CN101923268B - 振动装置及使用该振动装置的图像设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供振动装置及使用该振动装置的图像设备。振动装置具有：第1及第2压电元件，大致呈长方形状，具有施振部和非施振部；防尘过滤器驱动电路，向压电元件输入电信号，使防尘过滤器的光线透射部产生振动，该振动以假想对称轴与压电元件的振动中心轴的第1假想交点为中心，形成有多个呈闭合曲线的振动的波峰的峰线，振动的波峰的振幅越接近第1假想交点时越大，包括第1假想交点的振动的波峰的振幅达到最大。防尘过滤器驱动电路通过控制输入到压电元件的电信号，在假想对称轴上移动压电元件的振动中心轴的位置，将第1假想交点变更为第2假想交点，使成为最大振动振幅的振动的波峰的位置向包括第2假想交点的位置移动。

Description

振动装置及使用该振动装置的图像设备

技术领域

本发明涉及具有摄像元件和显示元件等图像形成元件的图像设备、及使在这种图像设备中配置在图像形成元件的前面的防尘部件振动的振动装置。

背景技术

作为具有图像形成元件的图像设备，已经公知有具有摄像元件的摄像装置，该摄像元件能够获得与照射在自身的光电转换面上的光对应的图像信号。另外，还公知有具有液晶等显示元件的图像投影装置，该显示元件显示投影在屏幕上的图像。近年来，在使用这种图像形成元件的图像设备中，画质明显提高。因此，在摄像元件和显示元件这些图像形成元件的正面或者位于其前面的透明部件(光学元件)的正面附着有尘埃，导致在生成的图像上产生尘埃的影子，这成为一个大问题。

例如，构成为能够在照相机主体上自由装卸摄影光学系统的所谓“可更换镜头”式的数字照相机已经普遍被实际应用。这种可更换镜头的数字照相机在用户需要的时候，通过任意地装卸更换所需要的摄影光学系统，由此能够在一个照相机主体中选择使用多种摄影光学系统。因此，在该照相机中，在从照相机主体上卸下该摄影光学系统时，在照相机所处的周围环境中浮游的尘埃进入照相机主体内，有时尘埃附着在摄像元件的正面上或位于其前面的镜头或玻璃罩等透明部件(光学元件)的正面上。另外，在照相机主体内部，例如配置有快门、光圈机构等进行机械式动作的各种机构。这些各种机构等在动作时产生尘埃等，这些尘埃有时也附着在摄像元件的正面上。

另外，使用光源和投影光学系统，将显示于CRT、液晶等显示元件上的图像放大投影在屏幕上来欣赏图像的投影仪也得到实际应用。在这种投影仪中，有时尘埃附着在显示元件的正面上或位于其前面的镜头或玻璃罩等透明部件(光学元件)的正面上，并产生尘埃的影子被放大投影在屏幕上的问题。

因此，开发了各种机构，用于去除附着在这种图像设备内部的图像形成元件正面上或位于其前面的镜头或玻璃罩等透明部件(光学元件)的正面上的尘埃。

例如，在美国US 2004/0169761A1公开的具有尘埃去除机构的电子摄像装置中，在圆盘状的玻璃板(光学元件)的外周部固定有圆环板状的压电元件(施振部件)。在对压电元件施加预定频率的频率电压时，在圆盘状的玻璃板的中心产生同心圆状的驻波弯曲振动，通过该振动来去除附着在圆盘状的玻璃板上的尘埃。其中，按照预定的施振频率产生的振动(振动模式1)是具有同心圆状的波节的驻波。该波节的振动振幅较小，所以在该波节的部分不能去除尘埃。因此，按照不同的频率来施振，使圆盘状的玻璃板产生在与上述振动模式1不同的部位具有同心圆状的波节的驻波振动(振动模式2)。由此，形成使上述振动模式1中是波节的部位的振动振幅较大的状态。并且，防尘部件的支撑是通过防尘部件支撑部件实现的，该防尘部件支撑部件在同心圆状的驻波的波节位置，以同心圆状与防尘部件接触。防尘部件支撑部件将防尘部件和摄像元件之间保持为防尘状态。

另外，在日本特开2007-267189号公报中，在矩形板状的防尘部件的相对的边分别设置压电元件。并且，采取使这些压电元件产生预定频率的振动、使防尘部件共振、并产生与边平行的波节的驻波振动模式。并且，为了去除附着在振动的波节上的尘埃，使防尘部件以不同的频率共振来产生多个驻波的振动模式，由此变更波节的位置。这些振动模式都产生具有与防尘部件的边平行的波节的弯曲振动。

在上述US 2004/0169761A1公开的尘埃去除机构中，在作为防尘部件的圆盘状玻璃板的周缘部安装有与其同心的圆环板状压电元件，用于使该圆盘状玻璃板振动。并且，首先按照形成相对于圆盘状玻璃板的中心为同心圆状的波节的共振振动模式中的低次共振振动模式来振动，然后按照高次共振振动模式改变同心圆状的波节的位置来使之振动，由此去除附着在圆盘状玻璃板上的尘埃。可是，上述的图像设备在大多数情况下处理矩形状的图像，在使用圆形的防尘部件时，需要是内接矩形的大型的圆形，所以不适合于装置的小型化。另外，无论是低次共振振动模式还是高次共振振动模式，振动的波节位置都是根据共振模式而确定的位置，所以未必能够移动到最佳的位置。

与此相对，在上述日本特开2007-267189号公报公开的尘埃去除机构中，通过形成为矩形板状，防尘部件相比上述美国US 2004/0169761A1是圆形的内切四边形，所以能够形成为小型部件。但是，由于是具有与矩形的边平行的波节的振动模式，所以不能增大振动的振幅，不能产生上述美国US 2004/0169761A1能够产生的那样大的振动振幅。因此，防尘部件去除尘埃的能力低。振动振幅小是因为不能将来自与波节正交的边的反射波合成为驻波。即，由于合成来自一条边的反射波，所以成为具有与边平行的振动的波峰、波谷的驻波。尤其在防尘部件的矩形的短边与长边之比(短边/长边)较小时，该趋势更加明显。另外，在这种结构中，具有最大振动振幅的位置是根据共振振动模式的次数而确定的位置，所以未必能够将振动振幅大的区域移动到最佳的位置。

发明内容

本发明正是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，提供一种振动装置及使用这种振动装置的图像设备，能够构成与振动模式无关的尘埃去除能力高的尘埃去除机构，而且能够将振动振幅大的区域移动到最佳的位置。

根据本发明的第一方面，提供一种振动装置，具有：

防尘部件，其整体形成为板状，并且正面和背面具有包含透射光线的光线透射部的平面；

支撑部件，其构成为以使所述防尘部件的背面为真空密闭状态的方式支撑所述防尘部件；

第1施振部件，其配置于所述防尘部件的第1外周部侧，大致呈长方形状，并且构成为具有施振部和非施振部；

第2施振部件，其配置于与所述防尘部件的第1外周部侧相对的该防尘部件的第2外周部侧，大致呈长方形状，并且构成为具有施振部和非施振部；以及

驱动部，其构成为向所述第1施振部件和第2施振部件输入电信号，使所述防尘部件的光线透射部产生振动，该振动以下述假想对称轴与所述第1施振部件和第2施振部件的振动中心轴的第1假想交点为中心，形成有多个呈闭合曲线的振动的波峰的峰线，该振动的波峰的振幅越接近该第1假想交点则越大，包括该第1假想交点的振动的波峰的振幅为最大，所述假想对称轴通过距该第1施振部件和第2施振部件大致相等距离的位置，

所述驱动部构成为通过控制输入到所述第1施振部件和第2施振部件的电信号，在所述假想对称轴上移动该第1施振部件和第2施振部件的振动中心轴的位置，将所述第1假想交点变更为第2假想交点，使成为最大振动振幅的振动的波峰的位置向包括该第2假想交点的位置移动。

根据本发明的第二方面，提供一种图像设备，具有：

图像形成元件，其具有用于生成光学图像的图像面；

防尘部件，其整体形成为板状，并且正面和背面具有包含透射光线的光线透射部的平面；

支撑部件，其构成为以如下的方式支撑所述防尘部件，即，将所述防尘部件的所述光线透射部相对于所述图像形成元件的所述图像面隔开预定间隔地相对配置，且使所述防尘部件的背面为气密状态；

第1施振部件，其配置于所述防尘部件的第1外周部侧，大致呈长方形状，并且构成为具有施振部和非施振部；

第2施振部件，其配置于与所述防尘部件的第1外周部侧相对的该防尘部件的第2外周部侧，大致呈长方形状，并且构成为具有施振部和非施振部；以及

驱动部，其构成为向所述第1施振部件和第2施振部件输入电信号，使所述防尘部件的光线透射部产生振动，该振动以下述假想对称轴与所述第1施振部件和第2施振部件的振动中心轴的第1假想交点为中心，形成有多个呈闭合曲线的振动的波峰的峰线，该振动的波峰的振幅越接近该第1假想交点则越大，包括该第1假想交点的振动的波峰的振幅为最大，所述假想对称轴通过距该第1施振部件和第2施振部件大致相等距离的位置，

所述驱动部构成为通过控制输入到所述第1施振部件和第2施振部件的电信号，在所述假想对称轴上移动该第1施振部件和第2施振部件的振动中心轴的位置，将所述第1假想交点变更为第2假想交点，使成为最大振动振幅的振动的波峰的位置向包括该第2假想交点的位置移动。

附图说明

图1是简要表示作为本发明的图像设备的第1实施例的、可更换镜头的单反相机式电子照相机(数字照相机)的主要电气系统结构的示例的方框图。

图2A是包括数字照相机的尘埃去除机构的摄像元件单元的侧视纵剖面图(图2B中的AA线剖面图)。

图2B是从镜头侧观看尘埃去除机构时的主视图。

图3是构成尘埃去除机构的主要部分(振子)的分解立体图。

图4是表示与振子的压电元件连接的挠性印刷基板的构造的主视图。

图5A是防尘过滤器的主视图，用于说明产生于防尘过滤器的振动的状态。

图5B是图5A的BB线剖面图。

图5C是图5A的CC线剖面图。

图5D是图5A的DD线剖面图。

图6是用于说明防尘过滤器的长边尺寸和短边尺寸的图。

图7A用于说明防尘过滤器的振动产生概念的图。

图7B是几乎不产生振动的波节区域以网格状产生的振动模式下的防尘过滤器的主视图。

图8是用于说明产生于防尘过滤器的不同振动的状态的图。

图9是用于说明产生于防尘过滤器的另一不同振动的状态的图。

图10是表示在图5A中的防尘过滤器产生的振动模式在最大振动振幅区域中移动时的振动状态的图。

图11是表示图5A中的防尘过滤器的纵横比与防尘过滤器中央部的振动速度比的关系的图。

图12是表示防尘过滤器及挠性印刷基板的不同形式的图。

图13是表示防尘过滤器及挠性印刷基板的另一不同形式的图。

图14是用于说明产生于防尘过滤器的驻波的防尘过滤器的示意图。

图15A是表示使振子在共振频率附近振动时的电气等效电路的图。

图15B是表示使振子以共振频率振动时的电气等效电路的图。

图16是简要表示防尘过滤器控制电路的结构的电路图。

图17是表示用于说明从防尘过滤器控制电路的各个构成部件输出的各个信号的时序图的图。

图18A是表示第1实施例中的数字照相机的主体控制用微电脑进行的照相机程序(主程序)的步骤的流程图的第1部分的图。

图18B是表示照相机程序(主程序)的步骤的流程图的第2部分的图。

图19是表示图18A中的子程序“无音施振动作”的动作步骤的流程图的图。

图20是表示在图19中的子程序“无音施振动作”的步骤S201的定时并行执行的“显示动作”的动作步骤的流程图的图。

图21是表示在图19中的子程序“无音施振动作”的步骤S203的定时并行执行的“显示动作”的动作步骤的流程图的图。

图22是表示在图19中的子程序“无音施振动作”的步骤S205的定时并行执行的“显示动作”的动作步骤的流程图的图。

图23是表示在无音施振动作中连续提供给施振部件的共振频率的波形的图。

图24是表示作为本发明的图像设备的第2实施例的、数字照相机的子程序“无音施振动作”的动作步骤的流程图的图。

具体实施方式

以下，参照附图说明用于实施本发明的最佳方式。

(第1实施例)

