CN101949961A - 射频测试用直流偏置探针卡 - Google Patents

射频测试用直流偏置探针卡 Download PDF

Info

Publication number
CN101949961A
CN101949961A CN 201010254137 CN201010254137A CN101949961A CN 101949961 A CN101949961 A CN 101949961A CN 201010254137 CN201010254137 CN 201010254137 CN 201010254137 A CN201010254137 A CN 201010254137A CN 101949961 A CN101949961 A CN 101949961A
Authority
CN
China
Prior art keywords
circuit
direct current
probe card
signal
signal line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN 201010254137
Other languages
English (en)
Other versions
CN101949961B (zh
Inventor
吴振海
徐光�
钱峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nanjing Guobo Electronics Co.,Ltd.
Original Assignee
CETC 55 Research Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CETC 55 Research Institute filed Critical CETC 55 Research Institute
Priority to CN2010102541371A priority Critical patent/CN101949961B/zh
Publication of CN101949961A publication Critical patent/CN101949961A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101949961B publication Critical patent/CN101949961B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

本发明是射频测试用直流偏置探针卡，其特征是包括一扇形探针卡基板，在探针卡基板上设有多个信号线路及接地线路，信号线路和信号线路相互间隔距上设有至少一个接地线路，有防止外部噪声干扰该信号线路的电性防护作用；接头安装位置为信号线路的引出端，用于连接测试设备偏置信号；信号线路一端连接接头安装位置，信号线路的另一端接探针；信号线路的背面设有防震电路。优点：各信号线路供以传输该测试设备的偏置信号，接地线路电性导通至该测试机的电位零点，作为各该信号线路的特性阻抗参考基准；根据被测器件的不同安装不同的电容电阻，减小信号间的互扰。结构设计简单，适用于标准化生产。降低信号噪声及电路震荡，提升射频在片的测试品质。

