CN101745286A - 废气处理装置及其处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种使用了活性炭及/或催化剂的排臭氧处理装置，其能够将排臭氧安全地降低至规定值以下，从而能够提高可靠性，降低设备及运行成本。在该排臭氧处理装置中，包含臭氧等的废气流入流路，流向活性炭塔。在活性炭塔中，利用活性炭分解在废气中含有的臭氧等气体。利用在所分解的废气的流路设置的气体浓度计测定臭氧气体浓度后，在空气等稀释气体流入的分支流路中，利用空气稀释包含臭氧的废气，利用鼓风机向大气中排放。控制装置基于气体浓度计的测定值、从输入机构接收的设定值即大气排放臭氧限制值(CA)以及活性炭着火的臭氧浓度(CH)，进行警报的发送(9)、废气的流入阻断(10)、气体流路的切换以及稀释用空气的流路调节(19)等。

Description

废气处理装置及其处理方法

技术领域

本发明涉及处理包含臭氧、二噁英类、臭气等气体的废气的装置，尤其涉及将含有这些气体的废气利用活性炭及/或催化剂来处理，或利用空气等稀释而处理的废气处理装置及处理方法。

背景技术

臭氧气体在上下水的消毒及除臭、工厂排水的处理、除臭装置等中广泛利用。另一方面，臭氧为作为大气污染物质的光化学氧化剂的主成分，对人体或植物产生不良影响，因此，需要极力除去未利用的臭氧(以下，称为排臭氧)。根据与大气污染有关的环境基准，光化学氧化剂按1小时值规定为0.06ppm以下。

在排臭氧的处理方法中，有用活性炭吸附及分解的方法、用催化剂分解的方法、加热并使臭氧自分解的方法、用药液清洗的方法等，考虑处理效果、维持管理性、经济性等而进行选择。

作为处理臭氧的以往技术，例如，在非专利文献1中，公开有用活性炭吸附·分解的方法，根据该公开技术可知，具有能够可靠地处理臭氧，维持管理上也仅为活性炭的替换和追加，不需要加热或废液处理等优点，并正在广泛利用。但是，在数100ppm的高浓度的排臭氧流入的情况下，存在伴随急剧的氧化反应，导致着火的危险，因此，需要避免该危险的措施。

在非专利文献1中，公开有在排臭氧入口的后级依次连接有雾分离器、催化剂用加温加热器、锰催化剂塔、活性炭塔、鼓风机的排臭氧分解装置的例子。锰催化剂与活性炭相比，能够分解高浓度的臭氧。通过锰催化剂，流入活性炭的气体中的臭氧浓度降低至0.1ppm以下，活性炭是用于进而可靠地降低至0.06ppm以下的备用安置。在该例子中，以净水处理为对象，入口的排臭氧浓度设定为最大4g/Nm³。

另外，作为处理臭氧的以往技术，例如，在专利文献1中，公开了与上述非专利文献1的处理装置相同地，在催化剂塔的后级配置了活性炭塔的废气处理装置中，测定从催化剂塔流出的气体的臭氧浓度，发出警报的方法。在该专利文献1的方法中，检测催化剂的臭氧分解性能的降低，更换催化剂，由此能够避免包含高浓度的臭氧的废气流入活性炭塔的情况。

【非专利文献1】[水道设施设计指南]、发行所日本水道协会平成12年3月31日发行、318页～321页；

【专利文献1】日本特开平11-70321号公报。

还有，在进行将包含臭氧的废气再次注入被处理水等的再利用运行的情况下，或在污水或废除工厂等处理中使用臭氧的情况下，根据运行条件或非处理水的水质，使排臭氧浓度成为100ppm以下左右的低浓度。例如，由发明人等进行的、作为消毒和脱色·除臭为目的而将污水二次处理水进行臭氧处理的实验中，排臭氧浓度最大也为50ppm以下，平均为约20ppm。这样，排臭氧浓度比使活性炭着火的浓度(例如数100ppm)充分低的情况下，可以仅用活性炭进行排臭氧处理。

