CN101811822B - 一种pcvd工艺制作大直径光纤芯棒的方法 - Google Patents

一种pcvd工艺制作大直径光纤芯棒的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101811822B
CN101811822B CN2010101529870A CN201010152987A CN101811822B CN 101811822 B CN101811822 B CN 101811822B CN 2010101529870 A CN2010101529870 A CN 2010101529870A CN 201010152987 A CN201010152987 A CN 201010152987A CN 101811822 B CN101811822 B CN 101811822B
Authority
CN
China
Prior art keywords
diameter
plug
bushing pipe
pcvd
sandwich layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN2010101529870A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101811822A (zh
Inventor
刘泳涛
李震宇
韩庆荣
童维军
龙胜亚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yangtze Optical Fibre and Cable Co Ltd
Original Assignee
Yangtze Optical Fibre and Cable Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yangtze Optical Fibre and Cable Co Ltd filed Critical Yangtze Optical Fibre and Cable Co Ltd
Priority to CN2010101529870A priority Critical patent/CN101811822B/zh
Publication of CN101811822A publication Critical patent/CN101811822A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101811822B publication Critical patent/CN101811822B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
    • C03B37/01815—Reactant deposition burners or deposition heating means
    • C03B37/01823—Plasma deposition burners or heating means
    • C03B37/0183—Plasma deposition burners or heating means for plasma within a tube substrate

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

本发明涉及一种高沉积速率PCVD工艺制作大直径低水峰光纤芯棒的方法。它包括以下步骤：取外径为36～65毫米的纯石英衬管腐蚀清洗后进行PCVD加工；将纯石英衬管置于微波谐振腔保温炉内，微波谐振腔相对纯石英衬管作轴向往复移动，移动速度为15～30米/min，高频功率5.5KW～20.5KW；衬管内沉积速率为2.5～5.0g/min，单层沉积厚度为1.0～3.0微米；沉积完成后通过电热熔缩车床缩塌即得到实心光纤芯棒，芯棒外径为30mm～61mm，包层芯层直径比：1.2≤b/a＜3.0、芯棒外径与芯层直径的比：3.8≤c/a＜6.0。本发明不仅制作工艺简便，沉积速率高，而且能够满足更大范围包层芯层直径比的设计要求和低水峰低衰减的光纤性能要求。

