CN101952685A - 用于对工件进行几何测量的装置和方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于对工件进行几何测量的装置，包括具有流动通道的壳体，在流动通道内布置用于以测量流体通流的基准喷嘴，该装置包括用于在基准喷嘴上游测量第一测量流体压力的压力测量装置和用于在基准喷嘴下游测量第二测量流体压力的第二压力测量装置，为了对该装置通过如下方式进行改进，即，使该装置能够特别精确地进行几何测量，而提出：该装置包括用于测量处于基准喷嘴上的测量流体压差的压差测量装置。

Description

用于对工件进行几何测量的装置和方法

技术领域

本发明涉及一种用于对工件进行几何测量的装置，包括具有流动通道的壳体，在该流动通道内布置有用于以测量流体通流的基准喷嘴，该装置包括用于在基准喷嘴上游测量第一测量流体压力的压力测量装置和用于在基准喷嘴下游测量第二测量流体压力的第二压力测量装置。

背景技术

这种装置由DE 102 36 402 A1公知。

这种类型的装置例如应用于测量工件的内径或者外径。在此，向流动通道输送测量流体。测量流体沿测量流体流动方向通流流动通道。测量流体被施加第一测量流体压力，首先通流布置在流动通道内的基准喷嘴，然后输送给与流动通道以流体有效的方式(fluidwirksam)连接的测量喷嘴。测量流体从测量喷嘴出来流入测量喷嘴与待测量的工件之间的、作为节流点起作用的间隙内。依赖于工件几何的间隙大小影响间隙的节流作用并因此影响处于基准喷嘴与测量喷嘴之间的、在基准喷嘴下游的第二测量流体压力。按照这种方式，可以通过测量第一测量流体压力和第二测量流体压力来确定工件几何。

在大量的工件中，例如在喷射泵或者机床的部件中，要求以最小公差来制造工件尺寸并检验这些工件尺寸的遵守情况。

发明内容

由此出发，本发明的目的在于，完成一种开头所称类型的装置，该装置能够实现特别精确的几何测量。

该目的在开头所称类型的装置中依据本发明通过如下方式得以实现，即，该装置包括用于测量处于基准喷嘴上的测量流体压差的压差测量装置。

第一压力测量装置和第二压力测量装置例如能够以第一压力传感器或第二压力传感器的形式构成。这些压力测量装置分别测量在测量流体的流动方向上观察处于基准喷嘴前面的第一压力测量值和在测量流体的流动方向上观察处于基准喷嘴后面的第二压力测量值。这些压力测量值可以是绝对压力或者相对压力，例如相对于装置的环境压力的相对压力。

相对于第一压力测量装置和第二压力测量装置附加地设置的压差测量装置现在能够实现的是，直接测量处于基准喷嘴上的测量流体压差。因此，相对于第一压力测量装置的测量信号和第二压力测量装置的测量信号附加地提供第三压力测量值形式的第三测量信号，该第三测量信号可以用来确定工件的尺寸。总计至少三个压力测量装置中的每个压力测量装置都产生测量信号，该测量信号受制于测量精度并且因此并不总是在数学上精确地相应于实际存在的压力值。借助于第三测量信号现在可以对这些测量精度进行补偿，方法是：将所有三个测量信号用于确定工件的尺寸，和/或者方法是：首先检验三个测量信号的合理性，之后将这些测量信号中的至少两个测量信号用于确定工件的尺寸。利用依据本发明的装置可以实施对工件的几何测量，即使在仅使用总计至少三个可供使用的压力测量装置中的两个压力测量装置的情况下也可以实施对工件的几何测量。

此外，通过使用总计三个压力测量装置能够以简单的方式实现的是，可以确定三个测量装置之一的故障，例如方法是：将借助压差测量装置所测得的压差与在第一压力测量值与第二压力测量值之间通过计算求得的差进行比较。

