大致垂直的方向)上延伸，且透镜部3的凹部3c被形成为在分光部4的光栅沟槽6a的延伸方向上延伸。为此，通过使支撑部8嵌合于基板2的凹部2c以及透镜部3的凹部3c，从而可以在光检测元件5的通道的排列方向(即分光部4的光栅沟槽6a的并列方向)上高精度地将透镜部3定位于基板2。因此，根据该分光模块1，由于被分光部4分光的光L2在通道的排列方向(通道的宽度方向)上未发生偏离而被适宜地入射于通道内，因此可以进一步提高分光模块的可靠性。

此外，在分光模块1中，基板2的凹部2c相对于用于将光检测元件5定位于基板2的对准标记12a、12b、12c、12d具有规定的位置关系，且透镜部3的凹部3c相对于分光部4具有规定的位置关系。为此，仅通过使支撑部8嵌合于基板2的凹部2c以及透镜部3的凹部3c，就可以在基板2的板厚方向以及基板2的长度方向上使透镜部3相对于基板2定位，从而容易进行分光部4与光检测元件5的对准。因此，根据该分光模块1，可以简便地组装分光模块。

此外，在分光模块1中，由于基板2的凹部2c以及透镜部3的凹部3c在与基板2的长边方向大致垂直的方向上进行了开口，因此在相对于基板2而安装透镜部3时，通过沿着支撑部8往复移动透镜部3，就能够使被填充于间隙S的光学树脂剂16渗入。因此，在分光模块1中，在相对于基板2安装透镜部3时，由于光学树脂剂16渗入从而可以抑制在间隙S中发生光学树脂剂16偏向一方或产生气泡，因此可以更加可靠地相对于基板2而固定透镜部3。

(第2实施方式)

第2实施方式所涉及的分光模块21，其基板与第1实施方式所涉及的分光模块1有所不同。

如图5所示，在基板22的后表面(另一面)22b上，设置有被嵌合于透镜部3的凹部3c的2列凸部(支撑部)22c。这些凸部22c被形成为在与基板22的长边方向大致垂直的方向上延伸，且相对于对准标记12a、12b、12c、12d具有规定的位置关系。

利用被嵌合于凹部3c的凸部22c支撑透镜部3，使得入射面3a与基板22的后表面22b相对，在透镜部3的入射面3a与基板22的后表面22b之间，在基板22的板厚方向上形成有大致均匀的间隙S。

根据该分光模块21，由于透镜部3的凹部3c相对于分光部4具有规定的位置关系，因此仅通过使基板22的凸部22c嵌合于透镜部3的凹部3c，就可以在基板22的板厚方向以及基板22的长度方向上相对基板22对透镜部3以及分光部4实施定位。此时，由于基板22的凸部22c相对于用于定位光检测元件5的对准标记12a、12b、12c、12d具有规定的位置关系，因此可以在基板22的板厚方向以及基板22的长度方向上相对于光检测元件5实施对分光部4的定位，从而容易地地进行分光部4与光检测元件5的对准。因此，根据该分光模块21，可以简便地组装分光模块。

在此，如图6所示，基板32的凸部(支撑部)32c也可以具有被嵌合于透镜部3的凹部3c的前端部33、以及在基板32的长边方向上比前端部33更宽的耳部34。在此情况下，由耳部34而稳定地形成透镜部3的入射面3a与基板32的后表面32b的间隙S，从而可以相对于基板32高精度地安装透镜部3。

(第3实施方式)

第3实施方式所涉及的分光模块41，其透镜部与第1实施方式所涉及的分光模块1有所不同。

如图7所示，在透镜部43的入射面43a上，被嵌合于基板2的凹部2c的2列凸部(支撑部)43c被设置为在与透镜部43的侧面43b大致垂直的方向上延伸。这些凸部43c通过以相对于分光部4具有规定的位置关系的方式进行模具成型或者切削而与透镜部43形成为一体。

透镜部43被嵌合于基板2的凹部2c的凸部43c支撑，使得入射面43a与基板2的后表面2b相对。在透镜部43的入射面43a与基板2的后表面2b之间，在基板2的板厚方向上形成有大致均匀的间隙S。

