CN101655135B - 减振装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种减振装置，包括支撑板、安装板、阶梯轴及弹性元件，安装板开设有呈圆柱形的阶梯轴滑动通道，阶梯轴的上端与支撑板连接，下端穿过阶梯轴滑动通道，弹性元件套设于阶梯轴上且一端与支撑板弹性抵触，另一端与安装板弹性抵触，其中，还包括定位机构，定位机构包括衬套及直线轴承，衬套开设有直线轴承滑动通道，安装板上开设有衬套固定腔，衬套固定腔呈圆柱形且与阶梯轴滑动通道同轴心，衬套固定于衬套固定腔内，直线轴承套于阶梯轴上且容置于衬套的直线轴承滑动通道内。由于本发明的衬套及直线轴承，一方面使支撑板在承受或释放物体时始终维持水平，保证产品质量；另一方面能防止支撑板由受力不均匀时产生侧偏而加速减振装置的磨损。

Description

减振装置

技术领域

本发明涉及一种减振装置，尤其涉及一种适用于对真空度及洁净度要求极高的精密制造环境中平板类器件减振的减振装置。

背景技术

随着经济的不断发展和科技的不断进步，为精密制造行业迅速崛起提供了一个良好的发展平台。相应地，精密制造行业的高速发展也为经济发展提供了强有力的推动力，促使经济、社会及环境和谐、健康、协调地发展，从而提高资源的利用效率以及减少对环境的污染，满足中国新型的工业化道路要求。

其中，在精密制造行业中，为了保证精密制造行业中产品的高精度、高质量要求。相应地，应用于精密制造行业中的各种设备、装置或机器必须能达到精密制造行业的要求。其中，减振装置就是应用于精密制造行业中诸多设备之一种。

目前，减振装置的种类繁多，大致可以分为弹簧式减振装置、液压减振装置及气压减振装置等等，它们都是广泛地用于精密制造行业中。但是，有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)制造行业是一种高精密的制造行业，它对工作环境要求极高，要求工作室处于真空、洁净的环境中。由于液压减振装置是通过液体作为减振源以实现减振作用，气压减振装置是通过气体作为减振源以实现减振作用，使得它们应用于OLED制造行业中会污染真空、洁净的工作室，从而影响OLED制造行业的制造精度要求；同时，市面上的弹簧式减振装置虽然不会给真空、洁净的工作室带来污染，但其却普遍存在以下的缺点：

现有的弹簧式减振装置包括支撑板、安装板、传动轴、弹簧，安装板开设有供传动轴滑动的滑动通道，传动轴的上端与支撑板固定连接，传动轴的下端穿过安装板的滑动通道，弹簧套设于传动轴上，且弹簧的一端与支撑板弹性抵触，另一端与安装板弹性抵触。在支撑板承载或释放物件时，使支撑板在传动轴的导向下能沿传动轴的轴心线方向做往复移动；由于传动轴是沿安装板的滑动通道内做往复移动，当支撑板上受到不均匀的力时会使传动轴与安装板的滑动通道之间产生相互侧偏，从而使得固定于传动轴上的支撑板在垂直方向的移动时不能始终维持支撑板的水平状态，一方面影响到产品的质量、精度要求；另一方面，增加了传动轴与安装板的滑动通道之间的磨损，缩短减振装置使用寿命，进而影响产品的高精度、高质量要求。

因此，急需要一种保证产品质量及精度的、极耐用的且适用于对真空度及洁净度要求极高的精密制造环境中平板类器件减振的减振装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种保证产品质量及精度的、极耐用的且适用于对真空度及洁净度要求极高的精密制造环境中平板类器件减振的减振装置。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种减振装置，适用于精密制造中平板类器件的减振，所述减振装置包括支撑板、安装板、阶梯轴及弹性元件，所述安装板开设有供阶梯轴滑动的阶梯轴滑动通道，所述阶梯轴滑动通道呈圆柱形，所述阶梯轴的上端与所述支撑板连接，所述阶梯轴的下端穿过所述阶梯轴滑动通道，所述支撑板位于所述安装板上方，所述弹性元件套设于所述阶梯轴上，且所述弹性元件的一端与所述支撑板弹性抵触，所述弹性元件的另一端与所述安装板弹性抵触，其中，所述减振装置还包括定位机构，所述定位机构包括衬套及直线轴承，所述衬套呈中空结构，所述中空结构形成直线轴承滑动通道，所述安装板上开设有衬套固定腔，所述衬套固定腔呈圆柱形且与所述阶梯轴滑动通道同轴心，所述衬套固定于所述衬套固定腔内，所述直线轴承套于所述阶梯轴上且容置于所述衬套的直线轴承滑动通道内。

