CN101930904B - 晶片顶出装置与取像装置的组合 - Google Patents

Abstract

一种晶片顶出装置与取像装置的组合，包含一支撑架以及设置在支撑架的一晶片顶出装置、一取像装置，晶片顶出装置包括一平台及一顶针单元，顶针单元能受驱动往上凸出平台并将晶片往上撑顶，取像装置位于平台所在的平面下方并且包括一摄像元件以及一检视元件，检视元件介于该摄像元件与平台之间并且具有一管体及一镜头部，管体具有一连接摄像元件的底端及一顶端，镜头部设置于管体顶端，且镜头部具有一视角范围，管体顶端朝向平台，使顶针孔位于镜头部的视角范围内。使其取像装置与晶片顶出装置的相对位置不同于以往，非常适合实用。

Description

晶片顶出装置与取像装置的组合

技术领域

本发明涉及一种晶片顶出装置与取像装置的组合，特别是涉及一种用以将晶片顶出并且能进行取像以进行检测或校正的晶片顶出装置与取像装置的组合。

背景技术

一般集成电路被制造于晶圆上并且切割成晶片之后，是粘附于一胶带(如蓝胶)上，再通过一顶出装置进行粘晶的动作，且在进行粘晶的过程中，需配合一摄影机取像，藉以对晶片进行检测或位置校正。

请参阅图1，为中国台湾新型证书号335788所揭露的一种晶片顶出装置，其包含一平台11、一位于平台11下方并且能受驱动往上凸出平台11的顶针(图未示)以及一取像单元12，取像单元12是设置在平台11上方而能往下对位在平台11上的晶片进行取像。

由此可见，上述现有的晶片顶出装置在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新型结构的晶片顶出装置与取像装置的组合，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的晶片顶出装置存在的缺陷，而提供一种新型结构的晶片顶出装置与取像装置的组合，所要解决的技术问题是使其取像装置与晶片顶出装置的相对位置不同于以往，非常适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种晶片顶出装置与取像装置的组合，包含一晶片顶出装置与一取像装置，该晶片顶出装置包括一平台、一顶针单元以及一驱动单元，该平台具有一顶针孔，该顶针单元位于该平台下方并能受驱动由该顶针孔往上凸出该平台，该驱动单元能驱动该顶针单元由该顶针孔往上凸出该平台；其中该取像装置位于该平台的平面下方并且包括一摄像元件及一检视元件，该检视元件介于该摄像元件与该平台之间，该检视元件具有一管体及一镜头部，该管体具有一连接该摄像元件的底端及一顶端，该镜头部设置于该管体顶端，且该镜头部具有一视角范围，该管体顶端朝向该平台，使该顶针孔位于该镜头部的视角范围内。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

较佳地，前述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其中定义一通过该镜头部的视角范围中心的视角范围中心线，该视角范围中心线通过该平台的顶针孔。

较佳地，前述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其中该管体具有一管体轴线，该顶针单元具有一顶针中心线，该管体轴线与该顶针中心线夹一锐角。

较佳地，前述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其中该晶片顶出装置与取像装置的组合还包含一支撑架，该晶片顶出装置与该取像装置设置于该支撑架。

较佳地，前述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其中该支撑架具有一水平板部，该晶片顶出装置还包括一设置于该水平板部的平台座，该平台座具有一间隔于该水平板部上方的顶壁及一由该顶壁往下延伸的围绕壁，该顶壁界定出该平台，且该平台座与该水平板部配合界定出一负压空间，该管体顶端穿伸通过该水平板部并且位于该负压空间内。

较佳地，前述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其中该取像装置还包括一光源，用以提供该镜头部朝向该平台的顶针孔的照明。

较佳地，前述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其中该光源邻近该管体底端设置。

较佳地，前述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其中该管体为一光纤管路。

较佳地，前述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其中该检视元件为一硬管内视镜。

较佳地，前述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其中该光源为一同轴光源。

较佳地，前述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其中该支撑架还包括一位于该水平板部下方的延伸臂，该摄像元件设置于该延伸臂。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上可知，为达到上述目的，本发明提供了一种晶片顶出装置与取像装置的组合包含一晶片顶出装置与一取像装置，该晶片顶出装置包括一平台、一顶针单元以及一驱动单元，该平台具有一顶针孔，该顶针单元位于该平台下方并能受驱动由该顶针孔往上凸出该平台，该驱动单元能驱动该顶针单元由该顶针孔往上凸出该平台。该取像装置位于该平台的平面下方并且包括一摄像元件及一检视元件，该检视元件介于该摄像元件与该平台之间，该检视元件具有一管体及一镜头部，该管体具有一连接该摄像元件的底端及一顶端，该镜头部设置于该管体顶端，且该镜头部具有一视角范围，该管体顶端朝向该平台，使该顶针孔位于该镜头部的视角范围内。