以下具体示例的本发明的图像设备具有摄像元件单元的尘埃去除机构，该摄像元件单元通过光电转换来获得图像信号，此处作为一例说明有关电子照相机(以下简称为“照相机”)的尘埃去除功能的改良技术。尤其在本第1实施例中，参照图1～4说明可更换镜头的单反式电子照相机(数字照相机)。

首先，参照图1说明本实施例的数字照相机10的系统结构示例。该数字照相机10由作为照相机主体的主体单元100、和作为附件装置之一的更换镜头的镜头单元200构成系统。

镜头单元200通过设于主体单元100前面的未图示的镜头安装部件，能够在主体单元100上自由装卸。镜头单元200的控制由镜头单元200自身具有的镜头控制用微型计算机(以下称为“Lucom”)201进行。主体单元100的控制由主体单元100自身具有的主体控制用微型计算机(以下称为“Bucom”)101进行。在将镜头单元200安装在主体单元100上的状态下，这些Lucom201和Bucom101通过通信连接器102电连接成能够互相通信。并且，照相机系统构成为使Lucom201从属于Bucom101协作动作并工作。

镜头单元200还具有摄影镜头202、光圈203、镜头驱动机构204和光圈驱动机构205。摄影镜头202由设于镜头驱动机构204内的未图示的DC电机驱动。光圈203由设于光圈驱动机构205内的未图示的步进电机驱动。Lucom201根据Bucom101的指令来控制这些各个电机。

在主体单元100内，例如按照图示配置有五棱镜103、屏幕104、快速返回反射镜105、目镜106、辅助反射镜107、快门108、AF传感器单元109、AF传感器驱动电路110、反射镜驱动机构111、快门施力机构112、快门控制电路113、测光传感器114和测光电路115。五棱镜103、屏幕104、快速返回反射镜105、目镜106和辅助反射镜107是作为光学系统的单反方式的构成部件。快门108是配置在摄影光轴上的焦面式快门。AF传感器单元109接受来自辅助反射镜107的反射光束，并检测散焦量。AF传感器驱动电路110驱动控制AF传感器单元109。反射镜驱动机构111驱动控制快速返回反射镜105。快门施力机构112对用于驱动快门108的前帘和后帘的未图示的弹簧施力。快门控制电路113控制这些快门108的前帘和后帘的动作。测光传感器114检测来自五棱镜103的光束。测光电路115根据该测光传感器114进行测光处理。

另外，在主体单元100内，在摄影光轴上设有摄像单元116，用于对通过上述光学系统的被摄体像进行光电转换。该摄像单元116是将作为图像形成元件的摄像元件即CCD117、设于该CCD117的前面的光学低通过滤器(LPF)118和作为防尘部件的防尘过滤器119一体化成单元而得到的部件。在此，在本实施例中，把至少透明部具有与空气不同的折射率的透明玻璃板(光学元件)用作上述防尘过滤器119。但是，不限于上述玻璃板(光学元件)，只要是位于光路上并具有光的透射性的部件(光学元件)即可。例如，也可以取代透明玻璃板(光学元件)，而使用光学低通过滤器(LPF)、红外截止过滤器、偏转过滤器、半透半反镜等。该情况时，将与振动相关的频率和驱动时间、施振部件(在后面叙述)的设置位置等设定为与该部件对应的值。并且，此处关于摄像元件列举了CCD117的示例，当然也可以是CMOS或其他摄像元件。

下面，关于作为防尘部件的防尘过滤器119，能够采用如上所述的光学低通过滤器(LPF)等各种材质，但在本实施例中，说明采用玻璃板的情况。

在上述防尘过滤器119的周缘部，在一个外周部侧和与其相对的另一个外周部侧安装有大致呈长方形状(这里，“大致长方形状”包括长方形状和以长方形为基准的形状双方)的两个压电元件120a、120b，用于构成施振部件。压电元件120a、120b分别具有两个电极。作为驱动部的防尘过滤器控制电路121使压电元件120a、120b按照根据防尘过滤器119的尺寸和材质所确定的预定频率振动。通过该压电元件120a、120b的振动，使防尘过滤器119产生预定的振动，从而能够去除附着在该防尘过滤器119的正面上的尘埃。并且，针对摄像单元116附加有校正抖动用的防抖单元。

另外，本实施例中的数字照相机10构成为具有CCD接口电路122、液晶监视器123、SDRAM 124、闪存125和图像处理控制器126，由此能够提供电子摄像功能和电子记录显示功能。CCD接口电路122与CCD117连接。SDRAM 124和闪存125作为存储区域发挥作用。图像处理控制器126利用这些SDRAM 124和闪存125等进行图像处理。并且，记录介质127被安装成为能够更换，并能够通过未图示的通信连接器与主体单元100通信。该记录介质127是各种存储卡或外置的HDD等外部记录介质，用于记录通过摄影得到的图像数据。作为其他存储区域，例如由EEPROM构成的非易失性存储器128被设置成为能够从Bucom101进行存取。该非易失性存储器128存储进行照相机控制所需要的预定的控制参数。

动作显示用LCD129、动作显示用LED130、照相机操作SW131和频闪控制电路132与Bucom101连接。动作显示用LCD129和动作显示用LED130用于通过显示输出将该数字照相机10的动作状态通知用户。例如，在动作显示用LCD129或动作显示用LED130设有显示部，其显示在防尘过滤器控制电路121动作的期间防尘过滤器119的振动动作。照相机操作SW131是包括例如释放SW、模式变更SW和电源SW等操作该数字照相机10所需要的操作按钮的开关组。频闪控制电路132驱动频闪133。

另外，在该主体单元100内设有作为电源的电池134和电源电路135，电源电路135把该电池134的电压转换为构成该数字照相机10的各个电路单元所需要的电压并提供该电压。并且，也设有电压检测电路(未图示)，用于检测从外部电源通过未图示的插座提供电流时的电压变化。

如上所述构成的数字照相机10的各个部分大致按照下面所述动作。首先，图像处理控制器126按照Bucom101的指令，控制CCD接口电路122，从CCD117获取图像数据。该图像数据由图像处理控制器126转换为视频信号，并由液晶监视器123输出并显示。用户能够根据该液晶监视器123的显示图像确认所拍摄到的图像映像。

SDRAM 124是图像数据的临时保存用存储器，被用作转换图像数据时的工作区域等。并且，图像数据在被转换为例如JPEG数据后，被保存在记录介质127中。

反射镜驱动机构111是将快速返回反射镜105驱动到上升位置和下降位置的机构。在该快速返回反射镜105位于下降位置时，来自摄影镜头202的光束被分割引导到AF传感器单元109侧和五棱镜103侧。来自AF传感器单元109内的AF传感器的输出通过AF传感器驱动电路110发送给Bucom101，通过Bucom101进行公知的测距处理。另一方面，通过五棱镜103后的光束的一部分被引导到与测光电路115电连接的测光传感器114，根据由该测光传感器114检测到的光量，由测光电路115进行公知的测光处理。

下面，参照图2A和图2B说明包括CCD117的摄像单元116。

摄像单元116如上所述具有CCD117、光学LPF 118、防尘过滤器119和压电元件120a、120b。CCD117是获得图像信号的摄像元件，该图像信号对应于透射过摄影光学系统并照射在CCD117的光电转换面上的光。光学LPF 118设于CCD117的光电转换面侧，用于从透射过摄影光学系统后照射的被摄体光束中去除高频成分。防尘过滤器119是在该光学LPF

118的前面侧隔开预定间隔与该光学LPF 118相对配置的防尘部件。压电元件120a、120b设于该防尘过滤器119的周缘部，是对防尘过滤器119施加预定的振动的施振部件。

其中，CCD117的CCD芯片136被直接安装在挠性基板137上，该挠性基板137设于固定板138上。从该挠性基板137的两端引出连接部139a、139b。并且，连接器140a、140b设于主电路基板141上。连接部139a、139b与该连接器140a、140b连接，由此挠性基板137与主电路基板141侧连接。并且，CCD117具有防护玻璃142。该防护玻璃142隔着垫片143固定安装在挠性基板137上。

并且，在CCD117和光学LPF118之间，由弹性部件等构成的过滤器支承部件144被设置在CCD117的前面侧周缘部的避开光电转换面的有效范围的位置上。该过滤器支承部件144与光学LPF118的背面侧周缘部的附近抵接，由此作为保持CCD117与光学LPF118之间的大致气密性的密封部件发挥作用。并且，设有气密地覆盖CCD117和光学LPF118的支架145。该支架145在围绕摄影光轴的大致中央部分具有矩形状的开口146。在该开口146的防尘过滤器119侧的内周缘部形成有剖面大致呈L字形状的台阶部147。从开口146的后方侧配置光学LPF118和CCD117。该情况时，将光学LPF118配置成为使其前面侧周缘部与台阶部147大致气密地接触。这样，由台阶部147实现光学LPF118在摄影光轴方向的位置限制，防止其从支架145的内部向前面侧脱出。另外，关于CCD117与光学LPF118的气密状态，只要是能够防止由于尘埃的进入使得尘埃被摄入到摄影图像中、导致尘埃对该图像造成影响的程度即可，不一定是彻底防止气体进入的程度。

另一方面，在支架145的前面侧的周缘部沿着整个圆周形成有防尘过滤器支承部148。该防尘过滤器支承部148形成为围绕台阶部147并比台阶部147更向前面侧突出，以便将防尘过滤器119保持在光学LPF118的前面并其与隔开预定间隔。该防尘过滤器支承部148的开口部分成为成像光线通过区域149。防尘过滤器119整体形成为多边形的板状(此处为四边形)。该防尘过滤器119以被按压部件151按压的状态支撑在密封件150(支撑部件)上，该按压部件151由一端部被螺钉152固定在防尘过滤器支承部148上的板簧等弹性体构成。具体地讲，在按压部件151和防尘过滤器119之间介入有与按压部件151粘接的、橡胶或树脂等具有振动衰减性的支承部件153。另一方面，在防尘过滤器119的背面侧，在防尘过滤器119的周边部与防尘过滤器支承部148之间，设置有包围防尘过滤器119的中心的具有环状的唇部的密封件150。其中，利用来自按压部件151的按压力使唇部150a挠曲并按压防尘过滤器119，由此确保包括开口146在内的空间的气密状态，同时支撑防尘过滤器119。

并且，防尘过滤器119通过定位部件154被支撑在按压部件151的Z方向弯曲部上，由此进行防尘过滤器119在与光轴垂直的面内沿Y方向的定位。另一方面，如图2B所示，防尘过滤器119同样通过粘接在设于支架145上的支撑部155上的定位部件154被支撑着，由此进行防尘过滤器119在与光轴垂直的面内沿X方向的定位。定位部件154也利用橡胶或树脂等具有振动衰减性的材料形成，形成为不阻碍防尘过滤器119的振动。另一方面，密封件150的主体150b的内周侧被压入到环状的凸部145a的外周部，以进行定位，该凸部145a围绕支架145的开口146设置。

防尘过滤器119在受到外力(惯性力等)时，该外力施加到按压部件151或密封件150上。按压部件151利用弹簧用磷青铜或弹簧用不锈钢的板材形成，弯曲刚性大，而密封件150利用橡胶材料形成，弯曲刚性小。因此，密封件150因上述外力而变形。

