CN101614878A

CN101614878A - 一种产生多种矢量光束的系统

Info

Publication number: CN101614878A
Application number: CN200910090262A
Authority: CN
Inventors: 胡朝晖; 张书练; 贾惠波
Original assignee: Tsinghua University
Current assignee: Tsinghua University
Priority date: 2009-08-06
Filing date: 2009-08-06
Publication date: 2009-12-30
Anticipated expiration: 2029-08-06
Also published as: CN101614878B

Abstract

本发明涉及一种产生多种矢量光束的系统，特别是提出了一种无需特殊器件、成本低、转换效率高、易于实现的产生多种矢量光束的系统。系统包括一猫眼腔激光器和一激光干涉部分。猫眼腔激光器用于输出多种横模，其结构包括一个由一凹面反射镜和一凸透镜或透镜组构成的猫眼逆向器作为腔镜；激光干涉部分用于将猫眼腔激光器输出的光束经分束、反射、光束旋转与合成相干等产生多种矢量光束。通过猫眼逆向器内凹面反射镜和凸透镜或透镜组的间距调节，以及分束后两光束的相位调节和强度调节，可产生多种矢量光束。本发明仅利用一个系统即可产生多种不同的矢量光束，可广泛应用于光学操纵、光学成像、信息传输、量子光学、激光加工等领域。

Description

一种产生多种矢量光束的系统

技术领域

本发明涉及一种光学系统，特别是关于一种产生多种矢量光束的系统。

背景技术

线偏振光束、圆偏振光束和椭圆偏振光束是光学界所熟知的偏振光形式，并广泛地应用于光学众多领域。这些不同偏振光束的共同特点是波面内各点的偏振态相同，一般情况下波面为平面或球面，且波面内的场强分布是以波面中心为峰值的高斯分布。但随着光学技术的发展，上述传统偏振光束的性能已经不足以满足前沿研究的需求。近年来，多种特殊光束被人们所认识并逐步开展了应用。比如：TEM₀₁、TEM₀₂、TEM₁₁、TEM₁₂等高阶模式的Hermite-Gaussian(HG)光束和Laguerre-Gaussian(LG)光束在场强分布上不再是高斯分布；径向偏振光束和切向偏振光束(又称方位角偏振光束)在波面内各点的线偏振方向都不同，且场强分布均为中空圆环，径向偏振光束各点线偏振方向沿半径方向(指向中心)，切向偏振光束各点线偏振方向垂直半径方向(与圆相切)；涡旋光束的波面不再是平面或球面，而是成螺旋状分布。对于径向偏振光束和切向偏振光束等，由于在波面内各点的偏振态不同，无法用标量描述，只能使用矢量描述，因此称为矢量光束。此外，还有更为复杂的矢量光束，比如在波面内绕中心旋转一周(即方位角变化2π)线偏振方向变化4π(或6π、8π等)。矢量光束在光学操纵、光学成像、信息传输、量子光学、激光加工等研究领域中表现出许多特有的性能。而目前产生矢量光束的方法主要都依赖于特殊器件，如螺旋相位器件、特殊腔镜、特制晶体、特制液晶等，这些特殊器件的制作限制了这些方法的广泛应用；采用空间光调制器的方法则造成系统成本过高；而采用光纤产生矢量光束的方法，其损耗大、转换效率不高。上述产生矢量光束的方法存在的诸多不足影响了其在光学各领域中应用的效果和推广。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的是提供一种无需特殊器件、成本低、转换效率高、易于实现的产生多种矢量光束的系统。

为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于，它包括一用于输出多种横模的猫眼腔激光器和一激光干涉部分；所述猫眼腔激光器包括一作为腔镜的猫眼逆向器；所述激光干涉部分至少包括一分束器、两反射镜、一光束旋转组件、一相位调节组件和一光束合成器件；所述分束器将所述猫眼腔激光器输出的横模分成两路光束；所述两反射镜分别位于所述分束器分出的两束光路上，将两束光的传播方向改变后汇聚于一点；所述光束旋转组件位于所述两束光路之一，将该光路上光束的偏振方向和光强分布同时旋转90°；所述相位调节组件位于所述两束光路之一，调节两束光的相位差；所述光束合成器件位于两束光的交汇处，将两束光相干叠加产生矢量光束并输出。