较佳地，所述减振装置还包括阶梯轴固定件，所述阶梯轴固定件包括固定螺钉及调节螺母，所述阶梯轴的上端开设有螺孔，所述固定螺钉穿过所述支撑板并与所述阶梯轴的螺孔啮合，所述阶梯轴的下端具有螺纹，所述调节螺母与所述阶梯轴的下端的螺纹啮合，所述调节螺母位于所述安装板下方。通过所述固定螺钉、阶梯轴上端的螺孔、阶梯轴下端的螺纹及调节螺母，使得阶梯轴与支撑板、安装板的装拆方便，连接可靠；通过所述调节螺母位于所述安装板下方，一方面防止阶梯轴在沿安装板内阶梯轴滑动通道内滑动时发生意外脱落，因而工作更可靠；另一方面能调节阶梯轴与调节螺母之间的相对间距以改变弹性元件的阻尼，从而使得减振装置能适应于不同的冲击力，扩大了减振装置适用范围。具体地，所述减振装置还包括销钉，所述调节螺母开设有与所述销钉对应的销孔，所述阶梯轴的下端的螺纹处开设有与所述销钉对应的销槽。通过所述销钉、阶梯轴的销槽及调节螺母的销孔，防止调节螺母在工作时自动脱落，提高了调节螺母连接的可靠性。

较佳地，所述支撑板上开设有上安装槽，所述安装板上开设有与所述上安装槽相对应的下安装槽，套于所述阶梯轴上的弹性元件的一端容置并弹性抵触于所述上安装槽内，所述弹性元件的另一端容置并弹性抵触于所述下安装槽内。通过所述上安装槽及下安装槽，使得弹性元件定位方便，固定可靠；通过所述弹性元件分别与所述安装板、支撑板弹性抵触，为支撑板在承载或释放物件时提供优异的减振性能，从而最大限度地保证支撑板移动的可靠性及平稳性，使支撑板的工作更可靠、更精准。具体地，所述支撑板还开设有与所述上安装槽同轴心的阶梯轴固定槽，所述阶梯轴的上端容置于所述阶梯轴固定槽内。通过所述阶梯轴固定槽，使得阶梯轴定位方便，固定可靠；通过所述阶梯轴固定槽与所述上安装槽位于同轴心，提升了阶梯轴的运动精度，使得支撑板在阶梯轴的导向作用下更平稳、更可靠、更精准地工作，使支撑板能沿阶梯轴的轴心线方向移动始终维持水平状态，从而保证产品的质量及精度的要求。

较佳地，所述直线轴承包括钢珠及钢珠保持架，所述钢珠枢接于所述钢珠保持架内，且所述钢珠的两端露出所述钢珠保持架，露出所述钢珠保持架的钢珠的两端中的一端与所述阶梯轴接触，另一端与所述衬套的直线轴承滑动通道接触。通过所述钢珠与钢珠保持架构成的直线轴承，一方面提升了直线轴承分别与阶梯轴、衬套的装配精度，使得阶梯轴与直线轴承相对滑动平稳且传动精度极高；另一方面使得分别与阶梯轴、衬套接触的直线轴承滑动时摩擦极小，从而极大限度地减少了阶梯轴与直线轴承的磨损，从而延长减振装置寿命。

较佳地，所述弹性元件为弹簧，通过所述弹性元件为弹簧，使得弹性元件的结构简单、成本低且具有优良的弹性阻尼。

与现有技术相比，由于本发明的衬套及直线轴承，一方面提升了阶梯轴与直线轴承之间、直线轴承与衬套之间的装配精度，使得阶梯轴的移动更平稳、更可靠、更精准且磨擦极小，使得固定于阶梯轴上的支撑板在工作时始终维持水平状态，从而保证了产品的高质量及高精度的要求；另一方面避免阶梯轴与安装板的阶梯轴滑动通道直接接触，防止支撑板由受力不均匀而导致阶梯轴与安装板的阶梯轴滑动通道之间接触不均匀而加速了阶梯轴与安装板的阶梯轴滑动通道之间的磨损以缩短减振装置的使用寿命及影响产品的质量及精度，从而更可靠地保证产品的质量及延长了减振装置的使用寿命。另，由于本发明的减振装置是使用具有优异的缓冲性能的弹性元件为减振源，使得本发明的减振装置能适应于对真空度及洁净度要求极高的环境下工作。