Description

一种PCVD工艺制作大直径光纤芯棒的方法
技术领域
本发明涉及一种光纤芯棒的制造方法，具体涉及一种具有较高沉积速率和沉积效率的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，属于光纤通信领域。
背景技术
光纤预制棒的制造是光纤制造的第一步。作为光波导管，光纤在整个结构划分上可按区域分为纤芯、光学包层、机械包层以及涂覆层，石英光纤的母体即预制棒相应划分为芯层、光学包层、机械包层三个部分。在预制棒的大规模生产领域，预制棒的这种多层结构往往以分步法工艺进行制造，即先独立地制造芯棒和机械包层套管，通过芯棒和机械包层的组合形成预制棒整体。芯棒包括芯层和光学包层的全部以及机械包层的少部分，是决定光纤传输性能的核心部分。芯棒制造方法依照沉积反应发生位置来划分，可分为为管内法和管外法。PCVD工艺即等离子体化学气相沉积一直是芯棒制造管内法的主要工艺之一。相对管外法的外部化学气相沉积工艺(OVD)和轴向化学气相沉积工艺(VAD)，PCVD工艺优点在于对反应原材料的利用效率高，同时能够精确控制掺杂成分要求严格、折射率剖面复杂的芯棒。相对管内法中的另一种改进的化学气相沉积工艺(MCVD)，PCVD工艺又具有沉积速率高的优点。
光纤预制棒制造工艺改进始终朝着经济成本和性能更优化的方向发展。预制棒制造的经济成本更优化首先表现在套管直径和长度的大型化，直径方面已经可以达到外径120毫米～210毫米，长度方面可达3～6米。在制造此种大尺寸或超大尺寸外包层时，一般采用芯棒外直接包层沉积或包层独立沉积再与芯棒组装两种工艺路线。不论是芯棒外直接外包层沉积还是外包层独立沉积再与芯棒组装，当外径达到120毫米长度达到3米以上的大尺寸预制棒都具有了相当大的的包层体积和自重，那么其沉积工艺所需的中心靶棒或芯棒尺寸就不能过小，一般都要求至少大于30毫米。
在制造大直径尺寸芯棒方面，中国专利ZL200510019304.3提出了将芯棒在拉伸塔上与小套管熔缩到一起得到组合芯棒，然后将一段或多段组合芯棒插入大套管形成大尺寸光纤预制棒的方法。这种方法通过对小直径芯棒和小套管的组合熔缩实现了对芯棒直径尺寸的增大。该发明将芯棒制造工艺过程进行了分步，这种分步方法先制造小直径芯棒，再将芯棒和附加的小套管组合熔缩成为大直径芯棒，使得芯棒的外径通过附加套管的方法得到增加。但是，该方法增加了芯棒制造的工序步骤，同时增加了小直径芯棒与附加套管的界面处理和套管工序，该界面处理和套管工序由于是人工操作，存在一定的杂质污染可能性。另外，芯棒和套管组合熔缩的过程中，其固有存在的配合间隙存在一定的不均匀性，这将增大熔缩工艺控制方面的难度，从而对芯棒的芯层圆度产生影响。
芯棒制造的另一方面是PCVD工艺的沉积速率，沉积速率直接决定了芯棒单位重量的制造时间，成为影响制造成本的重要因素。在提高芯棒沉积速率方面，中国专利ZL200710168384.8提出了一种将外径36～46毫米、内径32～40毫米、长度1.45～1.85米衬管，通过5.5KW～20.5KW的高频功率，得到2.5～4.5克/分的沉积速率进行PCVD加工制造光纤芯棒的方法制得光纤芯棒。该方法选用提高功率的微波源，在一定程度上增加了所制得芯棒的直径。但是，随着预制棒大型化的继续发展，由于受其方案设计的衬管CSA限制，其所制芯棒直径尺寸已达极限，不再能适应大于180毫米的更大尺寸套管对芯棒外径大于40毫米的要求；直径尺寸受限也会使包层芯层直径比的设计受限，从而使外包工艺特别是OVD外包后预制棒的衰减和水峰升高。
在预制棒制造工艺不断向大型化发展的同时，通信网络对传输光纤产品性能的要求也不断提高，具体表现为：对传输承载波段要求越来越宽，对波段衰减要求越来越低，对光纤色散的易管理性要求越来越高。特别是不断降低光纤传输承载波段的衰减，是光纤性能发展上的一个长期追求。