所述猫眼逆向器包括共轴的一凹面反射镜和一凸透镜或透镜组，凹面反射镜的曲率半径与凸透镜或透镜组的焦距相等，凹面反射镜位于凸透镜或透镜组的焦平面附近，且两镜间距可微调以便产生多种激光横模。

所述激光干涉部分还包括扩束器和光强调节组件中的至少一个，所述扩束器位于所述猫眼腔激光器与分束器之间，所述光强调节组件由两偏振片，或由一偏振片和一半波片构成，所述光强调节组件位于经所述分束器分出的两光路之一上。

系统还包括一分束器和一横模监测部分，所述分束器设置在猫眼腔激光器与激光干涉部分之间，将猫眼腔激光器出射的光束分为两束；一束进入激光干涉部分，另一束进入所述横模监测部分。

所述横模监测部分包括一分束器，所述分束器将入射光分为两束光，其中一束光通过一凹透镜或凸透镜，成像在一白屏上；另一束光通过一扫描干涉仪上的光电探测器，转换成电信号输出给一示波器，所述示波器显示光束的频谱图。

所述光束旋转组件是一道威棱镜，该道威棱镜中全反射面的法线与道威棱镜的入射光束垂直，并且与道威棱镜入射光束的线偏振方向成45°角。

所述光束旋转组件与其所在光路的反射镜被同时具有这两个功能的一个组件代替。

所述同时具有光束旋转组件和反射镜两个功能的一个组件是一由两个45°入射角的反射镜构成的90°扭转潜望镜；作为补偿，另一光路中同时加入一个非扭转的潜望镜。

所述相位调节组件由两个相同光学平片或平板组成，两平片或平板构成一个V字，光束先后以相同入射角穿过两平片或平板，两平片或平板夹角可调以实现相位连续调节，两个平片或平板相互补偿以避免光束偏移。

本发明由于采取以上技术方案，其具有以下优点：1、由于本发明可以通过调节猫眼腔激光器输出各种不同横模，因此经过激光干涉部分后本发明可以仅利用一个系统产生多种不同的矢量光束。2、由于本发明在激光干涉部分设置了相位调节组件，特别是又增设了一光强调节组件，因此可以更加多样化地改变相干叠加的效果，进而在不改变猫眼腔激光器输出横模的情况下也可产生多种不同的矢量光束。3、由于本发明采用的元器件均为通用光学元件，而不是像现有技术那样需要使用一些特殊器件，因此成本低、易于实现和推广。4、本发明增加横模监测部分后，可以对猫眼腔激光器输出的横模进行实时监测，因此可以在不改变系统结构的情况下，就可以通过调节猫眼腔镜获得高质量的横模，并利用此横模进一步干涉产生高质量的矢量光束。本发明操作简单，实用性强，可以广泛应用于光学操纵、光学成像、信息传输、量子光学、激光加工等领域。

附图说明

图1为本发明的结构示意图

图2为本发明中光束旋转组件采用道威棱镜时旋转横模的示意图

图3为扭转90°的潜望镜对横模的旋转作用示意图

图4为非扭转的潜望镜对横模的作用示意图

图5为本发明具有实时监测横模功能时的结构示意图

图6为本发明中猫眼腔镜的机械装配图实例

图7为本发明中基于猫眼腔激光器输出的TEM₁₀模或TEM₀₁模经干涉产生矢量光束的原理图

图8为本发明中基于猫眼腔激光器输出的TEM₁₁模经干涉产生矢量光束的原理图

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行详细的描述。

如图1所示，本发明包括猫眼腔激光器1和激光干涉部分2。猫眼腔激光器1用于可调节地输出多种不同横模，比如：TEM₀₀、TEM₀₁、TEM₁₀、TEM₁₁、TEM₀₂等模式。激光干涉部分2可将猫眼腔激光器1输出的横模进行分束、干涉，并产生多种不同矢量光束。

