CN101736309A - 用于真空镀膜的水平方向公自转机构 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于真空镀膜的水平方向公自转机构,包括公转传动组件和自转传动组件;公转传动组件包括一端通过齿轮与真空镀膜机动力源连接的主轴,主轴另一端设有用于固定至少一个立体物安装杆的支架;自转传动组件包括设于主轴一侧的传动杆、分别设于传动杆两端的顶端齿轮和底端齿轮、与底端齿轮配合连接的传动齿轮组、以及分别设于立体物安装杆一端并与传动齿轮组配合连接的安装杆齿轮,顶端齿轮与真空镀膜机动力源的齿轮啮合配合。本发明只需利用真空镀膜机的动力源就可以在水平面方向同时实现至少一个立体物的公自转运动,其构造简洁紧凑,节约成本,运行精确可靠,除了能很好地运用于真空镀膜技术领域,也可以运用于其它相近的领域。

Description

用于真空镀膜的水平方向公自转机构
技术领域
本发明涉及真空镀膜技术领域,特别涉及一种用于真空镀膜的水平方向公自转机构。
背景技术
在真空镀膜的过程中,需要保持被镀物体在水平方向的同时持续公转和自转,以提高薄膜质量的稳定性。目前,随着光学、光电子产业的迅速发展,需要加工的光学器件不仅仅局限于平面玻璃,还出现了很多不规则形状的元件,如圆环形,圆柱形等。真空镀膜机由于真空的原因,夹具的动力源越少越好,所以目前常用的的镀膜机一般只有一个垂直方向的旋转轴。现有的镀膜机在不添加动力源的情况下,由于动力源的旋转轴只为垂直方向,所以夹具也只能以垂直方向为旋转轴,即夹具的自转轨迹和公转轨迹相平行,因此现有的真空镀膜机基本都只能做到平面玻璃在水平面上的公自转,而无法实现柱形等立体元件的镀膜。为了适应光学、光电子产业的发展,适应越来越多不规则形状元件的镀膜要求,这就要求平面公自转夹具加工能力从二维平面元件向三维立体元件扩展。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种用于真空镀膜的水平方向公自转机构,该机构只需利用真空镀膜机的动力源就可以在水平面方向同时实现至少一个立体物的公自转运动,且其构造简洁紧凑,运行精确可靠。
本发明通过以下技术方案实现:一种用于真空镀膜的水平方向公自转机构,包括公转传动组件和自转传动组件;所述公转传动组件包括一端通过齿轮与真空镀膜机动力源连接的主轴,主轴另一端设有用于固定至少一个立体物安装杆的支架;所述自转传动组件包括设于主轴一侧的传动杆、分别设于传动杆两端的顶端齿轮和底端齿轮、与底端齿轮配合连接的传动齿轮组、以及分别设于立体物安装杆一端并与传动齿轮组配合连接的安装杆齿轮,顶端齿轮与真空镀膜机动力源的齿轮啮合配合。
所述支架包括支盘和用于固定立体物安装杆的固定板,支盘带有至少一个凸块,固定板与凸块固定连接;所述主轴和传动杆并列设于支盘顶部。
所述固定板、凸块和立体物安装杆的数目相同,且固定板与凸块、固定板与立体物安装杆之间一一对应固定连接。
所述底端齿轮和传动齿轮组设于支架内部的支盘下方,各立体物安装杆穿过对应的固定板并通过轴承与固定板连接,设于各立体物安装杆一端的安装杆齿轮分别与传动齿轮组啮合配合。
所述主轴与传动杆之间设有至少一个固定块,以保证主轴及传动杆固定,从而保证各传动构件运行准确。
所述设于传动杆两端的顶端齿轮和底端齿轮规格相同。
所述传动齿轮组为通过轴承垂直固定的两个齿轮,上方的齿轮与传动杆的底端齿轮配合连接,下方的齿轮与各安装杆齿轮配合连接。
本发明用于真空镀膜的水平方向公自转机构使用时,其工作原理为:真空镀膜机动力源带动主轴旋转,从而带动安装于主轴另一端的支架及立体物安装杆旋转,此时实现了各立体物安装杆水平方向的公转运动;真空镀膜机动力源带动主轴旋转的同时,加装于动力源上的齿轮(各个真空镀膜机生产厂家的真空镀膜机所需加装的齿轮尺寸不同,因此齿轮尺寸根据实际需要进行选择)同时带动顶端齿轮旋转,顶端齿轮通过传动杆带动末端齿轮旋转,从而带动传动齿轮组旋转,传动齿轮组通过各安装杆齿轮带动其对应的立体物安装杆旋转,此时实现了各立体物安装杆水平方向的自转运动;因此,本发明的水平方向公自转机构同时实现了各立体物安装杆在水平方向上的公、自转运动。
本发明相对于上述现有技术,具有如下优点效果:
1、本发明的水平方向公自转机构只需利用真空镀膜机的动力源就可以在水平面方向同时实现至少一个立体物的公自转运动,其构造简洁紧凑,节约成本,同时,各传动构件之间的传动通过多个齿轮完成,其运行精确可靠。
2、本发明的水平方向公自转机构,其夹具的公转旋转轴为垂直方向,夹具的自转旋转轴为水平方向,因此可以较好地实现立体元件的真空镀膜,适应三维立体元件的发展;同时,除了能很好地运用于真空镀膜技术领域,也可以运用于其它相近的领域。
附图说明
图1是本用于真空镀膜的水平方向公自转机构的工作原理示意图。
图2是本用于真空镀膜的水平方向公自转机构的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图,对本发明作进一步的详细说明,但本发明的实施方式不限于此。
实施例
本实施例一种用于真空镀膜的水平方向公自转机构,其结构如图2所示,包括公转传动组件和自转传动组件;其中公转传动组件包括一端通过齿轮与真空镀膜机动力源连接的主轴7,主轴7另一端设有用于固定至少一个立体物安装杆5的支架8;自转传动组件包括设于主轴7一侧的传动杆2、分别设于传动杆2两端的顶端齿轮1和底端齿轮、与底端齿轮配合连接的传动齿轮组3、以及分别设于立体物安装杆5一端并与传动齿轮组3配合连接的安装杆齿轮4,顶端齿轮1与真空镀膜机动力源的齿轮啮合配合。
支架8包括支盘8-1和用于固定立体物安装杆5的固定板8-3,支盘8-1带有至少一个凸块8-2,固定板8-3与凸块8-2固定连接;主轴7和传动杆2并列设于支盘8-1顶部。
固定板8-3、凸块8-2和立体物安装杆5的数目相同,且固定板8-3与凸块8-2、固定板8-3与立体物安装杆5之间一一对应固定连接。
底端齿轮和传动齿轮组3设于支架8内部的支盘8-1下方,各立体物安装杆5穿过对应的固定板8-3并通过轴承与固定板8-3连接,设于各立体物安装杆5一端的安装杆齿轮4分别与传动齿轮组3啮合配合。
主轴7与传动杆2之间设有至少一个固定块9,以保证主轴7及传动杆2固定,从而保证各传动构件运行准确。
设于传动杆2两端的顶端齿轮和底端齿轮规格相同。
传动齿轮组3为通过轴承10垂直固定的两个齿轮,上方的齿轮与传动杆的底端齿轮配合连接,下方的齿轮与各安装杆齿轮4配合连接。
在本实施例中,主轴7与固定块9、传动杆2与固定块9、主轴7与支架8、传动杆2与支架8、支盘8-1与固定板8-3之间均通过螺钉6固定连接。
本实施例一种用于真空镀膜的水平方向公自转机构使用时,如图1所示,其工作原理为:真空镀膜机动力源带动主轴7旋转,从而带动安装于主轴7另一端的支架8及立体物安装杆5旋转,此时实现了各立体物安装杆5水平方向的公转运动;真空镀膜机动力源带动主轴7旋转的同时,加装于动力源上的齿轮11(各个真空镀膜机生产厂家的真空镀膜机所需加装的齿轮尺寸不同,因此齿轮尺寸根据实际需要进行选择)同时带动顶端齿轮1旋转,顶端齿轮1通过传动杆2带动末端齿轮12旋转,从而带动传动齿轮组3旋转,传动齿轮组3通过各安装杆齿轮4带动其对应的立体物安装杆5旋转,此时实现了各立体物安装杆5水平方向的自转运动,其中各齿轮、轴或立体物安装杆的转动方向如图中箭头方向所示;因此,本发明的水平方向公自转机构同时实现了各立体物安装杆5在水平方向上的公、自转运动。
如上所述,便可较好地实现本发明,上述实施例仅为本发明的较佳实施例,并非用来限定本发明的实施范围;即凡依本发明内容所作的均等变化与修饰,都为本发明权利要求所要求保护的范围所涵盖。