压差测量装置以具有优点的方式在基准喷嘴上游和下游与流动通道以流体有效的方式连接。这能够实现直接地和精确地测量处于基准喷嘴上的测量流体压差。

优选的是，压差测量装置以压差传感器的形式构成。这能够提供一种结构紧凑的压差测量装置。

此外，优选的是，压差测量装置布置在壳体上或者内，从而可以完成一种结构紧凑的装置。

本发明的目的在开头所称类型的装置中依据本发明还通过如下方式得以实现，即，该装置包括用于对测量流体湿度进行测量的湿度测量装置。尤其优选的是，该装置包括用于测量处于基准喷嘴上的测量流体压差的压差测量装置和用于对测量流体湿度进行测量的湿度测量装置。

测量流体的湿度含量影响测量流体的粘度并因此影响经过装置的流动通道流动的测量流体量和在流动方向上观察处于基准喷嘴前面或者后面的测量流体压力。例如将压缩空气用作测量流体，该压缩空气的湿度可以依赖于压缩空气的制备质量而变化。测量流体较高的湿度提高了粘度，由此，经过流动通道流动的测量流体量减少并且处于流动通道内的测量流体压力增加。

借助于湿度测量装置可以将测量流体湿度用作另一用于确定工件尺寸的参数，由此提高确定这种尺寸的精度。

有利的是，湿度测量装置具有与流动通道以流体有效的方式连接的湿度测量面。这能够实现直接对流经流动通道的测量流体的湿度进行测量。

以具有优点的方式，湿度测量装置以湿度传感器的形式构成。这能够实现提供一种结构紧凑的湿度测量装置。

此外，优选的是，湿度测量装置布置在壳体上或者内。这能够实现提供一种结构紧凑的装置。

特别优选的是，该装置包括用于对测量流体温度进行测量的温度测量装置。由此提供用于确定工件尺寸的另一参数。该参数特别重要，因为它直接影响经过流动通道流动的测量流体量，但也影响依赖于基准喷嘴材料的温度系数而发生变化的基准喷嘴几何结构。

有利的是，温度测量装置具有与流动通道以流体有效的方式连接的温度测量面。这能够实现直接对测量流体的温度进行测量。

优选的是，温度测量装置以温度传感器的形式构成。

此外有利的是，温度测量装置布置在壳体上或者内。

在本发明另一种优选的实施方式中，设置有用于测量装置环境温度的环境温度测量装置。这种环境温度测量装置能够实现的是，提供用于确定工件尺寸的另一参数。对此可供选择地或者附加地可以实现的是，对装置本身的温度、装置测量喷嘴的温度和/或者工件的温度进行测量。但借助于环境温度测量装置可以实现的是，在将装置环境的与时间单位相关的温度变化保持在对生产条件来说常见的框架内时，至少推断出装置的温度、装置的测量喷嘴的温度和/或者工件的温度。

按照本发明的一种实施方式，环境温度测量装置具有与装置的环境以流体有效的方式连接的温度测量面。这能够实现直接测量环境温度。

对此可供选择地或者附加地，具有优点的是，环境温度测量装置具有在中间安设有中间体的情况下与装置环境保持热接触的温度测量面。这种中间体例如可以通过装置的保护温度测量面免受机械影响的壳体段形成。使用中间体此外能够实现的是，使环境温度测量装置对例如由于生产人员的触摸接触而出现的短时间热干扰的反应不那么敏感。

此外，优选的是，环境温度测量装置以温度传感器的形式构成。

有利的是，环境温度测量装置布置在壳体上或者内，从而可以完成一种结构紧凑的装置。

以具有优点的方式，该装置包括用于评估至少一个测量装置的信号的评估单元。该评估单元同样可以布置在壳体上或者内。对此可供选择地或者附加地，评估单元也可以设置在装置的外面(外部)。

该装置的测量装置，即第一压力测量装置和/或者第二压力测量装置和/或者压差测量装置和/或者湿度测量装置和/或者用于对测量流体温度进行测量的温度测量装置和/或者用于对装置的环境温度进行测量的环境温度测量装置，可以通过如下方式来配置，即，使它们提供模拟或者数字测量值。可以为这些测量装置中的每个测量装置分配自己的地址。至少一个测量装置与评估单元的耦合可以有线地或者无线地进行。