不限于此，作为这种情况下的排臭氧处理装置，使用上述非专利文献1或专利文献1中示出的、包含催化剂和活性炭的结构的情况下，需要催化剂用加温加热器的运行成本或催化剂塔的设备成本及催化剂的维持管理。

另外，排臭氧处理后的处理气体的臭氧浓度需要维持在限制值以下，但限制值低到0.06ppm，为了直接测定而发出警报，需要在比该限制值充分低的浓度下也能够感测的高灵敏度且高价的臭氧浓度计。

发明内容

本发明的目的在于为了解决上述以往技术问题而提供一种排臭氧处理装置及处理方法，在排臭氧处理装置中使用了活性炭及/或催化剂，该排臭氧处理装置及处理方法将排臭氧安全地降低至规定值以下，且降低设备成本及运行成本，对于除去排臭氧可靠性高，且经济性良好。

为了解决所述问题，本发明主要采用如下所述的结构。

一种废气处理装置，其具备：用活性炭及/或催化剂对限制向大气排放的废气进行分解的废气分解塔；将在所述废气分解塔分解的气体向大气排放的送风机；在所述送风机的上游侧使空气、氮气等非除去对象气体与所述废气的流路连通的稀释气体配管；在所述废气的流路设置的计测废气浓度的气体浓度计；基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值，指示气体浓度的警报的控制部，其中，所述气体浓度计配置于在所述废气分解塔分解了所述废气的分解处理后的废气的流路，并且，配置于所述稀释气体配管的上游侧，计测稀释前的废气浓度，所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为大气排放的气体浓度限制值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的规定值时，指示警报。

另外，一种废气处理装置，其具备：用活性炭及/或催化剂对限制向大气排放的废气进行分解的废气分解塔；将在所述废气分解塔分解的气体向大气排放的送风机；在所述送风机的上游侧使空气、氮气等非除去对象气体与所述废气的流路连通的稀释气体配管；在所述废气的流路设置的计测废气浓度的气体浓度计；基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值，指示气体浓度的警报的控制部，其中，所述气体浓度计配置于所述稀释气体配管的上游侧，计测稀释前的废气的浓度，在所述稀释气体配管连接后的废气的流路设置有三通阀，该三通阀形成经由所述废气分解塔与所述送风机连接的第一流路和直接与所述送风机连接的第二流路，所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为大气排放的气体浓度限制值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第一规定值时，指示所述三通阀从所述第二流路切换为所述第一流路，进而，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第二规定值时，所述控制部指示警报。

另外，一种废气处理装置，其具备：用活性炭及/或催化剂对限制向大气排放的废气进行分解的废气分解塔；将在所述废气分解塔分解的气体向大气排放的送风机；在所述送风机的上游侧使空气、氮气等非除去对象气体与所述废气的流路连通的稀释气体配管；在所述废气的流路设置的计测废气浓度的气体浓度计；基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值，指示气体浓度的警报的控制部，其中，所述气体浓度计配置于所述稀释气体配管的上游侧，计测稀释前的废气的浓度，在所述稀释气体配管连接后的废气的流路设置有三通阀，该三通阀形成经由作为所述废气分解塔的活性炭塔与所述送风机连接的第一流路和经由作为所述废气分解塔的催化剂塔与所述送风机连接的第二流路，所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为大气排放的气体浓度限制值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第一规定值时，指示警报，进而，所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为所述活性炭塔的活性炭着火的着火浓度值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第二规定值时，指示所述三通阀从所述第一流路切换为所述第二流路。

另外，一种废气处理方法，其为具备用活性炭对限制向大气排放的废气进行分解的活性炭塔、将在所述活性炭塔分解的气体向大气排放的送风机、在所述送风机的上游侧使空气、氮气等非除去对象气体与所述废气的流路连通的稀释气体配管、设置于所述废气的流路并计测废气浓度的气体浓度计、以及基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值来指示气体浓度的警报的控制部的处理废气的处理方法，其中，从所述输入操作机构向所述控制部预先输入大气排放的气体浓度限制值和所述活性炭塔中的活性炭着火的着火浓度值，接着，输入由所述气体浓度计计测的气体浓度，当判断为根据所述计测的气体浓度和所述活性炭的废气分解能力算出的换算气体浓度值达到比所述着火浓度值小的规定值时，进行指示以阻断向所述活性炭塔输入废气，进而，在判断为所述计测的气体浓度值达到比根据所述大气排放的气体浓度限制值和稀释倍率算出的算出值小的规定值时，指示警报。