本发明的实施实例中，猫眼腔激光器1基于一He-Ne激光器，也可以基于其它气体激光器、固体激光器、半导体激光器、染料激光器等。猫眼腔激光器1包括一猫眼逆向器13、一增透窗片14、一He-Ne激光管15和一腔镜16。猫眼逆向器13作为猫眼腔激光器1的一腔镜(以下称为猫眼腔镜13)，由共轴的凹面反射镜11和凸透镜12组成。凹面反射镜11的曲率半径和凸透镜12的焦距相等，且凹面反射镜11位于凸透镜12的焦平面附近，凹面反射镜11上镀有全反膜。凹面反射镜11和凸透镜12的间距可以通过微调，以产生不同的横模。上述凸透镜12可以由一具有凸透镜功能的透镜组替代。He-Ne激光管15靠近猫眼腔镜13的一端设置增透窗片14，另一端设置镀高反膜的腔镜16。腔镜16和猫眼腔镜13构成激光谐振腔，并通过腔镜16输出激光。腔镜16可以是一平面腔镜，也可以是一凹面腔镜。

本发明中的激光干涉部分2至少包括一分束器21，两反射镜22、23，一光束旋转组件24，一相位调节组件26和一光束合成器件27。两反射镜22和23分别位于分束器21分出的两束光路上，用以改变两路光束的传播方向，使两路光束能够相交。光束旋转组件24位于其中一光路上，以将所在光路的光束偏振方向和光强分布同时旋转90°。相位调节组件26位于其中一光路上，可以使进入光束合成器件27的两束光相位相同或相反或差π/2。光束合成器件27位于两路光束的交点处，使两路光束相干叠加、产生矢量光束，并进行输出。

上述实施例中，为便于调节并产生更多的矢量光束，激光干涉部分2还包括一光强调节组件28和一扩束器25。光强调节组件28位于经分束器21分出的两束光中的任一光路上，用于调节进入光束合成器件27的两束光的光强比，以得到更多的高质量的矢量光束。扩束器25位于猫眼腔激光器1与分束器21之间，用于扩大猫眼腔激光器1输出光束的尺寸，以方便干涉。

上述实施例中，扩束器25的最简单形式是由共焦点的两凸透镜组成。分束器21最好选用分光比为1∶1的消偏振分光棱镜，以保证两束光具有相同的偏振态且两束光的光强相等。两反射镜22、23可以采用平面反射镜或全反射棱镜。光束旋转组件可采用道威棱镜，如图2所示；其中全反射面的法线方向n与道威棱镜的入射光束241垂直，并且与道威棱镜入射光束的线偏振方向成45°角；在本例中入射光束241的线偏振方向沿x轴，全反射面的法线方向n与x轴的夹角θ为45°；可见出射光束243的线偏振方向和光强分布均旋转了90°。图1中，光束旋转组件24与其所在光路的反射镜22可以是功能独立的两个器件(如上所述)，也可以是同时具有这两个功能的一个组件。例如，反射镜22和光束旋转组件24可以一起由一个90°扭转的潜望镜组成(如图3所示)，以同时实现反射和光束旋转；作为补偿，另一束光中同时也要加入一个非扭转的潜望镜(如图4所示)；两种潜望镜本身均由入射角为45°的两个平面反射镜构成，非扭转潜望镜的出射光束和入射光束平行且不改变光束的偏振和光强分布，90°扭转潜望镜的出射光束和入射光束在空间上垂直且将光束的偏振方向和光强分布均旋转90°。相位调节组件26可由两个等厚光学平片或平板组成，并构成V字形，光束以相同入射角先后穿过两平片或平板，调整两平片或平板的夹角，可以实现对光程及相位的连续调节，便于产生所需的矢量光束，同时两个平片相互补偿可以避免光束偏移。光束合成器件27最好使用偏振分光棱镜，以保证合成的两光束的偏振方向垂直并减少光束损耗；同时也可以用普通分光棱镜或分光平片代替，但无偏振滤波的功能且损耗较大。光强调节组件28可由一偏振片和一半波片组成，也可由两个偏振片组成。上述对于光束旋转组件24、相位调节组件26、光强调节组件28等的组成仅为举例说明，并不限于上述组成形式，任何可满足上述组件要求的光学结构均可用于系统中，实现相应的作用。

