CN101859570A - 磁头和微驱动器组合及其制造方法、磁头折片组合以及磁盘驱动单元 - Google Patents
磁头和微驱动器组合及其制造方法、磁头折片组合以及磁盘驱动单元 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101859570A CN101859570A CN200910134112A CN200910134112A CN101859570A CN 101859570 A CN101859570 A CN 101859570A CN 200910134112 A CN200910134112 A CN 200910134112A CN 200910134112 A CN200910134112 A CN 200910134112A CN 101859570 A CN101859570 A CN 101859570A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- magnetic head
- combination
- substrate
- piezo
- microdrive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
本发明公开了一种磁头和微驱动器组合。所述磁头和微驱动器组合包括具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；形成于所述基底的尾边的读/写头；以及形成于所述基底的前边的压电微驱动器，所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，其中，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。所述磁头和微驱动器组合的结构避免了读/写头在压电微驱动器被驱动时受损同时能取得较好的工作性能。本发明也公开了磁头和微驱动器组合的制造方法、磁头折片组合以及磁盘驱动单元。
Description
技术领域
本发明涉及信息记录磁盘驱动单元，尤指涉及磁头和微驱动器组合及其制造方法、磁头折片组合(HEAD GIMBAL ASSEMBLY，HGA)以及磁盘驱动单元。
背景技术
磁盘驱动单元是一种利用磁性介质存储信息的信息存储装置，并有一个可移动的读/写头置于所述磁性介质之上，以选择性地从磁性介质中读取或向磁性介质写入数据。
消费者总是希望此种磁盘驱动设备的存储容量不断增加，同时希望其读写速度更快更精确。因此，磁盘驱动设备的生产商一直致力于开发具有较高存储容量的磁盘系统，例如通过减少磁盘上的磁轨宽度和/或磁轨间距的方式来增加磁轨的密度，进而间接增加磁盘的存储容量。然而，随着磁轨密度的增加，对读/写头的位置控制精度也必须相应提高，以便在高密度的磁盘中实现更快更精确的读写操作。然而，随着磁轨密度的增加，用已知技术快速而准确地将读/写头定位于磁盘上的特定的磁轨变得更加困难。因此，磁盘驱动设备生产商不断寻求提高对读/写头位置控制的方式，以便利用不断增加的磁轨密度所带来的益处。
一种被磁盘驱动设备生产商有效利用的方法是采用磁头和微驱动器组合来提高读/写头在高密度磁盘上位置控制的精度。图1说明了具有磁头和微驱动器组合的传统磁盘驱动单元。所述磁盘驱动单元一般包括驱动臂104、音圈马达(VOICE COIL MOTOR，VCM)108、连接到并安装在所述驱动臂104上的磁头折片组合105、悬置在所述磁头折片组合105上的磁盘101以及旋转所述磁盘101的主轴马达102。所述磁头折片组合105包括磁头和微驱动器组合103和用于支撑所述磁头和微驱动器组合103的悬臂件110(参见图2).
