CN101745712A - 扩散炉中的统一金属熔合 - Google Patents

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Abstract

不使用粘合压紧以及不使用连续带驱动的炉的喷射层叠的统一金属熔合的方法和设备。该方法可包括将可熔合部件水平层叠在固定装置上并将该固定装置传送到扩散炉的反应室内部。操作员可密封该反应室的内部，以及该扩散炉可将该反应室内部的空气温度增加到预定义的驻留温度以执行第一级熔合持续预定义的驻留时间。随后该扩散炉可将该反应室内部温度增加到预定义的铜焊温度以执行第二级熔合持续预定义的铜焊时间。

Description

扩散炉中的统一金属熔合
背景技术
制造工厂的占地空间是贵重的并且需要额外的费用。不仅每个制造设备占据一定空间，而且定制和维护这些设备也需要资源——包括购买该设备的资金、运转该设备的能源、操作该设备的专业人员以及维护该设备的专业人员，还有别的消费。历史上，打印机喷射层叠的制造需要使用多个制造设备，如高压粘合压紧(bond press)和连续带式炉。
打印机喷射层叠(jet stack)的制造包括多个步骤。通常，多个喷射层叠板使用高压粘合压紧结合在一起以使这些板粘结在一起。这个粘合压紧是能够对这些喷射层叠板施加大约每平方英寸3000磅压力的大型设备。一旦这些喷射层叠板粘合，操作者、工程师或者其他有资质的技术人员将该喷射层叠板从该粘合压紧去除并将喷射层叠板传送到另一大型设备，即连续带式炉。该连续带式炉将喷射层叠板铜焊为整体的、熔合在一起的、气密密封的板。该熔合在一起的板产生用于打印机的铜焊的喷射层叠。该铜焊的喷射层叠在熔合的板内包括对齐的通道用于喷出油墨。
使用一种从根本上讲力学方式的工艺，该粘合压紧使得喷射层叠板材料变软并增加它们的表面积。该粘合压紧使用高压低温环境使这些喷射层叠板粘结(待熔合的面向对)。该工艺产生基本上对齐的喷射层叠板，然后可以将其插入该连续带式炉用于单独的铜焊过程。然而，该粘合压紧庞大、运行昂贵，并且已知会导致金属污染，还有别的一些问题。
发明内容
在一个实施例中，提供使用扩散炉的统一金属熔合的方法。该方法包括：将多个可熔合部件层叠在固定装置上；通过固定于该固定装置的销对齐该可熔合部件；将带有该对齐的可熔合部件的固定装置设在该扩散炉的反应室；在预定义的驻留温度执行第一级熔合持续预定义的驻留时间；以及在预定义的铜焊温度执行第二级熔合持续预定义的铜焊时间。
在另一实施例中，提供固定装置，其包括：多个从该固定装置的表面突出的陶瓷销，该陶瓷销构造为对齐多个可熔合部件；至少三个区域，限定为用于该可熔合部件的可层叠区，每个区域由该固定装置中的开口隔开；以及在该固定装置的表面下方的多个支撑元件以提供对该固定装置和该可熔合部件的结构支撑，其中该固定装置构造为可插入扩散炉以将该可熔合部件熔合为至少一个熔合的部件。
在又一实施例中，提供使用扩散炉的统一金属熔合的方法，该方法包括：将多个喷射层叠板层叠在固定装置上；通过固定于该固定装置的销钉对齐该喷射层叠板；将带有对齐的喷射层叠板的该固定装置设在该扩散炉的反应室中；在预定义的驻留温度执行第一级熔合持续预定义的驻留时间以将一个喷射层叠板的硅(Si)熔合于另一喷射层叠板的金(Au)；以及在预定义的铜焊温度执行第二级熔合持续预定义的铜焊时间已将该一个喷射层叠板的锰(Mn)和铁(Fe)熔合于其他喷射层叠板的金(Au)。
附图说明
图1示出按照本发明一个实施例，层叠可熔合部件(如喷射层叠板)，以准备在扩散炉中进行统一金属熔合的示例性固定装置的立体视图。
图2示出稍微示意性的图，说明按照本发明另一实施例，将喷射层叠板布置成套件(kits)以及设在该套件之间的陶瓷板，从而该喷射层叠板和该陶瓷板通过固定在图1的固定装置上的销对齐，并且层叠在图1的固定装置表面上。
图3示出按照本发明又一实施例，图2中两个层叠的喷射层叠板一部分的正视图。