本发明的一个特征在于，定义一通过该镜头部之视角范围中心的视角范围中心线，该视角范围中心线通过该平台的顶针孔。

本发明的一个特征在于，该管体具有一管体轴线，该顶针单元具有一顶针中心线，该管体轴线与该顶针中心线夹一锐角。

本发明的一个特征在于，该晶片顶出装置与取像装置的组合还包含一支撑架，该晶片顶出装置与该取像装置设置于该支撑架。该支撑架具有一水平板部，该晶片顶出装置还包括一设置于该水平板部的平台座，该平台座具有一间隔于该水平板部上方的顶壁及一由该顶壁往下延伸的围绕壁，该顶壁界定出该平台，且该平台座与该水平板部配合界定出一负压空间，该管体顶端穿伸通过该水平板部并且位于该负压空间内。

本发明的一个特征在于，该检视元件为一硬管内视镜(RigidBorescope)。

本发明的有益效果在于：通过将取像装置设置在平台所在的平面下方，并且配合检视元件的设置，不只同样可取得被顶出的晶片的影像，以利于进行后续的晶片检测及位置校正，并且也能达到较佳的空间利用。

综上所述，本发明在技术上有显着的进步，并具有明显的积极效果，诚为一新颖、进步、实用的新设计。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是中国台湾新型证书号335788所揭露的一种晶片顶出装置的立体图。

图2是本发明晶片顶出装置与取像装置的组合一个较佳实施例的侧视图。

图3是图2的局部放大图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的晶片顶出装置与取像装置的组合，其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

参阅图2与图3，本发明晶片顶出装置与取像装置的组合的一个较佳实施例包含一支撑架2、设置在支撑架2的一晶片顶出装置3以及一取像装置4，其中，晶片顶出装置3用以将一粘附在胶带(如蓝胶)上的晶片顶出，取像装置4用以对被顶出的晶片取像，借以校正晶片位置。

支撑架2包括一本体21、一设置在本体21的水平板部22以及一设置在本体21并且位在水平板部22下方的延伸臂23。

晶片顶出装置3包括一平台座31、一顶针座34、一顶针单元32及一驱动单元33。平台座31大致呈壳状并且具有一顶壁及一由顶壁往下延伸的围绕壁312，平台座31的顶壁界定出该晶片顶出装置3的一平台311并且设有一顶针孔314，平台座31设置于支撑架2的水平板部22上而顶壁间隔于水平板部22上方，平台座31与水平板部22界定出一负压空间310。顶针座34大致呈直立柱状穿设于支撑架2的水平板部22并且顶端伸入负压空间310内。

顶针单元32设置于顶针座34的顶端并且往上朝向平台311的顶针孔314。驱动单元33包括设置在支撑架2的本体21的马达331，马达331设置在顶针单元32下方而用以驱动顶针单元32相对于平台311上下位移，使顶针单元32能往上由顶针孔314凸出平台311或往下没入平台311。

取像装置4设置在支撑架2并且位在平台311所在的平面3110下方，在本实施例中，取像装置4包括一检视元件41、一摄像元件42及一光源43，在本实施例中，检视元件41为一硬管内视镜，摄像元件42为一CCD摄影机，光源43则为一同轴光源。

检视元件41包括一管体411、一镜头部412及一柄部413，管体411为一光纤管路并且具有一顶端414及一底端415，镜头部412位在管体411顶端414，柄部413连接在管体411底端，柄部413内设有光学元件(图未示)，管体411顶端414穿伸过支撑架2的水平板部22位在负压空间310内并且朝向平台311，管体411底端415通过柄部413与摄像元件42连接。

定义管体411具有一轴向延伸的管体轴线410，顶针单元32具有一上下延伸的顶针中心线320，当检视元件41的管体411穿设在支撑架2的水平板部22时，管体轴线410与顶针中心线320之间夹一锐角β，在本实施例中管体轴线410与顶针中心线320之间夹一20度角。

镜头部412具有一视角范围α，当检视元件41设置在支撑架2时，平台311的顶针孔314是涵盖在镜头部412的视角范围α内，在本实施例中，定义一通过该镜头部412的视角范围α中心的视角范围中心线416，该视角范围中心线416是通过平台311的顶针孔314，且视角范围中心线416与管体轴线410夹30度角，关于镜头部412的视角范围中心线416与管体轴线410夹30度角，为现有硬管内视镜既有规格设计。