如图5所示，为实时监测激光器输出模式并便于在不改变系统结构情况下调节猫眼腔激光器1输出的横模，本发明还可以包括一分束器3和一横模监测部分4。分束器3设置在猫眼腔激光器1与激光干涉部分2之间，可以将猫眼腔激光器1出射的光束分为两束，一束进入后续激光干涉部分2，以产生矢量光束；另一束进入横模监测部分4，以实时监测猫眼腔激光器1输出横模的光强分布和频率。分束器3最好选用消偏振分光棱镜，以保证进入横模监测部分4的光束的偏振态与进入激光干涉部分2的光束的偏振态两者相同。在横模监测部分4中，经过分束器3分出的一束光经由一分束器41再次分为两束，一束用于监测横模光强分布，另一束用于监测横模的频率。分束器41最好也选用消偏振分光棱镜，以保证分束后的两光束的偏振态不变。其中，监测横模光强分布的一种简易装置是：光束经一凹透镜42或凸透镜放大后，成像在远处的一白屏43上，可以直接进行观察；另一种相对复杂的监测横模光强分布的装置是：直接或经衰减片衰减后入射到成像器件CCD或CMOS上，并通过计算机或监视器观察(图中未示出)。监测横模频率的一种装置是：用扫描干涉仪44将光束中各频率的光按时间顺序分开，并通过其自带的光电探测器将光信号转换成电信号输出给示波器45，由示波器45显示光束的频谱图。

如图6所示，为实现猫眼腔调节以产生多种不同的横模，猫眼腔镜13可采用如下机械结构(仅以此为例，但不限于此)：将凹面反射镜11和凸透镜12置于同一个机械套筒53中，且将凸透镜12固定在套筒53上，凹面反射镜11可相对套筒53轴向滑动，凸透镜12和凹面反射镜11之间压紧一弹簧51，凹面反射镜11的背部由固定于套筒53的一精密螺纹副52定位，并通过旋转精密螺纹副52实现对凹面反射镜11和凸透镜12之间间距的调节。套筒53经一转接环54与一压电陶瓷管55的一端固定，实现腔扫描和稳频调节。压电陶瓷管55的另一端通过另一个转接环56固定于一四维(二维平移加二维角度)调节架(图中未画出)上，实现猫眼腔镜的位姿(位置和姿态)调节。

猫眼腔镜13内凹面反射镜11与凸透镜12的间距调节及猫眼腔镜13的位姿的调节与猫眼腔激光器1输出横模的关系如下：当凹面反射镜11位于凸透镜12的焦平面处时，猫眼腔镜13等效为一个平面腔镜，与另一腔镜16构成一平平腔(腔镜16为平面腔镜)或平凹腔(腔镜16为凹面腔镜)，此时，猫眼腔激光器1输出的横模为TEM₀₀。然后，缓慢增大凹面反射镜11与凸透镜12的间距，该增大过程中的猫眼腔镜13等效为曲率半径逐渐变小的凹面反射镜，与另一腔镜16构成一平凹腔(腔镜16为平面腔镜)或一凹凹腔(腔镜16为凹面腔镜)，且猫眼腔激光器1输出横模的阶次逐渐升高，依次会出现TEM₀₁模(或TEM₁₀模)、TEM₀₂模(或TEM₂₀模、TEM₁₁模)、TEM₀₃模(或TEM₃₀模、TEM₁₂模、TEM₂₁模)等，但当达到某一阶次后，若再增大凹面反射镜11与凸透镜12的间距时，猫眼腔激光器1输出横模的阶次则会反向逐渐减小，再次出现TEM₀₀模，直至不出光。具体转折的阶次取决于猫眼腔激光器1的结构参数等。除调节猫眼腔镜13内两镜间距可输出不同横模外，调节猫眼腔镜13的横向位置也会输出不同横模。例如：当猫眼腔激光器1输出高阶横模TEM₀₃时，横向移动猫眼腔镜13，使猫眼腔镜13的光轴偏离本发明系统的光轴，则可通过横模监测部分4看到猫眼腔激光器1输出的横模阶次依次减小到TEM₀₀模，直至不出光。而且当猫眼腔镜13的光轴与系统的光轴有夹角时，此夹角也会改变猫眼腔激光器1输出的横模。因此，通过调节猫眼腔镜13的位姿，可以改变猫眼腔激光器1输出的横模。