优选的是，至少一个测量装置与评估单元之间的数据传输通过总线系统进行。

以具有优点的方式，该装置包括用于以测量流体通流的测量喷嘴。测量流体在该装置工作时首先通流基准喷嘴然后通流测量喷嘴。测量喷嘴以其几何结构与待确定的工件尺寸相配合。例如，为了测量工件的内径可以使用塞规，而为了测量工件的外径可以使用环规。

依据本发明的装置能够实现的是，高精度地确定气缸和活塞的尺寸，尤其是高精度地确定设置应用于喷射泵的气缸和活塞的尺寸。

本发明此外涉及一种用于对工件进行几何测量的方法，其中，布置在壳体的流动通道内的基准喷嘴被以测量流体通流，其中，在基准喷嘴上游对第一测量流体压力进行测量，并且其中，在基准喷嘴下游对第二测量流体压力进行测量。

本发明的另一目的在于，提供一种对工件进行几何测量的特别精确的方法。

该目的在上述所称方法中依据本发明通过如下方式得以实现，即，相对于第一测量流体压力和第二测量流体压力来说附加地测量处于基准喷嘴上的测量流体压差和/或者对测量流体的测量流体湿度进行测量。由此形成参照依据本发明的装置的前述优点。

按照本发明的一种具有优点的实施方式，测定在所测得的测量流体压差与所测得的第一测量流体压力和所测得的第二测量流体压力的差之间的偏差。这种偏差的测定能够实现，检验用于测量第一测量流体压力、第二测量流体压力和测量流体压差的测量装置是否功能正常并且是否采集到合理的测量值。

以具有优点的方式，将所测定的偏差与极限值进行比较，从而对于所测定的偏差或者所测定的偏差的量超过极限值的情况，可以确定测量装置之一不稳定或者发生故障并且必须进行更换。

优选的是，极限值是可以调整的，从而保证在对工件进行的确定的几何测量所要求的测量精度上的适应性。

此外，优选的是，在使用所测得的第一测量流体压力和/或者所测得的第二测量流体压力的情况下对测量流体量进行测定，并且在使用所测定的测量流体量的情况下来确定工件的尺寸。这种方法能够实现的是，依赖于测量流体量来确定工件的尺寸，该测量流体量可以基于至少一个测量流体压力例如借助于配置功能来测定。因此可以确定从测量喷嘴中排出的测量流体量。因为在一方面该测量流体量与另一方面测量喷嘴与待确定的工件尺寸的碰撞面之间的间距之间存在直接的联系，所以这种尺寸可以在使用测量流体量的情况下特别精确地确定。

可以进一步改善测量精度的是，在使用所测得的测量流体压差的情况下对测量流体量进行测定。

还可以改善测量精度，方法是：在使用测量流体的所测得的测量流体湿度的情况下对测量流体量进行测定。

可以实现进一步提高工件几何测量的精度的是，对测量流体温度进行测量并且在使用所测得的测量流体温度的情况下对测量流体量进行测定。

对此可供选择地或者附加地，具有优点的是，测量环境温度，并且在使用所测得的环境温度的情况下确定工件的尺寸。

优选的是，测量流体量与时间单位相关，例如与处于两次测量之间的时间间隔相关。

本发明还涉及用于实施上述方法来进行工件几何测量的上述装置的应用。

附图说明

本发明的其他特征和优点是对优选实施例的下列说明和图示性描述的主题。

附图中：

图1示出用于对工件进行几何测量的装置第一实施方式的透视图；

图2示出依据图1装置的前视图；

图3示出依据图1装置的后视图；

图4示出依据图1装置的第一侧视图：

图5示出依据图1装置的俯视图；

图6示出依据图1装置的第二侧视图；

图7示出依据图1装置的仰视图；

图8示出依据图1装置沿图5中线VIII-VIII的视图；以及

图9示出用于对工件进行几何测量的装置第二实施方式的与图8相应的视图。

相同的或者功能上等效的元件在所有附图中采用同一附图标记来标注。

具体实施方式

图1至8中示出的是，用于对工件进行几何测量的采用10来标注的装置的第一实施方式。

装置10具有沿壳体轴线14延伸的壳体12。沿壳体轴线14观察，装置10在前侧16(参照图2)与后侧18(参照图3)之间延伸。

壳体12具有第一壳体部分20和第二壳体部分22。第一壳体部分20包括基本上圆柱体形的、构成壳体12前侧16的尤其呈圆盘形的壳体件24。第二壳体部分22包括基本上圆柱体形的、构成壳体12后侧18的尤其呈圆盘形的壳体件26。