附图说明

图1是本发明减振装置的结构示意图。

图2是图1中A部分的放大图。

图3是本发明减振装置拆除弹性元件的结构示意图。

具体实施方式

为了详细说明本发明减振装置的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图作进一步说明。

请参阅图1和图3，该减振装置100适应于对环境的洁净度及真空度要求极高的精密制造中平板类器件的减振，所述减振装置100包括支撑板1、安装板2、阶梯轴3及弹性元件4。所述安装板2开设有供阶梯轴3滑动的阶梯轴滑动通道20，所述阶梯轴滑动20通道呈圆柱形。所述阶梯轴3的上端与所述支撑板1连接，所述阶梯轴3的下端穿过所述阶梯轴滑动通道20。所述支撑板1位于所述安装板2上方。所述弹性元件4套设于所述阶梯轴3上，且所述弹性元件4的上端与所述支撑板1弹性抵触，所述弹性元件4的下端与所述安装板2弹性抵触。具体地，所述弹性元件4弹簧，然其非限制性者，通过所述弹性元件4为弹簧，使得弹性元件4结构简单、成本低且具有优良的弹性阻尼。其中，所述减振装置100还包括定位机构5，所述定位机构5包括衬套51及直线轴承52。所述衬套51呈中空结构，所述中空结构形成直线轴承滑动通道510，所述安装板2上开设有衬套固定腔21，所述衬套固定腔21呈圆柱形且与所述阶梯轴滑动通道20同轴心，所述衬套51固定于所述衬套固定腔21内，所述直线轴承52套于所述阶梯轴3上且容置于所述衬套51的直线轴承滑动通道510内。具体地，所述直线轴承52包括钢珠521及钢珠保持架520，所述钢珠521枢接于所述钢珠保持架520内，且所述钢珠521的两端露出所述钢珠保持架520，露出所述钢珠保持架520的钢珠521的两端中的右端与所述阶梯轴3接触，左端与所述衬套51的直线轴承滑动通道510接触。通过所述钢珠521与钢珠保持架520构成的直线轴承52，一方面提升了直线轴承52分别与阶梯轴3、衬套51的装配精度，使得阶梯轴3与直线轴承51相对滑动平稳且传动精度极高；另一方面使得分别与阶梯轴3、衬套51接触的直线轴承52滑动时摩擦极小，从而极大限度地减少了阶梯轴3与直线轴承51的磨损，从而延长减振装置100寿命。结合图2，更具体地，如下：

较佳者，所述减振装置100还包括阶梯轴固定件，所述阶梯轴固定件包括固定螺钉6及调节螺母7。所述阶梯轴3的上端开设有螺孔(图中未示)，所述支撑板1上开设有供所述固定螺钉6穿过并通过固定螺钉的螺纹60与所述阶梯轴3的螺孔啮合的沉孔10，所述阶梯轴3的下端具有螺纹31，所述调节螺母7与所述阶梯轴3的下端的螺纹31啮合，所述调节螺母7位于所述安装板2下方。通过所述固定螺钉6、阶梯轴3上端的螺孔、阶梯轴3下端的螺纹31及调节螺母7，使得阶梯轴3与支撑板1、安装板2的装拆方便，连接可靠；通过所述调节螺母7位于所述安装板2下方，一方面防止阶梯轴3在沿安装板2内阶梯轴滑动通道20内滑动时发生意外脱落，因而工作更可靠；另一方面能调节阶梯轴

3与调节螺母7之间的相对间距以改变弹簧4的阻尼，从而使得减振装置100能适应于不同的冲击力，扩大了减振装置100适用范围。具体地，所述减振装置100还包括销钉(图中未示)，所述调节螺母7开设有与所述销钉对应的销孔70，所述阶梯轴3的下端的螺纹31处开设有与所述销钉对应的销槽32。通过所述销钉、阶梯轴3的销槽32及调节螺母7的销孔70，防止调节螺母7在工作时自动脱落，提高了调节螺母7连接的可靠性。

