CN101838210A - 制备多齿β-酮基亚氨酸盐的金属络合物的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及制备多齿β-酮基亚氨酸盐的金属络合物的方法。一种制备由以下结构A表示的含2族金属的多齿β-酮基亚氨酸盐的方法,其中M为选自Mg、Ca、Sr和Ba的金属;R1、R3、R5和R6独立选自烷基、氟代烷基、环脂族基团,及芳基;R2选自氢原子、烷基、烷氧基、环脂族基团,及芳基;和R4为亚烷基桥,该方法包括:使包含三齿酮亚胺配体的反应混合物中的M与包含至少一种选自R7OH和(OH)nR8的醇反应,其中R7和R8独立选自烷基和芳基。在某些实施方案中,反应混合物还包含有机溶剂。
Description
相关申请的交叉参照
[0001]本申请要求2009年3月11日提交的美国临时申请号61/159,237的优先权。
发明背景
[0002]半导体制造业持续需要用于化学汽相淀积工艺包括原子层淀积的含金属源前体,用于制造包含基片(substrates)上的薄膜(films)的共性金属(conformal metal)如硅、金属氮化物、金属氧化物和使用这些含金属前体的其它含金属层。为此目的,制备含金属源前体且其产率相对高于先前的制备方法和(在某些情况下)成本低于先前方法的方法对半导体制造业而言将是迫切需要的。制备这些前体的方法也是迫切需要的,从而在使潜在的金属杂质降低至最少的同时制备含金属源的前体,这些金属杂质,例如但不限于锂、钠、钾及其组合,可在制备过程中被引入。
[0003]先前的制备多齿β-酮基亚氨酸盐(ketoiminate)配体的方法采用熟知的程序进行,如在强碱如氨化钠和氢化钠存在下的大体积的(bulky)酮和乙酯的克莱森(Claisen)缩合,接着进行另一种已知的程序如与烷基氨基烷基胺例如在下文如反应式(Equation)1描述的以下多步骤流程所示的那些胺的席夫(Schiff)碱缩合反应:
[0004]制备含金属络合物的另一种方法包括三齿β-酮基亚氨酸盐配体与2族金属在氨、金属氨化物、金属氢化物或金属醇盐存在下的反应,如在以下反应式2中所示。
[0005]含金属络合物也可通过多齿β-酮基亚氨酸盐配体与烷基锂或氢化钾反应,提供所述配体的锂盐或钾盐,然后与具有式MX2(X=Cl、Br、I)的金属卤化物如在反应式3中所示的那些卤化物反应来制备:
[0006]然而,所述反应例如在氨的存在下,使用2族金属的反应式2可能不适合于大规模加工,因为鼓泡通入氨气是冗长乏味的过程且该反应的产率通常极低。而且,诸如涉及氢化钠或氢化钾作为试剂的反应式1和3的反应是不希望的,因为除了最终产物中的钠或钾杂质外,这些试剂还是高反应性的,其可引起潜在的火灾。使用金属氨化物或醇盐作为试剂的其它反应如反应式2也是不切实际的,因为这些试剂太昂贵。
发明概述
[0007]本文描述制备含2族金属的多齿β-酮基亚氨酸盐的方法,其中多齿β-酮基亚氨酸盐在亚氨基上结合有氮或氧官能团。在一个实施方案中,2族金属多齿β-酮基亚氨酸盐选自由以下结构A表示的一组:
[0008]在结构A中,M为选自Mg、Ca、Sr和Ba的金属;R1、R3、R5和R6独立选自烷基、氟代烷基、环脂族基团,及芳基;R2选自氢原子、烷基、烷氧基、环脂族基团,及芳基;和R4为亚烷基桥(alkyenyl bridge)。在一个实施方案中,R4为亚烷基桥如(但不限于)含2或3个碳原子的基团,由此形成相对于金属中心的5-或6-元配位环(coordinating ring)。在这个或其它实施方案中,取代基R1、R2、R3、R5和R6的任何一个或多个可连接以形成环。在这个或其它实施方案中,所述环还可包含碳、氧和/或氮原子。
[0009]在一个方面,提供制备由以下结构A表示的含2族金属的多齿β-酮基亚氨酸盐的方法:
其中M为选自Mg、Ca、Sr和Ba的金属;R1、R3、R5和R6独立选自烷基、氟代烷基、环脂族基团,及芳基;R2选自氢原子、烷基、烷氧基、环脂族基团,及芳基;和R4为亚烷基桥,该方法包括:使包含三齿酮亚胺配体的反应混合物中的M与包含至少一种选自R7OH和(OH)nR8的醇反应,其中R7和R8独立选自烷基和芳基。在某些实施方案中,反应混合物还包含有机溶剂。
