CN101959605A - 从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法 - Google Patents

Abstract

提供了一种通过从半导体的后处理步骤的背面研磨过程产生的废料浆中收集和提纯硅粉以回收硅粉的方法，并且更特别地提供了一种采用如下步骤回收硅粉的方法：利用收集离心机从背面研磨过程产生的废料浆中收集低纯度硅粉；将从收集离心机收集的硅粉与化学溶液混合以溶解杂质；并且通过使用提纯离心机将与化学溶液混合的硅粉提纯为高纯度硅粉。用于从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法包括：从废料浆回收硅粉的收集步骤(S100)，其中收集步骤(S100)将废料浆供至收集离心机(100)并且采用离心分离法从废料浆中收集硅粉，该收集离心机内水平安装有筒体和螺杆轴，并且筒体马达(M1)和螺杆轴马达(M2)被安装为独立地控制筒体和螺杆轴的旋转；对从废料浆收集的硅粉进行提纯的提纯步骤(S200)，其中提纯步骤(S200)包括：将收集步骤(S100)中收集的硅粉与其中酸作为主要成分且溶解杂质的化学溶液混合的搅拌步骤(S210)；以及将搅拌步骤(S210)中混合的混合物供至提纯离心机(300)并且分离硅粉的分离步骤(S220)；在真空干燥器内干燥提纯步骤(S200)中提纯的硅粉的干燥步骤(S300)；以及包装在干燥步骤(S300)中所干燥硅粉的包装步骤(S400)。

Description

从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法

技术领域

本发明涉及一种通过从半导体的后处理步骤的背面研磨(back lapping)过程产生的废料浆中收集和提纯硅粉以回收硅粉的方法，并且更特别地涉及采用以下过程回收硅粉的方法：用收集离心机从背面研磨过程产生的废料浆中收集低纯度硅粉；将从收集离心机收集的硅粉与化学溶液混合以溶解杂质；并且通过使用提纯离心机将与化学溶液混合的硅粉提纯为高纯度硅粉。

背景技术

一般地，半导体晶片工艺通常被分为三大步骤：制备步骤、前处理步骤和后处理步骤。

前处理步骤指的是通过将多种膜层压在晶片表面上并且使用预制模板重复进行选择性地蚀刻晶体的特定部分来构造电路。一般地，前处理被称为“FAB”。

后处理步骤被分为：对晶片的与形成有电路的一侧相背的表面进行研磨以具有预定厚度的背面研磨过程；将晶片切割为各个芯片并且将每个芯片连接于引线框架的组装过程；以及测试过程。

通常地，半导体晶片可被制成多种尺寸，如基于晶片的直径，为3英寸、4英寸、6英寸和8英寸。最初的晶片厚度约为600～800μm，并且晶片的背侧在后处理过程中通过背面研磨过程进行研磨，这样处理过的晶片厚度约为200μm。

在半导体制造的后处理步骤的背面研磨过程产生的废料浆中包括硅粉。废料浆中硅粉的粒径约为0.02～5μm，平均粒径为2μm。

背面研磨过程中产生的废料浆中包含的硅粉量约为0.05％。也就是说，每1000kg废料浆中就包含0.5kg的硅粉。

目前，仅韩国的一个半导体公司每天就能产生2000吨的废料浆量。2000吨废料浆大约包含1吨硅粉。

随着工业技术的发展，半导体的使用也日益增多。因此，半导体制造产生的废料浆量也逐渐增多。

另一方面，如上所述，背面研磨过程产生的废料浆中含有的硅粉百分比不仅很小，而且硅粉的粒径也很小。由于这些原因，很难收集硅粉，并且因此通常通过废品处理公司来丢弃废料浆。

本发明涉及通过从背面研磨过程产生的废料浆中收集和提纯硅粉来回收约99.9999％(6N)的高纯度硅粉的方法，这些废料浆过去通常当做废品被丢弃。

通常地，如果用离心机来收集废料浆中包含的硅粉，那么因为背面研磨过程产生的废料浆中含有的硅粉的尺寸和百分比含量的特性，不能用普通离心机的操作方法来收集硅粉。因此，用过滤器来收集硅粉的方法已经有人使用。