参考图2a，所述磁头和微驱动器组合103包括具有前边和与所述前边相对的尾边的基底11、形成在所述基底11的尾边的压电(PZT，PIEZOELECTRIC)元件15以及形成在所述压电元件15上的读/写头12。在如上所述的磁头和微驱动器组合103的结构中，压电元件15夹在基底11和读/写头12之间。具体地，压电元件15包括形成在基底11尾边的第一电极层15a、形成在读/写头12上的第二电极层15b以及形成在所述第一电极层15a和所述第二电极层15b之间的压电层15c。
参考图2b，当电压施加到所述第一电极层15a和所述第二电极层15b时，所述压电元件15被驱动从而产生形变，进而相应调整了读/写头12相对磁盘101的位置。然而，由于压电元件15位于读/写头12的附近，压电元件15的驱动会产生电荷并形成电压，因此在例如静电放电(ESD，electrical static discharge)问题产生的情况下使读/写头12损坏。
因此，有必要提供一种改进的磁头和微驱动器组合及其制造方法、磁头折片组合和磁盘驱动单元来解决上述问题。
发明内容
本发明的一个目的在于提供一种磁头和微驱动器组合，所述磁头和微驱动器组合能避免读/写头损坏并取得较好的工作性能。
本发明的另一目的在于提供一种具有磁头和微驱动器组合的磁头折片组合，所述磁头折片组合能避免读/写头损坏并能取得较好的工作性能。
本发明的又一目的在于提供一种磁盘驱动单元，所述磁盘驱动单元能避免读/写头损坏并能取得较好的工作性能。
本发明的再一个目的在于提供一种制造磁头和微驱动器组合的方法，所述方法制造的磁头和微驱动器组合能避免读/写头损坏并能取得较好的工作性能。
为了实现上述目的，本发明提供了一种磁头和微驱动器组合，所述磁头和微驱动器组合包括具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；形成于所述基底的尾边的读/写头；以及形成于所述基底的前边的压电微驱动器，所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。
较佳地，所述基底与所述读/写头以及所述压电微驱动器一体成型。
在本发明中，所述两个间隔的隔离层分别连接所述压电微驱动器的两端和所述基底的前边。
较佳地，所述压电微驱动器包括形成于所述基底的前边的第一电极层、形成于所述第一电极层上的压电层以及分别形成于所述压电层上并相互间隔的两个第二电极层。
一种磁头折片组合包括磁头和微驱动器组合；以及用于支撑所述磁头和微驱动器组合的悬臂件，其中所述磁头和微驱动器组合包括：具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；形成于所述基底的尾边的读/写头；以及形成于所述基底的前边的压电微驱动器，所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。
较佳地，所述悬臂件包括挠性件，所述挠性件具有用于支撑所述磁头和微驱动器组合的舌片区域，所述舌片区域具有外部舌片、形成于所述外部舌片内的内部舌片以及分别连接所述内部舌片的对称位置和所述外部舌片的一对曲臂。
同样较佳地，所述磁头和微驱动器组合通过隔离层机械连接于所述内部舌片。
同样较佳地，所述压电微驱动器上形成有两个触点，所述外部舌片上形成有与所述压电微驱动器的两个触点对应的两个压电连接触点，所述压电微驱动器的两个触点分别与所述外部舌片的两个压电连接触点连接。
在本发明中，所述挠性件包括位于所述外部舌片相对两侧的一对外触发板，所述一对外触发板分别向所述外部舌片延伸并与所述外部舌片连接。
一种磁盘驱动单元包括磁头折片组合；和所述磁头折片组合相连的驱动臂；磁盘；用于旋转所述磁盘的主轴马达。其中，所述磁头和微驱动器组合包括：具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；形成于所述基底的尾边的读/写头；以及形成于所述基底的前边的压电微驱动器，其中所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。
一种制造磁头和微驱动器组合的方法包括如下步骤：提供一晶圆，所述晶圆具有尾边和与所述尾边相对的前边，多个读/写头形成于所述晶圆的尾边；在所述晶圆的前边的每两条间隔线上层压一层隔离层；在所述隔离层上形成压电微驱动器；把所述晶圆切割成多个长形条，每个长形条上具有成排的读/写头；对所述每个长形条进行图案以形成每个读/写头的空气承载面；以及把所述每个长形条切割成单独的磁头和微驱动器组合。
在本发明中，所述在隔离层上形成压电微驱动器的步骤包括：在所述隔离层上形成第一电极层；在所述第一电极层上形成压电层；以及在所述压电层上形成两个第二电极层，所述两个第二电极层相互间隔。
与现有技术相比，由于本发明的压电微驱动器形成在基底的前边，同时读/写头形成在所述基底的尾边，因此，当压电微驱动器被驱动时，读/写头上不会产生电压，静电放电问题不会发生，这相应地保护了读/写头免于受损。
通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释本发明的实施例。
附图说明
图1为传统磁盘驱动单元的立体图。
图2a为如图1所示磁盘驱动单元中的磁头和微驱动器组合的立体图。
图2b为图2a所示磁头和微驱动器组合与磁盘一起工作时的侧视图。