[0010]通过对制备含金属的多齿β-酮基亚氨酸盐描述的方法,可实现至少一个以下的优点并可包括:
以高于先前可利用的制备方法的产率,形成反应性的含金属多齿β-酮基亚氨酸盐的能力;
消除含金属的多齿β-酮基亚氨酸盐中的潜在的金属杂质,例如但不限于锂、钠或钾的能力;
通过使用纯金属代替先前方法中的金属卤化物,清除含金属的多齿化合物(polydentate)中的潜在的卤化物杂质的能力;和/或
简化工艺,从而降低制造成本的能力。
发明详述
[0011]本文描述的方法为制备含2族金属的多齿β-酮基亚氨酸盐的方法,其可避免产率损失、缓慢的反应时间,和/或将杂质带入最终产物的问题。本文描述的方法避免因将金属例如纯的2族金属、醇和三齿酮亚胺配体引入反应混合物中带来的这些问题。相信醇存在于反应混合物中可原位形成金属醇盐,其与三齿酮基亚氨酸盐配体进一步反应,形成多齿β-酮基亚氨酸盐最终产物。先前的制备方法讲述了不可能制备含金属的多齿β-酮基亚氨酸盐,尤其是使用纯Sr金属作为起始原料制备锶络合物。因此,令人吃惊和意想不到的是,使用包含Sr金属、一种或多种醇如异丙醇(IPA)和三齿酮亚胺配体的反应混合物,制备含金属的多齿β-酮基亚氨酸盐络合物如锶络合物,可以以相对高的产率如高于80%提供最终产物。在某些实施方案中,2族金属如Sr金属是纯金属。如本文所用的术语“纯”意指包含经电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)测定的99%和以上的2族金属。
[0012]本文描述的方法提供一种或多种优于目前可采用的其它方法的以下优点。首先,该方法可允许使用相对较低成本的试剂。例如,在某些实施方案中,该方法可使用2族金属而不是通常使用的试剂如2族金属氨化物。在目前,以其纯形式存在的2族金属是比金属氨化物更加成本有效的,后者通常通过金属卤化物和氨化钠或氨化钾之间的反应制备。第二,本文描述的方法可避免使用氢化钠和氢化钾以形成2族金属氨化物。作为替代,在本文描述的方法中,纯的2族金属和三齿酮基亚胺反应的副产物为氢,其可更容易地从最终产物混合物中除去和/或不是最终产物混合物中的有害杂质。相信所述醇在反应期间提供反应混合物中的回流,以原位形成反应性2族金属醇盐并进一步与三齿酮亚胺配体反应,由此生成最终产物。在某些实施方案中,采用蒸馏、分馏、汽提或其它方式,可容易地从反应混合物中除去醇和未反应的三齿酮亚胺配体,以及溶剂。
[0013]含2族金属的多齿β-酮基亚氨酸盐选自由以下结构A表示的一组化合物:
[0014]在结构A中,M为选自Mg、Ca、Sr和Ba的金属;R1、R3、R5和R6独立选自烷基、氟代烷基、环脂族基团,及芳基;R2选自氢原子、烷基、烷氧基、环脂族基团,及芳基;和R4为亚烷基桥。在结构A和整个说明书中,术语“烷基”表示具有1-20个,或1-12个或1-6个碳原子的直链、支链或环状官能团。示例性烷基包括,但不限于甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、辛基、癸基、十二烷基、十四烷基、十八烷基、异戊基和叔戊基。术语“烷基”也适用于包含于其它基团中的烷基部分,如卤代烷基、氟代烷基、烷基芳基或芳烷基。在结构A和整个说明书中,术语“氟代烷基”表示具有1-20个,或1-12个或1-6个碳原子和至少一个氟原子的直链、支链或环状官能团。在结构A和整个说明书中,术语“环脂族基团”表示为脂族的并包含至少一个具有3-20个,或3-12个或3-6个碳原子的饱和或不饱和环状基团的基团。在结构A和整个说明书中,术语“芳基”表示具有6-12个碳原子的环状官能团。示例性芳基包括但不限于苯基、苄基、甲苯基和邻-二甲苯基。在结构A和整个说明书中,术语“亚烷基(alkyenyl)”表示连接两个氮原子以形成桥并具有2-20个,或2-12个或2-6个碳原子并可连接环原子中的一个或多个原子的基团。示例性亚烷基包括。但不限于-(CH2)2-、-(CH2)3-、-CH(Me)CH2-、-CH2CH(Me)-,其中Me为甲基。在结构A和整个说明书中,术语“烷氧基”表示连接于氧原子(如R-O)并具有1-20个,或1-12个或1-6个碳原子的烷基。示例性烷氧基包括,但不限于甲氧基(-OCH3)和乙氧基(-OCH2CH3)。在某些实施方案中,一个或多个烷基、芳基,和/或烷氧基可为取代的或未取代的或者具有一个或多个代替氢原子的原子或原子基团。示例性取代基包括,但不限于氧、硫、卤原子(如F、Cl、I或Br)、氮和磷。