其中，在防尘过滤器119的背面侧的防尘过滤器支承部148上，设置有橡胶或软质树脂等具有振动衰减性的支撑部156(第2支撑部件)。在与光轴大致对称的位置，至少在两处(在本实施例中为4处)配置有该支撑部156，而且在配置位置的光轴方向上与防尘过滤器119隔开间隔Δz来设置。当密封件150的变形量达到该间隔Δz时，防尘过滤器119与支撑部156接触，由此外力将支撑部156(4处)压缩。但是，支撑部156的压缩刚性与密封件150的弯曲刚性相比非常大，在受到外力的状态下，支撑部156也几乎不变形，密封件150的变形也极小。并且，即使在防尘过滤器119被按压支撑在支撑部156上的状态下，支撑部156也被配置成支撑几乎不会产生在防尘过滤器119中产生的振动的振幅的波节部分。通过这样来配置，几乎不阻碍防尘过滤器119的振动，能够构成振动振幅大、高效率的尘埃去除机构。另外，因外力而导致的密封件150的变形量基本上是Δz，比较微小(例如0.1～0.2mm)。因此，不会出现下述情况，即，密封件150被施加过大的力，密封件150扭曲而不能形成气密状态，或者在外力被去除的状态下，密封件150以过大的按压力与防尘过滤器119接触。

另外，密封件150当然也可以通过粘接等将主体150b固定设置在支架145上，在采用橡胶等软质材料的情况下，也可以固定安装在防尘过滤器119上。只要该情况下的按压力量能够支撑由防尘过滤器119和压电元件120a、120b等构成的振子即可。例如，考虑振子的质量约为数克(因此，小于10g(＝0.01kg))的情况。为了使数字照相机10在朝向水平方向、垂直向上、垂直向下的任何方向时都能够支撑振子，在利用G(＝9.81m/s²)表示重力加速度时，需要应对最低2G以上的加速度。即使考虑到富余量，也只要能够应对其数倍～10倍左右的加速度即可。在这种情况下，密封件150应该发挥的按压力量较小，约为0.01×10×9.81≒1N(N为牛顿)。如果是这种程度的按压力量，如后面所述，密封件150几乎不会妨碍产生于防尘过滤器119的振动，能够非常有效地进行尘埃的去除。

另外，如图2B所示，密封件150的唇部150a形成为把四边形的角部设为圆弧形状且不具有弯曲点的环状形状。通过形成这种形状，在受到外力时，也不会产生偏向唇部150a的变形。

摄像单元116如此构成为具有支架145的气密构造，该支架145形成为放置CCD117的期望的大小。另外，关于防尘过滤器119与防尘过滤器支承部148的气密状态，只要是能够防止由于尘埃的进入使得尘埃被摄入到摄影图像中、导致尘埃对该图像造成影响的程度即可，不一定是彻底防止气体进入的程度。

如图3和图4所示，压电元件120a具有两个信号电极157a、158a，压电元件120b具有两个信号电极157b、158b。

其中，构成非施振部的信号电极158a、158b与在各个压电元件120a、120b的防尘过滤器119侧(压电元件的背面侧)整面设置的电极(背面电极)电连接。该背面电极还与防尘过滤器控制电路121的接地电连接，所以不会被施加伸缩用的电信号。另外，在与接地电连接的背面电极和信号电极158a、158b没有电连接的情况下，即，在构成为使信号电极158a、158b不与接地(该电位)电连接，并能够向信号电极158a、158b施加电信号的情况下，如果控制成为不向这些信号电极158a、158b施加电信号，则能够作为非施振部发挥作用。因此，也可以不按照上面所述构成。并且，即使在能够向信号电极158a、158b施加电信号的情况下，如果与这些信号电极158a、158b对应的压电元件120a、120b的部分没有被“极化”，则即使被施加电信号，也不作为振子发挥作用，所以可以如此构成。

另一方面，通过作为驱动部的防尘过滤器控制电路121，向构成施振部的信号电极157a、157b施加根据防尘过滤器119和压电元件120a、120b的尺寸及材质而确定的第1频率的频率电压(伸缩用的电信号)。这里，该第1频率尤其是使之产生第1共振振动的频率，该第1共振振动具有与压电元件120a、120b的沿Y方向延伸的中心轴对称的振动的波节形式。由此，被夹在信号电极157a、157b和背面电极之间的压电元件120a、120b的施振部伸缩，使防尘过滤器119产生预定的振动，能够去除附着在过滤器正面的尘埃。另外，如图2B所示，构成振子159的施振部的信号电极157a、157b被配置成相对于呈细长的矩形状的压电元件120a、120b，偏向该矩形的长边方向。并且，也能够通过防尘过滤器控制电路121向信号电极157a、157b施加第2频率的频率电压(伸缩用的电信号)。该第2频率是使之产生第2共振振动的频率，该第2共振振动具有与信号电极157a、157b的沿Y方向延伸的中心轴大致对称的振动的波节形式。由此，能够向在第1共振振动时处于波节位置的成像光线通过区域149内的位置施加振动振幅大的振动，能够去除在第1共振振动时处于波节而未被去除的尘埃。

信号电极157a、157b、158a、158b与作为连接部件的挠性印刷基板(以下简称为挠性体)160的电极端子160a、160b、160c、160d电连接。在从防尘过滤器控制电路121向压电元件120a、120b的施振部输入预定的电信号时，在沿防尘过滤器119的对称轴对称配置的压电元件120a、120b(因此，防尘过滤器119的对称轴成为通过距压电元件120a、120b分别大致相等距离的位置的假想对称轴)产生预定的振动。压电元件120a、120b是相对于防尘过滤器119的对称轴对称的形状及配置，并成为如后面所述能够产生振动振幅较大的振动的形状。

挠性体160还设置检查端子160e、160f、160g、和导线端子160h、160i、和连接端子160j、160k。其中，连接端子160j、160k在检查振子159的阶段没有连接，而在检查合格后安装在产品上之前通过锡焊等进行连接。

压电元件120a、120b的沿Y方向延伸的中心轴与施振部的沿Y方向延伸的中心轴具有预定的间隔。将压电元件的中心轴与施振部的中心轴之间的间隔设定为产生于防尘过滤器119的振动的波节中、与上述中心轴大致平行的波节的间隔中的最小间隔W的1/2。由此，压电元件120a、120b的施振部相对于在检查振子159时产生的驻波弯曲振动的波节不对称。在连接端子160j、160k没有连接的状态下，在向检查端子160e、160f之间施加预定的电信号时，在检查端子160g、160f之间产生基于驻波弯曲振动的电压，能够检测振动状态。

挠性体160的电极端子160a、160b利用树脂和铜箔等制成，具有柔软性，所以使包括压电元件120a、120b的振子159的振动衰减的情况较少。并且，通过把压电元件120a、120b设置在振动振幅小的部位(后面叙述的振动的波节位置)，能够进一步抑制振动的衰减。另一方面，在具有下面叙述的抖动校正机构的情况下，压电元件120a、120b相对于主体单元100进行相对移动。因此，在防尘过滤器控制电路121位于与主体单元100一体的固定部件的情况下，挠性体160的电极端子160a、160b和与挠性体160电连接的导线161a、161b根据抖动校正机构的动作而变形并发生位移。其中的挠性体160的电极端子160a、160b如上面所述具有柔软性而且薄，所以不会阻碍抖动校正的动作。另外，导线161a、161b形成为在X方向、Y方向的任何方向都具有柔软性，同样不会阻碍抖动校正的动作。

并且，在本实施例的情况下，挠性体160结构简单，能够通过一体形成的电极端子160a、160b从压电元件120a、120b这两处拉出。另外，挠性体160是最小限度的简单结构，能够利用一体形成的两个导线端子160h、160i通过导线161a、161b与防尘过滤器控制电路121连接。因此，挠性体160能够构成为小型轻量，最适合于具有抖动校正机构的照相机。

通过防尘过滤器119从其正面脱离的尘埃如后面所述，通过其振动的惯性力和重力的作用，落下到主体单元100的下侧。因此，在本实施例中，在防尘过滤器119的下侧附近设置台162，在该台162上设置利用粘接部件、粘接带等形成的保持部件163a、163b。该保持部件163a、163b可靠地保持落下的尘埃，使其不再返回到防尘过滤器119的正面。

下面，简单说明抖动校正功能。该抖动校正机构如图1所示，由X轴陀螺仪164、Y轴陀螺仪165、防抖控制电路166、X轴致动器167、Y轴致动器168、X框169、Y框170(支架145)、框架171、位置检测传感器172和致动器驱动电路173构成。X轴陀螺仪164检测围绕照相机的X轴的抖动的角速度。Y轴陀螺仪165检测围绕照相机的Y轴的抖动的角速度。防抖控制电路166根据来自这些X轴陀螺仪164和Y轴陀螺仪165的角速度信号，运算抖动补偿量。致动器驱动电路173根据该运算的抖动补偿量，在把摄影光轴的方向设为Z轴方向时，使作为摄像元件的CCD117沿在与摄影光轴正交的XY平面内正交的第1方向即X轴方向和第2方向即Y轴方向位移移动，以补偿抖动。其中，X轴致动器167在从致动器驱动电路173输入了预定的驱动信号时，沿X轴方向驱动X框169。同样，Y轴致动器168在从致动器驱动电路173输入了预定的驱动信号时，沿Y轴方向驱动Y框170。因此，把这些X轴致动器167和Y轴致动器168用作驱动源，把X框169和放置摄像单元116中的CCD117的Y框170(支架145)设为相对于框架171移动的移动对象物。其中，X轴致动器167和Y轴致动器168采用组合了电磁旋转电机和丝杠机构等的机构、使用了音圈电机的直进电磁电机、或直进压电电机等。另外，位置检测传感器172检测X框169和Y框170的位置。防抖控制电路166根据该位置检测传感器172的检测结果，通过致动器驱动电路173驱动X轴致动器167和Y轴致动器168，控制CCD117的位置。

在这样构成的抖动校正机构中，防尘过滤器119也和CCD117一起被驱动。因此，要求防尘过滤器119的质量比较小。另外，对于挠性体160和防抖控制电路166之间的电连接部件，同样要求其质量比较小，而且动作时的负荷比较小。在本实施例的情况下，挠性体160中的连接端子(导线端子160h、160i)的数量达到最少，所以能够使挠性体160和防抖控制电路166之间的电连接部件即导线161a、161b的数量达到最少。因此，能够减小电连接部件的质量，由于动作时的变形而产生的负荷也减小。

在此，参照图3～图14更具体地说明第1实施例的尘埃去除机构。防尘过滤器119由具有至少一条关于某个对称轴对称的边的、整体为多边形的板状(在本实施例中为四边形)的玻璃板(光学元件)构成。换言之，作为防尘部件的防尘过滤器119形成为至少具有一边，并且相对于通过将该一边进行二等分的位置并与该一边垂直的轴对称的形状。并且，至少从能够获得最大的振动振幅的位置沿放射方向具有的预定的扩展度的区域构成透明部。即，与Bucom101一起构成驱动部的防尘过滤器控制电路121使作为防尘部件的防尘过滤器119的成像光线通过区域149产生如下振动，该振动的波峰的振幅越接近后面叙述的第1假想交点时越大，包括该第1假想交点的振动的波峰的振幅达到最大。另外，防尘过滤器119也可以是整体形成圆形，并将该圆的一部分剪切成直线状使得具有一条边的D形状。或者，还可以使四边形的两边形成为圆弧状，形成具有上下两条边的形状。并且，利用上述的安装机构来安装防尘过滤器119，使得该防尘过滤器119的透明部在光学LPF118的前面侧隔开预定的间隔与光学LPF118相对配置。并且，在防尘过滤器119的一个面(在本实施例中为背面侧)的上侧和下侧周缘部，通过例如粘接剂的粘接等，设置了用于对该防尘过滤器119施加振动的施振部件即压电元件120a、120b。通过在防尘过滤器119上分别配置压电元件120a、120b，形成振子159。在对压电元件120a、120b施加了预定的频率电压时，该振子159共振振动，并以较大的振幅产生图5A～图5D、图7B、图8、图9、图10所示的二维弯曲振动。