较佳者，所述支撑板1上开设有上安装槽12，所述安装板2上开设有与所述上安装槽12相对应的下安装槽22，套于所述阶梯轴3上的弹簧4的上端容置并弹性抵触于所述上安装槽12内，所述弹簧4的下端容置并弹性抵触于所述下安装槽22内。通过所述上安装槽12及下安装槽22，使得弹簧4定位方便，固定可靠；通过所述弹簧4分别与所述安装板2、支撑板1弹性抵触，为支撑板1在承载或释放物件时提供优异的减振性能，从而最大限度地保证支撑板1移动的可靠性及平稳性，使支撑板1的工作更可靠、更精准。具体地，所述支撑板1还开设有与所述上安装槽12同轴心的阶梯轴固定槽11，所述阶梯轴3的上端容置于所述阶梯轴固定槽11内。通过所述阶梯轴固定槽11，使得阶梯轴3定位方便，固定可靠；通过所述阶梯轴固定槽11与所述上安装槽12位于同轴心，提升了阶梯轴3的运动精度，使得支撑板1在阶梯轴3的导向作用下更平稳、更可靠、更精准地工作，使支撑板1能沿阶梯轴3的轴心线方向移动始终维持水平状态，从而保证产品的质量及精度的要求。

本发明的衬套51及直线轴承52，一方面提升了阶梯轴3与直线轴承52之间、直线轴承52与衬套51之间的装配精度，使得阶梯轴3的移动更平稳、更可靠、更精准且磨擦极小，从而使得固定于阶梯轴3上的支撑板1在工作时始终维持水平状态，从而保证了产品的高质量及高精度的要求；另一方面避免阶梯轴3与安装板2的滑动通道20直接接触，防止支撑板1由受力不均匀而导致阶梯轴3与安装板2的滑动通道20之间接触不均匀而加速了阶梯轴3与安装板2的滑动通道20之间的磨损以缩短减振装置100的使用寿命及影响产品的质量及精度，从而更可靠地保证产品的质量及延长了减振装置100的使用寿命。另，由于本发明的减振装置100是使用具有优异的缓冲性能的弹性元件4为减振源，使得本发明的减振装置100能适应于对真空度及洁净度要求极高的环境下工作。

本发明减振装置所涉及支撑板1、安装板2的具体形状均为本领域普通技术人员根据实际需要所熟知的，在此不再做详细的说明。

以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属于本发明所涵盖的范围。

Claims (7)

1.一种减振装置，适用于精密制造中平板类器件的减振，所述减振装置包括支撑板、安装板、阶梯轴及弹性元件，所述安装板开设有供阶梯轴滑动的阶梯轴滑动通道，所述阶梯轴滑动通道呈圆柱形，所述阶梯轴的上端与所述支撑板连接，所述阶梯轴的下端穿过所述阶梯轴滑动通道，所述支撑板位于所述安装板上方，所述弹性元件套设于所述阶梯轴上，且所述弹性元件的一端与所述支撑板弹性抵触，所述弹性元件的另一端与所述安装板弹性抵触，其特征在于：还包括定位机构，所述定位机构包括衬套及直线轴承，所述衬套呈中空结构，所述中空结构形成直线轴承滑动通道，所述安装板上开设有衬套固定腔，所述衬套固定腔呈圆柱形且与所述阶梯轴滑动通道同轴心，所述衬套固定于所述衬套固定腔内，所述直线轴承套于所述阶梯轴上且容置于所述衬套的直线轴承滑动通道内。

2.如权利要求1所述的减振装置，其特征在于：还包括阶梯轴固定件，所述阶梯轴固定件包括固定螺钉及调节螺母，所述阶梯轴的上端开设有螺孔，所述固定螺钉穿过所述支撑板并与所述阶梯轴的螺孔啮合，所述阶梯轴的下端具有螺纹，所述调节螺母与所述阶梯轴的下端的螺纹啮合，所述调节螺母位于所述安装板下方。

3.如权利要求2所述的减振装置，其特征在于：还包括销钉，所述调节螺母开设有与所述销钉对应的销孔，所述阶梯轴的下端的螺纹处开设有与所述销钉对应的销槽。

4.如权利要求1所述的减振装置，其特征在于：所述支撑板上开设有上安装槽，所述安装板上开设有与所述上安装槽相对应的下安装槽，套于所述阶梯轴上的弹性元件一端容置并弹性抵触于所述上安装槽内，所述弹性元件的另一端容置并弹性抵触于所述下安装槽内。

5.如权利要求4所述的减振装置，其特征在于：所述支撑板还开设有与所述上安装槽同轴心的阶梯轴固定槽，所述阶梯轴的上端容置于所述阶梯轴固定槽内。

6.如权利要求1所述的减振装置，其特征在于：所述直线轴承包括钢珠及钢珠保持架，所述钢珠枢接于所述钢珠保持架内，且所述钢珠的两端露出所述钢珠保持架，露出所述钢珠保持架的钢珠的两端中的一端与所述阶梯轴接触，另一端与所述衬套的直线轴承滑动通道接触。

7.如权利要求1所述的减振装置，其特征在于：所述弹性元件为弹簧。

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