为方便介绍本发明内容，定义部分术语：
石英衬管：管状的基底管，其内壁承载PCVD化学反应的玻璃态氧化沉积物；
芯棒：含有芯层、光学包层和部分机械包层的实心预制件；
CSA：横截面积，单位为mm2；
b/a值：芯棒中沉积的光学包层直径与芯层直径的比值；
c/a值：芯棒外径与芯层直径的比值；
d/a值：外包层外径与芯层直径的比值。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术存在的不足而提供一种PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，它不仅制作工艺简便，沉积速率高，而且能够满足更大范围包层芯层直径比的设计要求和低水峰低衰减的光纤性能要求。
本发明的技术方案是这样实现的：
取外径为36～65毫米，壁厚大于或等于5毫米，长度为1.0～1.9米的纯石英衬管，经过两端延长、腐蚀清洗后，进行PCVD加工；
所述纯石英衬管的羟基含量小于或等于0.5ppm，所述的腐蚀清洗是以AR级氢氟酸试剂(HF含量≥36％)浸泡腐蚀，去掉衬管延长加工时带来的内外表面污染，腐蚀去除量以衬管外径减少量计为0.01mm～0.3mm，腐蚀后的衬管以高纯去离子水冲洗内外表面，再以高纯洁净N2吹扫内外表面进行充分干燥；
将纯石英衬管置于微波谐振腔保温炉内，炉内温度：800℃～1200℃，纯石英衬管穿过微波谐振腔，周期性地旋转，微波谐振腔相对纯石英衬管作轴向往复移动，移动速度为15～30米/min，微波谐振腔的高频功率5.5KW～20.5KW；
混合气体从衬管的一端进入管内，混合气体的种类和流量为：四氯化硅蒸气800～2500sccm，四氯化锗蒸气20～150sccm，高纯氧气1600sccm～7000sccm，氟利昂10～100sccm；衬管的另一端是气体排出端，气体排出端连接真空泵，控制衬管内压力在5～30mBar；
衬管内沉积速率为2.5～5.0g/min，单层沉积厚度为1.0～3.0微米；
沉积完成后通过电热熔缩车床缩塌即得到实心光纤芯棒，芯棒外径为30mm～61mm，包层芯层直径比：1.2≤b/a＜3.0、芯棒外径与芯层直径比：3.8≤c/a＜6.0。
按上述方案，所述纯石英衬管的羟基含量进一步的要求为小于或等于0.05ppm。
按上述方案，所述的进入管内的反应原料气体和蒸气，对于标准状态下为气态的高纯氧气和氟利昂，采用大量程的气体质量流量计控制；对于标准状态下为液态的SiCl4和GeCl4，先辅助加热使其产生适量的原料蒸气压，将蒸气导出再用合适的气体流量计控制流量进行供料；通入衬管的原料气体的羟基含量要求小于或等于0.1ppm，进一步的要求是小于或等于0.01ppm，更进一步的要求是小于或等于0.001ppm。
按上述方案，所述的高纯氧气与四氯化硅的摩尔比被控制在1.8～3.0。
按上述方案，在保温炉内与衬管平行方向放置主加热棒，在保温炉内的两端和中间再各增加一个控温用辅助加热棒，通过对主加热棒和辅助加热棒的电流电压分别控制，实现对衬管长度方向的温度分段式可调；并且在主加热棒和辅助加热棒外安置陶瓷纤维真空成型块，形成保温隔热区域，对衬管长度方向的温度分布进一步实现准确控制，从而进一步改善了沉积反应沿衬管长度方向的一致性。对于芯棒沉积反应温度的准确控制，有利于改善光波导芯层和光学包层材料组分的均匀性，减少二氧化硅晶体内缺陷产生机率，降低光纤衰减。
按上述方案，将制得的实心光纤芯棒进行延伸整形，使其成为直径小于原直径但长度增长的延伸光纤芯棒。