第二壳体部分22此外包括中心壳体件28。中心壳体件28和壳体件26相互一体式地构成。横向于壳体轴线14观察，与壳体件24和26相比，中心壳体件28具有更小的横截面。壳体件24与26之间布置有在图8中采用虚线表示的空心圆柱体形的壳体件30。壳体件30形成壳体12的圆柱体外壁32。装置10包括呈环形的中间空隙34，该中间空隙关于壳体轴线14径向向外通过壳体件30来界定并且径向向内通过中心壳体件28来界定。

装置10包括在壳体12的前侧16与后侧18之间延伸的流动通道36。流动通道36沿流动通道轴线38延伸，该流动通道轴线优选与壳体12的中心壳体轴线14对准。

壳体件24包括流动通道36在前侧16与中心壳体件28之间延伸的第一分段40。第一分段40具有分段轴线42。第二壳体部分22具有流动通道36的第二分段44并且包括分段轴线46。分段轴线42和46彼此略微相距开或者相互对准。

流动通道36的第二分段44包括与壳体件24相邻地布置的分配室48以及在此邻接的流动通道段50。流动通道段50在其远离分配室48的端部上通到流动通道段52。流动通道段52以壳体12后侧18的高度在横截面内扩展的端部段54上结束。

第一分段40形成流动通道36的通道入口56；端部段54形成流动通道36的通道出口58。

在流动通道36内布置有基准喷嘴60，该基准喷嘴具有包括喷嘴通道轴线64在内的喷嘴通道62。喷嘴通道轴线64优选与流动通道36的流动通道轴线38对准。

基准喷嘴60具有顶端部分66以及与该顶端部分一体式构成的脚部分68。顶端部分66的横截面大于脚部分68的横截面。顶端部分66具有略微小于流动通道段50的横截面。

为了将基准喷嘴60与壳体12连接起来，装置10包括连接装置70。该连接装置包括第一连接段72，该第一连接段布置在壳体12上和并且尤其以内螺纹的形式构成。连接装置70此外包括第二连接段74，该第二连接段设置在基准喷嘴60上并且优选以外螺纹的形式构成。

装置10具有大量的测量装置，这些测量装置以流体有效的方式与流动通道36连接并且为此用于测量通流流动通道36的测量流体的参数。

装置10包括第一压力传感器78形式的第一压力测量装置76。第一压力传感器78通过导线80与流动通道36的在基准喷嘴60上游的流动通道段50保持流体有效地连接。

装置10此外包括第二压力传感器84形式的第二压力测量装置82。第二压力传感器84通过导线86以流体有效的方式与流动通道36的在基准喷嘴60下游的流动通道段52连接。

装置10此外包括压差传感器90形式的压差测量装置88。压差传感器90通过第一导线92与在基准喷嘴60上游的流动通道段50以流体有效的方式连接并且通过第二导线94与在基准喷嘴下游的流动通道段52以流体有效的方式连接。

装置10此外包括温度传感器98形式的温度测量装置96。温度传感器98具有指向流动通道段50方向的温度测量面100。

测量装置76、82、88和96布置在共同的第一壳体平面102的内部。壳体轴线14优选在壳体平面102的内部延伸。特别优选的是，第一压力测量装置76和第二压力测量装置82关于流动通道36布置在压差测量装置88的对置的侧上。此外优选的是，温度测量装置96在壳体平面102的内部关于流动通道36布置在与压差测量装置88相同的侧上。