根据本发明，在使用了活性炭及/或催化剂的排臭氧处理装置中，根据利用空气等进行稀释前的处理气体(用活性炭等进行了排臭氧处理后的气体)的浓度和流量以及空气等稀释气体的流量的计测值或实验值来预测稀释后的气体的臭氧浓度，并根据该臭氧浓度进行警报的发送、废气的流入阻断、气体流路的切换等，从而能够将排臭氧的浓度降低至规定值以下。这样，由于在利用空气等进行稀释前测定，所以臭氧浓度计的灵敏度低也无妨，由此，能够降低设备成本，提高经济性。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的废气处理装置的整体结构的处理工序图。

图2是表示第一实施方式的废气处理装置的处理方法的流程图。

图3是表示本发明的第二实施方式的废气处理装置的整体结构的处理工序图。

图4是表示第二实施方式的废气处理装置的处理方法的流程图。

图5是表示本发明的第三实施方式的废气处理装置的整体结构的处理工序图。

图6是表示第三实施方式的废气处理装置的处理方法的流程图。

图7是表示第三实施方式的废气处理装置的整体结构的变形例的处理工序。

图8是表示本发明的第四实施方式的废气处理装置的整体结构的处理工序。

图9是表示第四实施方式的废气处理装置的处理方法的流程图。

图中：1-废气；2-流路；3-臭氧浓度计；4-活性炭塔；5-流路；6-鼓风机；7-控制装置；8-输入机构；9-警报装置；10-废气产生源控制装置；11-分支流路；12-三通阀；13-流路；14-催化剂塔；15-流路；16-流量计；17-分支流路；18-流量计；19-流量调节阀。

具体实施方式

以下，参照图1～图9详细说明本发明的实施方式的废气处理装置。图1是表示本发明的第一实施方式的废气处理装置的整体结构的处理工序图。图2是表示第一实施方式的废气处理装置的处理方法的流程图。图3是表示本发明的第二实施方式的废气处理装置的整体结构的处理工序图。图4是表示第二实施方式的废气处理装置的处理方法的流程图。

另外，图5是表示本发明的第三实施方式的废气处理装置的整体结构的处理工序图。图6是表示第三实施方式的废气处理装置的处理方法的流程图。图7是表示第三实施方式的废气处理装置的整体结构的变形例的处理工序。图8是表示本发明的第四实施方式的废气处理装置的整体结构的处理工序。图9是表示第四实施方式的废气处理装置的处理方法的流程图。

在附图中，1表示废气，2表示流路，3表示臭氧浓度计，4表示活性炭塔，5表示流路，6表示鼓风机，7表示控制装置，8表示输入机构，9表示警报装置，10表示废气产生源控制装置，11表示分支流路，12表示三通阀，13表示流路，14表示催化剂塔，15表示流路，16表示流量计，17表示分支流路，18表示流量计，19表示流量调节阀。

[第一实施方式]

首先，在本发明的实施方式中，以下例示废气处理的除去对象为废气中含有的臭氧的情况而进行说明，但本发明不限于臭氧，作为用活性炭及/或催化剂进行处理的气体，除了臭氧以外，还可以举出二噁英类、臭气，这些气体为受限制而不能直接向大气排出的限制气体，本发明还可适用于这些气体。

在图1所示的排臭氧处理工序中，废气1通过流路2，流入活性炭塔4。在活性炭塔4中，利用填充的活性炭，将在废气1中含有的臭氧分解。然后，废气1作为处理气体向流路5流出(将废气中的臭氧被活性炭等分解后的气体称为处理气体)，其一部分流入臭氧浓度计3，测定臭氧浓度后，再次合流。接着，通过从与流路5连接的分支流路11注入的空气、氮气等非臭氧气体来稀释后，利用鼓风机6向大气中排放。