将上述芯棒制造方案制得的芯棒作外包层加工，外加玻璃包层后即可制得大直径尺寸的低水峰光纤预制棒。所述外包层加工工艺包括但不限于以下方法：外套管法(Rod in Cylinder)，外部化学气相沉积法(OVD)，改进的等离子化学气相沉积法(APVD)。
通过本发明的方法，可制备ITU-T G.652单模光纤，所制备的光纤在1310nm处的衰耗小于0.340dB/km，1383nm处的衰耗小于0.340dB/km，1550nm处的衰耗小于0.200dB/km。
本发明的有益效果在于：1、制作工艺简便，沉积速率高，因而降低了芯棒的制造成本，提高了设备使用效率和产出能力；制备的芯棒可以配合不同的外包层加工工艺，更低成本地生产光纤，尤其适合大规模生产；2、能够制造更大直径尺寸的光纤预制棒芯棒，不仅降低了光纤制造成本而且又能满足低水峰低衰减的光纤性能要求；3、能够满足更大范围包层芯层直径比的设计要求，用以制作各种波导结构的光纤，可适于G.652及其他单模和多模光纤的制造；4、生产过程中通过对每层气体流量、氧气四氯化硅摩尔比、管内真空压力、微波功率、谐振腔移动速度等多参数的精确控制，以及炉内温度的辅助加温分段可调，可得到非常精确的折射率剖面形态和均匀一致的玻璃材料组分，获得高性能的光纤预制棒芯棒；5、本发明通过对氧气和四氯化硅摩尔比的精确控制，可以有效调整反应生成副产物中氯气的含量，而氯气可以捕获水分生产氯化氢被排放，从而进一步减少沉积玻璃组分中水分的含量，而氯含量的增加可以提高玻璃折射率从而减少锗的掺杂量，进一步降低玻璃的瑞利散射。
附图说明
图1为本发明一个实施例的光纤预制棒的横截面结构图。
具体实施方式
下面给出详细的实施例对本发明进行进一步的说明。
预制棒和芯棒的设计实施例(表)：
  芯棒芯层直径(mm)   衬管外径(mm)   衬管壁厚(mm)   光学包芯直径比(b/a)   芯棒直径和芯层直径比(c/a)   芯棒直径(mm)   外包工艺后预制棒外径(mm)
  8.4   36   6   2.1   3.8   33   120
  9.2   45   8   2.5   4.5   41.5   130
  9.9   60   16   2.2   5.8   57.5   140
  10.6   45   8   2.2   3.9   41.4   150
  11.3   46   8   2.1   3.8   42.3   160
  12   53   10   2.3   4.1   49.5   170
  12.7   55   10   2.0   3.8   49   180
  14.2   61   13   2.1   4.1   58   200
实施例1：
以高沉积速率PCVD工艺实现Φ58大直径单模G.652.D光纤芯棒制造，采用外径为61毫米、内径35毫米、长度1.70米的石英衬管，衬管使用德国贺利氏公司Suprasil F500高纯低羟基合成石英材料，经过两端延长、腐蚀清洗后安装到沉积车床上开始沉积。包层沉积速率3.8g/min，沉积效率91％。下面列表说明沉积工艺参数。
表3-1 G.652.D大直径芯棒沉积工艺主要技术参数
 参数名称  包层   芯层
 SiCl4+GeCl4蒸气体积流量(sccm)  1900   1600
 沉积速率g/min  3.8   3.3
 高纯氧气流量(sccm)  5700   4800
 C2F6气体体积流量(sccm)  90   70
 保温炉中间部分温度(℃)  1080   1050
 管内压力(毫巴)  12   15
 微波功率(W)  11000   9800
沉积结束后在电熔缩车床上烧缩为实心芯棒，外径58毫米，芯棒长度1米。下面列表说明熔缩得到的大直径芯棒结果。