Description

射频测试用直流偏置探针卡
技术领域
本发明涉及的是一种异型带有防震电路设计的射频测试用直流偏置探针卡，属于集成电路设计技太领域。
背景技术
探针卡是将探针卡上的探针与射频集成电路晶片上的芯片测试焊垫直接接触，配合测试设备与软件控制将测试信号透过探针卡上电路板传输至探针以至芯片，达到自动化的芯片级测试目的，其中探针的排列密度则需细微到可对应于芯片上相邻测试焊垫之间隙，且单一探针卡为了可广泛应用于不同制备技术的集成电路晶片，探针卡的电路板设计往往不会以特定走线布设的方式作为电路传输的结构，而为在测试设备用以探点的导线与探针间设置传输线的跳线结构，通过此将电测信号送至探针。目前，探针卡制作厂家提供的探针卡基板主要应用于直流的在片测试，基板尺寸太大，无法满足射频在片测试的要求，另外，基板电路也没有做专门的防震电路。探针卡制作厂家提供的探针卡基板主要应用于直流的在片测试，基板尺寸太大，无法满足射频在片测试的要求，另外，基板电路也没有做专门的防震电路。
发明内容
本发明提出的是一种异型带有防震电路设计的射频测试用直流偏置探针卡，其目的旨在克服现有技术所存在的缺陷，可以低空间密度且高品质的传输线结构传送偏置信号至探针上，有效降低电路震荡并提升射频在片的测试品质。
本发明的技术解决方案：其特征是包括一扇形探针卡基板，在探针卡基板上设有多个信号线路及接地线路，信号线路和信号线路相互间隔距上设有至少一个接地线路，有防止外部噪声干扰该信号线路的电性防护作用；接头安装位置为信号线路的引出端，用于连接测试设备偏置信号；信号线路一端连接接头安装位置，信号线路的另一端接探针；信号线路的背面设有防震电路。
本发明的优点：各信号线路供以传输该测试设备的偏置信号，接地线路电性导通至该测试机的电位零点，有防止外部噪声干扰该信号线路的电性防护作用，并作为各该信号线路的特性阻抗参考基准；根据被测器件的不同安装不同的电容电阻，以消除信号中的噪声和震荡。选用和金接触电阻最小的铍铜材料，改变针卡出针的角度以增大相邻针的间距，减小信号间的互扰。在信号针和接地针的针尖之间焊接电容更好的降低信号噪声和震荡，结构设计简单，适用于标准化生产。在测试性能上大大降低了信号噪声及电路震荡，提升射频在片的测试品质。
附图说明
附图1是本发明基板的主视结构示意图。
附图2是本发明基板的后视结构示意图。
图3是防震电路203的电路结构示意图
图4是本专利控针卡与普通控针卡对比图
图中的101是接地线路、102是信号线路、103是针尖安装电容位置、104是接头安装位置、201是大面积金属接地、202是接头安装位置、203是预留的防震电路。
具体实施方式
对照附图1，其结构是包括一扇形探针卡基板，在探针卡基板上设有多个信号线路102及接地线路101，信号线路102和信号线路102相互间隔距上设有至少一个接地线路101，有防止外部噪声干扰该信号线路的电性防护作用。接头安装位置104为信号线路102的引出端，用于连接测试设备偏置信号。信号线路102一端连接接头安装位置104，信号线路102的另一端接探针。信号线路102的背面设有防震电路。
对照附图2，其结构是包括大面积金属接地201，接头安装位置202是在104的背面与其相通，预留的防震电路203是在102的背面与其相通。
对照附图3，预留的防震电路203的结构是第1号控针与第2号控针上方的电容焊接在针尖安装电容位置103，第1号控针与第2号控针下方的电容和电阻到地是焊在预留的防震电路203的位置，电容加电阻到地的电路是用于消除高频噪声和纹波。
以2GHz-5GHz单片低噪声功放为例，使用本专利探针卡大大降低了信号噪声及电路震荡，增益比普通探针卡大约10dBm，大大提高了测试品质。
直流探卡的设计，它直接关系到测试的稳定性和准确性。如功率单片电路末级栅宽较大，很容易在低频产生震荡。常规夹具测试时将去耦电容贴近芯片就可以很容易将直流和微波去耦干净。但是在片测试是通过直流探针卡加电，直流探针等效为电感(一般几nH/mm)，去耦电容无法直接加到芯片根部。对于这一问题可以通过探针卡基板背面的预留防震电路在每个传输线并联电容(5pf～10pf)到地，和在信号针和地针加装针尖之间焊接电容，可以一定程度上解决震荡问题。特别是针对射频的功率单片，效果非常明显。

Claims (3)

1.射频测试用直流偏置探针卡，其特征是包括一扇形探针卡基板，在探针卡基板上设有多个信号线路(102)及接地线路(101)，信号线路(102)和信号线路(102)相互间隔距上设有至少一个接地线路(101)，有防止外部噪声干扰该信号线路的电性防护作用；接头安装位置(104)为信号线路(102)的引出端，用于连接测试设备偏置信号；信号线路(102)一端连接接头安装位置(104)，信号线路(102)的另一端接探针；信号线路(102)的背面设有防震电路。
2.根据权利要求1所述的射频测试用直流偏置探针卡，其特征是接头安装位置(202)是在接头安装位置(104)的背面与接头安装位置(104)相通，预留的防震电路(203)是在信号线路(102)的背面与信号线路(102)相通。
3.根据权利要求1所述的射频测试用直流偏置探针卡，其特征是预留的防震电路(203)的结构是第1号控针与第2号控针上方的电容焊接在针尖安装电容位置(103)，第1号控针与第2号控针下方的电容和电阻到地是焊在预留的防震电路(203)的位置，电容加电阻到地的电路是用于消除高频噪声和纹波。
CN2010102541371A 2010-08-16 2010-08-16 射频测试用直流偏置探针卡 Active CN101949961B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010102541371A CN101949961B (zh) 2010-08-16 2010-08-16 射频测试用直流偏置探针卡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010102541371A CN101949961B (zh) 2010-08-16 2010-08-16 射频测试用直流偏置探针卡