另外，控制装置7与臭氧浓度计3、输入机构8、警报装置9、及废气产生源控制装置(利用臭氧执行消毒或除臭等的装置的控制装置)10连接。控制装置7比较从臭氧浓度计3接收的臭氧浓度的测定值C和从输入机构8接收的警报发信值CA，在测定值C高的情况下，向警报装置9发送信号，从警报装置9发出警报。在此，警报发信值CA为由输入机构8设定的值，例如，可以设定为与比作为光化学氧化剂的限制值的0.06ppm小的适当的值对应的值(警报发信值CA是对应于臭氧浓度计3的计测值而进行比较的值，是与小于上述限制值的适当值对应的稀释前的值)。

另外，控制装置7比较由输入机构8设定的上限值CH(CH＞CA)和测定值C，在测定值C高的情况下，向废气产生源控制装置10输送信号，利用废气产生源控制装置10，阻断废气的向流路2的流入。上限值CH例如可以设定为与比活性炭塔4入口中的臭氧浓度达到活性炭着火浓度的值小的适当的值对应的值(上限值CH是对应于臭氧浓度计3的计测值而进行比较的值，是与小于所述着火浓度的适当值对应的分解前的值)。

警报发信值CA为比上限值CH低的值，例如，可以使用如下所示的数学式1来设定。

CA＝Ce(F1+F2)/F1  (数学式1)

在数学式1中，CA为警报发信值，Ce为向大气中排放的臭氧浓度，F为废气1的流量，F2为分支流路11的非臭氧气体的流量。就F1及F2来说，可以在流路2及分支流路11设置流量计，用控制装置7获得其测定值，另外，也可以使用预先在设计时测定的规定值。

还有，F1和F2可以为在设计时预先规定的已测定的规定值。在图1的例示中，将稀释气体配管向大气开放，基于鼓风机6的吸引能力、废气的配管及稀释气体配管的管径、以及废气配管的压损来预先确定，详情后述。在此，(F1+F2)/F1表示稀释倍率。利用该稀释倍率和Ce，由输入机构8设定警报发信值CA。在此，发出警报起着向作业人员报知气体浓度与大气排放限制值相比为高、并催促更换活性炭塔的活性炭的作用。

进而，当在分支流路11设置流量调节阀19并从警报装置9发出警报时，可以增加流量调节阀19的开度，提高稀释倍率。该开度调节可以由与流量调节阀19连接的控制装置7自动进行，也可以由接收警报的运行人员手动进行。

这样，在本实施方式中，在计测臭氧浓度的部位的废气的下游侧配置有稀释臭氧浓度的稀释用分支流路11，由臭氧浓度计3计测的浓度为稀释前，因此比大气排放的臭氧浓度浓，在所述计测时不需要高灵敏度的浓度计。另外，根据图1所示的处理工序的系统图可知，可以使用活性炭塔4的臭氧分解能力和活性炭塔4下游侧的臭氧浓度计的计测值，实验性预测活性炭塔入口侧的废气流路2中的臭氧浓度。

从而，通过基于流入活性炭塔4的废气的臭氧浓度的换算值(基于换算值设定输入机构8的值)，与警报发信值CA比较判断，能够发出警报，进而，通过与上限值CH比较判断，阻断废气的流入，由此能够避免活性炭的着火，能够提高运行的可靠性。另外，由于不使用催化剂，因此，不需要催化剂用加温加热器的运行成本或催化剂塔的设备成本，能够提高经济性。

还有，在图1所示的处理工序的系统图中，由臭氧浓度计3计测的臭氧浓度(流路5中的处理气体的臭氧浓度)如上所述，能够预测活性炭塔4的上游侧的流路2中的废气1的臭氧浓度并应对，可以以该废气1的臭氧浓度为对象，设定警报值和上限值。若那样，则能够进行避免活性炭着火的警报和阻止废气输入的动作。虽然取决于各条件(例如活性炭的分解能力、稀释的程度)，但通常来说，当废气1中的臭氧浓度上升时，首先达到臭氧的向大气排放的限制值，然后达到活性炭的着火浓度。根据条件，也可以使限制值和着火浓度的到达时刻相反。