表3-2大直径芯棒结果参数
  参数项目   数值
  芯棒直径mm   58
  芯层直径mm   14.2
  芯棒均匀部分长度mm   1000
  包层直径mm   29.8
  b/a(包层直径比芯层)   2.1
  c/a(芯棒直径比芯层直径)   4.1
  芯层包层相对折射率差％   0.375
  匹配的大尺寸套管外径mm   200
将芯棒用氢氟酸腐蚀，清洗干燥后，采用RIC工艺插入外径200mm内径60mm的大尺寸石英套管中，得到大尺寸低水峰光纤预制棒，可以直接上拉丝塔拉丝。也可以将大直径的预制棒经拉伸塔拉制成Φ120mm或Φ80mm的小直径实心预制棒，再上塔拉丝。下面列表说明拉丝光纤的结果。
表3-3大直径光纤芯棒制得G.652.D光纤主要性能
  拉丝光纤长度   2500km
  衰减1310nm   0.328dB/km
      1383nm   0.288dB/km
      1550nm   0.189dB/km
  模场直径MFD   9.18μm
  截止波长   1280nm
  色散1550nm   16ps(nm.km)
  零色散点斜率   0.086psnm2.km
  偏振模色散   0.018ps/km-1/2
  氢损试验1530nm   0.001dB/km
实施例2：
以高沉积速率PCVD工艺实现Φ49大直径单模G.652.D光纤芯棒制造，采用外径为55毫米、内径35毫米、长度1.55米的石英衬管，衬管使用德国贺利氏公司Suprasil F500高纯低羟基合成石英材料，经过两端延长、腐蚀清洗后安装到沉积车床上开始沉积。包层沉积速率4.5g/min，沉积效率89％。下面列表说明沉积工艺参数。
表3-1 G.652.D大直径芯棒沉积工艺主要技术参数
 参数名称  包层   芯层
 SiCl4+GeCl4蒸气体积流量(sccm)  2300   2100
 沉积速率g/min  4.5   4.1
 高纯氧气流量(sccm)  6900   6300
 C2F6气体体积流量(sccm)  190   150
 沉积保温炉内温度(℃)  1100   1100
 管内压力(毫巴)  12   15
 微波功率(W)  15000   13000
沉积结束后在电熔缩车床上烧缩为实心芯棒，外径49毫米，芯棒长度1米。下面列表说明熔缩得到的大直径芯棒结果。
表3-2大直径芯棒结果参数32
  参数项目   数值
  芯棒直径mm   49
  芯层直径mm   12.7
  芯棒均匀部分长度mm   1010
  包层直径mm   25.4
  b/a(包层直径比芯层)   2.0
  c/a(芯棒直径比芯层直径)   3.86
  芯层包层相对折射率差％   0.375
  匹配的大尺寸套管外径mm   180
将芯棒用氢氟酸腐蚀，清洗干燥后，使用OVD外喷石英包层至外径180mm，得到大尺寸低水峰光纤预制棒，可以直接上拉丝塔拉丝。也可以将大直径的预制棒经拉伸塔拉制成Φ120mm或Φ80mm的小直径预制棒，再上塔拉丝。下面列表说明拉丝光纤的结果。
表3-3大直径光纤芯棒拉丝制得G.652.D光纤主要性能
  拉丝光纤长度   2300km
  衰减1310nm   0.325dB/km
      1383nm   0.285dB/km
      1550nm   0.188dB/km
  模场直径MFD   9.23μm
  截止波长   1270nm
  色散1550nm   15.8ps(nm.km)
  零色散点斜率   0.086psnm2.km
  偏振模色散   0.020ps/km-1/2
  氢损试验1530nm   0.001dB/km