图3为本发明具有磁头和微驱动器组合的磁头折片组合的俯视图。
图4a为图3所示磁头折片组合的局部立体图。
图4b为图3所示磁头折片组合的局部分解图。
图4c为图3所示磁头折片组合的局部俯视图。
图5a为图3所示磁头和微驱动器组合的立体图。
图5b为图5a所示磁头和微驱动器组合的俯视图。
图6a展示了图5a所示磁头和微驱动器组合中的PZT微驱动器的极化方向和输入电压的一种方式。
图6b展示了图5a所示磁头和微驱动器组合中的PZT微驱动器的极化方向和输入电压的另一种方式。
图7为图5a所示磁头和微驱动器组合与磁盘一起工作时的侧视图。
图8a展示了图5a所示磁头和微驱动器组合的位移仿真数据。
图8b展示了图3所示磁头折片组合的共振性能。
图9为本发明的制造磁头和微驱动器组合的方法的流程图。
图10a-10i具体展示了如何利用图9所示方法制造磁头和微驱动器组合。
图11为本发明磁盘驱动单元的立体图。
具体实施方式
下面将参考附图阐述本发明几个不同的最佳实施例，其中不同图中相同的标号代表相同的部件。如上所述，本发明涉及的是一种磁头和微驱动器组合。所述磁头和微驱动器组合包括具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；形成于所述基底的尾边的读/写头；以及形成于所述基底的前边的压电微驱动器，其中，所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器和所述基底的前边之间形成空隙，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。所述磁头和微驱动器组合的整体结构避免了压电微驱动器被驱动时在读/写头上产生电压并相应地保护读/写头免于受损。
图3展示了本发明的磁头折片组合1105的一个实施例。参考图3，所述磁头折片组合1105主要包括磁头和微驱动器组合400以及承载或者支撑所述磁头和微驱动器组合400的悬臂件。所述悬臂件包括装配在一起的基板401、枢接件402、挠性件403以及负载杆404。所述负载杆404通过所述枢接件402连接到所述基板401上，所述挠性件403穿过所述枢接件402到达所述负载杆404。所述负载杆404的一端连接连接到铰接于驱动臂(图未示)的所述基板401上，所述负载杆404的另一端支撑所述挠性件403的舌片区域。所述挠性件403的舌片区域为所述磁头和微驱动器组合400提供挠性。为了平稳均匀地把负载力从所述负载杆404转移到所述磁头和微驱动器组合400上，所述负载杆404提供一凸点520(如图7所示)来支撑所述舌片区域之磁头和微驱动器组合400安装的位置。所述挠性件403同时在其顶端形成一悬浮区域455以便于所述磁头和微驱动器组合400上的读/写头501的电连接。
参考图4a-4c，所述舌片区域支撑所述磁头和微驱动器组合400并具有外部舌片607、形成于所述外部舌片607内的内部舌片608以及分别连接所述内部舌片608的对称位置和所述外部舌片607的一对曲臂409、610。所述曲臂409，610与所述外部舌片607以及所述内部舌片608一起形成了一对空隙411、412，其中所述空隙411形成在外部舌片607和曲臂409之间以及曲臂610和内部舌片608之间，所述空隙412形成在外部舌片607和曲臂610之间以及曲臂409和内部舌片608之间。基于如上所述结构，挠性舌片区域形成了一种弹性结构用于支撑所述磁头和微驱动器组合400，因此不会有作用力传递到所述挠性件403上，从而使所述磁头折片组合具有较好的动态性能、较低的折片刚度和较好的伺服带宽。
另外，在所述外部舌片607的相对两侧形成有一对外触发板611a、611b，所述外触发板611a、611b分别向外部舌片607延伸并在两弱点612a、612b处与外部舌片607连接。所述外触发板611a、611b的引入使挠性件403的舌片区域具有足够的刚度来支撑所述磁头和微驱动器组合400。
详细参照图4b，所述外部舌片607上形成有两个压电连接触点607a、607b，所述悬浮区域455上形成有多个读/写头连接触点416。所述挠性件403上置有一组内部线缆411a、411b和一组外部线缆410a、410b。所述内部线缆411a、411b分别先沿着所述外触发板611a、611b延伸到所述弱点612a、612b，再沿着外部舌片607延伸到所述压电连接触点607a、607b上，所述外部线缆410a、410b沿着悬浮区域455延伸到读/写头连接触点416。
参考图5a-5b，所述磁头和微驱动器组合400包括具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底425、形成于所述基底425的尾边的读/写头501以及形成于所述基底425的前边的压电微驱动器420。由于压电微驱动器420形成在基底425的前边，同时读/写头501形成在基底425的尾边，因此，当压电微驱动器420被驱动时，读/写头501上不会产生电压，静电放电问题不会发生，这相应地保护了读/写头501免于受损。