如图3所示，在压电元件120a形成有信号电极157a、158a，在压电元件120b形成有信号电极157b、158b。信号电极158a、158b设在与信号电极157a、157b相对的背面，并通过侧面环绕到具有所述信号电极157a、157b的一侧的面。并且，所述具有导电性图案的挠性体160分别与信号电极157a、157b和信号电极158a、158b电连接。由通过挠性体160连接的防尘过滤器控制电路121对各个信号电极157a、157b、158a、158b施加具有预定周期的驱动电压。通过施加该驱动电压，压电元件120a、120b的施振部根据驱动电压而伸缩。由此，防尘过滤器119被强制振动，通过该强制振动而过渡地产生的弯曲行波在防尘过滤器119的缘部反射，并与持续产生的行波重合预定时间，由此能够使防尘过滤器119产生图5A～图5D所示的二维驻波弯曲振动。另外，图4所示的挠性体160是相比图2B所示的挠性体增加了端子数量的示例，在将电极端子160b和电极端子160d连接的导电性图案上还设有连接端子174a、174b和检查端子175。

并且，防尘过滤器119的尺寸为，长边的长度是LA，与长边正交的短边的长度是LB(对应于图6中记述的尺寸)。其中，图5A所示的防尘过滤器119是矩形，所以与后面叙述的本申请发明的“假想矩形”一致。因此，该情况时的防尘过滤器119的长边LA、与所述假想矩形的包含所述LA的边LF一致。图5A～图5D所示的弯曲振动表示驻波振动。在图5A中，利用细实线表示的振动的波节区域(振动振幅小的区域)176具有不一定振动振幅完全为0，例如在波节彼此交叉的部位振动振幅更小等特征。并且，图5A中的由波节区域176包围的区域表示一个弯曲振动区域，并记述标号X1～X6。其中，标号X1～X6的数字部分表示数值越小时振动振幅越大。并且，在各个弯曲振动区域中，如果是相同电平的振动振幅，则标注具有相同数字部分的标号。并且，被标注了具有奇数的数字部分的标号的弯曲振动区域、和被标注了具有偶数的数字部分的标号的弯曲振动区域，其振动的相位相差180°。例如，如果被标注了具有奇数的数字部分的标号的弯曲振动区域在某个时刻沿Z方向凸出，则被标注了具有偶数的数字部分的标号的弯曲振动区域在同一时刻凹陷。另外，图5A中所示的网眼是利用有限要素法的分割网眼。

在振动速度大的情况下，如图5A所示，在波节区域176的间隔小时，在波节区域176产生大的面内振动(沿着面的方向的振动)。由此，使处于波节区域176的尘埃沿面内振动方向产生大的惯性力(参照后面叙述的图14的质点Y2的移动。以波节为中心，在Y2和Y2’之间进行圆弧振动)。如果使防尘过滤器119面向与重力平行的方向倾斜，以使沿着尘埃的附着面的力发挥作用，则惯性力和重力发挥作用，也能够去除附着在波节区域176中的尘埃。

另外，图5A中的波节彼此之间的区域表示振动振幅大的腹部区域。在该腹部区域中，振幅的波峰或波谷在不同的时刻交替形成。振动振幅的波峰的峰线177利用细虚线示出。附着在该腹部区域中的尘埃可以利用通过振动而赋予的惯性力来去除。也可以通过按照具有相同程度的振动振幅的其他振动模式(例如图9所示的振动模式)对在图5A中成为波节区域176的部分施振，去除附着在振动的波节区域176中的尘埃。

但是，在振动的波节处产生的振动振幅(图14所示的点Y2和Y2’之间的间隔的一半)比在振动的腹部产生的振动振幅(图14所示的振幅A)小。(另外，也可以取代振动振幅，利用振动速度和振动加速度来进行波节和腹部的比较)因此，像本实施例这样，首先使之产生第1振动模式(图5A～图5D所示的振动模式)，然后使最大振动振幅区域X1的位置偏移，使之产生把在第1振动模式中是波节的位置设为振动的腹部的第2振动模式(图10所示的振动模式)时，能够使防尘过滤器119的除尘效果更好。其中，第2振动模式不是第1振动模式的次数不同的模式，而是具有大致相同的振动形式的振动模式，产生的振动振幅也是大致相同程度的强力的振动振幅。

另外，图5A～图5D中的标号178表示施振部，标号179表示该施振部178的中心线，标号180表示非施振部，标号181表示没有电极部分，标号182表示能够获得最大的振动振幅的位置即振动振幅最大区域。

图5A～图5D所示的弯曲振动模式通过合成X方向的弯曲振动和Y方向的弯曲振动而形成。图7A表示该合成的基本状态的情况。当将振子159放置在海绵等几乎没有振动衰减的部件上并使其自由振动时，通常能够很容易地获得图7B所示的、产生网格状的波节区域176的振动模式。图7A的主视图利用虚线表示该图7B的波节区域176的中心183(把线宽方向振动最小的位置表示为线)。示出在该情况下在X方向产生波长λ_X的驻波弯曲振动，而且在Y方向产生波长λ_Y的驻波弯曲振动，并将两种驻波合成的状态。如果把O点设为x＝0、y＝0的原点，在把A设为振幅(此处是设为固定值，但实际上根据振动模式和输入到压电元件的功率而变化)，把m、n设为对应于振动模式的固有振动的次数而且是包含0的正整数，把γ设为任意的相位角时，任意的点P(x，y)的Z方向的振动Z(x，y)可以利用下式(1)表示：

Z(x，y)＝A·W_mn(x，y)·cos(γ)+A·W_nm(x，y)·sin(γ)  …(1)

其中，

$W_{\mathrm{mn}}(x,y)=\sin (\mathrm{n\π}\·x+\frac{\mathrm{\π}}{2})\·\sin (\mathrm{m\π}\·y+\frac{\mathrm{\π}}{2})$

$W_{\mathrm{nm}}(x,y)=\sin (\mathrm{m\π}\·x+\frac{\mathrm{\π}}{2})\·\sin (\mathrm{n\π}\·y+\frac{\mathrm{\π}}{2}).$

其中，例如在假设相位角γ＝0时，上述式(1)成为下式，

$Z(x,y)=A\·W_{\mathrm{mn}}(x,y)$

$=A\·\sin (\frac{n\·\mathrm{\π}\·x}{{\mathrm{\λ}}_X}+\frac{\mathrm{\π}}{2})\·\sin (\frac{m\·\mathrm{\π}\·y}{{\mathrm{\λ}}_Y}+\frac{\mathrm{\π}}{2})$

其中，在假设λ_X＝λ_Y＝λ＝1时(把弯曲的波长设为单位长度来表述x，y)成为下式，

$Z(x,y)=A\·W_{\mathrm{mn}}(x,y)$

$=A\·\sin (n\·\mathrm{\π}\·x+\frac{\mathrm{\π}}{2})\·\sin (m\·\mathrm{\π}\·y+\frac{\mathrm{\π}}{2}).$

同样，在γ＝π/2时，上述式(1)的前面的项成为零，产生相同的驻波。图7A表示m＝n时的振动模式(X方向、Y方向的振动的次数和波长相同，所以防尘过滤器119的形状为正方形)。在该振动模式时，在X方向、Y方向以相等间隔出现振动的波峰、波节、波谷，出现了棋盘状的振动的波节区域176(以往的振动模式)。并且，在m＝0、n＝1的振动模式时，形成为出现与平行于Y方向的边(边LB)平行的波峰、波节、波谷的振动。在以上叙述的形式的振动模式时，独立地产生X方向的振动和Y方向的振动。即使将X方向的振动和Y方向的振动合成，振动振幅(或振动速度)也与独立地产生X方向的振动(能够形成与边LB平行的波节、波谷的振动)或者Y方向的振动(能够形成与边LA平行的波节、波谷的振动)时相同。这对于图7B所示的振动模式也相同。在这些振动模式下，如前面所述，在把k设为0和整数(正负均可)时，相位角γ＝k×π/2。即，成为cosγ、sinγ为0时的模式。

下面，说明相位角γ与上述角度不同时的振动模式。在图7A或图7B所示的振动模式下，产生与压电元件120a、120b的沿Y方向延伸的中心轴对称的振动，产生多个由振动的波节区域176包围的具有振动振幅的四边形的区域。在具有该振动振幅的区域中记述的X1、X-1中的数字表示振动振幅的大小，无论哪个区域都具有大致相同的振动振幅。并且，将数字表述成为1和-1，表示振动的相位是相反的(在某个时刻，如果数字1的区域凸出，则数字-1的区域就凹陷)。在从这种状态下使施加给压电元件120a、120b的电信号的频率向升高的一侧偏移时，在处于防尘过滤器119的中心的施振部180的沿Y方向延伸的中心轴上，产生振动振幅达到最大的区域，并能够使波节位置移动。

其中，当使防尘过滤器119的形状成为略微偏长方形侧，并选择成为m＝3、n＝2的振动模式的施振频率时，成为相位角γ为+π/4或-π/4～-π/8的振动模式。该振动模式是本实施例的振动振幅非常大的振动模式(最大振幅是与以往的圆形防尘过滤器相同的水平)。例如，在γ＝+π/4时，成为图5A～图5D所示的振动模式。在该振动模式时，尽管防尘过滤器119是矩形，但如后面所述，面对称的振动振幅的波峰的峰线177相对于光轴中心(上述假想对称轴和后面叙述的振动中心轴之间的第1假想交点)构成闭合曲线，将来自X方向的边的反射波和来自Y方向的边的反射波高效地合成形成驻波。图8表示通过改变图5A～图5D所示的防尘过滤器119的施振用频率而产生的γ＝-π/4时的振动模式。该振动模式是形成包围边的中心的振动振幅的波峰的峰线177的振动模式。即，防尘过滤器119的中心成为几乎没有振动的波节区域176，形成包围边的中心的振动的波峰的峰线177。

图9表示在振动的波峰与边平行的以往的振动模式的近似状态下，产生5A～图5D所示的振动模式的振动的情况。该图9所示的振动模式通过改变防尘过滤器119及压电元件120a、120b的结构(如后面所述，改变防尘过滤器119的纵横比等)，使相位角略大于或小于+π/4来实现。另外，在图9中，对振动区域标注X1～X5的标号。其中，标号的数字部分的数值越小，振动振幅越大，在数字部分为奇数的区域和数字部分为偶数的区域中，振动的相位是相反的，这与上述的情况相同。

图5A所示的振子159的防尘过滤器119是30.8mm(X方向：LA、LF)×28.5mm(Y方向：LB)×0.65mm(厚度)的玻璃板(光学元件)。另外，所述防尘过滤器119是包括X方向的边LA的矩形，并且把该边LA(30.8mm)作为长边，把LB(28.5mm)作为短边，所以与具有与防尘过滤器119的部件正面的面积相同的面积的、本申请发明的“假想矩形”一致。因此，该情况时的防尘过滤器119的长边LA与所述假想矩形的包含所述LA的边LF一致。并且，压电元件120a、120b分别利用21mm(X方向：LP)×3mm(Y方向)×0.8mm(厚度)的钛酸锆酸铅陶瓷制成。利用环氧树脂类的粘接剂将该压电元件120a、120b沿着防尘过滤器119的上下的边(X方向)粘接固定在该各边的端部侧。更具体地讲，在X方向上，所述压电元件120a、120b分别被配置成为关于沿着Y方向的防尘过滤器119的中心线左右对称。此时，图5A所示的振动模式的共振频率为91kHz左右。在防尘过滤器119的中央位置(X1区域)，能够获得与在四边形的防尘过滤器119所内接的圆形中构成防尘过滤器时大致匹敌的最大振动速度、振动振幅。通过把与该防尘过滤器119中央位置的面垂直的振动速度V作为基准来获取与最大速度Vmax的比，能够获得图11所示的振动速度比，其最大值为1.000。另外，在图11中，在与防尘过滤器119的长边平行地配置压电元件120a、120b时是长边侧的曲线图，在与防尘过滤器119的短边平行地配置压电元件120a、120b时是短边侧的曲线图。在这种情况下，将压电元件120a、120b配置在防尘过滤器119的长边侧能够获得更大的振动速度。