更详细的说，在本实施例中，是通过选用镜头部412的视角范围中心线416与管体轴线410夹30度角的检视元件41规格，使得即使管体411顶端414并未直接朝向平台311的顶针孔314，检视元件41仍可通过平台311的顶针孔314检视到被顶针单元32顶出的晶片影像。

当然，所选用的检视元件41规格以及其管体411的倾斜角度并不以本实施例为限，其可相互搭配而有其他的设置角度，本案主要是通过将取像装置4与顶针单元32均设置在平台311下方，借此达到更佳的空间利用。

摄像元件42具有一镜头端421，摄像元件42是固定在支撑架2的延伸臂23并且其镜头端421连接在检视元件41的柄部413，且在本实施例中，摄像元件42固定在支撑架2的延伸臂23时，其倾斜角度与检视元件41的管体411相同。

光源43邻近管体411的底端415设置，在本实施例中，光源43是设置在检视元件41的柄部413，其用以提供光源经由管体411顶端414打在平台311的顶针孔314周遭区域，当晶片被顶针单元32往上撑顶时，光线能通过顶针孔314对晶片产生照明作用。

通过前述检视元件41与摄像元件42的配置，当顶针单元32受驱动由顶针孔314往上凸出平台311并且将晶片往上撑顶时，通过借由光源43所提供的光线通过顶针孔314而照射于晶片，再通过晶片反射的光线经由管体411回传到检视元件41及摄像元件43，便能让摄像元件43取得被顶针单元32往上撑顶的晶片的影像，以利于摄像元件43能将影像传输至电脑进行后续的尺寸位置的校对及计算。

需要说明的是，在本实施例中，管体411与顶针中心线320之间的夹角并不以20度为限，其可视所选用的检视元件41视角规格而定。

由上述内容可知，本发明通过将取像装置4设置在晶片顶出装置3的平台311所在平面的下方，使得取像装置4与晶片顶出装置3在上下方向上是位在同一侧，可避免取像装置4占用到平台311上方的空间，且即使将取像装置4设置在平台311所在的平面下方，通过检视元件41的设置，同样可取得被顶出的晶片影像，以利于进行后续的检测及位置校正，故确实能达成本发明的目的。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (9)

1.一种晶片顶出装置与取像装置的组合，包含一晶片顶出装置与一取像装置，该晶片顶出装置包括一平台、一顶针单元以及一驱动单元，该平台具有一顶针孔，该顶针单元位于该平台下方并能受驱动由该顶针孔往上凸出该平台，该驱动单元能驱动该顶针单元由该顶针孔往上凸出该平台；其特征在于：

该取像装置位于该平台的平面下方并且包括一摄像元件及一检视元件，该检视元件介于该摄像元件与该平台之间，该检视元件具有一管体及一镜头部，该管体具有一连接该摄像元件的底端及一顶端，该镜头部设置于该管体顶端，且该镜头部具有一视角范围，该管体顶端朝向该平台，使该顶针孔位于该镜头部的视角范围内，定义一通过该镜头部的视角范围中心的视角范围中心线，该视角范围中心线通过该平台的顶针孔，该管体具有一管体轴线，该顶针单元具有一顶针中心线，该管体轴线与该顶针中心线夹一锐角。

2.如权利要求1所述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其特征在于该晶片顶出装置与取像装置的组合还包含一支撑架，该晶片顶出装置与该取像装置设置于该支撑架。

3.如权利要求2所述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其特征在于该支撑架具有一水平板部，该晶片顶出装置还包括一设置于该水平板部的平台座，该平台座具有一间隔于该水平板部上方的顶壁及一由该顶壁往下延伸的围绕壁，该顶壁界定出该平台，且该平台座与该水平板部配合界定出一负压空间，该管体顶端穿伸通过该水平板部并且位于该负压空间内。

4.如权利要求1至3其中任一权利要求所述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其特征在于该取像装置还包括一光源，用以提供该镜头部朝向该平台的顶针孔的照明。

5.如权利要求4所述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其特征在于该光源邻近该管体底端设置。

6.如权利要求5所述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其特征在于该管体为一光纤管路。

7.如权利要求6所述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其特征在于该检视元件为一硬管内视镜。

8.如权利要求5所述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其特征在于该光源为一同轴光源。

9.如权利要求3所述的晶片顶出装置与取像装置的组合，其特征在于该支撑架还包括一位于该水平板部下方的延伸臂，该摄像元件设置于该延伸臂。

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