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101949961A true CN101949961A (zh) 2011-01-19
CN101949961B CN101949961B (zh) 2012-09-12

Family

ID=43453531

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010102541371A Active CN101949961B (zh) 2010-08-16 2010-08-16 射频测试用直流偏置探针卡

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101949961B (zh)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102998497A (zh) * 2012-12-11 2013-03-27 北京确安科技股份有限公司 一种跳格式探针卡制作方法
CN106409707A (zh) * 2015-07-28 2017-02-15 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 非接触式射频芯片晶元测试方法及装置
CN107765039A (zh) * 2017-11-15 2018-03-06 上海华虹宏力半导体制造有限公司 探针卡电路及其测试方法
CN108766900A (zh) * 2018-04-12 2018-11-06 中国电子科技集团公司第五十五研究所 一种在片测试直流探针卡
CN109100593A (zh) * 2018-08-16 2018-12-28 伊犁师范学院 可克服交流磁场干扰的直流偏磁检测装置
TWI716808B (zh) * 2018-02-06 2021-01-21 日商日立全球先端科技股份有限公司 探針模組及探針
CN112285440A (zh) * 2020-10-26 2021-01-29 深圳市卓睿通信技术有限公司 一种天线测试工装及天线测试设备
CN112782563A (zh) * 2021-01-22 2021-05-11 上海华虹宏力半导体制造有限公司 载板测试结构及测试方法
CN113433348A (zh) * 2021-06-03 2021-09-24 中北大学 一种用于微波测试的探针
US11709199B2 (en) 2018-02-06 2023-07-25 Hitachi High-Tech Corporation Evaluation apparatus for semiconductor device
CN117289115A (zh) * 2023-11-24 2023-12-26 北京国科天迅科技股份有限公司 芯片测试底座生成方法、装置及计算机设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2711898Y (zh) * 2004-07-22 2005-07-20 美亚国际电子股份有限公司 高频悬臂式探针卡
CN1715933A (zh) * 2004-06-01 2006-01-04 特克特朗尼克公司 用于测量探头的宽带宽衰减器输入电路
US20060152234A1 (en) * 2005-01-07 2006-07-13 Formfactor, Inc. Method and apparatus for increasing operating frequency of a system for testing electronic devices
CN2879196Y (zh) * 2006-02-22 2007-03-14 威盛电子股份有限公司 芯片测试模块
CN101074970A (zh) * 2006-05-16 2007-11-21 株式会社瑞萨科技 传输电路、探针板、探针卡、半导体检查装置及制造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1715933A (zh) * 2004-06-01 2006-01-04 特克特朗尼克公司 用于测量探头的宽带宽衰减器输入电路
CN2711898Y (zh) * 2004-07-22 2005-07-20 美亚国际电子股份有限公司 高频悬臂式探针卡
US20060152234A1 (en) * 2005-01-07 2006-07-13 Formfactor, Inc. Method and apparatus for increasing operating frequency of a system for testing electronic devices
CN2879196Y (zh) * 2006-02-22 2007-03-14 威盛电子股份有限公司 芯片测试模块
CN101074970A (zh) * 2006-05-16 2007-11-21 株式会社瑞萨科技 传输电路、探针板、探针卡、半导体检查装置及制造方法