并且，把相位角γ设为γ＝+π/4或者γ＝-π/8～-π/4，但并不是必须准确地是该值，在存在若干偏差时也能够增大振动振幅。例如，图9是表示成为比γ＝+π/4略小的一侧时的振动模式的图，在该振动模式时，振动振幅的波峰的峰线177相对于光轴中心构成闭合曲线，振子159的中央位置的Z方向的振动速度增大。另外，该防尘过滤器119是30.8mm(X方向：LA，LF)×28.5mm(Y方向：LB)×0.65mm(厚度)的玻璃板(光学元件)。另外，所述防尘过滤器119是包含X方向的边LA的矩形，并且把该边LA(30.8mm)作为长边，把LB(28.5mm)作为短边，所以与具有与防尘过滤器119的部件正面的面积相同的面积的、本申请发明的“假想矩形”一致。压电元件120a、120b分别是30mm(X方向)×3mm(Y方向)×0.8mm(厚度)，并利用与防尘过滤器119的X方向的边长度LF大致相同状态的钛酸锆酸铅陶瓷制成。并且，利用环氧树脂类的粘接剂沿着防尘过滤器119的上下的边粘接固定这种压电元件120a、120b，以使X方向关于防尘过滤器119的中心线左右对称。此时，图9所示的振动模式的共振频率是68kHz左右的频率。但是，在该振动模式下，同样能够在最大振动振幅的区域中移动。由于振动模式的波节与最大振动振幅的移动方向不平行，所以成为最适合于使用两个振动模式使成像光线通过区域149产生振动振幅大的振动的振动模式。在这种情况下，与图2A和图2B相同，利用密封件150的唇部150a进行防尘过滤器119的支撑，在支架145上设置4个支撑部156，作为在施加了外力时的第2支撑部件。

这样构成的振子159的压电元件120a、120b如上面所述利用钛酸锆酸铅等压电体材料形成，并且，在信号电极157a和信号电极158a之间、或者信号电极157b和信号电极158b之间，分别具有在施加频率电压时伸缩的施振部178。该施振部178的区域包括与信号电极157a、157b对应的区域，并沿板厚方向进行极化来构成压电体。各个施振部178的沿Y方向延伸的中心轴相对于压电元件120a、120b的中心轴偏离预定距离W/2。其中，W表示在最大振动振幅到达图5A所示的压电元件120a、120b的中心轴上时的振动模式(第1振动模式)时，振动的X方向的波节间隔为最小的间隔。

然后，顺序提高施加给施振部178的频率电压的频率，在达到预定的频率时，如图10所示，最大振动振幅到达施振部178的中心轴上，产生具有与第1振动模式的振动振幅相同的振动振幅的振动模式(第2振动模式)。即，作为驱动部的一部分的防尘过滤器控制电路121通过控制输入到两个施振部件的电信号，在所述假想对称轴上移动两个施振部件的振动中心轴的位置，将所述第1假想交点变更为第2假想交点，使成为最大振动振幅的振动的波峰的位置向包括该第2假想交点的位置移动。此时的移动距离为产生以第1假想交点为中心并且形成有多个呈闭合曲线的振动的波峰的峰线177的振动时的、假想对称轴上的峰线177的间隔的最小间隔W的1/2(即W/2)。另外，此时的频率比图5A所示的振动模式的频率约高10kHz，是与施振部178的中心轴平行的振动的波节消失的振动模式。

顺序进行这些基于第1振动模式的频率的电信号的施加、和基于第2振动模式的频率的电信号的施加，由此防尘过滤器119的成像光线通过区域149以大的振动振幅进行振动。

图12所示的振子159的变形例使用将圆盘状的一部分切去形成一条边的部件作为防尘过滤器119。即，该振子159使用具有关于Y方向的对称轴对称的一边的D形状的防尘过滤器119。压电元件120a与该一边平行而且关于边的中点(Y方向的对称轴)对称地配置在防尘过滤器119的面上。另一方面，压电元件120b被配置成为大致内接于防尘过滤器119的外圆周，并与所述一边平行。如果使防尘过滤器119形成这种形状，则关于防尘过滤器119的中心(也可以认为是重心)的形状对称性提高，更容易形成图5A～图5D所示的振动状态。另外，当然相比圆形，形状变得更小。

在本实施例中设有两个压电元件120a、120b，这两个压电元件是相同形状。各个压电元件120a、120b通过挠性体160被电接合。在压电元件120a、120b设有作为施振部178的信号电极157a、157b。该施振部178的中心轴与压电元件120a、120b的中心轴偏离W/2的距离，这与图5A所示的情况相同。

另外，如图12所示，关于通过将圆盘的一部分切去而形成的不对称性(相对于振动的不对称性)，通过将压电元件120a、120b与边平行地配置，而且提高刚性，能够使之接近对称状态，能够基本实现需要的振动状态。

另外，图12所示的防尘过滤器119不是矩形的，所以不能直接设定短边和长边。因此，对于图12所示的防尘过滤器119假设下述的假想矩形185，该假想矩形185把切去而形成的上述一边设为1边，沿着压电元件120b外侧的边设定与该1边相对的边，再设定面积与防尘过滤器119相等的另1组的边。并且，把该假想矩形185的长边、短边设定为图12所示的防尘过滤器119的长边、短边。

并且，在图12所示的结构中，压电元件120a、120b相对于防尘过滤器119的对称轴不对称配置。但是，由于相对于假想矩形185的对称轴对称配置，所以能够获得与相对于防尘过滤器119的对称轴对称配置时相同的效果。

另一方面，呈图2B所示形状(例如变形环带形状)的密封件150配置在防尘过滤器119与支架145之间，并被图2A所示的按压部件151按压，由此构成对防尘过滤器119的支撑。密封件150如图2A所示具有唇部150a，该唇部150a与防尘过滤器119接触，由此将由防尘过滤器119、支架145、光学LPF118、密封件150所包围的空间大致密封。另外，支撑部156设置在支架145的3处，在施加了外力的情况下，成为支撑防尘过滤器119的结构。其中，密封件150通过形成环带形状的唇部150a与防尘过滤器119接触，所以沿着在防尘过滤器119中产生的围绕该防尘过滤器119的中心的振动的波节区域，阻碍防尘过滤器119的振动的情况变得更少。另外，在这种情况下，密封件150(及唇部150a)的角部形成为钝角，在受到了外力时产生偏倚的变形的情况也很少，所以不采取图2B所示的圆弧形状。

图13所示的振子159的另一变形例使用对圆盘设置对称的缺口来形成平行的两条边的部件作为防尘过滤器119。即，该振子159使用具有两条关于Y方向的对称轴对称的两条边的防尘过滤器119。该情况时，压电元件120a、120b不配置在边附近，而是在形成圆周的部分配置圆弧状的元件。当形成这种形式时，高效地配置了压电元件120a、120b，因而能够形成更小型的振子159。

另外，由于图13所示的防尘过滤器119也不是矩形的，所以不能直接设定短边和长边。因此，与对图12所示的防尘过滤器119设定假想矩形185的情况相同，对该图13所示的防尘过滤器119也设定假想矩形185。即，假设下述的假想矩形185，把防尘过滤器119的被切去而形成的平行的两条边设为假想矩形185的相对的两条边，再设定面积与防尘过滤器119相等的另1组的边(两条边)。并且，把该假想矩形185的长边、短边设定为图13所示的防尘过滤器119的长边、短边。

然后，将压电元件120a、120b相对于X轴上下对称地设置在防尘过滤器119上，X轴构成压电元件120a、120b的中心轴(振动中心轴)。另一方面，构成施振部178的信号电极157a、157b的中心轴与X轴平行，并成为将信号电极157a、157b的面积进行上下二等分的轴。因此，根据图13所示的结构，也能够实现与图5A所示的结构大致相同的振动动作。并且，当然将压电元件120a、120b的中心轴与信号电极157a、157b的中心轴之间的距离设定为W/2。其中，W表示在最大振动振幅位于压电元件120a、120b的中心轴上的振动模式(第1振动模式)时，振动的Y方向的波节间隔为最小的长度。

并且，关于图13所示的结构中的压电元件120a、120b与挠性体160的电连接、以及防尘过滤器119的支撑，与参照图12说明的情况基本相同，所以此处省略说明。

下面，使用图14具体说明尘埃的去除。图14表示与图5B相同的剖面。压电元件120a、120b沿图14中的箭头186所示的方向被实施极化。当在某个时间点t₀对该压电元件120a、120b施加了预定的频率电压时，振子159成为实线所示的状态。在把振动的角速度设为ω、把Z方向的振幅设为A、并且设为Y＝2πy/λ(λ：弯曲振动的波长)时，位于振子159正面的任意位置y处的质点Y在任意时刻t的Z方向的振动z利用下面的式(2)表示如下：

z＝A·sin(Y)·cos(ωt)                            …(2)

该式表示图5A所示的驻波振动。即，在y＝s·λ/2时(其中，s为整数)，Y＝sπ，sin(Y)为零。因此，与时间无关，每λ/2具有Z方向的振动振幅为零的波节187，这是驻波振动。并且，在图14中虚线所示的状态表示相对于时间t₀的状态振动为反相的t＝kπ/ω的状态(其中，k为奇数)。

其次，防尘过滤器119上的点Y₁的振动z(Y₁)成为弯曲驻波的振动的腹部188的位置，所以在Z方向的振动中振动振幅为A，利用下面的式(3)表示如下：

z(Y₁)＝A·cos(ωt)                              …(3)

在把振动的频率设为f时点Y₁的振动速度Vz(Y₁)为ω＝2πf，所以将上述式(3)按照时间进行微分后，利用下面的式(4)表示如下：

$\mathrm{Vz}\left(Y_1\right)=\frac{d\left(z\left(Y_1\right)\right)}{\mathrm{dt}}=-2\mathrm{\πf}\·A\·\sin \left(\mathrm{\ωt}\right)\·\·\·\left(4\right)$

再将上述式(4)按照时间进行微分后，点Y₁的振动加速度αz(Y₁)利用下面的式(5)表示如下：

$\mathrm{\αz}\left(Y_1\right)=\frac{d\left(\mathrm{Vz}\left(Y_1\right)\right)}{\mathrm{dt}}=-4{\mathrm{\π}}^2{f}^2\·A\·\cos \left(\mathrm{\ωt}\right)\·\·\·\left(5\right)$

因此，附着在点Y₁上的尘埃189接受上述式(5)的加速度。此时，把尘埃189的质量设为M，尘埃189接受到的惯性力Fk利用下面的式(6)表示如下：

Fk＝αz(Y₁)·M＝-4π²f²·A·cos(ωt)·M        …(6)

根据上式(6)，当提高频率f时，惯性力Fk与f的平方成比例并增大，所以判明是有效的。但是，如果此时的振动振幅A比较小，则无论如何提高频率，都不能提高惯性力。一般，当使产生施振的振动能量的压电元件120a、120b的大小固定时，只能产生预定的振动能量。因此，当在相同的振动模式下提高频率时，振动振幅A与频率f的平方成反比，即使提高共振频率以成为高次的共振模式，振动振幅也降低，振动速度不能提高，振动加速度也不能提高。反之，当频率提高时，难以实现理想的共振，振动能量损失增大，振动加速度下降。即，如果单纯地以频率高的共振模式来产生振动，将不能成为具有大的振幅的模式，导致尘埃去除的效果明显恶化。因此，为了提高振动加速度不仅需要单纯地提高振动频率，还需要使防尘过滤器119高效地产生共振振动(增大振动振幅)。