在普通离心机中，通过供给管供给废料浆，并且当筒体和螺杆轴旋转时，通过筒体的旋转向供给的废料浆施加离心力。废料浆中包含的硅粉被收集在筒体的内表面上并且流体通过离心力被排出。收集在筒体内表面上的硅粉在螺杆轴的作用下沿筒体的斜面移动。接着，通过筒体的高速旋转来干燥大量水分，并且硅粉被排至硅粉收集出口。

但是，如上所述，背面研磨过程产生的废料浆中包含的硅粉粒径非常小。因此，在使用普通离心机时，当硅粉在螺杆轴翼瓣的作用下沿筒体的斜面移动时，最初被收集在筒体的内表面上的一些硅粉散开了。但是，当散开硅粉量增加并且要干燥的水分增加时，大部分粒径为2～3μm或更小粒径的散开硅粉不被排至硅粉收集出口，而是混合在流体中并且通过流体出口被排至外部。因此，背面研磨过程产生的废料浆中包含的硅粉不能被普通离心机所收集。由于这些原因，废料浆被丢弃或包含在废料浆中的硅粉被过滤器所收集。

但是，在用过滤器收集硅粉的方法中，需要频繁地更换过滤器，当废料浆中包含的硅粉量很小时由于收集的硅粉量很小所以收集性能不佳，并且因为过滤器的成分与收集的硅粉混合所以硅粉纯度很低。

此外，将低纯度硅粉提纯为高纯度硅粉的方法中通常采用化学方法进行提纯。在化学方法中，硅粉被置于含有化学溶液的搅拌器中以待提纯。

化学溶液使用酸作为主要成分来分离包含在硅粉中的杂质。酸的实施例包括硫酸、过氧化氢、盐酸、硝酸、磷酸等，其通常用于半导体晶片的清洁和蚀刻。

常规的化学方法还未提供用于将硅粉从硅粉与化学溶液的混合物分离出来的任何装置。因此，为分离硅粉就使用过滤器或沉淀法。

但是，在用过滤器分离硅粉的方法中，需要频繁地更换过滤器，并且由于来自过滤器的外来物被添加于硅粉所以不能得到高纯度的硅粉。此外，在用沉淀法分离硅粉的方法中，分离硅粉需要很长的时间，因此不可能提纯大量的硅粉。

最终，前述的常规方法具有的问题在于将低纯度硅粉提纯为高纯度硅粉需要很长时间并且因此增加了提纯成本。

发明内容

技术问题

因此，本发明旨在解决上述问题，并且本发明的一个方面在于提供了一种通过使用离心机收集包含在废料浆中的硅粉细颗粒并且提纯从离心机收集的硅粉从而在短时间内从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法，这样从废料浆中得到的硅粉被提纯并且作为高纯度硅粉被回收。

技术方案

根据本发明，通过一种从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法可实现上述和其它方面，该方法包括：

收集步骤S100：将背面研磨过程产生的废料浆供至收集离心机，收集离心机内水平安装有筒体和螺杆轴并且筒体马达M1和螺杆轴马达M2被安装为分别控制筒体和螺杆轴的旋转，并且采用离心分离法从废料浆中收集硅粉；

对从废料浆中收集来的硅粉进行提纯的提纯步骤S200，其中提纯步骤S200包括：搅拌步骤S210；和分离步骤S220，其中搅拌步骤S210将收集步骤S100中收集的硅粉与其中酸作为主要成分从而溶解杂质的化学溶液混合，并且分离步骤S220将搅拌步骤S210中混合的硅粉和化学溶液的混合物供至提纯离心机300从而从废料浆中分离所收集的硅粉；干燥步骤S300，其用于在真空干燥器内干燥提纯步骤S200中提纯的硅粉；以及