图4示出图1的示例性固定装置连同图2中层叠的并使用陶瓷销对齐的喷射层叠板和陶瓷板柱体的立体图。
图5示出图1的示例性固定装置连同图2中层叠的并使用陶瓷销对齐的喷射层叠板和陶瓷板的正视图。
图6示出扩散炉的示例，包括外壳、反应室、可移动炉加热元件和夹持如图2-5所示的该喷射层叠和陶瓷板的固定装置，以及用于将该固定装置插入该反应室的装载臂。
图7示出已经插入图6所示的该反应室的夹持图2-5所示的该喷射层叠和陶瓷板的固定装置的示例，以及该可移动炉加热元件处于与该扩散炉的该反应室分隔开的位置。
图8示出处于充分靠近该扩散炉的该反应室位置的该可移动炉加热元件的示例。
图9示出说明按照本发明一些实施例可在制造喷射层叠中进行的某些步骤的流程图。
图10示出说明按照本发明一些实施例，可在制造喷射层叠中进行的其他步骤的流程图。
具体实施方式
本发明的实施例排除了使用设备的粘合压紧段和设备的连续带式炉段两者，而是用使用扩散炉的统一金属熔合工艺替代它们。该统一金属熔合工艺允许可熔合部分对齐以及不需要粘合压紧和连续带式炉而熔合在一起。例如，该统一金属熔合工艺可在与传统方法大约相同的时间内产生熔合在一起的气密密封喷射层叠，但是使用更少占地、较低成本以及更清洁的设备。本发明的这些和其他创新性方面从下面对附图的详细描述中更容易理解。
图1示出按照本发明一个实施例用于层叠可熔合部件(如喷射层叠板)以准备在扩散炉中进行统一金属熔合的示例性固定装置105的立体图。
该固定装置105可包括从表面108突出的定位销110。该定位销110可包括陶瓷，该固定装置105可包括不锈钢材料。该定位销110使用陶瓷材料的目的将在下面参照图2-5解释。关于该固定装置105使用不锈钢，该固定装置105也可使用石英而不是不锈钢。然而，优选使用不锈钢，因为其具有更好的热传递特性。如下面将进一步讨论的，该统一金属熔合工艺包括剧烈的温度变化，而由石英制成的固定装置在这样的环境中没有不锈钢稳定。况且，使用不锈钢固定装置导致更高的可接受的喷射层叠成品率。尽管除不锈钢、石英和陶瓷以外的材料也可用来构建固定装置105和定位销110，但是当该固定装置105包括不锈钢和该定位销110包括陶瓷时，可实现提高的成品率。
该固定装置105可包括至少三个区域，其限定可层叠区115、120和125。每个区域包括两个布置为充分隔开的定位销110，如图1所示。如后面所讨论的，操作员、工程师或其他有资质的技术人员可在该可层叠区115、120或125上层叠可熔合部件(如喷射层叠板，或其他板，如陶瓷板)并与该定位销110对齐。尽管该固定装置105示出三个限定可层叠区的区域，但是该固定装置105可包括少于三个或多于三个限定该可层叠区的区域。
该固定装置105可包括开口130和135，以促进该统一金属熔合工艺期间均匀的热量分布。该固定装置105还可包括该固定装置105的表面108下方的支撑元件140，以提供对该固定装置105和该可熔合部件(未示)的结构支撑。该固定装置105可插入扩散炉以将这些可熔合部件(未示)熔合为至少一个熔合的部件，如下面进一步解释的。
图2示出稍微示意性的图表，说明按照本发明另一实施例，将该喷射层叠板210布置成套件205(最终产生喷射层叠205)，以及设在该套件205之间的分隔板220，从而该喷射层叠板210和该分隔板220通过固定于图1的该固定装置105的定位销110对齐，并层叠在图1的该固定装置105的该表面108上。
在这个实施例中，操作员、工程师或其他有资质的技术人员可将可熔合部件210层叠在该固定装置105上，同时通过固定于该固定装置105上的定位销110对齐该可熔合部件210。该可熔合部件210可以是例如喷射层叠板，各该喷射层叠板具有镀有第二金属的第一金属。该喷射层叠板的该第一金属可包括镀有该第二金属(其可以是金)的该不锈钢。或者，该可熔合部件210可以是别的类型的装置的部件，如硬盘驱动器、电路板或任何其他类型的需要在统一金属熔合工艺中熔合在一起的部件。为了容易引用，该可熔合部件210在这里一般称为喷射层叠板210。