尽管防尘过滤器119是矩形，但在图5A所示的本实施例的振动模式中，振动振幅的波峰的峰线177相对于光轴中心构成闭合曲线。并且，在图8所示的本实施例的振动模式中，振动振幅的波峰的峰线177构成包围边的中心的曲线，将来自X方向的边的反射波和来自Y方向的边的反射波高效地合成，形成在防尘过滤器119的中央附近的区域X1振动振幅较大的驻波。相对于图8所示的第1振动模式，在作为施振部178的信号电极157a、157b的中心轴上形成被夹在最大振动振幅的区域中的振动的波节的振动模式，是图10所示的第2振动模式。在变更输入电信号的频率而顺序产生第1振动模式和第2振动模式时，与针对图5A所示的振动模式叙述的情况相同，能够在成像光线通过区域149产生振动振幅大的振动。图8和图10所示的各振动模式下的防尘过滤器119的支撑方法与图5A所示的方法相同。图8表示作为密封件150的与防尘过滤器119的接触部的密封接触部190、和在外力作用于防尘过滤器119时成为支撑防尘过滤器119的支撑部156的接触部的支撑区域191。密封接触部190和支撑区域191都成为与振动模式的振动的波节区域176接近的、振动振幅小的部分，几乎不会阻碍在防尘过滤器119中产生的振动。

为了高效地形成上述合成驻波，防尘过滤器119的形状尺寸起到很大作用。如图11所示，相比把防尘过滤器119的短边的长度与长边的长度之比即纵横比(短边/长边)设为1的正方形的方法，在将纵横比设定为小于1时，与压电元件120a、120b的配置无关，成为防尘过滤器119的中央位置的Z方向的振动速度最大的区域(振动速度比为0.7以上)。在图11中，曲线图的纵轴表示以该区域的最大振动速度Vmax为基准、与振动速度V的比(V/Vmax)。当然，纵横比(短边/长边)的最大值是1，在纵横比为0.9以下时，振动速度比快速减小。因此，优选防尘过滤器119的纵横比(短边/长边)为0.9以上且小于1。并且，图11中的短边侧的两个点的振动速度比都比在防尘过滤器119的长边侧配置了压电元件120a、120b的“长边侧”的曲线低。因此，关于压电元件120a、120b的配置位置，与配置在防尘过滤器119的短边侧时相比，配置在长边侧更能提高振动速度比，并获得高的尘埃去除性能。并且，在图11中能够获得最大的振动速度比的状态是振动模式为图5A所示模式的状态，在上述式(1)中γ＝+π/4的情况。

这样，在振动振幅的波峰的峰线177相对于光轴中心构成闭合曲线的振动和构成包围边的中心的曲线的振动中，能够产生与防尘过滤器119是圆盘形状时产生的同心圆状的振动的振幅相同的振动振幅。在单纯地产生与边平行的振动振幅的振动模式中，只能获得本实施例的几分之一到十分之一左右的振动加速度。另外，在该振动模式(产生与边平行的相等振动振幅区域的振动模式)下，即使变更频率使第1振动模式的中心位置向施振部178的中心轴侧移动，使之产生第2振动模式，该第2振动模式的相等振动振幅区域也与边平行，产生的振动模式实质上不变。因此，在产生与边平行的相等振动振幅区域的振动模式下，不能将在第1振动模式时是波节的位置在第2振动模式时设为腹部，根本不能发挥像本实施例这样的效果。

并且，在振动振幅的波峰的峰线177构成闭合曲线的振动和构成包围边的中心的曲线的振动中，振子159的中心的振动振幅最大，越到周边的闭合曲线或包围的曲线，振动振幅越小。因此，越是图像的中心，尘埃去除的能力越高，通过将振子159的中心与光轴对准，还具有越是中心的画质高的地方、越不容易摄入尘埃189的优点。

下面，根据图15A和图15B说明在共振频率附近改变压电元件120a、120b的频率时的振动状态。采用压电元件120a、120b的振子159的共振频率附近的电气等效电路如图15A所示。其中，C₀表示压电元件120a、120b并联连接的状态的静电电容，L、C、R是将振子159的机械式振动替换为作为电气电路元件的线圈、电容、电阻时的等效电路上的数值。当然，这些数值根据频率而变化。

在频率达到共振频率f₀时，如图15B所示，成为L和C的共振。当从完全不共振的频率向共振频率侧提高频率时，振子159的振动相位相对于压电元件120a、120b的施振的相位而变化。并且，在共振时相位前进π/2，当再提高频率时，相位前进直到π。当继续提高频率时，相位减小。并且，在不再是共振区域时，成为与在低频率下不共振的状态的相位相同的相位。实际上，根据振子159的结构，有时不会成为理想状态，相位不会变化到π，但能够将驱动频率设定为共振频率。

另外，位于图5A、图8中的4个角部的支撑区域191是几乎没有振动振幅的区域。因此，在利用外力向Z方向按压该部分时，通过橡胶等具有振动衰减性的支承部156来支撑防尘过滤器119。这样，因为密封件150的唇部150a的位移较少，密封件150导致的按压力的增加也比较小，所以振动的衰减较小，能够实现可靠的支撑，并且在外力被去除时，唇部150a可靠地恢复为原来的状态。利用橡胶等形成的支撑部件153允许防尘过滤器119的面内方向的振动，所以几乎不会使面内方向的振动衰减。另一方面，为了卸下更换镜头来去除防尘过滤器119的正面的细微的尘埃，在利用清洁器具清洁时，有时会对防尘过滤器119施加外力。此时，如果不采取本实施例的支撑、按压构造，该外力将直接施加给密封件150，致使密封件150扭曲，即使去除了外力后也会产生唇部150a的形状不能恢复等问题。另外，进行清洁的理由如下所述。即，如后面所述，即使使防尘过滤器119振动，也不能去除细微的尘埃和细微液体，在附着了许多细微的尘埃时，防尘过滤器119的成像光线的透射率降低。因此，在防尘过滤器119的正面因累计了预定量以上的细微尘埃或者细微液体而变脏时，需要进行清洁。

另一方面，密封件150还必须设在具有振动振幅的区域。在本实施例的振动模式中，越到周边的振动振幅的波峰位置处，振动振幅越小。因此，通过利用唇形状来支承防尘过滤器119的周边部，并使按压力量也比较小，使力量不会较强地作用于弯曲振动振幅方向。因此，由于原来的振动振幅也比较小，所以能够使基于该密封件150的振动的衰减极小。在本实施例中，如图5A、图7B和图8所示构成为，密封件接触部190较多地接触振动振幅小的区域即波节区域176，所以振动衰减更小。

另外，使压电元件120a、120b振动的上述预定的频率根据构成振子159的防尘过滤器119的形状、尺寸、材质、支撑的状态而确定。通常，温度成为影响振子159的弹性系数并使其固有振动数变化的一个主要原因。因此，在应用时，优选测量其温度并考虑其固有振动数的变化。该情况时，在数字照相机10内设置与温度测定电路(未图示)连接的温度传感器(未图示)。并且，将针对温度传感器的测试温度的预先确定的振子159的振动频率的校正值存储在非易失性存储器128中。并且，将测量温度和校正值读入到Bucom101中，并运算驱动频率作为防尘过滤器控制电路121的驱动频率。这样，即使温度变化，也能够产生效率良好的振动。

下面，参照图16和图17说明本实施例的数字照相机10的防尘过滤器控制电路121。此处示例的防尘过滤器控制电路121具有图16所示的电路结构，在其各个部分中生成利用图17的时序图表示的波形的信号(Sig1～Sig4)，根据这些信号进行下面所述的控制。

即，防尘过滤器控制电路121如图16所示，由N进位计数器192、1/2分频电路193、反相器194、多个MOS晶体管Q₀₀、Q₀₁、Q₀₂、变压器195和电阻R₀₀构成。

防尘过滤器控制电路121构成为根据与所述变压器195的一次侧连接的MOS晶体管Q₀₁和MOS晶体管Q₀₂的导通/截止切换动作，在该变压器195的二次侧产生预定周期的信号(Sig 4)。根据该产生的预定周期的信号来驱动压电元件120a、120b，使固定安装有防尘过滤器119的振子159产生共振驻波。

Bucom101通过作为控制端口而设置的两个输出端口P_PwCont和输出端口D_NCnt、和位于该Bucom101内部的时钟发生器196，按照下面所述控制防尘过滤器控制电路121。时钟发生器196输出脉冲信号(基本时钟信号)，该脉冲信号具有与施加给压电元件120a、120b的信号频率相比充分快的频率。该输出信号是图17中的时序图表示的波形的信号Sig1。并且，该基本时钟信号被输入N进位计数器192。

N进位计数器192对该脉冲信号进行计数，每当达到预定的值“N”时，输出计数结束脉冲信号。即，将基本时钟信号分频为1/N。该输出信号是图17中的时序图表示的波形的信号Sig2。

该分频后的脉冲信号的高电平与低电平的占空比不会成为1∶1。因此，通过1/2分频电路193将占空比转换为1∶1。另外，该转换后的脉冲信号对应于图17中的时序图表示的波形的信号Sig3。

在该转换后的脉冲信号的高电平的状态时，被输入了该信号的MOS晶体管Q₀₁导通。另一方面，经由反相器194向MOS晶体管Q₀₂施加该脉冲信号。因此，在脉冲信号(信号Sig3)的低电平的状态时，被输入了该信号的MOS晶体管Q₀₂导通。由此，与变压器195的一次侧连接的MOS晶体管Q₀₁和MOS晶体管Q₀₂交替导通。由此，在变压器195的二次侧产生图17中的信号Sig4那样的周期的信号。

根据电源电路135的单元的输出电压和驱动压电元件120a、120b所需要的电压确定变压器195的绕组比。另外，电阻R₀₀是为了限制过大的电流流过变压器195而设置的。

在驱动压电元件120a、120b时，MOS晶体管Q₀₀处于导通状态，而且必须从电源电路135向变压器195的中心抽头施加电压。并且，在该情况下，MOS晶体管Q₀₀的导通/截止控制通过Bucom101的输出端口P_PwCont来进行。N进位计数器192的设定值“N”能够根据Bucom101的输出端口D_NCnt来设定。因此，Bucom101通过适当控制设定值“N”，能够任意变更压电元件120a、120b的驱动频率。

此时，能够利用下面的式(7)计算频率：

$\mathrm{fdrv}=\frac{\mathrm{fpls}}{2N}\·\·\·\left(7\right)$

其中，N表示对N进位计数器192的设定值，fpls表示时钟发生器196的输出脉冲的频率，fdrv表示施加给压电元件120a、120b的信号的频率。在本实施例中，关于频率fdrv，设定了与第1振动模式对应的f1和与第2振动模式对应的f2这两个频率。这些f1、f2只是设定值不同，其动作相同。

另外，由Bucom101的CPU(控制部)进行基于该式(7)的运算。

另外，当使防尘过滤器119以超声波频带(20kHz以上的频率)的频率振动时，以普通人的听力为基准，大约20Hz～20000Hz的范围内是可听范围，所以不能根据声音来判别防尘过滤器119的动作状态。因此，该数字照相机10在动作显示用LCD129或动作显示用LED130设置显示部，用于将防尘过滤器119的动作通知数字照相机10的操作者。即，数字照相机10通过施振部件(压电元件120a、120b)，对配置在所述CCD117的前面并具有透光性的能够振动的防尘部件(防尘过滤器119)施加振动。此时，数字照相机10使所述显示部与施振部件的驱动电路(防尘过滤器控制电路121)的动作联动地动作，来实施通知防尘过滤器119的动作的处理(具体情况将在后面叙述)。

为了具体说明上述特征，关于Bucom101进行的控制，参照图18A～图22说明具体的控制动作。在照相机的主体单元100的电源SW(未图示)被进行了接通操作后，图18A和图18B所示的流程图涉及的、能通过Bucom101工作的控制程序开始其工作。

首先，执行用于起动该数字照相机10的处理(步骤S101)。即，Bucom101控制电源电路135，向构成该数字照相机10的各个电路单元提供电力。并且，Bucom101进行各个电路的初始设定。