Claims (9)

1.一种PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于
取外径为46～65毫米，壁厚大于或等于8毫米，长度为1.0～1.9米的纯石英衬管，经过两端延长、腐蚀清洗后，进行PCVD加工；
所述纯石英衬管的羟基含量小于或等于0.5ppm，所述的腐蚀清洗是以AR级氢氟酸试剂(HF含量≥36％)浸泡腐蚀，去掉衬管延长加工时带来的内外表面污染，腐蚀去除量以衬管外径减少量计为0.01mm～0.3mm，腐蚀后的衬管以高纯去离子水冲洗内外表面，再以高纯洁净N2吹扫内外表面进行充分干燥；
将纯石英衬管置于微波谐振腔保温炉内，炉内温度：800℃～1200℃，纯石英衬管穿过微波谐振腔，周期性地旋转，微波谐振腔相对纯石英衬管作轴向往复移动，移动速度为15～30米/min，微波谐振腔的高频功率5.5KW～20.5KW；
混合气体从衬管的一端进入管内，混合气体的种类和流量为：四氯化硅蒸气800～2500sccm，四氯化锗蒸气20～150sccm，高纯氧气1600sccm～7000sccm，氟利昂10～100sccm；衬管的另一端是气体排出端，气体排出端连接真空泵，控制衬管内压力在5～30mBar；
衬管内沉积速率为2.5～5.0g/min，单层沉积厚度为1.0～3.0微米；
沉积完成后通过电热熔缩车床缩塌即得到实心光纤芯棒，芯棒外径为30mm～61mm，包层芯层直径比：1.2≤b/a＜3.0、芯棒外径与芯层直径的比：3.8≤c/a＜6.0。
2.按权利要求1所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于所述纯石英衬管的羟基含量进一步的要求为小于或等于0.05ppm。
3.按权利要求1或2所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于所述的进入管内的反应原料气体和蒸气，对于标准状态下为气态的高纯氧气和氟利昂，采用大量程的气体质量流量计控制；对于标准状态下为液态的SiCl4和GeCl4，先辅助加热使其产生适量的原料蒸气压，将蒸气导出再用合适的气体流量计控制流量进行供料；通入衬管的原料气体的羟基含量要求小于或等于0.1ppm。
4.按权利要求1或2所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于所述的高纯氧气与四氯化硅的摩尔比被控制在1.8～3.0。
5.按权利要求1或2所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于在保温炉内与衬管平行方向放置主加热棒，在保温炉内的两端和中间再各增加一个控温用辅助加热棒，通过对主加热棒和辅助加热棒的电流电压分别控制，实现对衬管长度方向的温度分段式可调；并且在主加热棒和辅助加热棒外安置陶瓷纤维真空成型块，形成保温隔热区域，对衬管长度方向的温度分布进一步实现准确控制。
6.按权利要求1或2所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于将制得的实心光纤芯棒进行延伸整形，使其成为直径小于原直径但长度增长的延伸光纤芯棒。
7.按权利要求5所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于将制得的芯棒作外包层加工，外加玻璃包层后即可制得大直径尺寸的低水峰光纤预制棒。
8.按权利要求1或2所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于采用外径为61毫米、内径35毫米、长度1.70米的石英衬管，衬管为F500高纯低羟基合成石英材料，经过两端延长、腐蚀清洗后安装到沉积车床上沉积，沉积结束后在电熔缩车床上烧缩为实心芯棒，外径58毫米，芯棒长度1米，芯层直径14.2mm，包层直径与芯层直径的比值b/a为2.1，芯棒外径与芯层直径的比c/a为4.1。
9.按权利要求1或2所述的PCVD工艺制造大直径光纤芯棒的方法，其特征在于采用外径为55毫米、内径35毫米、长度1.55米的石英衬管，衬管为F500高纯低羟基合成石英材料，经过两端延长、腐蚀清洗后安装到沉积车床上沉积，沉积结束后在电熔缩车床上烧缩为实心芯棒，外径49毫米，芯棒长度1米，芯层直径12.7mm，包层直径与芯层直径的比值b/a为2.0，芯棒外径与芯层直径的比c/a为3.86。
CN2010101529870A 2010-04-16 2010-04-16 一种pcvd工艺制作大直径光纤芯棒的方法 Active CN101811822B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010101529870A CN101811822B (zh) 2010-04-16 2010-04-16 一种pcvd工艺制作大直径光纤芯棒的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010101529870A CN101811822B (zh) 2010-04-16 2010-04-16 一种pcvd工艺制作大直径光纤芯棒的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101811822A CN101811822A (zh) 2010-08-25
CN101811822B true CN101811822B (zh) 2012-03-07