该操作员或其他有资质的技术人员可将该喷射层叠板210布置成套件205，每个套件205包括大约16到22个喷射层叠板210，对应于一个喷射层叠205。在层叠这些套件205的同时，该操作员或其他有资质的技术人员可在每个套件205之间设置具有预先确定厚度的分隔板220，并且还可将顶板215设在这些套件205上。该顶板215可具有大于该分隔板220厚度的预定义的厚度。
该分隔板220和该顶板215优选地由陶瓷组成，因为由不锈钢、氮化钛或其他类似材料制成的板有粘结在喷射层叠板210之间暴露的少量金(未示)，或粘结该喷射层叠板210其他部件的倾向。这会导致该喷射层叠板210与该板220或该顶板215之一之间不希望的熔合。尽管在无意熔合在一起之后可以分离，但是这样的分离努力仍然会因为分离努力所导致的损害而产生不可用的喷射层叠。出于类似的原因(例如，防止该喷射层叠板210与该定位销110粘结)，该定位销110也可由陶瓷组成。
优选地，该陶瓷板220、该陶瓷顶板215和该陶瓷定位销110具有纯度不大于大约96％的陶瓷。陶瓷通常由氧化铝组成。如果使用更高纯度的陶瓷，如99％的陶瓷，那么该陶瓷板220、该陶瓷顶板215和该陶瓷定位销110的寿命会更快地衰退。因此，当经受该统一金属熔合工艺的高温氢环境时，该低纯度陶瓷提供比高纯度陶瓷更长的寿命，这导致更换部件的频率显著降低，并且导致与制造该喷射层叠205相关的成本总体降低。
进而，该陶瓷板220和该陶瓷顶板215可包括凹槽112，以便于这些板沿该定位销110对齐。换句话说，这些凹槽112可允许该陶瓷板220和该陶瓷顶板215容易在该喷射层叠板210上方或其间滑动，以便在统一熔合工艺期间保持该喷射层叠板210之间的对齐。
图3示出按照本发明又一实施例，图2中两个层叠的喷射层叠板一部分的正视图。该喷射层叠板210的金属305和315可包括不锈钢，该喷射层叠板210所镀覆的金属310和320可包括金。该统一金属熔合工艺可包括在扩散炉中在预定义的驻留温度(优选地大约600摄氏度)进行第一级熔合持续预定义的驻留时间(优选地大约20分钟)。尽管预定义的驻留温度是大约600摄氏度，但是也可以使用别的足以在该不锈钢和该金的组成的一个或多个元件之间产生初始粘合的驻留温度。
例如，该第一级熔合可使得至少一个由该不锈钢315组成的元件与该金310熔合。该第一级熔合在不使用粘合压紧的情况下形成该不锈钢315与该金310的粘合。换句话说，在这个例子中，取消了该粘合压紧，并该喷射层叠板210反而是由于低程度熔合驻留而不是通过高压(主要是机械方式)粘合过程来彼此粘合。更具体地，该不锈钢315可包括多种多样的元素，如铁(Fe)、锰(Mn)和硅(Si)。该第一级熔合可将该不锈钢315的硅(Si)与该金310熔合，但是该不锈钢315的其他元素仍保持非熔合。这实际上是在执行该喷射层叠板210的第二级熔合之前的预备步骤，以便将该喷射层叠板210在优选的对准位置互相粘结。
该喷射层叠板210的第二级熔合可包括在预定义的铜焊温度(优选地大约1100摄氏度)熔合持续预定义的铜焊时间(优选地大约4分钟)。例如，该第二级熔合可将该不锈钢315的铁(Fe)和锰(Mn)以及别的可能的元素熔合于金310，从而该喷射层叠板210铜焊在一起以形成喷射层叠。
图4示出图1的该示例性固定装置连同层叠的并使用该陶瓷销110对齐的布置在205中的该喷射层叠板210、该陶瓷板220和该陶瓷顶板215组成的柱体的立体图。该操作员或其他有资质的技术人员可水平地层叠该喷射层叠板210、该陶瓷板220和该陶瓷顶板215，从而它们平行于该固定装置105的表面108。
如图4所示，该陶瓷销110可构建为将该喷射层叠板220、该陶瓷板220和该陶瓷顶板215对齐成形成在该固定装置105的表面108上的柱体115、120和125。每个喷射层叠板柱体对应至少三个区域115、120和125之一。喷射层叠板柱体也可以在少于或多个三个区域中形成，取决于下面的固定装置105的结构或布置。每个柱体115、120或125可包括一个或多个喷射层叠板210的套件205，每个套件205由对应一个喷射层叠的一些喷射层叠板210组成。优选地，每个柱体115、120和125包括大约10个喷射层叠板210组成的喷射层叠套件205。