然后，Bucom101通过调用后面叙述的子程序“无音施振动作”，由此使防尘过滤器119无音(即可听范围之外)地振动(步骤S102)。另外，此处所说的可听范围指以普通人的听力为基准的约20Hz～20000Hz的范围内。

接下来的步骤S103～步骤S124是周期性地执行的步骤组。即，Bucom101首先检测附件在该数字照相机10上的装卸(步骤S103)。关于该检测，例如检测作为附件之一的镜头单元200被安装在主体单元100上。该装卸检测动作通过由Bucom101与Lucom201进行通信，来调查镜头单元200的装卸状态。

如果检测到预定的附件被安装在主体单元100上(步骤S104)，Bucom101调用子程序“无音施振动作”，使防尘过滤器119无音地振动(步骤S105)。

在附件尤其是镜头单元200没有被安装在作为照相机主体的主体单元100上的期间，尘埃附着在各个镜头和防尘过滤器119等上的可能性特别大。因此，按照上面所述，在检测到镜头单元200的安装的定时执行去除尘埃的动作比较有效。并且，在更换镜头时，外部空气在主体单元100内部循环，尘埃进入并附着的可能性比较大。因此，在更换镜头时去除尘埃是有意义的。并且，视为是在即将摄影之前，转入步骤S106。

另一方面，在上述步骤S104，在检测到是镜头单元200被从主体单元100卸下的状态时，Bucom101直接转入后面的步骤S106的处理。

并且，在步骤S106，Bucom101进行该数字照相机10具有的预定的操作开关的状态检测。

在此，Bucom101根据构成释放SW的第一释放SW(未图示)的接通/断开状态，判定该SW是否被操作(步骤S107)。Bucom101读出该状态，如果第一释放SW没有被进行接通操作已达预定时间以上，则判定电源SW的状态(步骤S108)。并且，如果电源SW被接通，则返回上述步骤S103的处理，如果被断开，则结束处理(休眠等)。

另一方面，当在上述步骤S107判定为第一释放SW被进行了接通操作时，Bucom101从测光电路115获取被摄体的亮度信息，根据该信息计算摄像单元116的曝光时间(Tv值)和镜头单元200的光圈设定值(Av值)(步骤S109)。

然后，Bucom101通过AF传感器驱动电路110获取AF传感器单元109的检测数据，根据该数据计算焦点的偏移量(步骤S110)。并且，Bucom101判定该计算的偏移量是否在允许的范围内(步骤S111)。在偏移量不在允许的范围内的情况下，Bucom101进行摄影镜头202的驱动控制(步骤S112)，并返回上述步骤S103的处理。

另一方面，在偏移量在允许的范围内的情况下，Bucom101判定构成释放SW的第二释放SW(未图示)是否被进行了接通操作(步骤S114)。在该第二释放SW是接通状态时，Bucom101转入接下来的步骤S115的处理，开始预定的摄影动作(具体情况将在后面叙述)。与此相对，在第二释放SW是断开状态时，Bucom101转入上述步骤S108的处理。

另外，在摄像动作中，按照以往那样控制与为了曝光而预先设定的秒时(曝光速度)对应的时间的电子摄像动作。

关于上述摄影动作，从步骤S115到步骤S121，按照预定的顺序进行被摄体的摄影。首先，Bucom101向Lucom201发送Av值，并命令驱动光圈203(步骤S115)。然后，Bucom101使快速返回反射镜105向上升位置移动(步骤S116)。并且，Bucom101使快门108的前帘开始行进并控制打开(步骤S117)，并命令图像处理控制器126执行“摄像动作”(步骤S118)。在对CCD117结束了利用Tv值所示的时间的曝光(摄像)后，Bucom101快门108的后帘开始行进并控制关闭(步骤S119)。并且，Bucom101向下降位置驱动快速返回反射镜105，并且进行快门108的施力动作(步骤S120)。

然后，Bucom101命令Lucom201将光圈203恢复到打开位置(步骤S121)，结束一系列的摄像动作。

然后，Bucom101检测记录介质127是否被安装在主体单元100上(步骤S122)。在没有安装记录介质127时，Bucom101进行报警显示(步骤S123)。并且，再次转入上述步骤S103的处理，反复进行相同的一系列处理。

另一方面，如果安装了记录介质127，Bucom101命令图像处理控制器126将所拍摄到的图像数据记录在记录介质127中(步骤S124)。在该图像数据的记录动作结束后，再次转入上述步骤S103的处理，反复进行相同的一系列处理。

下面，关于具体的振动形式与显示的关系，根据图19～图22说明在上述2个步骤(S102、S105)调用的“无音施振动作”子程序的控制步骤。另外，该所谓的“振动形式”指由作为施振部件的压电元件120a、120b产生的振动的形式。并且，在该无音施振动作中，表示连续提供给施振部件的共振频率的波形的曲线图如图23所示。图19所示的子程序“无音施振动作”和图20～图22所示的“显示动作”是只以用于去除防尘过滤器119的尘埃的施振动作为目的的程序。振动频率f₀被设定为该防尘过滤器119的与第1振动模式对应的频率f₀₁和与第2振动模式对应的频率f₀₂。例如，在图5A所示的振动模式中，第1振动频率f₀₁是91kHz，第2振动频率f₀₂是101kHz，由于是至少20kHz以上的振动，所以对于用户而言是没有声音的。

当调用了“无音施振动作”时，Bucom101按照图19所示，首先从存储在非易失性存储器128的预定区域中的内容中读出与用于使防尘过滤器119振动的驱动时间(Toscf01，Toscf02)和驱动频率(共振频率：Noscf01，Noscf02)相关的数据(步骤S201)。其中，Noscf01、Toscf01表示第1振动模式的共振频率和驱动时间，Noscf02、Toscf02表示第2振动模式的共振频率和驱动时间。在该定时，Bucom101按照图20所示，打开对设于动作显示用LCD129或动作显示用LED130上的显示部的施振模式的显示(步骤S301)。并且，Bucom101判定是否经过了预定时间(步骤S302)。在没有经过预定时间时，Bucom101继续施振模式的显示。并且，在经过预定时间后，Bucom101关闭施振模式显示(步骤S303)。

然后，Bucom101从输出端口D_NCnt向防尘过滤器控制电路121的N进位计数器192输出驱动频率Noscf01(步骤S202)。

在接下来的步骤S203～步骤S205如下所述进行尘埃去除动作。即，为了去除尘埃，Bucom101首先把输出端口P_PwCont设定为高电平，并开始尘埃去除动作(步骤S203)。在该定时，Bucom101按照图21所示，使施振动作显示开始(步骤S311)。并且，Bucom101判定是否经过了预定时间(步骤S312)。其中，在没有经过预定时间时，Bucom101继续进行施振动作的显示。并且，在经过预定时间后，Bucom101结束施振动作显示(步骤S313)。此时的施振动作显示根据时间经过或者尘埃去除经过而进行变化的显示(未图示)。该情况时的预定时间与后面叙述的施振动作的持续时间即Toscf01和Toscf02之累计时间大致相同。

并且，在上述步骤S203中，在输出端口P_PwCont被设定为高电平时，压电元件120a、120b按照预定的驱动频率(Noscf01)对防尘过滤器119施振，并掸掉附着在防尘过滤器119面上的尘埃189。在该尘埃去除动作中，在掸掉附着在防尘过滤器119面上的尘埃189时，同时产生空气振动，并产生超声波。但是，即使按照驱动频率Noscf01来驱动，也不会成为普通人的可听范围内的声音，所以听不到(后面叙述的驱动频率Noscf02也相同)。

Bucom101在使防尘过滤器119振动的状态下待机预定驱动时间(Toscf01)(步骤S204)。并且，在经过该预定驱动时间(Toscf01)后，Bucom101从输出端口D_NCnt将驱动频率Noscf02输出给防尘过滤器控制电路121的N进位计数器192(步骤S205)。然后，压电元件120a、120b以第2驱动频率(Noscf02)对防尘过滤器119施振，产生第2振动模式而掸掉附着在防尘过滤器119的正面的尘埃189。然后，Bucom101在使防尘过滤器119振动的期间待机预定驱动时间(Toscf02)(步骤S206)。并且，在经过该预定驱动时间(Toscf02)后，Bucom101将输出端口P_PwCont设定为低电平，由此停止尘埃去除动作(步骤S207)。并且，在该定时，Bucom101打开施振结束显示(步骤S321)。在Bucom101判定为经过了预定时间时(步骤S322)，该施振结束显示关闭，并结束显示(步骤S323)。并且，Bucom101返回到被调用的步骤的下一个步骤。

在该子程序中应用的第1振动模式的振动频率f₀₁(共振频率(Noscf01))和驱动时间(Toscf01)表示在图23中利用曲线图示出的波形。即，一定的振动(f₀₁＝91kHz)成为只持续足够去除尘埃的时间(Toscf01)的连续波形。同样，在第2振动模式时与图23所示情况相同，所以此处省略说明。

即，该振动形式用于调整并控制提供给施振部178的共振频率。

根据这种第1实施例，通过将施振部件中的施振部178的位置设计在期望的位置，能够预期地变更相对于第1假想交点的第2假想交点的位置，所以能够在振动振幅大的区域中移动到最佳位置。由此，能够提供一种尘埃去除能力高的小型的振动装置，能够消除在作为光线透射部的成像光线通过区域149上始终是振动的波节的部分。

(第2实施例)

下面，参照图24说明作为本发明的图像设备的第2实施例的、在数字照相机的Bucom进行的照相机程序(主程序)中被调用的子程序“无音施振动作”。该图24变更了上述第1实施例中的图19所示的子程序“无音施振动作”的动作。本第2实施例的防尘过滤器119的动作与上述第1实施例不同。即，在上述第1实施例中，采取使防尘过滤器119的驱动频率为f₀₁和f₀₂这两个固定值来产生驻波的形式。与此相对，本第2实施例通过顺序变更并施加驱动频率，使得即使不严格控制驱动频率，也产生包含共振频率的振动振幅大的振动。

并且，在图11所示的纵横比为0.9附近时，在纵横比因制造偏差而变化的情况下，振动模式变化较大(振动速度比急剧减小)。为此，需要对每个产品准确地设定共振频率来驱动压电元件120a、120b。这是因为当在非共振频率的频率下进行驱动时，振动速度进一步下降。但是，如果适用本第2实施例那样的频率控制方法，则能够利用非常简单的控制电路进行准确的共振频率下的驱动，能够实现消除因制造偏差等造成的共振频率的偏差的控制。

另外，在图24所示的子程序“无音施振动作”中，振动频率f₀₁、f₀₂被设定为该防尘过滤器119的各个振动模式的共振频率附近的预定频率。例如，在图5A的情况下f₀₁是91kHz，由于是至少20kHz以上的振动，所以对于用户而言是没有声音的。

首先，Bucom101从存储在非易失性存储器128的预定区域的内容中，读出与用于使防尘过滤器119振动的驱动时间(Toscf01，Toscf02)和驱动开始频率(Noscfs1，Noscfs2)和预定的位移频率即频率位移量(Δf1，Δf2)和驱动结束频率(Noscft1，Noscft2)相关的数据(步骤S211)。在该定时，进行如图20所示的施振模式的显示，这与上述第1实施例相同。

然后，Bucom101将驱动开始频率(Noscfs1)设定为驱动频率(Noscf)(步骤S212)。并且，Bucom101从输出端口D_NCnt向防尘过滤器控制电路121的N进位计数器192输出驱动频率(Noscf)(步骤S213)。

从接下来的步骤S203开始，根据第1振动模式，按照下面所述进行尘埃去除动作。即，首先使尘埃去除动作开始执行。并且，此时进行如图21所示的施振动作显示，这与上述第1实施例相同。