较佳地，所述基底425与所述读/写头501以及所述压电微驱动器420一体成型。在本实施例中，压电微驱动器420通过两个间隔的隔离层516、517，例如粘结剂层或者聚合物层与所述基底425的前边连接，由此相应地在所述压电微驱动器420与所述基底425的前边之间形成空隙514。这种磁头和微驱动器组合400利用空隙514做辅助的设计，使所述压电微驱动器420被驱动从而通过所述空隙514对所述基底425产生一旋转扭矩，进而使具有所述读/写头501的基底425能绕所述基底425的中心旋转。具体地，所述压电微驱动器420包括形成于所述基底425的前边的第一电极层505、形成于所述第一电极层505上的压电层506以及分别形成于所述压电层506上并相互间隔的两个第二电极层507a、507b，由此形成两部分压电元件。所述第一电极层505通过两个间隔的隔离层516、517例如粘结剂层或者聚合物层与所述基底425的前边连接。在本实施例中，所述两个间隔的隔离层516、517分别与所述压电微驱动器420中每部分压电元件的一端以及所述基底425的前边连接。如上所述，所述第一电极层505、所述压电层506和所述第二电极层507a一起形成了第一部分压电元件，所述第一电极层505、所述压电层506和所述第二电极层507b一起形成了第二部分压电元件。所述两部分压电元件拥有一共同的第一电极层505。在所述第二电极层507a、507b上分别形成有两个触点421a、421b，此外，在所述读/写头501上形成有多个触点505。
参考图4b，当把所述磁头和微驱动器400装配到所述挠性件403的内部舌片608上时，所述磁头和微驱动器400通过一隔离层602诸如环氧树脂机械连接于所述挠性件403的内部舌片608。参考图4c，所述悬浮区域455上的读/写头连接触点416分别通过多个焊球419与所述读/写头501上相对应的触点505电性连接，而所述外部舌片607上的两压电连接触点607a、607b分别通过焊球423与所述压电微驱动器420的第二电极层507a、507b上相对应的触点421a、421b电性连接，因此，当电压通过内部线缆411a、411b施加给所述压电微驱动器420时，一部分压电元件将会收缩，同时另一部分将会扩张，从而形成一旋转扭矩。由于所述两个间隔的隔离层516、517分别连接所述压电微驱动器420中每部分压电元件的一端以及所述基底425的前边，同时所述焊球423与所述每部分压电元件的另一端以及挠性件403上的外部舌片607固定连接，且所述外部舌片607通过两个曲臂409，610与支撑所述磁头和微驱动器组合400的内部舌片608在所述内部舌片608的对称位置连接，因此所述磁头和微驱动器组合400能够绕其所述基底425的中心旋转。由于读/写头501是设置在所述基底425的尾边，所以所述读/写头501的位置得以调整。
以下将说明磁头和微驱动器组合400的工作原理。参考图6a，第一压电元件和第二压电元件具有相反的极化方向。当所述第一电极层505接地并且所述第二电极层507a、507b通过触点421a、421b被施加同相正弦电压时，其中一个压电元件将会收缩而另一个压电元件将会扩张。参考图6b，所述第一压电元件和第二压电元件具有相同的极化方向。当所述第一电极层505接地而所述第二电极层507a、507b通过触点421a、421b被施加反向正弦电压时，其中一个压电元件将会收缩而另一个压电元件将会扩张。由于空隙514的存在，如上所述两种方式的第一和第二压电元件的形变将会对所述基底425形成一旋转扭矩，从而相应地使具有读/写头501的基底425绕所述基底425的中心旋转。
此外，参考图7，由于负载杆404的凸点520支撑着挠性件403的舌片区域，并且所述舌片区域形成弹性结构支撑磁头和微驱动器组合400，所述磁头和微驱动器组合400平稳地置于所述凸点520之上并相应地仅绕凸点520旋转。因此，所述磁头和微驱动器组合400能获得良好的动态性能和位置调整能力。
图8a展示了磁头和微驱动器组合400的位移仿真数据。可以从图上看出位移幅度明显增大，这论证了所述磁头和微驱动器组合400具有良好的动态性能和位置调整能力。图8b展示了磁头折片组合的共振性能，由于磁头和微驱动器组合400通过挠性件403上舌片区域的弹性结构从而仅绕凸点520旋转，因此当所述磁头和微驱动器组合400工作时，没有反作用力传递到悬臂件上，这也是共振曲线在低频区增益很小的原因。由于所述磁头和微驱动器组合400只有一个共振峰值，这论证了所述磁头折片组合具有较好的位置调整能力和期望的伺服带宽。
图9是本发明制造磁头和微驱动器组合的方法的流程图，图10a-10i具体展示了如何利用图9所示方法来制造磁头和微驱动器组合。参考图9，制造磁头和微驱动器组合的方法包括如下步骤：提供一晶圆1001，所述晶圆1001具有尾边和与所述尾边相对的前边并包含有多个长形条1002，每个长形条1002具有尾边和与所述尾边相对的前边，多个读/写头形成于每个长形条1002的尾边(步骤S1，同时参考图10a-10b)；在所述晶圆1001的前边的每两条间隔线上层压一层隔离层1004，例如粘结剂层或者聚合物层(步骤S2，同时参考图10c)；在所述隔离层1004上形成第一电极层1007(步骤S3，同时参考图10d)；在所述第一电极层1007上形成压电层1008(步骤S4，同时参考图10e)；在所述压电层1008上形成两个第二电极层1009，所述两个第二电极层相互间隔(步骤S5，同时参考图10f)；在每个第二电极层1009上形成电触点，极化压电层1008并把所述晶圆1001切割成多个具有成排读/写头的长形条1002(步骤S6，同时参考图10g)；对所述每个长形条1002进行图案以形成每个读/写头的空气承载面(步骤S7，同时参考图10h)；把所述每个长形条1002切割成单独的磁头和微驱动器组合1003(步骤S8，同时参考图10i)；测试每个磁头和微驱动器组合1003的性能(步骤S9)。