包装在干燥步骤S300中所干燥硅粉的包装步骤S400。

提纯步骤S200、干燥步骤S300和包装步骤S400在干净的房间内进行以得到高纯度的硅粉。

在提纯步骤S200中以如下顺序多次交替地进行形成混合物的搅拌步骤S210和分离硅粉的分离步骤S220：搅拌步骤→分离步骤→搅拌步骤→分离步骤，一般进行2～6次。

在利用收集离心机的收集步骤S100中，根据硅粉收集步骤S110和硅粉排出步骤S120有差别地驱动收集离心机，其中硅粉收集步骤S110高速旋转筒体从而将废料浆分离为硅粉和流体，并且从废料浆中将硅粉收集在筒体的内表面，这样流体被排至流体出口同时供给废料浆且停止螺杆轴；而硅粉排出步骤S120降低筒体的旋转速度以将收集的硅粉保持在筒体内表面上并且排出硅粉收集步骤S110中收集在筒体内表面上的硅粉同时中断废料浆的供给且旋转螺杆轴。

包括水平安装的筒体和水平安装于筒体内的螺杆轴的收集离心机包括：分别控制筒体和螺杆轴的驱动和旋转从而收集细颗粒硅粉的筒体马达M1和螺杆轴马达M2。

在使用提纯离心机的分离步骤S220中，根据如下步骤驱动提纯离心机：硅粉收集步骤S221，化学溶液排出步骤S222和硅粉去除步骤S223，其中硅粉收集步骤S221将混合物供至筒体内并且高速旋转筒体以将混合物分离为硅粉S和化学溶液并且硅粉S被收集在筒体内；化学溶液排出步骤S222在硅粉收集步骤S221之后停止混合物的供应，降低筒体的旋转速度，且用勺形刮刀排出残留在筒体内的化学溶液；并且硅粉去除步骤S223在化学溶液排出步骤S222之后通过移动勺形刮刀去除收集在筒体内表面上的硅粉。

提纯离心机包括：圆柱形外壳，其水平安装且具有从外壳向下形成的排水管；圆柱形筒体，其安装于外壳内侧从而被马达驱动而旋转且具有形成于筒体一侧处的孔口以收集其内表面上硅粉；被安装为将硅粉的混合物供至筒体内的供给管；用于将收集在筒体内表面上的硅粉排至外部的出口；以及用于将收集在筒体内表面上的硅粉供至出口的勺形刮刀，其中该勺形刮刀被安装为从筒体的旋转中心向外移动。

有益效果

根据本发明，一种从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法的特征在于通过收集废料浆中含有的即使很少量细颗粒硅粉来回收高纯度的硅粉。

也就是说，即使废料浆中含有很少量的细颗粒硅粉，也能通过有差别地操作收集离心机来收集它，该离心机能够根据硅粉收集步骤S110和硅粉排出步骤S120单独地控制水平安装的筒体和螺杆轴的驱动和旋转。