该陶瓷板220可设在这些套件205的每个之间，如之前在上面所解释的，以及该陶瓷顶板215可设在这些套件205上。该陶瓷顶板215在该统一金属熔合工艺过程中增加热保护的等级并且将能量保持在该喷射层叠板210中。扩散炉(在下面参照图6-8讨论)在对应于该喷射层叠板210、该陶瓷板220和该陶瓷顶板215的重量的相对低的压力下执行该第一级熔合和该第二级熔合，以便降低表面该多个喷射层叠板的表面损害。换句话说，相比粘合压紧(其施加3000psi以上的压力)，该统一金属熔合工艺在仅相当于几克重量的压力下进行该第一级熔合和第二级熔合两者。
图5示出图1的该示例性固定装置连同图2中层叠并使用该陶瓷销110对齐的组成套件205的该喷射层叠板210和陶瓷板220/215形成柱体115、120和125的正视图。图5还示出支撑元件140的正视图，其位于该固定装置105的表面108下方以提供对该固定装置105和该可熔合部件(如该喷射层叠板210)的结构支撑，并且提升该固定装置105从而在该统一金属熔合工艺过程中热量可以围绕该喷射层叠板210均匀分布。
图6示出扩散炉600的示例，包括外壳601、反应室603、可移动炉加热元件609、夹持如图2-5所述的该喷射层叠和陶瓷板的该固定装置105和用于将该固定装置插入该反应室603的装载臂623。该反应室603可以是石英管。经过培训使用该扩散炉600的操作员、工程师或其他有资质的技术人员可将该固定装置105传送到清洁室的其他位置以将该喷射层叠板210连同陶瓷板220和215(它们都使用定位销110对齐)层叠在该固定装置105上形成套件205。一旦该操作员或其他有资质的技术人员将该喷射层叠板和陶瓷板组装在该固定装置105上，那么他或她可返回并将该固定装置105设在该装载臂623上并使用该装载臂623将该固定装置105插入设在该扩散炉600的该外壳601中的、准备好进行该统一金属熔合工艺的反应室603。该操作员或其他有资质的技术人员然后可使用端帽626密封该扩散炉600的反应室603。
该扩散炉600构造为多种不同气体可以流进流出该反应室603。该反应室603保持在基本上固定的位置，而该可移动炉加热元件609可从与该反应室603隔开的位置移动到充分靠近该反应室603的位置。当该扩散炉600将移动炉加热元件609朝向该反应室603时，该反应室603内的空气温度快速增加。相反，当该扩散炉600移动该炉加热元件609远离该反应室603，该反应室603内的空气温度会降低。
通常，该可移动炉加热元件609大部分时间都与该反应室603隔开，并一般只在该扩散炉600根据预定义的该统一金属熔合工艺条件调整了该反应室603内部的空气之后移向该反应室603。该扩散炉600可在该可移动炉加热元件609处于与该反应室603隔开的位置时对其预热，并且可以基本上将该可移动炉加热元件609保持在预定义的温度，或根据预定义的驻留温度或预定义的铜焊温度增加该温度。
一旦将该固定装置105设在该反应室603，该扩散炉600可着手执行一系列动作从而形成该喷射层叠205，如下面将要讨论的。
图7示出插入图6的反应室603的支撑图2-5所示的喷射层叠和陶瓷板的固定装置105的示例，并且该可移动炉加热元件609处于与该扩散炉600的反应室603隔开的位置。在该操作员或其他有资质的技术人员将该固定装置105插入该反应室603并使用该端帽623密封该反应室603之后，开始该统一金属熔合工艺。例如，该扩散炉600可以基本上清除该反应室603的全部氧气(O2)，并且基本上用氢气(H2)填充该反应室603。在大约这个时间，该扩散炉600开始朝该反应室603移动该可移动炉加热元件609以将该反应室603里面的空气温度增加到预定义的驻留温度(大约600摄氏度)。该扩散炉600随后可在还原氢气(H2)气体环境中进行第一级熔合。或者，该炉600可在还原氢气(H2)/氮气(N2)混合气体环境执行该第一级熔合。