测量装置76、82、88和96与图8中以虚线表示的评估单元104连接。评估单元104优选布置在壳体12的中间空隙34内。出于概览的原因，将测量装置76、82、88和96与评估单元104连接起来的数据线在该附图中未示出。评估单元104可以与例如布置在装置10环境106内的其他数据技术装置无线或者有线地连接。针对评估单元104与另一数据技术装置之间的有线连接，第一壳体部分20包括电缆通道108，用于将壳体12的中间空隙34与环境106连接起来。

沿喷嘴通道轴线64观察，基准喷嘴60的喷嘴通道62具有一横截面，沿配属于基准喷嘴60的第一通流方向110观察，该横截面首先变窄然后又加宽。该通流方向110与基准喷嘴60的第二通流方向111指向相反。基准喷嘴60优选是标准化的喷嘴，该喷嘴例如被确定使用于汽化器中并且在这种使用中在第一通流方向110上被以空气和/或者燃油通流。

为了制造装置10，将基准喷嘴60连同脚部分68事先在接合方向112上引入到第二壳体部分22的流动通道段50内。接合方向112和基准喷嘴60的第一通流方向110相同。借助于连接装置70将基准喷嘴60与第二壳体部分22连接，方法是：将第二连接段74旋入第一连接段72内。为了沿壳体轴线14对基准喷嘴60进行定位，第二壳体部分22具有止挡部114。在基准喷嘴60与壳体12完成接合的状态下，基准喷嘴60的顶端部分66贴靠在止挡部114上。

在将基准喷嘴60装配在流动通道36内之后，第一壳体部分20和第二壳体部分22例如借助于至少一个螺纹连接部116相互连接(参照图2)。

在装置10的一种可供选择的、在附图中未示出的实施方式中，流动通道段52在基准喷嘴60下游具有如下大小的横截面，即，使基准喷嘴60可以在与第一通流方向110相反的接合方向116上与壳体12接合。在该实施方式中，优选的是，连接装置70在基准喷嘴60上构成的第二连接段74布置在基准喷嘴60的顶端部分66上。

装置10的工作原理如下。

为了准备在工件118(参照图8)上进行测量，将测量喷嘴120以流体有效的方式与流动通道36的通道出口58连接。工件118例如具有孔122，要对该孔的直径进行检验。测量喷嘴120的几何结构与工件118待检验的尺寸的几何结构相配合。为了准备在工件118上进行测量，将测量喷嘴120引入孔122内。随后向流动通道36施加测量流体，尤其是施加压缩空气。测量流体在测量流体流动方向123上流经流动通道36，该测量流体流动方向从流动通道的通道入口56指向通道出口54并且相应于基准喷嘴60的第一通流方向110。测量流体经过通道入口56到达流动通道36的第一分段40内并且继续经过分配室48、流动通道段50、喷嘴通道62和流动通道段52向通道出口54流动并且从该通道出口向测量喷嘴120流动。测量喷嘴120具有用于测量流体的排出口，从而测量流体可以从测量喷嘴120排出。测量喷嘴120的几何结构通过如下方式与工件118待检验的尺寸协调一致，即，形成作为节流点起作用的间隙，在该节流点上出现测量流体压力损耗。

基准喷嘴60作为另外的节流点来起作用，在该节流点上同样出现压力损耗。借助于压力测量装置76、82和88可以测量流动通道段50和52内的压力并且以压力测量值的形式转交到评估单元104。在评估单元104内或者在与评估单元104数据技术连接的外部装置内储存通过在基准工件上进行测量所测定的配置功能。借助于这些配置功能可以确定待检验的工件118上的工件尺寸。

这些配置功能中可以储存影响对工件118进行测量的精度的其他参数。这些参数例如是测量流体的温度和/或者湿度和/或者装置10环境106的温度。为了确定测量流体的温度和/或者湿度和/或者环境温度对测量有哪些影响，可以在基准工件上实施基准测量。在这些基准测量期间，优选的是，分别仅改变一个所称的参数，从而配置功能可以被补充以校正功能或者可以将这些校正功能集成到配置功能中。