根据图2所示的控制装置7的流程图可知，首先，在步骤S1中，接收由输入机构8设定了大气排放的警报发信值CA和其上限值CH的值，在步骤S2中，接收由臭氧浓度计3测定的臭氧浓度C，在步骤S3中，比较C和CH，在C＜CH的情况下进入步骤S5。在步骤S5中，在不是C＜CA时，在步骤S6中发出警报，适当地在步骤S7中增加流量调节阀19的开度地进行控制。另外，在步骤S3中为否的情况下，向废气产生源控制装置10发送信号，阻断废气1的流入。

[第二实施方式]

以下，参照图3和图4，说明本发明的第二实施方式的废气处理装置。将与第二实施方式相关的处理工序示出在图3中，将其处理方法示出在图4中。

如图3所示，废气1流入流路2，其一部分流入与流路2并列连接的臭氧浓度计3，测定臭氧浓度后，再次合流。在该合流后，与用于稀释的非臭氧气体(例如空气)的分支流路11连接。

利用空气等非臭氧气体稀释的废气1虽然取决于臭氧浓度，但原则上流入活性炭塔4。在活性炭塔4中，利用填充的活性炭，分解在废气1中含有的臭氧。然后，废气1向流路5流出，利用鼓风机6向大气中排放。

另外，控制装置7与臭氧浓度计3、输入机构8、警报装置9、及废气产生源控制装置10连接。控制装置7比较从臭氧浓度计3接收的臭氧浓度的测定值C和从输入机构8接收的警报发信值CA，在测定值C高的情况下，向警报装置9发送信号，从警报装置9发出警报。进而，控制装置7比较测定值C和从输入机构8接收的上限值CH，在测定值C高的情况下，向废气产生源控制装置10发送信号，利用废气产生源控制装置10阻断废气的向流路2的流入。

另外，控制装置7比较从输入机构8接收的目标值CL和测定值C，在测定值C低的情况下，向在活性炭塔4的入口侧的流路设置的三通阀12发送信号，将三通阀12向流路13侧切换。其结果是，废气1不通过活性炭塔4，而是流入鼓风机6。此时，稀释后的废气1的臭氧浓度为废气1可以直接在鼓风机6向大气排放而不需要在活性炭塔4进行分解的低浓度，切换三通阀12的信号的目标值CL作为上述低浓度的适当值(CL＜CA)，例如，可以设为大气中的光化学氧化剂的基准值0.06ppm以下的适当的值。在此，分支流路11不是将作为非臭氧气体的空气等强制压入，而是可以根据鼓风机6的吸引力和分支流路的直径尺寸，将一定量吸引流入流路2(还有，在第一实施方式中也可以适用该吸引流入的结构)。在此，目标值CL为比小于大气排放的限制值(0.06ppm)的规定值(发出警报的基准值)更低的适当的值(CH＞CA＞CL)。

这样，基于空气等的稀释流量恒定，因此，可以基于利用臭氧浓度计3的臭氧浓度测定值和恒定的稀释流量，设定换算为不分解臭氧而直接向大气排放的臭氧浓度的目标值CL。

在图4中，步骤S1～S6的处理方法与表示第一实施方式的图2相同，若步骤S8中臭氧浓度测定值C小于目标值CL，则在步骤S9中切换三通阀12，使废气不经由活性炭塔4，而是流过与鼓风机6直接连结的流路13。

如上所述，根据第二实施方式，在利用空气等非臭氧气体进行稀释的上游侧计测臭氧浓度，并采用了三通阀，该三通阀设置在用于稀释的分支流路后，并基于上述计测值来切换向鼓风机的活性炭塔经由连接和直接连接，并基于分支流路的上游侧中的臭氧浓度的测定值，发出警报或阻断废气的流入，由此能够避免活性炭的着火，提高运行的可靠性。另外，由于不使用催化剂，因此，不需要催化剂加温加热器的运行成本或催化剂塔的设备成本，能够提高经济性。