图10为本发明磁盘驱动单元的一个实施例。如图10所示，磁盘驱动单元可以通过组装壳体1010、磁盘1102、用于旋转磁盘1102的主轴马达1103、音圈马达1060和连接有磁头折片组合1105的驱动臂1104来获得。因为磁盘驱动单元的结构和组装过程为本领域一般技术人员所熟知，所以在此省略关于其结构和组装的详细描述。
以上所揭露的仅为本发明的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
Claims (15)
1.一种磁头和微驱动器组合，包括：
具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；
形成于所述基底的尾边的读/写头；以及
形成于所述基底的前边的压电微驱动器，
其特征在于：所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，
其中，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。
2.如权利要求1所述的磁头和微驱动器组合，其特征在于：所述基底与所述读/写头以及所述压电微驱动器一体成型。
3.如权利要求1所述的磁头和微驱动器组合，其特征在于：所述两个间隔的隔离层分别连接所述压电微驱动器的两端和所述基底的前边。
4.如权利要求1所述的磁头和微驱动器组合，其特征在于：所述压电微驱动器包括形成于所述基底的前边的第一电极层、形成于所述第一电极层上的压电层以及分别形成于所述压电层上并相互间隔的两个第二电极层。
5.一种磁头折片组合，包括：
磁头和微驱动器组合；以及
用于支撑所述磁头和微驱动器组合的悬臂件，
其中所述磁头和微驱动器组合包括：
具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；
形成于所述基底的尾边的读/写头；以及
形成于所述基底的前边的压电微驱动器，
其特征在于：所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，
其中，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。
6.如权利要求5所述的磁头折片组合，其特征在于：所述基底与所述读/写头以及所述压电微驱动器一体成型。
7.如权利要求5所述的磁头折片组合，其特征在于：所述两个间隔的隔离层分别连接所述压电微驱动器的两端和所述基底的前边。
8.如权利要求5所述的磁头折片组合，其特征在于：所述压电微驱动器包括形成于所述基底的前边的第一电极层、形成于所述第一电极层上的压电层以及分别形成于所述压电层上并相互间隔的两个第二电极层。
9.如权利要求5所述的磁头折片组合，其特征在于：所述悬臂件包括挠性件，所述挠性件具有用于支撑所述磁头和微驱动器组合的舌片区域，所述舌片区域具有外部舌片、形成于所述外部舌片内的内部舌片以及分别连接所述内部舌片的对称位置和所述外部舌片的一对曲臂。
10.如权利要求9所述的磁头折片组合，其特征在于：所述磁头和微驱动器组合通过隔离层机械连接于所述内部舌片。
11.如权利要求9所述的磁头折片组合，其特征在于：所述压电微驱动器上形成有两个触点，所述外部舌片上形成有与所述压电微驱动器的两个触点对应的两个压电连接触点，所述压电微驱动器的两个触点分别与所述外部舌片的两个压电连接触点连接。
12.如权利要求9所述的磁头折片组合，其特征在于：所述挠性件包括位于所述外部舌片相对两侧的一对外触发板，所述一对外触发板分别向所述外部舌片延伸并与所述外部舌片连接。
13.一种磁盘驱动单元包括：
磁头折片组合；
和所述磁头折片组合相连的驱动臂；
磁盘；
用于旋转所述磁盘的主轴马达；
其中所述磁头折片组合包括：
磁头和微驱动器组合；以及
用于支撑所述磁头和微驱动器组合的悬臂件，
其中所述磁头和微驱动器组合包括：
具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；
形成于所述基底的尾边的读/写头；以及
形成于所述基底的前边的压电微驱动器，
其特征在于：所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，
其中，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。
14.一种制造磁头和微驱动器组合的方法，包括如下步骤：
提供一晶圆，所述晶圆具有尾边和与所述尾边相对的前边，多个读/写头形成于所述晶圆的尾边；
在所述晶圆的前边的每两条间隔线上层压一层隔离层；
在所述隔离层上形成压电微驱动器；
把所述晶圆切割成多个长形条，每个长形条上具有成排的读/写头；
对所述每个长形条进行图案以形成每个读/写头的空气承载面；以及
把所述每个长形条切割成单独的磁头和微驱动器组合。
15.如权利要求14所述的制造磁头和微驱动器组合的方法，其特征在于：所述在隔离层上形成压电微驱动器的步骤包括：
在所述隔离层上形成第一电极层；