根据该分光模块41，由于透镜部43的凸部43c相对于分光部4具有规定的位置关系，因此仅通过使透镜部43的凸部43c嵌合于基板2的凹部2c，就可以在基板2的板厚方向以及基板2的长度方向上相对于基板2来定位分光部4以及透镜部3。此时，由于基板2的凹部2c相对于用于定位光检测元件5的对准标记12a、12b、12c、12d具有规定的位置关系，因此通过在基板2的板厚方向以及基板2的长度方向上相对于光检测元件5来定位分光部4，可以容易地进行分光部4与光检测元件5的对准。因此，根据该分光模块41，可以简便地组装分光模块。

(第4实施方式)

第4实施方式所涉及的分光模块51，其基板的凹部以及透镜部的凹部与第1实施方式所涉及的分光模块1有所不同。

如图8以及图9所示，在基板52的后表面(另一面)52b上，由抗蚀剂(resist)等树脂或者金属掩模形成有在基板52的板厚方向上突出的2个凸部52c。这些凸部52c被形成为在与基板52的长度方向大致垂直的方向上延伸，在凸部52c的前端面上，设置有嵌合棒状的支撑部58的截面为矩形状的凹部(第2凹部)52d。凹部52d由平行于基板52的后表面52b的大致为长方形的底面、以及以大致垂直于底面且环绕底面而形成的侧壁构成，并被形成为相对于用于定位光检测元件5的对准标记12a、12b、12c、12d具有规定的位置关系。

在透镜部53的入射面53a上，设置有2列嵌合支撑部58的截面为矩形状的凹部(第1凹部)53c。这些凹部53c由平行于透镜部53的入射面53a的大致为长方形的上表面、以及以大致垂直于上表面且环绕上表面而形成的侧壁构成，并通过蚀刻加工和模具成型或者切削等被形成为在大致垂直于侧面53b的方向上延伸且相对于分光部4具有规定的位置关系。在此，基板52的凸部52c以及透镜部53的凹部53c被设置在不妨碍光L1、L2的通路的位置上。

透镜部53被支撑部58支撑，使得入射面53a与基板52的后表面52b相对。在透镜部53的入射面53a与基板52的后表面52b之间形成有在基板52的板厚方向上大致均匀的间隙S。

根据该分光模块51，由于基板52的凹部52d具有以大致垂直于其底面且环绕底面的方式形成的侧壁、且透镜部53的凹部53c具有以大致垂直于其上表面且环绕上表面的方式形成的侧壁，因此仅通过使支撑部58嵌合于基板52的凹部52d以及透镜部53的凹部53c，就可以相对于基板52来定位透镜部53。而且，由于基板52的凹部52d相对于用于定位光检测元件5的对准标记12a、12b、12c、12d具有规定的位置关系、且透镜部53的凹部53c相对于分光部4具有规定的位置关系，因此被形成于透镜部53的分光部4相对于被安装于基板52的光检测元件5被定位，其结果，可以实现分光部4与光检测元件5的对准。如上所述，根据该分光模块51，可以实现所谓的被动对准(passivealignment)，因此可以简便地组装分光模块。

(第5实施方式)

第5实施方式所涉及的分光模块61，其基板的凹部、透镜部的凹部以及支撑部与第1实施方式所涉及的分光模块1有所不同。

如图10以及图11所示，在基板62的后表面(另一面)62b上，以形成矩形的各个顶点的方式设置4个凹陷成四棱锥状的凹部(第2凹部)62c。这些凹部62c被形成为相对于用于定位光检测元件5的对准标记12a、12b、12c、12d具有规定的位置关系。在凹部62c中分别嵌合有球状的支撑部68，支撑部68通过其一部分被嵌合于凹部62c而在基板62的板厚方向上突出。

在透镜部63的底面63a上。以形成矩形的各个顶点的方式设置4个用于嵌合支撑部68的凹陷成四棱锥状的凹部(第1凹部)63c。这些凹部63c被形成为相对于分光部4具有规定的位置关系。在此，基板62的凹部62c以及透镜部63的凹部63c被设置于不妨碍光L1、L2的通路的位置上。

透镜部63被支撑部68支撑，使得入射面63a与基板62的后表面62b相对。在透镜部63的入射面63a与基板62的后表面62b之间形成有在基板62的板厚方向上大致均匀的间隙S。