此外，使用提纯离心机可在短时间内将收集的低纯度硅粉和化学溶液的混合物分离为提纯的硅粉和流体。

因此，由于低纯度硅粉在短时间内被提纯为高纯度硅粉，这就节约了回收硅粉的时间和成本。

附图说明

本发明的这些和其它方面和优点将根据下面参照附图对实施例的描述更为清楚和易于理解，附图中：

图1为示出根据本发明从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法的流程图；

图2为示出根据本发明从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法的框图；

图3为示出根据本发明优选实施例的收集离心机的前剖视图；

图4为示出用于本发明的收集离心机的部分细节剖视图；

图5为示出用于本发明的收集离心机的部分细节剖视图；

图6为示出根据本发明的收集离心机的操作步骤的图；

图7为示出用于本发明的提纯离心机的平面图；

图8为示出用于本发明的提纯离心机的侧视图；

图9为示出用于本发明的提纯离心机的前剖视图；

图10为示出用于本发明的提纯离心机的侧剖视图；

图11为根据本发明另一实施例的提纯离心机的部分细节剖视图；以及

图12为示出根据本发明另一实施例的提纯离心机操作的视图。

【主要元件的附图标记的简要描述】

S100：收集步骤    S200：提纯步骤

S300：干燥步骤    S400：包装步骤

Δt1：收集时间  Δt2：排出时间

10：废料浆

100：收集离心机

110：外壳  120：筒体

121：斜面  122，123：孔

130：螺杆轴  131：翼瓣

133：供给孔  140：供给管

M1：筒体马达  M2：螺杆轴马达

300：提纯离心机

310：基座  320：外壳

321：排水管  330：筒体

331：孔口  340：马达

341，342：皮带轮  343：动力传动轴

350：出口管  351：入口

352：导板  353：出口

354：螺杆轴  355：螺杆轴马达

360：勺形刮刀  361：活塞

362：凸轮连杆

363：勺形刮刀轴

364：压力传感器  365：制动器

370：供给管

具体实施方式

下面将参照附图详述本发明的实施例。

图1为示出根据本发明从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法的流程图，并且图2为示出相同方法的框图。用于回收硅粉的方法包括：

使用收集离心机100从背面研磨过程产生的废料浆10中回收硅粉的收集步骤S100；使用提纯离心机300将收集步骤S100收集的低纯度硅粉提纯为高纯度硅粉的提纯步骤S200；干燥在提纯步骤S200中提纯的硅粉的干燥步骤S300；以及包装所述干燥硅粉的包装步骤S400。

所述收集步骤S100包括：在收集离心机100的筒体的内表面上收集硅粉的硅粉收集步骤S1L0；以及将步骤S110中收集在筒体内表面上的硅粉排出的硅粉排出步骤S120。

为更详细地描述，在硅粉收集步骤S110中，供给废料浆10并且高速旋转筒体以使硅粉被收集在筒体的内表面，并且通过将硅粉与流体从废料浆10中分离同时停止螺杆轴来将流体排至流体出口160。在硅粉排出步骤S120中，中断废料浆10的供给从而将步骤S110中收集在筒体内表面上的硅粉排出，该筒体以减小的速度旋转以将收集的硅粉保持在筒体内表面上，并且螺杆轴旋转从而将筒体内表面上收集的硅粉排出。

如图3至5所示，所示收集离心机100包括：为筒体120安装的筒体马达M1和为螺杆轴130安装的螺杆轴马达M2，从而独立地控制筒体120和螺杆轴130的驱动和旋转。圆柱形的筒体120水平地安装在同样水平安装的圆柱形外壳110内。筒体120的相反两端被轴承所支撑从而旋转。螺杆轴130水平地安装于筒体内同时螺杆轴130的相反两端被轴承所支撑从而旋转。

更详细地，收集离心机100主要包括：水平安装的圆柱形外壳110；其相反两端被轴承所支撑的圆柱形筒体120，其水平地安装于外壳110内侧并且被从筒体马达M1传输的动力所旋转；其相反两端被轴承所支撑且具有翼瓣的圆柱形螺杆轴130，其安装于筒体120内并且被从螺杆轴马达M2传输的动力所旋转；用于将废料浆供至螺杆轴130内的供给管140；用于排出所收集硅粉的出口150；以及用于排出从废料浆10分离出的除硅粉外的流体的流体出口160，并且其中筒体120和螺杆轴130的旋转以及废料浆10的流量Q受到控制器的控制。

收集离心机100还包括：高度可调且安装于外壳110下部的多个支脚170以控制收集离心机100的水平高度。

筒体120和螺杆轴130都被安装为连接于其各自的动力传动单元125和135并且独立地被筒体马达M1和螺杆轴马达M2的动力所驱动。控制器控制筒体马达M1和螺杆轴马达M2从而控制筒体120和螺杆轴130的驱动和旋转。

动力传动单元125和135通常使用V带。如图5所示，在用于为筒体120传输动力的动力传动单元125中，连接于筒体马达M1的V带驱动轮126驱动连接于驱动轮126的V带从动轮127，并且从动轮127旋转连接于筒体120的中空轴128以传输动力。