为进一步解释不同矢量光束的产生原理，下面举例说明。

图7为基于TEM₁₀模或TEM₀₁模产生多种矢量光束的原理示意图。图7a～c表示的物理过程为：调节猫眼腔镜13内凹面反射镜11和凸透镜12的间距及猫眼腔镜13的位姿，使猫眼腔激光器输出x偏振TEM₁₀模(如图7a所示)。将x偏振TEM₁₀模分束后，一束进行90°空间旋转，得到y偏振TEM₀₁模(如图7b所示)。将两束光进行等光强调节和同相位调节后，再相干叠加即可形成径向偏振光束(如图7c所示)。图7a～c也表示以下物理过程：调整猫眼腔激光器输出y偏振TEM₀₁模(如图7b所示)。将其分束后，一束进行90°空间旋转，得到x偏振TEM₁₀模(如图7a所示)。将两束光进行等光强调节和同相位调节后，再相干叠加即可形成径向偏振光束(如图7c所示)。因此，以下每一组图(三个子图)都表示类似的两个物理过程。

同理，如图7d～f所示，调整猫眼腔激光器输出y偏振TEM₁₀模，如图7d所示。将其分束后，一束进行90°空间旋转，得到x偏振TEM₀₁模(如图7e所示)。将两束光进行等光强调节和同相位调节后，再相干叠加即可形成切向偏振光束(如图7f所示)。这一组图也表示：调整猫眼腔激光器输出x偏振TEM₀₁模(如图7e所示)，再经分束、90°空间旋转、等光强调节、同相位调节、相干叠加形成切向偏振光束(如图7f所示)。

在如图7a～c所示的物理过程中，若将同相位调节改为反相位调节(如图7g～i所示)，则产生另一种矢量光束(如图7i所示)。

在如图7d～f所示的物理过程中，若将同相位调节改为反相位调节(如图7j～l所示)，则产生另一种矢量光束(如图7l所示)。

图8为基于TEM₁₁模产生多种矢量光束的原理示意图。图8a～c表示的物理过程为：调节猫眼腔镜13内凹面反射镜11和凸透镜12的间距及猫眼腔镜13的位姿，使猫眼腔激光器输出x偏振TEM₁₁模(如图8a所示)。将x偏振TEM₁₁模分束后，其中一束光进行90°空间旋转，得到y偏振TEM₁₁模。将两束光进行等光强调节和同相位调节后(如图8b所示)，再相干叠加，产生一线偏振矢量光束(如图8c所示)。图8a～c也可以表示以下物理过程：调节猫眼腔镜13内凹面反射镜11和凸透镜12的间距及猫眼腔镜13的位姿，使猫眼腔激光器1输出y偏振TEM₁₁模(如图8b所示)。将y偏振TEM₁₁模分束后，其中一束光进行90°空间旋转，得到x偏振TEM₁₁模。将两束光进行等光强调节和同相位调节后(如图8a所示)，再相干叠加，产生一特殊线偏振矢量光束(如图8c所示)。

如果在如图8a～c所示的物理过程中，将同相位调节改为反相位调节(如图8d～f所示)，则产生另一种特殊线偏振矢量光束(如图8f所示)。

如果在如图8a～c所示的物理过程中，将同相位调节改为调节y偏振光束的相位滞后x偏振光束π/2(如图8g～i所示)，则产生特殊左旋圆偏振矢量光束(如图8i所示)。

如果在如图8a～c所示的物理过程中，将同相位调节改为调节y偏振光束的相位超前x偏振光束π/2(如图8j～l所示)，则产生特殊右旋圆偏振矢量光束(如图8l所示)。

在图7和图8的举例中，两束光的相干叠加都是等光强叠加。如果两束光非等光强，则会产生更为复杂和丰富的矢量光束。例如，如果图8a～c所示过程中相干叠加的两光束(如图8a和图8b)的光强不等，则其合成矢量光束图8c中偏振方向将不再是倾斜45°，而是其他角度。又如，如果图8g～i所示过程中相干叠加的两光束(如图8g和图8h)的光强不等，则其合成矢量光束图8i中各点偏振态将不再是圆偏振光，而是椭圆偏振光。

虽然已经详细示出了本发明的实施实例，但是应当明白，本领域的技术人员可以想到对这些实施例的修改和调整，这些修改和调整均不应排除在本发明的保护范围之外。

Claims

1、一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于，它包括一用于输出多种横模的猫眼腔激光器和一激光干涉部分；所述猫眼腔激光器包括一作为腔镜的猫眼逆向器；所述激光干涉部分至少包括一分束器、两反射镜、一光束旋转组件、一相位调节组件和一光束合成器件；所述分束器将所述猫眼腔激光器输出的横模分成两路光束；所述两反射镜分别位于所述分束器分出的两束光路上，将两束光的传播方向改变后汇聚于一点；所述光束旋转组件位于所述两束光路之一，将该光路上光束的偏振方向和光强分布同时旋转90°；所述相位调节组件位于所述两束光路之一，调节两束光的相位差；所述光束合成器件位于两束光的交汇处，将两束光相干叠加产生矢量光束并输出。