借助于压力测量装置76、82和88可以分别采集配属于这些装置的压力测量值。尤其优选的是，使用至少一个压力测量值，以确定例如在可预先规定的时间间隔内流过装置10的测量流体量。该测量流体量可以借助于通过在基准工件上的测量所确定的配置功能换算成待检验的工件118的尺寸。优选的是，对测量流体量的确定附加地依赖于至少一个参数测量流体的温度和/或者湿度和/或者环境106的温度来进行。

装置10此外能够实现的是，可以确定压力测量装置76、82和/或者88之一的故障。为此可以测定一方面借助于压差测量装置88所测得的压差与另一方面从第一压力测量值和第二压力测量值中产生的差之间的偏差。如果所测定的偏差超过可预先规定的极限值，那么由此可以得出：至少一个压力测量装置76、82、88出现故障并且必须更换和/或者修理装置10。

图9中所示的、采用210标注的用于对工件118进行几何测量的装置的实施方式具有与上述用于对工件118进行几何测量的装置10类似的结构。就此而言，参阅与装置10的结构、制造和工作原理相关的上述说明。

与装置10的区别在于，装置210相对于测量装置76、82、88和96附加地包括湿度传感器126形式的湿度测量装置124。湿度传感器126包括与装置210的流动通道36以流体有效的方式连接的湿度测量面128。优选的是，湿度测量面128与在基准喷嘴60上游的流动通道36的流动通道段50保持流体有效地连接。

装置210此外包括温度传感器132形式的环境温度测量装置130。温度传感器132布置在流动通道36的外面，例如在第一壳体部分20内或者上。温度传感器132具有面向装置210前侧16的温度测量面134。在温度测量面134与装置210的前侧16之间布置有中间体136，借助该中间体，温度测量面134与装置210的环境106相互保持热接触。中间体136优选通过壳体12的材料段形成，尤其是通过壳体件24的材料段形成。

湿度测量装置124布置在第二壳体平面138内。第二壳体平面138保持垂直于或者基本上垂直于在图9中示出的与装置10的第一壳体平面102相应的剖面。

在装置210的一种可供选择的、在附图中未示出的实施方式中，用于测量流经流动通道36的测量流体的温度测量装置96同样布置在第二壳体平面138的内部。在此优选的是，温度测量装置96和湿度测量装置124与流动通道36相关地布置在彼此对置的侧上。

借助于湿度测量装置124和借助于环境温度测量装置130提供可以用来在工件118上进行测量的另外两个参数。通过在基准工件上进行测量，可以对这些参数的影响进行确定，在配置功能内加以储存并且在测量待检验的工件118时予以考虑。

装置10、210能够实现特别精确地对工件118进行几何测量。通过基准喷嘴60的适当的装入位置、流动通道36的基本上直线的分布以及通过大量可供使用的测量值，可以特别精确地对工件118进行几何测量。附加地，可以实现用于检验压力测量装置76、82、88功能性的诊断功能。

Claims (30)

1.用于对工件(118)进行几何测量的装置(10、210)，包括具有流动通道(36)的壳体(12)，在所述流动通道(36)内布置有用于以测量流体通流的基准喷嘴(60)，所述装置(10、210)包括用于在所述基准喷嘴(60)上游测量第一测量流体压力的压力测量装置(76)和用于在所述基准喷嘴(60)下游测量第二测量流体压力的第二压力测量装置(82)，其特征在于用于测量处于所述基准喷嘴(60)上的测量流体压差的压差测量装置(88)。