根据该分光模块61，由于基板62的凹部62c相对于用于定位光检测元件5的对准标记12a、12b、12c、12d具有规定的位置关系，因此仅通过相对于凹部62c而嵌合支撑部68，就可以相对于基板62而定位支撑部68。而且，由于透镜部63的凹部63c相对于分光部4具有规定的位置关系，因此仅通过相对于凹部63c而嵌合支撑部68，就可以相对于透镜部63而定位支撑部68。因此，根据该分光模块61，通过使支撑部68嵌合于基板62的凹部62d以及透镜部63的凹部63c，可以实现分光部4与光检测元件5的对准。这样，根据该分光模块61，由于可以实现被动对准(passive alignment)，因此可以简便地组装分光模块。

此外，根据该分光模块61，在相对于基板62定位透镜部63之后，一旦将光学树脂剂提供给基板62的后表面62b与透镜部63的入射面63a之间的间隙S，则由于毛细管现象使得光学树脂剂流动而充满间隙S，因此可以抑制在树脂剂中产生气泡，从而更加可靠地相对于基板62固定透镜部63。

在此，如图12所示，也可以在基板72的后表面(另一面)72b上以形成矩形的各个顶点的方式由抗蚀剂或者金属掩模形成4个凸部72c，且在这些凸部72c的前端面上设置凹陷成四棱锥状的凹部(第2凹部)72d。

本发明并不局限于上述实施方式。

例如，在第1～第4实施方式中，由于间隙S被支撑部等而分为透镜部的两端部和中央部，因此也可以为仅在透镜部的两端部的间隙或者在透镜部的中央部的间隙中充填光学树脂剂的结构。此外，也可以将用于分开间隙S的凸部等设置于基板以及透镜部当中的至少一方，从而形成可以选择性地充填光学树脂剂的区域。

此外，在第1～第4实施方式中，凹部并不局限于矩形状截面，也可以是V字形或者U字形截面。在第5实施方式中，凹部并不局限于四棱锥状，也可以凹陷为长方体状或者圆柱状。

此外，在第1～第4实施方式中，支撑部也可以具有半圆形、三角形、矩形、多边形等截面。在第5实施方式中，支撑部并不局限于球状，也可以是长方体状或者多面体状。

此外，在第1～第4实施方式中，支撑部的数量也可以为3列以上。在第5实施方式中，支撑部的数量既可以为3个也可以为5个以上。

此外，基准部并不局限于对准标记12a、12b、12c、12d，例如也可以将布线11作为基准部而进行凹部20以及光检测元件5的定位。此外，例如也可以将确定基板2的外形的侧面作为基准部而使用。

此外，可以组合上述各个实施方式中的基板、透镜部以及支撑体的结构。

产业上的利用可能性

根据本发明，可以提高分光模块的可靠性。

Claims (4)

1.一种分光模块，其特征在于，

具备：

基板，使从一个面入射的光透过；

透镜部，具有与所述基板的另一面相对的入射面，使透过所述基板而从所述入射面入射的光透过；

分光部，被形成于所述透镜部，将入射于所述透镜部的光分光并反射；

光检测元件，被配置于所述基板的所述一个面侧，检测由所述分光部反射的光；以及

支撑部，以所述另一面与所述入射面相分离的方式相对于所述基板支撑所述透镜部。

2.如权利要求1所述的分光模块，其特征在于，

在所述入射面上设置有相对于所述分光部具有规定的位置关系的第1凹部，

所述支撑部被设置于所述基板的所述另一面侧并被嵌合于所述第1凹部，且相对于用于将所述光检测元件定位于所述基板的基准部具有规定的位置关系。

3.如权利要求1所述的分光模块，其特征在于，

在所述另一面上设置有第2凹部，所述第2凹部相对于用于将所述光检测元件定位于所述基板的基准部具有规定的位置关系，

所述支撑部被设置于所述透镜部的所述入射面侧并被嵌合于所述第2凹部，且相对于所述分光部具有规定的位置关系。

4.如权利要求2所述的分光模块，其特征在于，

所述支撑部在与所述分光部的光栅沟槽的延伸方向大致一致的方向上延伸。

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