[0015]在一个实施方案中,R4为亚烷基桥,例如(但不限于)含有2或3个碳原子的基团,由此形成相对于金属中心的5-或6-元配位环。取代基R4可以是直链亚烷基桥或支链亚烷基桥。在一个实施方案中,R4为直链亚烷基桥,例如(但不限于)-(CH2CH2)-和-(CH2CH2CH2)-。在另一个实施方案中,R4为支链亚烷基桥,例如(但不限于)-CH(Me)CH2-和-CH2CH(Me)-。如本文所用的术语“Me”表示甲基。在这个或其它实施方案中,取代基R1、R2、R3、R5和R6中的任何一个或多个可以被连接而形成环。在这个或其它实施方案中,所述环还可包含碳、氧、和/或氮原子。
[0016]在包含由以下结构B表示的三齿酮亚胺的反应混合物中制备含2族金属的多齿β-酮基亚氨酸盐:
[0017]在结构B中,取代基R1、R2、R3、R4、R5和R6中的任何一个各自独立与上文对结构A中所述的相同。
[0018]在本文描述的方法中,2族金属和三齿酮亚胺配体之间的至少一部分反应在至少一种醇试剂的存在下发生。在这点上,完全的醇用量(charge)或其部分可在反应发生前加入,在反应步骤期间连续加入,或以其组合的方式加入。合适的醇包括具有下式I:R7OH的那些。在式(I)中,R7为具有1-20个,或1-12个或1-6个碳原子的芳基或烷基部分,其为直链、支链或环状的,例如,但不限于甲基、乙基、丙基、丁基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基及其异构体。在某些实施方案中,醇可以为正丁醇、异丙醇、乙醇、正丙醇、甲醇、丙醇、异丁醇、戊醇、异戊醇、2-乙基-1-己醇、2-甲基-1-丁醇及其组合。其它醇试剂包括低聚(oligomeric)醇或聚合醇或多元醇例如,但不限于聚(四氢呋喃)、聚(丙二醇)、1,4-丁二醇,及其组合。其它示例性醇试剂包括具有下式(II):(OH)nR8的那些化合物,其中R8可以是任何芳基、任何直链烷基、支链烷基、环烷基,或烷基和/或烯基的组合,其可以被取代或未被取代,和n是所连接羟基的数目。如本文所用的术语“取代的”意指烷基和/或烯基可含有一个或多个其它元素的原子,如氧、氮、硫和/或除碳原子以外的其它原子。在某些实施方案中,烷基和/或亚烷基的一个或多个可以被氧原子取代。合适的R8基团的实例可包括,但不限于,-(CH2)11-CH3、CH2-CH2-CH2-、-[CH2-CH2-CH2-CH2-O]m-CH2-CH2-CH2-CH2-和[CH2-CH2-O]m-CH2-CH2-,其中m指重复单元的数目。在前述中,优选反应混合物中的醇试剂应该容易地从最终产物混合物中除去,而不损害最终产物。在备选的实施方案中,醇可以5%重量的最终产物混合物或更少,或0.5%重量的最终产物混合物或更少的量存在于最终产物混合物中。存在于反应混合物中的醇的量可以在0.1-5.0每摩尔2族金属M的范围内,优选醇与金属M的比率为2.0。
[0019]在某些实施方案中,反应混合物还包含一种或多种溶剂。合适的溶剂的实例包括有机溶剂,例如但不限于己烷、苯、甲苯、四氢呋喃(THF)、乙醚和丙酮。在某些实施方案中,优选所选择的溶剂或其混合物可使在反应混合物中的一种或多种试剂、反应产物,或其组合至少部分可溶。在其它实施方案中,在反应混合物中的醇可起试剂和溶剂两种作用。