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102998497A (zh) * 2012-12-11 2013-03-27 北京确安科技股份有限公司 一种跳格式探针卡制作方法
CN102998497B (zh) * 2012-12-11 2015-12-02 北京确安科技股份有限公司 一种跳格式探针卡制作方法
CN106409707A (zh) * 2015-07-28 2017-02-15 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 非接触式射频芯片晶元测试方法及装置
CN107765039B (zh) * 2017-11-15 2020-07-31 上海华虹宏力半导体制造有限公司 探针卡电路及其测试方法
CN107765039A (zh) * 2017-11-15 2018-03-06 上海华虹宏力半导体制造有限公司 探针卡电路及其测试方法
TWI716808B (zh) * 2018-02-06 2021-01-21 日商日立全球先端科技股份有限公司 探針模組及探針
US11391756B2 (en) 2018-02-06 2022-07-19 Hitachi High-Tech Corporation Probe module and probe
US11709199B2 (en) 2018-02-06 2023-07-25 Hitachi High-Tech Corporation Evaluation apparatus for semiconductor device
CN108766900A (zh) * 2018-04-12 2018-11-06 中国电子科技集团公司第五十五研究所 一种在片测试直流探针卡
CN109100593A (zh) * 2018-08-16 2018-12-28 伊犁师范学院 可克服交流磁场干扰的直流偏磁检测装置
CN112285440A (zh) * 2020-10-26 2021-01-29 深圳市卓睿通信技术有限公司 一种天线测试工装及天线测试设备
CN112782563A (zh) * 2021-01-22 2021-05-11 上海华虹宏力半导体制造有限公司 载板测试结构及测试方法
CN113433348A (zh) * 2021-06-03 2021-09-24 中北大学 一种用于微波测试的探针
CN117289115A (zh) * 2023-11-24 2023-12-26 北京国科天迅科技股份有限公司 芯片测试底座生成方法、装置及计算机设备
CN117289115B (zh) * 2023-11-24 2024-02-20 北京国科天迅科技股份有限公司 芯片测试底座生成方法、装置及计算机设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN101949961B (zh) 2012-09-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101949961B (zh) 射频测试用直流偏置探针卡
US10295567B2 (en) Probe module supporting loopback test
US20150015291A1 (en) Cantilever probe card for high-frequency signal transmission
US9500675B2 (en) Probe module supporting loopback test
US20170192037A1 (en) Testing of electronic devices through capacitive interface
CN105223423B (zh) 电子装置及测试系统
US20230125573A1 (en) Device for testing chip or die with better system ir drop
US9470716B2 (en) Probe module
CN201903620U (zh) 变压器的针尖放电的测试系统
CN103200788B (zh) 一种压接头和压接装置
CN201909828U (zh) 变压器的气泡放电的测试系统
CN108037331B (zh) 适用于数模混合电路在片测试的探卡及设计制作方法
CN201707425U (zh) 用于集成电路测试的探测装置
KR20230170949A (ko) Ic의 노이즈 내량 검출 장치 및 ic의 노이즈 내량 검출 방법
CN109587933B (zh) 一种电路转接板以及测试装置
CN101145547A (zh) 一种降低微波单片集成电路驻波比的地线布图图形
CN102116817B (zh) 电性连接瑕疵侦测装置
TWI397695B (zh) 用於積體電路測試之探測裝置
CN205374533U (zh) 一种微波毫米波直流偏置探针
CN109655733A (zh) 无损测试毫米波bga封装组件的方法
CN206728360U (zh) 一种射频电路板及移动终端
CN102103149A (zh) 测试线路板
CN208621658U (zh) 晶圆测试探针卡及探针结构
CN111721976B (zh) 探针卡装置及其导电探针
CN109669059B (zh) 调整电源信号阻抗之电路结构及其半导体测试接口系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: NANJING GUOBO ELECTRONIC CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: NO.55 INST., CHINA ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY GROUP CORP.

Effective date: 20110718

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20110718

Address after: 210016 Zhongshan East Road, Jiangsu, China, No. 524, No.

Applicant after: Nanjing GEC Electonics Co., Ltd.

Address before: 210016 Zhongshan East Road, Jiangsu, China, No. 524, No.

Applicant before: No.55 Inst., China Electronic Science and Technology Group Corp.

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: 210016 No.166, zhengfangzhong Road, moling street, Jiangning District, Nanjing City, Jiangsu Province

Patentee after: Nanjing Guobo Electronics Co.,Ltd.

Address before: 210016 No. 524 East Zhongshan Road, Jiangsu, Nanjing

Patentee before: NANJING GUOBO ELECTRONICS Co.,Ltd.

DD01 Delivery of document by public notice
DD01 Delivery of document by public notice

Addressee: Shen Genshui

Document name: Notification of eligibility