在所述第一电极层上形成压电层；以及
在所述压电层上形成两个第二电极层，所述两个第二电极层相互间隔。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN200910134112A CN101859570A (zh) | 2009-04-07 | 2009-04-07 | 磁头和微驱动器组合及其制造方法、磁头折片组合以及磁盘驱动单元 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN200910134112A CN101859570A (zh) | 2009-04-07 | 2009-04-07 | 磁头和微驱动器组合及其制造方法、磁头折片组合以及磁盘驱动单元 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101859570A true CN101859570A (zh) | 2010-10-13 |
Family
ID=42945423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN200910134112A Pending CN101859570A (zh) | 2009-04-07 | 2009-04-07 | 磁头和微驱动器组合及其制造方法、磁头折片组合以及磁盘驱动单元 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101859570A (zh) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6487045B1 (en) * | 1999-06-03 | 2002-11-26 | Nec Corporation | Magnetic disc apparatus and magnetic head in which a recording/reproduction element is mounted on a slider via a piezoelectric element |
| US20070076327A1 (en) * | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for read/write head and disk drive device with the head gimbal assembly |
| CN101038750A (zh) * | 2006-03-15 | 2007-09-19 | 新科实业有限公司 | 具有u形框架及金属支撑框架的微驱动器及其制造方法 |
| CN101079305A (zh) * | 2006-05-25 | 2007-11-28 | 新科实业有限公司 | 具有微致动器的磁头折片组合及其制造方法以及磁盘驱动单元 |
| CN101192414A (zh) * | 2006-11-30 | 2008-06-04 | 新科实业有限公司 | 减小挠性件变形及凸点分离的磁头折片组合及制造方法 |
| CN101202052A (zh) * | 2006-12-15 | 2008-06-18 | 新科实业有限公司 | 改进的磁头折片组合、磁盘驱动器及其制造方法 |
| CN101339774A (zh) * | 2007-07-05 | 2009-01-07 | 新科实业有限公司 | 具有平衡重量的磁头折片组合、磁盘驱动单元及其制造方法 |
-
2009
- 2009-04-07 CN CN200910134112A patent/CN101859570A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6487045B1 (en) * | 1999-06-03 | 2002-11-26 | Nec Corporation | Magnetic disc apparatus and magnetic head in which a recording/reproduction element is mounted on a slider via a piezoelectric element |
| US20070076327A1 (en) * | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for read/write head and disk drive device with the head gimbal assembly |
| CN101038750A (zh) * | 2006-03-15 | 2007-09-19 | 新科实业有限公司 | 具有u形框架及金属支撑框架的微驱动器及其制造方法 |
| CN101079305A (zh) * | 2006-05-25 | 2007-11-28 | 新科实业有限公司 | 具有微致动器的磁头折片组合及其制造方法以及磁盘驱动单元 |
| CN101192414A (zh) * | 2006-11-30 | 2008-06-04 | 新科实业有限公司 | 减小挠性件变形及凸点分离的磁头折片组合及制造方法 |