图8示出该可移动炉加热元件609处于充分靠近该扩散炉600的反应室603的位置的示例。当该可移动炉加热元件609设为靠近该反应室603时，该反应室603的空气温度优选地增加到大约600摄氏度，如上面所提到的。该扩散炉600可执行该第一级熔合持续预定义的驻留时间(大约20分钟)，之后该炉加热元件609可提高该反应室603的温度值到预定义的铜焊温度(大约1100摄氏度)持续预定义的铜焊时间(大约4分钟)。该第二级熔合可将该喷射层叠205的单独的喷射层叠板210围绕该喷射层叠205内对齐的孔完全熔合在一起。
当该扩散炉600完成将该第一级熔合和该第二级熔合应用于该喷射层叠205，以及该扩散炉600移动该炉加热元件609远离该反应室603以将反应室603冷却到大约室温时，该操作员或其他有资质的工程师可开封该反应室603的内部并将包括该喷射层叠205的该固定装置105从该反应室603去除。因此，该喷射层叠205可以在单个批次形成，而不用粘合压紧，也不用连续带驱动的炉。
图9示出说明按照本发明一些实施例可在制造喷射层叠中进行的某些步骤的流程图。在905，该操作员、工程师或其他有资质的技术人员可将喷射层叠板(例如，210)水平层叠在固定装置(例如，105)上。在910，该操作员可通过固定于该固定装置(例如，105)的定位销(例如，110)对齐该喷射层叠板(例如，210)。该对齐可在该层叠的大约同时进行。之后，在915，该操作员可将带有对齐的喷射层叠板(例如，210)的该固定装置(例如，105)放入扩散炉(例如，600)的反应室(例如，603)中。
在920，该扩散炉(例如，600)可增加该反应室(例如，603)中空气温度。在925，该扩散炉(例如，600)可确定该空气温度是否增加到预定义的驻留温度(大约600摄氏度)。如果没有，那么在920，该温度将持续增加直到到达该驻留温度。一旦该反应室(例如，603)中的空气到达该预定义的驻留温度，该扩散炉(例如，600)可在该预定义的驻留温度执行第一级熔合持续预先确定的驻留时间(大约20分钟)。
在935，该扩散炉(例如，600)可再次增加该反应室(例如，603)的空气温度。在这个例子中，该可移动炉加热元件(例如，609)可在温度进一步增加的同时保持在充分靠近该反应室(例如，603)的位置。在940，该扩散炉(例如，600)可确定该反应室(例如，603)中空气温度是否已经增加到该预定义的铜焊温度(大约1100摄氏度)。如果没有，那么该温度可在935继续增加直到达到该铜焊温度。一旦该反应室(例如，603)中的空气达到该预定义的铜焊温度，该扩散炉(例如，600)可在该预定义的铜焊温度执行第二级熔合持续预先确定的铜焊时间(大约4分钟)。
图10示出说明按照本发明一些实施例，可在制造喷射层叠中进行的其他步骤的流程图。在1005，该操作员、工程师或其他有资质的技术人员可将喷射层叠板(例如，210)布置成套件(例如，205)，每个套件对应于一个喷射层叠(例如，205)。在1010，该操作员或其他有资质的技术人员可将具有第一厚度的陶瓷板(例如，220)设在各该套件(例如，205)之间。该操作员可将这些套件(例如，205)和该陶瓷板(例如，220)水平层叠在不锈钢固定装置(例如，105)上。实际上来说，将该喷射层叠板(例如，210)布置成套件(例如，205)可在将该陶瓷板(例如，220)设在这些套件(例如，205)之间以及将这些套件(例如，205)和该陶瓷板(例如，220)层叠在该不锈钢固定装置(例如，105)上的同时进行。