进而，在活性炭塔的废气入口中的臭氧浓度的测定值为目标值以下的情况下，切换气体流路，将稀释后的废气直接向鼓风机输送，由此延迟活性炭的消耗，能够降低活性炭更换所需的维持管理成本。

[第三实施方式]

以下，参照图5和图6，说明本发明的第三实施方式的废气处理装置。将与第三实施方式有关的处理工序示出在图5中，将其处理方法示出在图6中。在本发明的第三实施方式中，其特征在于，仅在测定的臭氧浓度高的情况下，采用填充了臭氧分解催化剂的催化剂塔。

如图5所示，废气1流入流路2，其一部分流入与流路2并列连接的臭氧浓度计3，测定臭氧浓度后，再次合流。在该合流后，与用于稀释的非臭氧气体(例如空气)的分支流路11连接。

利用空气等非臭氧气体进行稀释的废气1虽然取决于测定的臭氧浓度，但通常的运行状况下流入活性炭塔4。在活性炭塔4中，利用填充的活性炭，分解在废气1含有的臭氧。然后，废气1向流路5流出，利用鼓风机6向大气中排放。

根据图5可知，稀释后的气体流入三通阀12，三通阀12的输出的一方流向所述活性炭塔4，输出的另一方通过流路13流向催化剂塔14。三通阀12的切换是由控制装置7进行的，根据由臭氧浓度计3测定的臭氧浓度的大小来选择，详情后述。

控制装置7与臭氧浓度计3、输入机构8、及警报装置9连接。控制装置7比较从臭氧浓度计3接收的臭氧浓度的测定值C和从输入机构8接收的警报发信值CA，在测定值C高的情况下，向警报装置9输送信号，从警报装置9发出警报，催促作业人员注意臭氧浓度。进而，控制装置7比较从输入机构8接收的上限值CH和测定值C，在测定值C高的情况下，向在活性炭塔4的入口侧流路设置的三通阀12发送信号，向流路13侧切换三通阀12。在此，上限值CH是在活性炭着火的浓度上加上用于安全的裕度的值。

在流路13连接填充有分解臭氧的催化剂的催化剂塔14，分解流入催化剂塔14的废气1中含有的臭氧。然后，废气1向与催化剂塔14连接的流路15流出，利用鼓风机6向大气中排放。在此，催化剂塔14的臭氧分解能力比活性炭塔4的臭氧分解能力高。

在图6中，步骤S1、S2、S3、S5、S6为止的处理方法与表示第二实施方式的图4相同，在步骤S3中，若臭氧浓度测定值C大于上限值CH，则在步骤S9中，切换三通阀12的流路，使废气流向催化剂塔14。

图7是表示本发明的第三实施方式的废气处理装置的变形例的图，将废气1从催化剂塔14流出的流路15连接于活性炭塔4的入口。在该变形例的情况下，能够期待将在催化剂塔14未能分解的低浓度的臭氧在活性炭塔4进而除去的效果。

根据第三实施方式，采用在利用空气等非臭氧气体进行稀释的上游侧计测臭氧浓度，基于该计测值，切换在用于稀释的分支流路后设置的、连接为活性炭塔经由和催化剂塔经由的三通阀的结构，基于稀释用分支流路的上游侧中的臭氧浓度的测定值，发出警报，或在活性炭塔的废气入口中的臭氧浓度高于活性炭的着火浓度时，切换气体流路，将废气向催化剂塔输送，由此能够在不停止废气处理的情况下避免活性炭的着火，从而能够提高运行的稳定性和可靠性。另外，由于仅在废气中的臭氧浓度高的情况下使用催化剂，因此，能够小型化催化剂装置，且能够降低更换频率，提高经济性。

[第四实施方式]

以下，参照图8和图9，说明本发明的第四实施方式的废气处理装置。将与第四实施方式有关的处理工序示出在图8中，将其处理方法示出在图9中。在本发明的第四实施方式中，其特征在于，当废气处理的除去对象为在废气中含有的臭氧时，设想该臭氧浓度低的情况，仅通过空气等的稀释进行排臭氧处理即不需要活性炭塔和催化剂塔，进行排臭氧处理。