首先，为了去除尘埃，Bucom101将输出端口P_PwCont设定为高电平(步骤S214)。由此，压电元件120a、120b按照预定的驱动频率(Noscf)对防尘过滤器119施振，使防尘过滤器119产生振动振幅小的驻波振动。如果振动振幅小，则不能去除附着在防尘过滤器119面上的尘埃189。在驱动时间(Toscf01)期间持续进行该振动(步骤S215)。并且，在经过该驱动时间(Toscf01)后，Bucom101比较判定驱动频率(Noscf)是否是驱动结束频率(Noscft1)(步骤S216)。在此，如果不一致(判定为否)，Bucom101向驱动频率(Noscf)加上频率位移量(Δf1)，将其结果再次设定为驱动频率(Noscf)(步骤S217)。并且，反复进行从上述步骤S212的动作到上述步骤S216的动作。

并且，在上述步骤S216中驱动频率(Noscf)与驱动结束频率(Noscft1)一致时(是)，Bucom101对驱动频率(Noscf)设定与第2振动模式对应的驱动开始频率(Noscfs2)(步骤S218)。并且，Bucom101从输出端口D_NCnt将驱动频率(Noscf)输出给防尘过滤器控制电路121的N进位计数器192(步骤S219)。并且，为了去除尘埃，将输出端口P_PwCont设定为高电平(步骤S220)。由此，压电元件120a、120b以预定的驱动频率(Noscf)对防尘过滤器119施振，使防尘过滤器119产生振动振幅小的驻波振动。在驱动时间(Toscf02)期间持续进行该振动(步骤S221)。并且，在经过该驱动时间(Toscf02)后，Bucom101比较判定驱动频率(Noscf)是否是驱动结束频率(Noscft2)(步骤S222)。在此，如果不一致(判定为否)，Bucom101向驱动频率(Noscf)加上频率位移量(Δf2)，将其结果再次设定为驱动频率(Noscf)(步骤S223)。并且，反复进行从上述步骤S218的动作到上述步骤S222的动作。

并且，在上述步骤S222中驱动频率(Noscf)与驱动结束频率(Noscft2)一致时(是)，Bucom101将输出端口P_PwCont设定为低电平，由此结束压电元件120a、120b的施振动作(步骤S224)，并结束一系列的“无音施振动作”。并且，此时进行如图22所示的施振结束显示，这与上述第1实施例相同。

在这样变更频率的情况下，驻波振动的振幅增大。因此，将驱动开始频率(Noscfs1，Noscfs2)和频率位移量(Δf1，Δf2)和驱动结束频率(Noscft1，Noscft2)设定成通过驻波的共振频率。由此，能够进行以下控制，即，在防尘过滤器119中首先产生振动振幅小的驻波振动，然后驻波振动的振幅逐渐增大，在成为共振振动后，驻波振动振幅减小。并且，只要是预定以上的振动振幅(振动速度)，就能够去除尘埃189，所以能够在某个预定的频率范围内去除尘埃189。并且，在本实施例的情况下，由于利用两个振动模式，而且使各个最大振幅产生区域偏移，所以能够增大共振时的振动振幅大的区域。

并且，如果将驱动开始频率(Noscfs1，Noscfs2)和驱动结束频率(Noscft1，Noscft2)之间的间隔扩大到某种程度，则能够吸收因振子159的温度和制造偏差而引起的共振频率的变化，能够利用极其简单的电路结构可靠地掸掉附着在防尘过滤器119上的尘埃189。

另外，也可以把该电路结构适用于检测振子159的振动的振动检测装置中的防尘过滤器驱动电路、即用于驱动施振部件的电路。这样，在产生振动模式的共振频率根据振子159的构成部件的材料和尺寸偏差、装配偏差而变化时，由于振动检测电压达到最大的频率成为共振频率，所以能够容易地检测共振频率及此时的检测电压。

根据这种第2实施例，能够发挥与上述的第1实施例基本相同的效果，同时不需要严格地控制驱动频率，能够产生振动振幅较大的振动，并可靠地去除尘埃。并且，即使驱动频率根据温度变化等而变化时，也不需改变控制方法既可直接灵活应对。

以上，根据实施例说明了本发明，但本发明不限于上述实施例，当然可以在本发明宗旨的范围内进行各种变形和应用。

例如，也可以将利用空气流来去除防尘过滤器119的尘埃189的方式、或者利用刷子来去除防尘过滤器119的尘埃189的机构与上述的采用施振部件的尘埃去除机构结合起来使用。

并且，在上述的实施例中，施振部件是压电元件，当然也可以是电致伸缩部件，还可以是超磁伸缩部件。

并且，在振动时，为了更高效地掸落附着在被施振的对象部件上的尘埃，也可以在该对象部件的正面实施例如作为透明导电膜的ITO(氧化铟/锡)膜、铟锌膜、聚3，4-乙烯二氧噻吩(ポリ3，4エチレンジオキシチオフエン)膜、作为吸湿型防静电膜的正面活性剂膜、硅氧烷类膜等的涂层处理。但是，要将与振动相关的频率和驱动时间等设定为对应于上述膜部件的值。

并且，作为本申请的一个实施例而记述的光学LPF118也可以构成为具有双折射性的多个光学LPF。并且，也可以把这些构成为多个的光学LPF中配置在最靠近被摄体侧的光学LPF用作防尘部件(施振对象)，以取代图2A中记述的防尘过滤器119。

并且，关于不具有作为本申请的一个实施例在图2A中记述的光学LPF118的照相机，也可以把防尘过滤器119用作例如光学LPF、红外截止过滤器、偏转过滤器、半透半反镜等任一种光学元件。

另外，也可以构成为不仅不具有上述光学LPF118，而且使在图2A中记述的防护玻璃142取代防尘过滤器119。该情况时，作为维持防护玻璃142和CCD芯片136的防尘/防湿功能、同时支撑防护玻璃142并使其振动的结构，可以采用在图2A中记述的支撑防尘过滤器119并使其振动的结构。另外，当然也可以把防护玻璃142用作光学LPF、红外截止过滤器、偏转过滤器、半透半反镜等任一种光学元件。

另外，关于应用本发明的图像设备，不限于示例的摄像装置(数字照相机)，只要是需要尘埃去除功能的装置，都能够根据需要进行变形实施并得到实际应用。更具体地讲，也可以在使用液晶等显示元件的图像投影装置的显示元件与光源之间、或者显示元件与投影镜头之间，设置本发明的尘埃去除机构。

Claims (8)

1.一种振动装置，具有：

防尘部件(119、118)，其整体形成为板状，并且正面和背面具有包含透射光线的光线透射部(149)的平面；以及

支撑部件(150)，其以使所述防尘部件的背面成为气密状态的方式支撑所述防尘部件，

其特征在于，所述振动装置具有：

第1施振部件，其配置于所述防尘部件的第1外周部侧，大致呈长方形状，并且构成为具有施振部(178)和非施振部(180)；

第2施振部件，其配置于与所述防尘部件的第1外周部侧相对的该防尘部件的第2外周部侧，大致呈长方形状，并且构成为具有施振部(178)和非施振部(181)；以及

驱动部(101、121)，其向所述第1施振部件和第2施振部件输入电信号，使所述防尘部件的光线透射部产生振动，该振动以下述假想对称轴与连接所述第1施振部件和第2施振部件的各振动中心的振动中心轴的第1假想交点为中心，形成有多个呈闭合曲线的振动波峰的峰线(177)，该振动波峰的振幅越接近该第1假想交点则越大，包括该第1假想交点的振动波峰的振幅为最大，所述假想对称轴通过距该第1施振部件和第2施振部件大致相等距离的位置，且该第1施振部件和第2施振部件位于相对于该假想对称轴对称的位置上，

所述驱动部通过控制输入到所述第1施振部件和第2施振部件的电信号，在所述假想对称轴上与该第1施振部件和第2施振部件的振动中心轴平行地移动该振动中心轴的位置，将所述第1假想交点变更为第2假想交点，使成为最大振动振幅的振动波峰的位置向包括该第2假想交点的位置移动。

2.根据权利要求1所述的振动装置，其特征在于，所述驱动部使所述第1假想交点在所述假想对称轴上向所述第2假想交点移动的距离，为该驱动部产生以该第1假想交点为中心而形成有多个呈闭合曲线的振动波峰的峰线的振动时的、该假想对称轴上的该峰线的间隔的最小间隔的1/2。

3.根据权利要求2所述的振动装置，其特征在于，所述防尘部件形成至少具有一边，并且相对于通过将该一边进行二等分的位置并与该一边垂直的轴对称的形状。

4.根据权利要求1所述的振动装置，其特征在于，所述防尘部件形成至少具有一边，并且相对于通过将该一边进行二等分的位置并与该一边垂直的轴对称的形状，还将该防尘部件形成下述形状，即，在替换为具有与该防尘部件的正面或背面相同的面积的假想矩形(185)的情况下，该假想矩形的短边长度与长边长度之比大于等于0.9且小于1。

5.根据权利要求4所述的振动装置，其特征在于，所述第1施振部件和第2施振部件被配置在所述假想矩形的长边侧。

6.根据权利要求1所述的振动装置，其特征在于，所述驱动部驱动所述施振部件，使得通过使所述防尘部件产生利用下式表示的振动Z(x，y)，产生波峰的峰线形成闭合曲线的振动，在设所述防尘部件上的任意点P(x，y)的振动为Z(x，y)、设m和n为与振动模式对应的固有振动的次数且是0或正整数时，所述Z(x，y)表示如下，

Z(x，y)＝W_mn(x，y)·cos(γ)+W_nm(x，y)·sin(γ)

其中，

$W_{\mathrm{mn}}(x,y)=\sin (\mathrm{n\π}\·x+\frac{\mathrm{\π}}{2})\·\sin (\mathrm{m\π}\·y+\frac{\mathrm{\π}}{2})$

$W_{\mathrm{nm}}(x,y)=\sin (\mathrm{m\π}\·x+\frac{\mathrm{\π}}{2})\·\sin (\mathrm{n\π}\·y+\frac{\mathrm{\π}}{2})$

γ＝+π/4或者γ＝-π/8～-π/4。

7.根据权利要求1所述的振动装置，其特征在于，

所述第1施振部件和第2施振部件分别由压电元件构成，

所述驱动部每预定时间对所述压电元件施加预先设定的如下的频率信号，即，该频率信号在从开始频率到结束频率的范围内逐次变化预定的频率位移量。

8.一种图像设备，具有：

图像形成元件(117)，其具有用于生成光学图像的图像面；

防尘部件(119、118)，其整体形成为板状，并且正面和背面具有包含透射光线的光线透射部(149)的平面；以及

支撑部件(150)，其以如下的方式支撑所述防尘部件，即，将所述防尘部件的所述光线透射部相对于所述图像形成元件的所述图像面隔开预定间隔地相对配置，且使所述防尘部件的背面成为气密状态，

其特征在于，所述图像设备具有：

第1施振部件，其配置于所述防尘部件的第1外周部侧，大致呈长方形状，并且构成为具有施振部(178)和非施振部(180)；

第2施振部件，其配置于与所述防尘部件的第1外周部侧相对的该防尘部件的第2外周部侧，大致呈长方形状，并且构成为具有施振部(178)和非施振部(181)；以及

驱动部(101、121)，其向所述第1施振部件和第2施振部件输入电信号，使所述防尘部件的光线透射部产生振动，该振动以下述假想对称轴与连接所述第1施振部件和第2施振部件的各振动中心的振动中心轴的第1假想交点为中心，形成有多个呈闭合曲线的振动波峰的峰线(177)，该振动波峰的振幅越接近该第1假想交点则越大，包括该第1假想交点的振动波峰的振幅为最大，其中所述假想对称轴通过距该第1施振部件和第2施振部件大致相等距离的位置，且该第1施振部件和第2施振部件位于相对于该假想对称轴对称的位置上，

所述驱动部通过控制输入到所述第1施振部件和第2施振部件的电信号，在所述假想对称轴上与该第1施振部件和第2施振部件的振动中心轴平行地移动该振动中心轴的位置，将所述第1假想交点变更为第2假想交点，使成为最大振动振幅的振动波峰的位置向包括该第2假想交点的位置移动。

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