如图4所示，在用于为螺杆轴130传输动力的动力传动单元135中，连接于螺杆轴马达M2的V带驱动轮136驱动连接于驱动轮136的V带从动轮137，并且从动轮137使安装于连接架138内侧的一轴旋转，从而使连接于与该轴连接的螺杆轴130的轴139旋转，以传输动力。

如图3至5所示，筒体120形成为圆柱形。筒体120的一侧形成为具有斜面121的圆锥形，绕斜面121末端沿圆周方向形成多个孔122以排出所收集的硅粉。在筒体120另一侧沿圆周方向形成多个孔123以排出流体。

安装于筒体120内侧的螺杆轴130形成为圆柱形。螺形形状的翼瓣131从螺杆轴130向外突出形成。在螺杆轴130内侧前部(相关附图中的左侧)形成有入口腔132，穿过供给管140供给的废料浆10在该入口腔132内流动。沿入口腔132的圆周方向形成多个供给孔133以将废料浆10供至筒体120内。

供给管140被形成为将废料浆10供至螺杆轴130的入口腔132并且具有供给阀141以控制废料浆10的流量Q。

在所述收集离心机100中，在控制器内设定的收集时间Δt1和排出时间Δt2段内，筒体马达M1和螺杆轴马达M2被控制为控制筒体120和螺杆轴130的驱动和旋转，并且安装于供给管140内侧的供给阀141被控制为控制废料浆10的流量Q。

图6示出操作收集离心机100的方法。在控制器内设定的收集时间Δt1内，螺杆轴130停止并且筒体120以4000～7000rpm的高速旋转同时废料浆10被供至供给管140。接着，供给的废料浆10通过螺杆轴130的入口腔132内形成的供给孔133被供至筒体120内。供至筒体120内的废料浆10被筒体120的高速旋转分离为硅粉和流体。分离出的硅粉被收集在筒体120的内表面上，从废料浆10分离出的除硅粉外的流体通过筒体120内形成的孔123被排至流体出口160。

当控制器内输入的收集时间Δt1过去时，在排出时间Δt2内，控制器驱动螺杆轴马达M2以旋转螺杆轴130，从而排出收集在筒体120内表面上的硅粉。当被排出时，安装于供给管140内的供给阀141中断从而停止供应废料浆，并且筒体120以1500～2500rpm的降低的速度旋转。

如图5所示，由于螺杆轴130的旋转，收集在筒体120内表面上的硅粉朝筒体120的斜面121移动，从而穿过斜面121端部处形成的孔122被排至硅粉收集出口150。

如图1所示，提纯步骤S200包括：将收集步骤S100中收集的低纯度硅粉与搅拌器内的化学溶液混合并且溶解硅粉中杂质的搅拌步骤S210；以及使用提纯离心机300从搅拌步骤S210制造的混合物中分离出硅粉的分离步骤S220。

分离步骤S220包括：将硅粉收集在筒体中的硅粉收集步骤S221将残留在筒体中的化学溶液排出的化学溶液排出步骤S222；以及将筒体中的提纯硅粉去除的去除步骤S223。

如图2所示，搅拌步骤S210和分离步骤S220重复进行并且通常重复1～6次。

搅拌步骤S210将收集步骤S100中收集的低纯度硅粉与搅拌器中的化学溶液一起搅拌，从而用化学溶液溶解混合于硅粉中的杂质。

分离步骤S220使用提纯离心机300从硅粉与化学溶液的混合物中仅分离出硅粉，其中杂质已在搅拌步骤S210中被化学反应所溶解。根据下述步骤操作提纯离心机300：将混合物供至筒体内并且高速旋转筒体以将混合物分离为硅粉S和化学溶液从而硅粉S被收集在筒体内的硅粉收集步骤S221在硅粉收集步骤S221之后停止混合物的供应并且降低筒体的旋转速度从而用勺形刮刀排出残留在筒体内的化学溶液的化学溶液排出步骤S222；以及在化学溶液排出步骤S222之后通过移动勺形刮刀去除筒体内所收集硅粉的硅粉去除步骤S223。