如图8所示，废气1流入流路2，其一部分流入与流路2并列连接的臭氧浓度计3，测定臭氧浓度后，流入流量计16，测定流量。接着，废气1通过从与流路2连接的分支流路17注入的空气等非臭氧气体来稀释后，利用鼓风机6向大气中排放。此时，非臭氧气体由与分支流路17连接的流量计18来测定流量，接着通过流量调节阀19。

控制装置7与臭氧浓度计3、输入机构8、警报装置9、流量计16、流量计18、及流量调节阀19连接。控制装置7比较从臭氧浓度计3接收的臭氧浓度的测定值C和从输入机构8接收的警报发信值CA，在测定值C高的情况下向警报装置9发送信号，从警报装置9发出警报。

另外，控制装置7使用臭氧浓度计3的测定值C、流量计16的测定值F1以及流量计18的测定值F2(参照图9的步骤S2)，利用如下的数学式2来算出向大气排放的臭氧气体的浓度Ce(参照图9的步骤S3)。

Ce＝C×F1/(F1+F2)  (数学式2)

控制装置7比较从输入机构8接收的目标浓度Ce1(参照图9的步骤S1)和算出的Ce(参照图9的步骤S4)，向流量调节阀19发送信号来变更阀的开度，以使F2满足Ce＜Ce1(参照图9的步骤S5)。在此，目标浓度Ce1例如可以设为大气中的光化学氧化剂的基准值0.06ppm。另外，可以接收来自警报装置9的警报，通过手动调节流量调节阀19。另外，流量计16的计测值F1也可以使用在设计时预先掌握的测定值。另外，流量计18的测定值F2也可以使用在设计时预先掌握的流量调节阀19的开度和F2的关系。

根据第四实施方式，其是设想了废气1中的臭氧浓度比较低的情况的废气处理装置，换而言之，能够适用于在利用空气等进行稀释的调节范围内能够达到大气排放的限制值程度的废气，在此，主动控制空气等排臭氧气体的流量(使用将空气等压入分支流路17的送给系统)。这样，根据在用于稀释的分支流路的上游侧测定的臭氧浓度，发出警报或变更稀释倍率，由此不需要催化剂或活性炭，实现废气的限制值，且能够提高经济性。

Claims (9)

1.一种废气处理装置，其具备：用活性炭及/或催化剂对限制向大气排放的废气进行分解的废气分解塔；将在所述废气分解塔分解的气体向大气排放的送风机；在所述送风机的上游侧使空气、氮气等非除去对象气体与所述废气的流路连通的稀释气体配管；在所述废气的流路设置的计测废气浓度的气体浓度计；基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值，指示气体浓度的警报的控制部，其特征在于，

所述气体浓度计配置于在所述废气分解塔分解了所述废气的分解处理后的废气的流路，并且，配置于所述稀释气体配管的上游侧，计测稀释前的废气浓度，

所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为大气排放的气体浓度限制值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的规定值时，指示警报。

2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，

在所述稀释气体配管设置有流量调节阀，

所述控制部指示所述警报，并增加所述流量调节阀的开度以扩大所述稀释倍率。

3.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，

作为所述废气分解塔，设置活性炭塔，

所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为所述活性炭塔的活性炭着火的着火浓度值，当根据所述计测的气体浓度和所述活性炭的废气分解能力算出的换算气体浓度值达到比所述着火浓度值小的规定值时，进行指示以阻断向所述活性炭塔输入废气。

4.一种废气处理装置，其具备：用活性炭及/或催化剂对限制向大气排放的废气进行分解的废气分解塔；将在所述废气分解塔分解的气体向大气排放的送风机；在所述送风机的上游侧使空气、氮气等非除去对象气体与所述废气的流路连通的稀释气体配管；在所述废气的流路设置的计测废气浓度的气体浓度计；基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值，指示气体浓度的警报的控制部，其特征在于，

所述气体浓度计配置于所述稀释气体配管的上游侧，计测稀释前的废气的浓度，

在所述稀释气体配管连接后的废气的流路设置有三通阀，该三通阀形成经由所述废气分解塔与所述送风机连接的第一流路和直接与所述送风机连接的第二流路，

所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为大气排放的气体浓度限制值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第一规定值时，指示所述三通阀从所述第二流路切换为所述第一流路，