2.按权利要求1所述的装置(10、210)，其特征在于，所述压差测量装置(88)在所述基准喷嘴(60)上游和下游与所述流动通道(36)以流体有效的方式连接。

3.按前述权利要求之一所述的装置(10、210)，其特征在于，所述压差测量装置(88)以压差传感器(90)的形式构成。

4.按前述权利要求之一所述的装置(10、210)，其特征在于，所述压差测量装置(88)布置在所述壳体(12)上或者内。

5.按前述权利要求之一或权利要求1前序部分所述的装置(10、210)，其特征在于用于对测量流体湿度进行测量的湿度测量装置(124)。

6.按权利要求5所述的装置(10、210)，其特征在于，所述湿度测量装置(124)具有与所述流动通道(36)以流体有效的方式连接的湿度测量面(128)。

7.按权利要求5或6所述的装置(10、210)，其特征在于，所述湿度测量装置(124)以湿度传感器(126)的形式构成。

8.按权利要求5-7之一所述的装置(10、210)，其特征在于，所述湿度测量装置(124)布置在所述壳体(12)上或者内。

9.按前述权利要求之一所述的装置(10、210)，其特征在于用于对测量流体温度进行测量的温度测量装置(96)。

10.按权利要求9所述的装置(10、210)，其特征在于，所述温度测量装置(96)具有与所述流动通道(36)以流体有效的方式连接的温度测量面(100)。

11.按权利要求9或10所述的装置(10、210)，其特征在于，所述温度测量装置(96)以温度传感器(98)的形式构成。

12.按权利要求9-11之一所述的装置(10、210)，其特征在于，所述温度测量装置(96)布置在所述壳体(12)上或者内。

13.按前述权利要求之一所述的装置(10、210)，其特征在于用于测量所述装置(10、210)环境温度的环境温度测量装置(130)。

14.按权利要求13所述的装置(10、210)，其特征在于，所述环境温度测量装置(130)具有与所述装置(10、210)的环境(106)以流体有效的方式连接的温度测量面(134)。

15.按权利要求13或14所述的装置(10、210)，其特征在于，所述环境温度测量装置(130)具有在中间安设有中间体(136)的情况下与所述装置(10、210)的所述环境(106)保持热接触的温度测量面(134)。

16.按权利要求13-15之一所述的装置(10、210)，其特征在于，所述环境温度测量装置(130)以温度传感器(132)的形式构成。

17.按权利要求13-16之一所述的装置(10、210)，其特征在于，所述环境温度测量装置(130)布置在所述壳体(12)上或者内。

18.按前述权利要求之一所述的装置(10、210)，其特征在于用于评估至少一个测量装置(76、82、88、96、124、130)的信号的评估单元(104)。

19.按前述权利要求之一所述的装置(10、210)，其特征在于用于以所述测量流体通流的测量喷嘴(120)。

20.用于对工件(118)进行几何测量的方法，其中，布置在壳体(12)的流动通道(36)内的基准喷嘴(60)被以测量流体通流，其中，在所述基准喷嘴(60)上游对第一测量流体压力进行测量，并且其中，在所述基准喷嘴(60)下游对第二测量流体压力进行测量，其特征在于，相对于所述第一测量流体压力和所述第二测量流体压力来说附加地测量处于所述基准喷嘴(60)上的测量流体压差和/或者对所述测量流体的测量流体湿度进行测量。

21.按权利要求20所述的方法，其特征在于，测定在所测得的测量流体压差与所测得的第一测量流体压力和所测得的第二测量流体压力的差之间的偏差。

22.按权利要求21所述的方法，其特征在于，将所述偏差与极限值进行比较。

23.按权利要求22所述的方法，其特征在于，所述极限值是能调整的。

24.按权利要求20-23之一所述的方法，其特征在于，在使用所测得的所述第一测量流体压力和/或者所测得的所述第二测量流体压力的情况下对测量流体量进行测定，并且在使用所测定的所述测量流体量的情况下来确定所述工件(118)的尺寸。

25.按权利要求24所述的方法，其特征在于，在使用所测得的所述测量流体压差的情况下对所述测量流体量进行测定。

26.按权利要求24或25所述的方法，其特征在于，在使用所述测量流体的所测得的所述测量流体湿度的情况下对所述测量流体量进行测定。

27.按权利要求24-26之一所述的方法，其特征在于，对测量流体温度进行测量并且在使用所测得的所述测量流体温度的情况下对所述测量流体量进行测定。

28.按权利要求24-27之一所述的方法，其特征在于，测量环境温度，并且在使用所测得的所述环境温度的情况下确定所述工件(118)的所述尺寸。

29.按权利要求24-28之一所述的方法，其特征在于，所述测量流体量与时间单位相关。

30.用于实施按权利要求20-29之一所述的方法的、按权利要求1-19之一所述的装置的应用。

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