如图7至10所示，提纯离心机300主要包括：基座310；水平安装于基座310上的圆柱形外壳320；水平安装于外壳320内从而可旋转的筒体330；被安装为与动力传动单元连接从而旋转筒体330的马达340；用于排出筒体330内分离出的硅粉的出口管350；用于排出单独收集在筒体330内表面上的硅粉S的勺形刮刀360；以及用于将硅粉和化学溶液混合物供至筒体330内的供应管370。

如图7和8所示，基座310包括：形成为具有厚度的方形板的上基座311；形成为与上基座311对应的下基座312；以及位于上基座311与下基座312之间的多个缓冲部件313。通常，缓冲部件313使用具有弹性的橡胶以吸收法向(normal)冲击。

如图7至10所示，外壳320形成为圆柱形并且水平安装于基座310上。排水管321从外壳320向下形成。在筒体330内从其中分离出硅粉S的混合物流体通过排水管321被排出。

旋转轴外壳344安装于外壳320的一侧处。连接于筒体330的旋转轴343安装于旋转轴外壳344内，这在后面将进行描述。盖子322位于外壳320的另一侧处。

如图9所示，筒体330形成为圆柱形并且水平安装从而在外壳320内旋转。筒体330的一侧被支撑从而绕安装于旋转轴外壳344内的旋转轴343旋转，旋转轴外壳344随着旋转轴343的旋转而旋转。如图9至12所示，筒体330的另一侧包括孔口331。除了从被供至筒体330内的混合物分离出的硅粉S外的流体穿过孔口331被排出，从而通过外壳320的排水管321被排至外部。

如图9至12所示，在筒体330另一侧处形成的孔口331的尺寸小于筒体330的内径，从而避免单独收集在筒体330内表面上的硅粉S穿过孔口331被排出。

马达340被安装于基座310的一侧，用于通过动力传动单元旋转筒体330。如图7所示，马达340包括：驱动皮带轮341；通过带可操作地连接于驱动皮带轮341的从动皮带轮342；以及可操作地连接于从动皮带轮342的旋转轴343。

马达340与控制器电连接，这样筒体330的驱动和旋转受到控制器的控制。

如图9所示，出口管350穿过外壳320的盖子322并且穿过筒体330的孔口331安装于筒体330内侧，从而排出单独收集在筒体330内的硅粉S。

如图9至12所示，出口管350包括：形成于筒体330内侧的入口351；以及用于将通过勺形刮刀360(后面将描述)供应的硅粉S引导至入口351的导板352。

如图11所示，出口管350还可包括：在出口350内侧形成有螺形翼瓣的螺杆轴354，从而轻易将流入入口351的硅粉S排至外部；以及旋转螺杆轴354的螺杆轴马达355。出口353形成于出口管350的一侧处。

螺杆轴马达355与控制器电连接，这样控制器控制螺杆轴354的驱动和旋转。

如图7至12所示，勺形刮刀360被安装于筒体330内侧从而从筒体330的旋转中心向外移动并且将单独收集在筒体330内表面上的硅粉供至出口管350的入口351。

勺形刮刀360借助移位器从筒体330内侧(旋转中心)向外移动。如图7至10所示，移动勺形刮刀360的移位器包括：其一侧穿过外壳320的盖子322且另一侧安装于勺形刮刀360处同时与筒体的旋转中心偏心设置的勺形刮刀轴363；固定地安装为可操作地连接于勺形刮刀轴363末端的凸轮连杆362；以及被安装为在凸轮连杆362内通过销枢转的膨胀和收缩活塞361。如图7和8所示，制动器365被安装于外壳320的盖子322的一侧处从而限制凸轮连杆362的枢转。

当凸轮连杆362在膨胀和收缩活塞361的作用下绕勺形刮刀轴363旋转并且勺形刮刀轴363由于凸轮连杆362的旋转被旋转时，移位器将勺形刮刀360从筒体330的中心向外或向内移动，如图10至12所示。