进而，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第二规定值时，所述控制部指示警报。

5.根据权利要求4所述的废气处理装置，其特征在于，

作为所述废气分解塔，设置活性炭塔，

所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为所述活性炭塔的活性炭着火的着火浓度值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第三规定值时，进行指示以阻断向所述废气处理装置输入废气。

6.一种废气处理装置，其具备：用活性炭及/或催化剂对限制向大气排放的废气进行分解的废气分解塔；将在所述废气分解塔分解的气体向大气排放的送风机；在所述送风机的上游侧使空气、氮气等非除去对象气体与所述废气的流路连通的稀释气体配管；在所述废气的流路设置的计测废气浓度的气体浓度计；基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值，指示气体浓度的警报的控制部，其特征在于，

所述气体浓度计配置于所述稀释气体配管的上游侧，计测稀释前的废气的浓度，

在所述稀释气体配管连接后的废气的流路设置有三通阀，该三通阀形成经由作为所述废气分解塔的活性炭塔与所述送风机连接的第一流路和经由作为所述废气分解塔的催化剂塔与所述送风机连接的第二流路，

所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为大气排放的气体浓度限制值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第一规定值时，指示警报，

进而，所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为所述活性炭塔的活性炭着火的着火浓度值，当所述计测的气体浓度达到比根据所述输入设定值和稀释倍率算出的算出值小的第二规定值时，指示所述三通阀从所述第一流路切换为所述第二流路。

7.根据权利要求6所述的废气处理装置，其特征在于，

代替经由作为所述废气分解塔的催化剂塔而与所述送风机连接的第二流路，形成依次连接所述三通阀、所述催化剂塔入口、所述催化剂塔出口、所述活性炭塔入口的流路。

8.一种废气处理装置，其具备：被限制向大气排放的废气流动的第一流路；为了用空气、氮气等非限制气体稀释所述废气而与所述第一流路合流的所述非限制气体的第二流路；将包含所述合流的第三流路的废气的气体向大气排放的送风机；在所述送风机的上游侧设置于所述第一流路并计测废气浓度的气体浓度计；基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值，指示气体浓度的警报的控制部，其特征在于，

所述气体浓度计配置于基于所述第二流路的合流点的上游侧，计测稀释前的废气的浓度，

在所述第一流路设置有计测所述废气的流量的第一流量计，在所述第二流路设置有计测所述非限制气体的流量的第二流量计及流量调节阀，

所述控制部基于来自所述第一流量计和所述第二流量计的输出，算出稀释倍率，并基于所述稀释倍率和所述气体浓度计的测定值，算出向大气排放的气体浓度，

进而，所述控制部将基于所述输入操作机构的所述输入设定值作为大气排放的气体浓度限制值，当所述运算的气体浓度达到所述输入设定值时，指示警报，并增加所述流量调节阀的开度以扩大所述稀释倍率。

9.一种废气处理方法，其为具备用活性炭对限制向大气排放的废气进行分解的活性炭塔、将在所述活性炭塔分解的气体向大气排放的送风机、在所述送风机的上游侧使空气、氮气等非除去对象气体与所述废气的流路连通的稀释气体配管、设置于所述废气的流路并计测废气浓度的气体浓度计、以及基于来自所述气体浓度计的计测值和来自输入操作机构的输入设定值来指示气体浓度的警报的控制部的处理废气的处理方法，其特征在于，

从所述输入操作机构向所述控制部预先输入大气排放的气体浓度限制值和所述活性炭塔中的活性炭着火的着火浓度值，接着，输入由所述气体浓度计计测的气体浓度，

当判断为根据所述计测的气体浓度和所述活性炭的废气分解能力算出的换算气体浓度值达到比所述着火浓度值小的规定值时，进行指示以阻断向所述活性炭塔输入废气，

进而，在判断为所述计测的气体浓度值达到比根据所述大气排放的气体浓度限制值和稀释倍率算出的算出值小的规定值时，指示警报。

Images