在1020，该操作员可将厚度大于该第一厚度的陶瓷顶板(例如，215)设在该套件(例如，205)上。在1025，可使用固定于该不锈钢固定装置(例如，105)的该定位销(例如，110)来对齐该套件(例如，205)和该陶瓷板(例如，210)。在1030，该操作员可将该固定装置(例如，105)设在装载臂(例如，623)上，并将该固定装置(例如，105)装载进该扩散炉(例如，600)的反应室(例如，603)。之后，在1035，该扩散炉(例如，600)可在该预定义的驻留温度(大约600摄氏度)执行第一级熔合持续预先确定的驻留时间(大约20分钟)。最后，该扩散炉(例如，600)可在该预定义的铜焊温度(大约1100摄氏度)执行第二级熔合持续该预先确定的铜焊时间(大约4分钟)。

Claims (10)

1.使用扩散炉的统一金属熔合的方法，包括：
将多个可熔合部件层叠在固定装置上；
通过固定于该固定装置的销对齐该可熔合部件；
将带有该对齐的可熔合部件的固定装置放入该扩散炉的反应室；
在预定义的驻留温度执行第一级熔合，持续预定义的驻留时间；以及
在预定义的铜焊温度执行第二级熔合，持续预定义的铜焊时间。
2.根据权利要求1所述的方法，其中：
该可熔合部件包括多个喷射层叠板，各该喷射层叠板具有镀有第二金属的第一金属；
执行该第一级熔合包括将一个喷射层叠板的该第一金属的至少一个元素与另一喷射层叠板的该第二金属熔合，并在不使用粘合压紧的情况下在该第一金属的该至少一个元素和该第二金属之间形成粘合；以及
执行该第二级熔合包括将该一个喷射层叠板的该第一金属的至少另一元素与该其他喷射层叠板的该第二金属熔合。
3.根据权利要求2所述的方法，其中执行该第一级熔合包括在不使用粘合压紧的情况下，在该第一金属的该至少一个元素与该第二金属之间形成粘合。
4.根据权利要求2所述的方法，其中层叠进一步包括：
将该多个喷射层叠板布置成套件，每个套件对应于一个喷射层叠；
将具有第一厚度的分隔板设在各该套件之间；以及
将具有大于该陶瓷板的第一厚度的第二厚度的陶瓷顶板设在该套件上，以及
其中执行该第一和第二级熔合包括在对应于该喷射层叠板、该陶瓷板和该陶瓷顶板重量的相对低压下熔合，以便降低该多个喷射层叠板的表面损伤。
5.根据权利要求1所述的方法，其中：
该预定义的驻留温度是大约600摄氏度；
该预定义的驻留时间是大约20分钟；
该预定义的铜焊温度是大约1100摄氏度；和
该预定义的铜焊时间是大约4分钟。
6.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：
基本上排空该扩散炉的反应室的氧气(O2)；
基本上将该反应室填充氢气(H2)；以及
在还原氢气(H2)气体环境中执行该第一级熔合和第二级熔合。
7.一种固定装置，包括：
多个从该固定装置表面突出的陶瓷销，该陶瓷销构造为对齐多个可熔合部件；
至少三个限定用于该可熔合部件的可层叠区的区域，每个区域通过该固定装置中的开口隔开；以及
在该固定装置表面下方的多个支撑元件，以提供对该固定装置和该可熔合部件的结构支撑，
其中该固定装置构造为能够插入扩散炉以将该可熔合部件熔合为至少一个熔合的部件。
8.根据权利要求7所述的固定装置，其中：
该固定装置包括不锈钢；
该可熔合部件包括喷射层叠板；以及
该至少一个熔合的部件包括至少一个喷射层叠。
9.根据权利要求7所述的固定装置，其中：
该陶瓷销构造为将多个喷射层叠板对齐为柱体；
每个柱体对应该至少三个区域之一并包括多个套件，每个套件包括对应于一个喷射层叠的一些喷射层叠板；以及
该陶瓷销构造为对齐设在各该多个套件之间的多个陶瓷板。
10.使用扩散炉进行统一金属熔合的方法，包括：
将多个喷射层叠板层叠在固定装置上；
通过固定于该固定装置的销对齐该喷射层叠板；
将具有对齐的喷射层叠板的固定装置放入该扩散炉的反应室中；
在预定义的驻留温度下执行第一级熔合，持续预定义的驻留时间，以将一个喷射层叠板的硅(Si)与另一层叠板的金(Au)熔合；以及
在预定义的铜焊温度执行第二级熔合，持续预定义的铜焊时间，以将该一个喷射层叠板的锰(Mn)和铁(Fe)与其他喷射层叠板的金(Au)熔合。
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