| CN101202052A (zh) * | 2006-12-15 | 2008-06-18 | 新科实业有限公司 | 改进的磁头折片组合、磁盘驱动器及其制造方法 |
| CN101339774A (zh) * | 2007-07-05 | 2009-01-07 | 新科实业有限公司 | 具有平衡重量的磁头折片组合、磁盘驱动单元及其制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8089728B2 (en) | Head gimbal assembly, suspension for the head gimbal assembly, and disk drive unit with the same | |
| US8094416B2 (en) | Head suspension and piezoelectric actuator | |
| US8446694B1 (en) | Disk drive head suspension assembly with embedded in-plane actuator at flexure tongue | |
| US8780503B2 (en) | Multi-layer piezoelectric transducer with inactive layers | |
| CN101499287B (zh) | 压电元件、压电微致动器、磁头折片组合及磁盘驱动单元 | |
| US7068473B2 (en) | Piezoelectric microactuator for improved tracking control of disk drive read/write heads | |
| CN101315773B (zh) | 悬臂件、磁头折片组合及其制造方法以及磁盘驱动单元 | |
| US7417831B2 (en) | Micro-actuator and head gimbal assembly for a disk drive device | |
| US20100246071A1 (en) | Head suspension assembly and magnetic disk drive | |
| US20080144225A1 (en) | Techniques for reducing flexure distortion and gimbal separation for thin-film PZT micro-actuators of head gimbal assemblies | |
| CN102915746A (zh) | 悬臂件、磁头折片组合以及硬盘驱动单元 | |
| JPH09153263A (ja) | 一体型リードサスペンション | |
| CN101202052B (zh) | 改进的磁头折片组合、磁盘驱动器及其制造方法 | |
| CN101192414B (zh) | 减小挠性件变形及凸点分离的磁头折片组合及制造方法 | |
| US7826178B2 (en) | Microactuator, head gimbal assembly and hard disk drive using the same, and manufacturing method thereof | |
| US8040640B2 (en) | Slider and micro-actuator assembly, head gimbal assembly, and disk drive unit with the same | |
| KR100896185B1 (ko) | 수직 마이크로-액츄에이터를 채용한 슬라이더, 헤드 짐발조립체, 및 하드 디스크 드라이브의 작동 방법 | |
| US20090080114A1 (en) | Head gimbal assembly, flexible printed cable, head stack assembly, and disk drive unit with the same | |
| CN100411015C (zh) | 微驱动器、设有该微驱动器的磁头折片组合以及磁盘驱动器 | |
| US7518833B2 (en) | Micro-actuator with electric spark preventing structure, HGA, and disk drive unit with the same, and manufacturing method thereof | |
| CN101859570A (zh) | 磁头和微驱动器组合及其制造方法、磁头折片组合以及磁盘驱动单元 | |
| CN100545912C (zh) | 用于磁盘驱动装置的柔性电缆框架组合及柔性电缆悬臂组合 | |
| CN1905012A (zh) | 具有微驱动器的磁头折片组合及其磁盘驱动装置 | |
| CN101174422A (zh) | 微致动器、含有该微致动器的磁头折片组合及磁盘驱动单元 | |
| CN101958124A (zh) | 磁头折片组合及其悬臂件、硬盘驱动器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20101013 |