Family

ID=42619215

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010101529870A Active CN101811822B (zh) 2010-04-16 2010-04-16 一种pcvd工艺制作大直径光纤芯棒的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101811822B (zh)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102531378B (zh) * 2012-03-12 2014-12-10 武汉烽火锐光科技有限公司 用于制造保偏光纤的掺硼应力棒及其制造方法
CN102654602B (zh) * 2012-05-08 2014-02-26 长飞光纤光缆有限公司 一种光纤及其制造方法
CN102757179B (zh) * 2012-08-02 2015-04-08 长飞光纤光缆股份有限公司 一种大规格光纤预制棒的制备方法
CN103553320B (zh) * 2013-11-06 2017-02-08 长飞光纤光缆股份有限公司 一种用于大尺寸光纤预制棒的石英套管及其制造方法
CN106007358B (zh) * 2016-05-17 2019-03-01 烽火通信科技股份有限公司 一种用于光纤陀螺的超细径保偏光纤及其制造方法
CN106277744A (zh) * 2016-08-17 2017-01-04 长飞光纤光缆股份有限公司 一种高沉积速率pcvd工艺制作单模光纤芯棒的方法
CN106904821B (zh) * 2017-02-15 2019-03-22 天津富通集团有限公司 大尺寸光纤预制棒的生产工艺及其大尺寸光纤预制棒
CN106966581A (zh) * 2017-05-18 2017-07-21 江苏亨通光导新材料有限公司 一种光纤预制棒及其制备方法
CN109186641B (zh) * 2018-08-01 2022-03-11 中国电子科技集团公司第十一研究所 一种制造光纤传感器的方法、及光纤传感器
CN108863042B (zh) * 2018-08-15 2023-02-17 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 一种pcvd工艺制作光纤预制棒芯棒的方法
CN110028235B (zh) * 2019-03-01 2020-09-08 江苏永鼎股份有限公司 一种基于连熔石英套管的光纤预制棒及其制造方法
CN111652402B (zh) * 2019-03-04 2023-04-14 湖南师范大学 一种光纤预制棒沉积工序大数据智能优化方法
CN111517634B (zh) * 2020-04-13 2021-05-07 烽火通信科技股份有限公司 一种提高pcvd原料气体沉积均匀性的系统、方法和应用
CN112876060B (zh) * 2021-02-02 2022-09-02 烽火通信科技股份有限公司 一种大尺寸光纤预制棒芯棒的制备方法
CN113716859B (zh) * 2021-07-22 2023-07-07 山东企赢盈网络科技有限公司 光纤预制芯棒熔缩处理分段检测与拉伸一体设备
CN117185646B (zh) * 2023-11-08 2024-01-30 武汉市飞瓴光电科技有限公司 等离子沉积制备F-SiO2光纤预制棒包层装置及方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1396131A (zh) * 2002-07-09 2003-02-12 长飞光纤光缆有限公司 石英光纤芯棒的制备方法
CN1403397A (zh) * 2002-10-23 2003-03-19 长飞光纤光缆有限公司 一种高沉积速率pcvd工艺制作光纤芯棒的方法
CN101182113A (zh) * 2007-11-20 2008-05-21 长飞光纤光缆有限公司 大直径光纤芯棒的pcvd制作方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1396131A (zh) * 2002-07-09 2003-02-12 长飞光纤光缆有限公司 石英光纤芯棒的制备方法
CN1403397A (zh) * 2002-10-23 2003-03-19 长飞光纤光缆有限公司 一种高沉积速率pcvd工艺制作光纤芯棒的方法
CN101182113A (zh) * 2007-11-20 2008-05-21 长飞光纤光缆有限公司 大直径光纤芯棒的pcvd制作方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN101811822A (zh) 2010-08-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101811822B (zh) 一种pcvd工艺制作大直径光纤芯棒的方法
CN101891380B (zh) 一种大尺寸光纤预制棒及其光纤的制造方法
KR101568171B1 (ko) 일종의 휨저항성 대구경 고개구수를 갖는 다중모드 광섬유
US8635889B2 (en) Refraction-sensitive optical fiber, quartz glass tube as a semi-finished product for the manufacture-thereof and method for the manufacture of the fiber
CN102249533B (zh) 一种制造大型低水峰光纤预制棒的方法
CN103922579B (zh) 一种基于基管外径维持与修正控制制造光纤预制芯棒的方法
CN103553320B (zh) 一种用于大尺寸光纤预制棒的石英套管及其制造方法
CN102757179B (zh) 一种大规格光纤预制棒的制备方法
JP2011526879A5 (ja) 曲げに強い光ファイバーを形成するための方法
US7836728B2 (en) Increasing the cladding-to-core ratio (D/d) of low D/d ratio core rods in optical fiber performs
CN102149648B (zh) 光纤母材的制造方法
CN102225843B (zh) 光纤预制棒的制造方法
CN102320732A (zh) 一种制备光纤预制棒的方法
CN101182113B (zh) 大直径光纤芯棒的pcvd制作方法
CN103955020B (zh) 一种低损耗大有效面积单模光纤及其制造方法
CN101066834B (zh) 一种光纤预制棒的制备方法
CN1194916C (zh) 一种高沉积速率pcvd工艺制作光纤芯棒的方法
CN102092936B (zh) 光纤预制棒的制造方法
CN106277744A (zh) 一种高沉积速率pcvd工艺制作单模光纤芯棒的方法
CN110937796B (zh) 宽带多模光纤预制棒的制造方法
CN110981183B (zh) 一种宽带多模光纤预制棒的制造方法
CN100334023C (zh) 大尺寸光纤预制棒的制备方法
CN102923942A (zh) 大尺寸光纤预制棒的制备方法
US8667816B2 (en) Method for manufacturing a primary preform
US20150315060A1 (en) Method for manufacturing a precursor for a primary preform for optical fibres by a plasma deposition process

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee

Owner name: YANGTZE OPTICAL FIBRE AND CABLE CO., LTD

Free format text: FORMER NAME: CHANGFEI FIBRE-OPTICAL + OPTICAL CABLE CO., LTD.

CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 430073 Hubei city of Wuhan province Wuchang two Guanshan Road No. four

Patentee after: Yangtze Optical Fibre and Cable Co., Ltd

Address before: 430073 Hubei city of Wuhan province Wuchang two Guanshan Road No. four

Patentee before: Changfei Fibre-Optical & Optical Cable Co., Ltd.