CN101794719B - 晶圆片的自动升降吸附机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种晶圆片的自动升降吸附机构，解决了现有设备中的加热板的温度均匀性差，加工难度大的问题。包括上加热板(8)、下加热台板(1)和连接支架(7)，上加热板(8)的中间设置有圆形加热板(9)，其上设置有供空心不锈钢管(10)穿过的孔，在下加热台板(1)的下面固定设置有气缸(3)，气缸(3)的输出轴穿过下加热台板(1)中部的孔伸出到下加热台板(1)的上方，在气缸(3)的输出轴端连接有下针盘(4)，在下针盘(4)上面固定连有上针盘(6)，在下针盘(4)与上针盘(6)的结合面内设置有环形的真空气槽，它分别与空心不锈钢管(10)和在下针盘(4)上设置的真空气嘴连通。该发明结构简单，易于安装调整。
Description
技术领域
本发明涉及一种晶圆片的自动升降吸附机构，此机构装于匀胶热板系统的加热机构上，方便了晶圆片的放置和拾取，避免了晶圆片直接被热板高温加热。
背景技术
目前，在现有的匀胶机中，热板系统的升降和真空吸附的功能是由不锈钢研磨管和热板分别实现的，不锈钢研磨管为实心，不具有真空吸附的功能，晶圆片的移送是通过在热板上打孔安装真空吸附装置来实现的，这种结构不但提高了热板的加工的难度和成本，还会使热板的表面温度均匀性变差，同时在晶圆片的移送过程中容易被损坏。
发明内容
本发明提供了一种晶圆片的自动升降吸附机构，解决了现有设备中的加热板的温度均匀性差，加工难度大，在移送过程中容易损坏晶圆片的技术问题。
本发明是通过以下方案解决以上问题的：
晶圆片的升降吸附机构，包括水平固定安装在机架上的上加热板，在上加热板的下方设置有下加热台板，下加热台板通过连接支架与上加热板固定连接在一起，在所述的上加热板的中间设置有圆形加热板的安装圆孔，在该安装圆孔中设置有圆形加热板，圆形加热板固定设置在下加热台板上的支架上，在圆形加热板上设置有供空心不锈钢管穿过的孔，在下加热台板的下面固定设置有气缸，气缸的输出轴穿过下加热台板中部的孔伸出到下加热台板的上方，在气缸的输出轴端连接有下针盘，在下针盘上面固定连有上针盘，在下针盘与上针盘的结合面内设置有环形的真空气槽，在下针盘上设置有供不锈钢管插入的孔，该孔与环形的真空气槽连通，在下针盘上设置有真空气嘴，真空气嘴与环形的真空气槽连通，空心不锈钢管穿过圆形加热板上的孔固定设置在下针盘上的供不锈钢管插入的孔中。
在所述的圆形加热板与上针盘之间设置有三个空心不锈钢管，且该三个空心不锈钢管设置在同一圆周上。
该发明结构简单，易于安装调整，降低了加工成本和加工难度，大大提高了热板表面的温度均匀性，同时对晶圆片起到保护作用。
附图说明：
图1是本发明的结构示意图
具体实施方式
晶圆片的升降吸附机构，包括水平固定安装在机架上的上加热板8，在上加热板8的下方设置有下加热台板1，下加热台板1通过连接支架7与上加热板8固定连接在一起，在所述的上加热板8的中间设置有圆形加热板9的安装圆孔，在该安装圆孔中设置有圆形加热板9，圆形加热板9固定设置在下加热台板1上的支架11上，在圆形加热板9上设置有供空心不锈钢管10穿过的孔，在下加热台板1的下面固定设置有气缸3，气缸3的输出轴穿过下加热台板1中部的孔伸出到下加热台板1的上方，在气缸3的输出轴端连接有下针盘4，在下针盘4上面固定连有上针盘6，在下针盘4与上针盘6的结合面内设置有环形的真空气槽，在下针盘4上设置有供不锈钢管10插入的孔，该孔与环形的真空气槽连通，在下针盘4上设置有真空气嘴，真空气嘴与环形的真空气槽连通，空心不锈钢管10穿过圆形加热板9上的孔固定设置在下针盘4上的供不锈钢管10插入的孔中。
在所述的圆形加热板9与上针盘6之间设置有三个空心不锈钢管10，且该三个空心不锈钢管10设置在同一圆周上。
上加热台板8安装在设备的机架上，安装时要保证上加热台板8的水平，下加热台板1通过连接支架7固定在上加热台板8的底部，加热板9与支架11螺接，通过支架11固定在下加热台板1的上方，气缸3螺接于下加热台板1下方，用螺钉2将下针盘4与气缸3固定，螺栓5将上针盘6与下针盘4固定，空心不锈钢管10分别穿过加热板9上的三个孔插入到上针盘6内，与上针盘6紧密配合，上针盘6上的三个孔要保证跟加热板9上的孔同心。工作时，通过气缸3伸缩带动空心不锈钢管10上下运动，下针盘4底部开的孔通过气嘴与真空气槽连通，当真空发生器产生真空时，空心不锈钢管10就会吸附住晶圆片。
Claims (2)
1.一种晶圆片的自动升降吸附机构，包括水平固定安装在机架上的上加热板(8)，在上加热板(8)的下方设置有下加热台板(1)，下加热台板(1)通过连接支架(7)与上加热板(8)固定连接在一起，其特征在于，在所述的上加热板(8)的中间设置有圆形加热板(9)的安装圆孔，在该安装圆孔中设置有圆形加热板(9)，圆形加热板(9)固定设置在下加热台板(1)上的支架(11)上，在圆形加热板(9)上设置有供空心不锈钢管(10)穿过的孔，在下加热台板(1)的下面固定设置有气缸(3)，气缸(3)的输出轴穿过下加热台板(1)中部的孔伸出到下加热台板(1)的上方，在气缸(3)的输出轴端连接有下针盘(4)，在下针盘(4)上面固定连有上针盘(6)，在下针盘(4)与上针盘(6)的结合面内设置有环形的真空气槽，在上针盘(6)上设置有供不锈钢管(10)插入的孔，该孔与环形的真空气槽连通，在下针盘(4)上设置有真空气嘴，真空气嘴与环形的真空气槽连通，空心不锈钢管(10)穿过圆形加热板(9)上的孔固定设置在上针盘(6)上的供不锈钢管(10)插入的孔中。
2.根据权利要求1所述的晶圆片的自动升降吸附机构，其特征在于，在所述的圆形加热板(9)与上针盘(6)之间设置有三个空心不锈钢管(10)，且该三个空心不锈钢管(10)设置在同一圆周上。
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