2、如权利要求1所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述猫眼逆向器包括共轴的一凹面反射镜和一凸透镜或透镜组，凹面反射镜的曲率半径与凸透镜或透镜组的焦距相等，凹面反射镜位于凸透镜或透镜组的焦平面附近，且两镜间距可微调以便产生多种激光横模。

3、如权利要求1所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述激光干涉部分还包括扩束器和光强调节组件中的至少一个，所述扩束器位于所述猫眼腔激光器与分束器之间，所述光强调节组件由两偏振片，或由一偏振片和一半波片构成，所述光强调节组件位于经所述分束器分出的两光路之一上。

4、如权利要求2所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述激光干涉部分还包括扩束器和光强调节组件中的至少一个，所述扩束器位于所述猫眼腔激光器与分束器之间，所述光强调节组件由两偏振片，或由一偏振片和一半波片构成，所述光强调节组件位于经所述分束器分出的两光路之一上。

5、如权利要求1或2或3或4所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：系统还包括一分束器和一横模监测部分，所述分束器设置在猫眼腔激光器与激光干涉部分之间，将猫眼腔激光器出射的光束分为两束；一束进入激光干涉部分，另一束进入所述横模监测部分。

6、如权利要求5所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述横模监测部分包括一分束器，所述分束器将入射光分为两束光，其中一束光通过一凹透镜或凸透镜，成像在一白屏上；另一束光通过一扫描干涉仪上的光电探测器，转换成电信号输出给一示波器，所述示波器显示光束的频谱图。

7、如权利要求1或2或3或4或6所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述光束旋转组件是一道威棱镜，该道威棱镜中全反射面的法线与道威棱镜的入射光束垂直，并且与道威棱镜入射光束的线偏振方向成45°角。

8、如权利要求5所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述光束旋转组件是一道威棱镜，该道威棱镜中全反射面的法线与道威棱镜的入射光束垂直，并且与道威棱镜入射光束的线偏振方向成45°角。

9、如权利要求1或2或3或4或6所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述光束旋转组件与其所在光路的反射镜被同时具有这两个功能的一个组件代替。

10、如权利要求5所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述光束旋转组件与其所在光路的反射镜被同时具有这两个功能的一个组件代替。

11、如权利要求9所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述同时具有光束旋转组件和反射镜两个功能的一个组件是一由两个45°入射角的反射镜构成的90°扭转潜望镜；作为补偿，另一光路中同时加入一个非扭转的潜望镜。

12、如权利要求10所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述同时具有光束旋转组件和反射镜两个功能的一个组件是一由两个45°入射角的反射镜构成的90°扭转潜望镜；作为补偿，另一光路中同时加入一个非扭转的潜望镜。

13、如权利要求1或2或3或4或6或8或10或11或12所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述相位调节组件由两个相同光学平片或平板组成，两平片或平板构成一个V字，光束先后以相同入射角穿过两平片或平板，两平片或平板夹角可调以实现相位连续调节，两个平片或平板相互补偿以避免光束偏移。

14、如权利要求5所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述相位调节组件由两个相同光学平片或平板组成，两平片或平板构成一个V字，光束先后以相同入射角穿过两平片或平板，两平片或平板夹角可调以实现相位连续调节，两个平片或平板相互补偿以避免光束偏移。

15、如权利要求7所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述相位调节组件由两个相同光学平片或平板组成，两平片或平板构成一个V字，光束先后以相同入射角穿过两平片或平板，两平片或平板夹角可调以实现相位连续调节，两个平片或平板相互补偿以避免光束偏移。

16、如权利要求9所述的一种产生多种矢量光束的系统，其特征在于：所述相位调节组件由两个相同光学平片或平板组成，两平片或平板构成一个V字，光束先后以相同入射角穿过两平片或平板，两平片或平板夹角可调以实现相位连续调节，两个平片或平板相互补偿以避免光束偏移。