[0020]在本文所述方法的一个具体实施方案中,含2族金属的多齿β-酮基亚氨酸盐在含有纯的2族金属、三齿酮亚胺配体,及在有机溶剂或有机溶剂的混合物中的醇试剂的反应混合物中制备。在某些实施方案中,将金属和三齿酮亚胺配体加入到有机溶剂中,然后加入醇。在这个或其它实施方案中,将醇以“分批的方式(portion wise)”加入反应混合物中,以避免突然的放热反应。如本文所用的术语“分批的方式”意指将总量的醇(或者纯的或者用有机溶剂稀释的)分成数批经加料漏斗加入到含有反应混合物(例如金属、三齿酮亚胺配体和有机溶剂)的反应容器中,直至加入总量的纯。在这点上,将一定量的醇分批增量加入,以防止突然的放热反应。在某些实施方案中,每一份的范围可在,例如,10毫升(ml)-100ml。然而,加入到反应混合物中的醇的份额量可根据生产的规模变化。在这个或其它实施方案中,使反应混合物在有机溶剂的沸点下回流。在一个特殊的实施方案中,发现回流包含纯金属、三齿酮亚胺配体、一种或多种醇如IPA,及溶剂如四氢呋喃(THF)的反应混合物,接着过滤并除去所有的挥发物,可以好的得率提供目标络合物,如在反应式4中所示:
[0021]使反应混合物暴露于足以提供包含含2族金属的多齿β-酮基亚氨酸盐的最终产物混合物的条件下。有许多可进行本文描述的方法的方式。在某些优选的实施方案中,将反应混合物加热至足够的温度并持续足够的时间,以使其中所含的试剂反应并形成最终产物混合物。取决于反应混合物中所含的试剂,反应温度可在室温-200℃范围内,或者在所用溶剂的的回流温度或者沸点温度。反应时间可在约0小时(即瞬间)-约100小时,或约0-约60小时,或约4-约48小时范围内。在某些实施方案中,反应后的挥发物可通过标准程序如蒸馏、层析、重结晶和/或滴定从最终产物混合物中除去。在这个或其它实施方案中,由于原料的挥发性,存在于最终产物混合物中的未反应原料的量可能足够低(如,5%重量百分比的最终产物混合物或以下),或者可保留在最终产物混合物中,因为所述原料在产物中是可接受的杂质。
[0022]在一个实施方案中,使反应混合物在总回流条件下,在适宜的温度和压力下反应足够的时间,以获得2族金属与醇、多齿酮亚胺,或两者的有效反应。这种转化是充分的,只要酮亚胺在反应器中的浓度减少至其挥发性对于可操作性或产率而言不再是一个问题的程度。
[0023]本文描述的方法的学说对于大规模(生产率超过1000标准升)、中等的实验室规模(生产率在1000-10标准升之间)、小规模(生产率低于10标准升),以及在这些规模之间的生产具有实用性。
[0024]可采用本文描述的方法制备的含金属多齿β-酮基亚氨酸盐的实例包括,但不限于双(2,2-二甲基-5-(二甲基氨基乙基-亚氨基)-3-己酮根(hexanonato)-N,O,N’)合锶、双(2,2-二甲基-5-(1-二甲基氨基-2-丙基亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶、双(2,2-二甲基-5-(1-乙基甲基氨基乙基-亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶、双(2,2-二甲基-5-(1-甲基乙基氨基-2-丙基亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶、双(2,2-二甲基-5-(1-二乙基氨基乙基-亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶和双(2,2-二甲基-5-(1-二乙基氨基-2-丙基亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶。
[0025]本文描述的方法可采用如在发明概述中和在权利要求书中的某些依字母顺序排列的字母进行描述。这并不意味着按时间顺序的提示。确实,除非另外指明,所述方法或过程步骤可以以各种不同的次序进行,如同时、依序等。
[0026]本文描述的方法将参照以下实施例更详细地描述,但应该理解所述方法不应视为对其的限制。
比较实施例1
使用氨化锶合成双(2,2-二甲基-5-(二甲基氨基乙基-亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶
[0027]将40.0g(0.066mol)的Sr(N(SiMe3)2)2·2THF加入含100mlTHF的500mL Schlenk烧瓶中。向该烧瓶中滴加在100mL THF中的29.0g(0.14mol)蜡样2,2-二甲基-5-(二甲基氨基乙基-亚氨基)-3-己酮。将生成的淡黄色澄清溶液于室温下搅拌过夜。然后在真空下除去所有的挥发物,得到溶于100mL热己烷的黄色固体。截留的挥发物液体的GC/MS分析指示其含有THF和副产物六甲基甲硅烷基胺。溶于THF中的黄色固体的GC/MS揭示除THF外,只存在2,2-二甲基-5-(二甲基氨基乙基-亚氨基)-3-己酮,提示该固体含有三齿β-酮基亚氨酸盐配体。然后将己烷溶液浓缩至约30mL以在底部沉淀出白色结晶。将烧瓶保持于-20℃以提供更无色的结晶。收集26.1g结晶并在真空下干燥。得率基于锶计算为77%。
[0028]元素分析:对C24H46N4O2Sr的计算值:C,56.49;N,10.98;H,9.09。实测值:C,56.34;N,11.32;H,8.91.1H NMR(500MHz,C6D6):δ=5.16(s,2H),2.97(t,4H),2.26(b,4H),1.89(s,12H),1.77(s,6H),1.37(s,18H)。
实施例1
使用纯Sr金属和异丙醇合成双(2,2-二甲基-5-(二甲基氨基乙基-亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶
[0029]向44.30g(505.63mmol)锶金属中立即加入在175mL THF中的214.69g(1011.26mmol)2,2-二甲基-5-(二甲基氨基乙基-亚氨基)-3-己酮。然后通过加料漏斗缓慢加入60.78g(1011.26mmol)异丙醇。使反应烧瓶装配有冷凝器并在氩气源下通风。使反应混合物回流16小时,此后变成在烧瓶底部带有少量颗粒的溶液。冷却反应物至室温并通过在中等孔隙率的烧结玻璃的顶层上的薄层Celite(512介质)过滤。真空下抽吸橙黄色滤液过夜,得到称量250g的黄色固体,粗品产率为97%。从己烷中重结晶得到纯产物,其经质子NMR和TGA证实为与在比较实施例1中描述的相同的化合物。
比较实施例2
使用氨化锶合成双(2,2-二甲基-5-(1-二甲基氨基-2-丙基亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶
[0030]于室温下,向1g(1.81mmol)Sr(N(SiMe3)2)2·(THF)2的10mLTHF溶液中滴加入在10mL THF中的0.82g(3.62mmol)2,2-二甲基-5-(1-二甲基氨基-2-丙基亚氨基)-3-己酮。搅拌反应混合物16小时。真空下蒸发掉THF,得到灰白色固体,其可被吸收作为己烷的溶液。除去己烷得到固体,将其于室温下在戊烷中重结晶。获得0.48g透明的针状结晶(基于Sr计的50%产率)。
[0031]元素分析:对C26H50N4O2Sr的计算值:C,58.01;N,10.40;H,9.36。实测值:C,56.07;N,10.10;H,8.86.1H NMR(500MHz,C6D6):δ=5.12(s,1H),3.42(m,1H),3.32(t,1H),1.96(b,2H),1.83(s,6H),1.72(b,2H),1.41(s,9H),0.94(d,3H)。
实施例2
使用纯Sr金属和异丙醇合成双(2,2-二甲基-5-(1-二甲基氨基-2-丙基亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶
[0032]向在250mL THF中的43.42g(495.55mmol)锶金属中立即加入179.48g(792.88mmol)2,2-二甲基-5-(1-二甲基氨基-2-丙基亚氨基)-3-己酮,接着加入60.70mL(792.88mmol)异丙醇。将反应混合物回流16小时,加入完成后,反应物为琥珀色-红色溶液并使之冷却至室温。反应混合物通过在中等孔隙率的烧结玻璃的顶层上的中级Celite的薄层过滤。真空下从滤液中抽吸除去THF,得到粘稠的深红色油状物。使该油状物溶于己烷中并在真空下再次抽吸作为抽吸除去残留的THF的方法。存留在焦油样油状物中的产物称重为240.04g,产率为90%。从辛烷中重结晶,得到纯产物,其经质子NMR和TGA证实为与在比较实施例2中描述的相同的化合物。
实施例3
使用纯Sr金属和叔丁醇合成双(2,2-二甲基-5-(二甲基氨基乙基-亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶
[0033]向在75mL THF中的2.02g(23.05mmol)锶金属片中立即加入8.68g(46.11mmol)叔丁醇,接着通过导管加入在50mL THF中的10.44g(46.11mmol)2,2-二甲基-5-(1-二甲基氨基-2-丙基亚氨基)-3-己酮。回流反应物3天,此后变成灰-绿色的悬浮液。使反应物冷却并过滤。减压蒸发滤液成米色蜡样固体,经称量为11.0g,粗品产率为94%。从己烷中重结晶得到纯产物,其经质子NMR和TGA证实为与在比较实施例2中描述的相同的化合物。
Claims (19)
2.权利要求1的方法,其中M包括锶。
4.权利要求1的方法,其中所述醇包括具有式R7OH的醇。
5.权利要求4的方法,其中所述醇选自甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、仲丁醇、异丁醇、正戊醇、新戊醇、叔戊醇,及其组合。
6.权利要求1的方法,其中M与醇在反应混合物中的摩尔比在约0.1-5范围内。
7.权利要求1的方法,其中反应混合物还包含有机溶剂。
8.权利要求7的方法,其中有机溶剂包含甲苯和己烷。
9.权利要求7的方法,其中有机溶剂包含四氢呋喃。
10.权利要求7的方法,其中反应步骤在有机溶剂的存在下进行,其中三齿酮亚胺配体和醇中的至少一种在有机溶剂中是部分可溶的。
11.权利要求7的方法,其中金属和三齿酮亚胺配体被加入有机溶剂中,然后加入醇。
12.权利要求11的方法,其中所述醇以分批的方式加入反应混合物中,以避免突然的放热反应。
13.权利要求7的方法,其中反应混合物在该有机溶剂的沸点下回流。
14.权利要求1的方法,其中含金属的多齿β-酮基亚氨酸盐包括双(2,2-二甲基-5-(二甲基氨基乙基-亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶。
15.权利要求1的方法,其中含金属的多齿β-酮基亚氨酸盐包括双(2,2-二甲基-5-(1-二甲基氨基-2-丙基亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶。
16.权利要求1的方法,其中含金属的多齿β-酮基亚氨酸盐包括双(2,2-二甲基-5-(1-乙基甲基氨基乙基-亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶。
17.权利要求1的方法,其中含金属的多齿β-酮基亚氨酸盐包括双(2,2-二甲基-5-(1-甲基乙基氨基-2-丙基亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶。
18.权利要求1的方法,其中含金属的多齿β-酮基亚氨酸盐包括双(2,2-二甲基-5-(1-二乙基氨基乙基-亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶。
19.权利要求1的方法,其中含金属的多齿β-酮基亚氨酸盐包括双(2,2-二甲基-5-(1-二乙基氨基-2-丙基亚氨基)-3-己酮根-N,O,N’)合锶。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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