Claims (7)

1.用于真空镀膜的水平方向公自转机构,其特征在于,包括公转传动组件和自转传动组件;所述公转传动组件包括一端通过齿轮与真空镀膜机动力源连接的主轴,主轴另一端设有用于固定至少一个立体物安装杆的支架;所述自转传动组件包括设于主轴一侧的传动杆、分别设于传动杆两端的顶端齿轮和底端齿轮、与底端齿轮配合连接的传动齿轮组、以及分别设于立体物安装杆一端并与传动齿轮组配合连接的安装杆齿轮,顶端齿轮与真空镀膜机动力源的齿轮啮合配合。
2.根据权利要求1所述用于真空镀膜的水平方向公自转机构,其特征在于,所述支架包括支盘和用于固定立体物安装杆的固定板,支盘带有至少一个凸块,固定板与凸块固定连接;所述主轴和传动杆并列设于支盘顶部。
3.根据权利要求2所述用于真空镀膜的水平方向公自转机构,其特征在于,所述固定板、凸块和立体物安装杆的数目相同,且固定板与凸块、固定板与立体物安装杆之间一一对应固定连接。
4.根据权利要求1或2所述用于真空镀膜的水平方向公自转机构,其特征在于,所述底端齿轮和传动齿轮组设于支架内部的支盘下方,各立体物安装杆穿过对应的固定板并通过轴承与固定板连接,设于各立体物安装杆一端的安装杆齿轮分别与传动齿轮组啮合配合。
5.根据权利要求1所述用于真空镀膜的水平方向公自转机构,其特征在于,所述主轴与传动杆之间设有至少一个固定块。
6.根据权利要求1所述用于真空镀膜的水平方向公自转机构,其特征在于,所述设于传动杆两端的顶端齿轮和底端齿轮规格相同。
7.根据权利要求1所述用于真空镀膜的水平方向公自转机构,其特征在于,所述传动齿轮组为通过轴承垂直固定的两个齿轮,上方的齿轮与传动杆的底端齿轮配合连接,下方的齿轮与各安装杆齿轮配合连接。
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