在勺形刮刀360的末端处安装有压力传感器364。

压力传感器364测量对勺形刮刀360施加的压力从而辨别被勺形刮刀360引导的材料。

控制器控制活塞361的膨胀和收缩并且因此控制勺形刮刀360的移动。控制器基于被传至压力传感器364的信号来辨别被勺形刮刀360导入硅粉和化学溶液(流体)中的材料。

如图9所示，供给管370穿过外壳320的盖子322并且被安装于筒体330的开口331内从而将混合物供至筒体330内。

因为在搅拌器内搅拌的硅粉和化学溶液的混合物被供至供给管370，控制器控制供至供给管370的混合物的供应。为此，通常在供给管370的开口内安装阀从而控制供至供给管370的混合物。

外壳320、筒体330、出口管350、勺形刮刀360等都涂覆有聚四氟乙烯，从而避免外来物混入正在提纯的硅粉内。

干燥步骤S300干燥提纯的高纯度硅粉，优选在真空干燥器内进行干燥。

包装步骤S400包装所干燥的硅粉。

提纯步骤S200、干燥步骤S300和包装步骤S400在干净的房间内进行以得到高纯度的硅粉。

已经使用优选的示例性实施例对本发明进行了描述。但是，要了解本发明的范围不受到所公开实施例的限定。相反，本发明的范围意图包括在利用现有已知或未来的技术和等价物的本领域技术人员的能力之内作出的不同的改进和可选设置。因此权利要求的范围应当被给予最广义的解读，从而包括所有这样的改进和类似设置。

Claims (5)

1.一种从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法，包括：

从废料浆回收硅粉的收集步骤(S100)，其中收集步骤(S100)将废料浆供至收集离心机(100)并且采用离心分离法从废料浆中收集硅粉，该收集离心机内水平安装有筒体和螺杆轴，并且筒体马达(M1)和螺杆轴马达(M2)被安装为独立地控制筒体和螺杆轴的旋转；以及

对从废料浆中收集的硅粉进行提纯的提纯步骤(S200)，其中提纯步骤(S200)包括：将收集步骤(S100)中收集的硅粉与其中酸作为主要成分且溶解杂质的化学溶液混合的搅拌步骤(S210)；以及将搅拌步骤(S210)中混合的混合物供至提纯离心机(300)并且分离硅粉的分离步骤(S220)。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

在真空干燥器内干燥提纯步骤(S200)中提纯的硅粉的干燥步骤(S300)；以及

包装在干燥步骤(S300)中所干燥硅粉的包装步骤(S400)。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，提纯步骤(S200)以如下顺序交替地进行形成混合物的搅拌步骤(S210)和分离硅粉的分离步骤(S220)：搅拌步骤→分离步骤→搅拌步骤→分离步骤。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，利用收集离心机(100)的收集步骤(S100)包括：

在筒体内表面上收集硅粉的硅粉收集步骤(S110)，其中步骤(S110)高速旋转筒体从而将废料浆分离为硅粉和流体，并且从废料浆中将硅粉收集在筒体的内表面，这样在供给废料浆且停止螺杆轴的同时使流体被排至流体出口；以及

将收集在筒体内表面上的硅粉排出的硅粉排出步骤(S120)，其中步骤(S120)降低筒体的旋转速度以将收集的硅粉保持在筒体内表面上，并且在中断废料浆的供给且旋转螺杆轴的同时排出收集在筒体内表面上的硅粉。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，利用提纯离心机(300)的分离步骤(S220)包括：

将混合物供至筒体内并且高速旋转筒体以从混合物中分离出硅粉(S)和化学溶液并将硅粉(S)收集在筒体内的硅粉收集步骤(S221)；在硅粉收集步骤(S221)之后停止混合物的供应、降低筒体的旋转速度、且用勺形刮刀排出残留在筒体内的化学溶液的化学溶液排出步骤(S222)；以及在化学溶液排出步骤(S222)之后通过移动勺形刮刀去除筒体内所收集硅粉的硅粉去除步骤(S223)。

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