CN101581680A

CN101581680A - 一种双曲晶体x荧光光谱分析仪及其工作方法

Info

Publication number: CN101581680A
Application number: CNA2008101545645A
Authority: CN
Inventors: 宋欣; 姜文贵; 宋晓琨; 张晓颖; 李海建; 杨伟清; 张磊; 张朝捷
Original assignee: YIDONG ELECTROMECHANICAL DEVELOPMENT Co Ltd BEIJING; China Building Material Test & Certification Center
Current assignee: YIDONG ELECTROMECHANICAL DEVELOPMENT Co Ltd BEIJING; China Building Material Test & Certification Center
Priority date: 2008-12-25
Filing date: 2008-12-25
Publication date: 2009-11-18

Abstract

一种双曲晶体X荧光光谱分析仪，包括分光测量室、抽真空部件、样品室、送样器、X射线激发源、供电电源、信息采集与处理器、仪器系统控制器及上位分析计算机；其工作方法为：(1)X射线激发源产生一定波长范围的X射线照射在样品上；(2)激发出各元素的特征X射线，特征X射线进入分光测量室内，X射线探测器接收并转换为电脉冲信息；(3)电脉冲信息由脉冲幅度信息采集与处理器记录，并传送到上位分析计算机；(4)上位分析计算机给出所需的测试结果。优越性在于采用四自由度联动机构，并以该机构为技术核心，把有限、分立波长的弯曲晶体X荧光光谱分析仪提升为连续衍射分光与探测的X荧光光谱分析仪，从而扩大弯曲晶体X荧光光谱分析仪的分析范围。

Description

一种双曲晶体X荧光光谱分析仪及其工作方法

(一)技术领域：

本发明涉及光机电一体化分析技术中的X射线荧光光谱分析仪器及其工作方法，特别是采用全聚焦功能的双曲晶体实现对X射线的连续衍射分光与探测的X荧光光谱分析仪，即一种双曲晶体X荧光光谱分析仪及其工作方法。

(二)背景技术：

在X射线波长色散光谱分析技术中，当采用单晶体实现波长色散时，存在平面晶体色散法和弯曲晶体色散法，无论平面晶体还是弯曲晶体色散法，其目的就是实现X射线的单色性，提供高信噪比、高衍射分光效率、高分辨本领的X射线探测条件。

现有的平面晶体衍射分光装置，在结构上必需配置前、后准直器，至使衍射分光效率太低，但它能够对X射线实现连续衍射分光与探测，问世至今仍被采用。为了克服其不足，此类光谱分析仪均以增加X射线激发源的功率为手段达到提高衍射分光效率的目的，目前可见到的X射线激发源的功率接近100KW。

现有的弯曲晶体衍射分光装置由前、后狭缝取代了准直器，由于取消了前、后准直器，加之弯曲晶体具有聚焦功能，使其衍射分光效率比平晶衍射分光效率可高出二到三个数量级，衍射像可以聚焦到一点或一条线；但是，一种波长的X射线需要设计一种与该波长相对应的弯曲晶体完成衍射分光。目前采用的弯曲晶体色散装置均以一个真空室为核心，在特定的立体角上安装有限数量弯曲晶体分光计并在每个分光计上配置一个X射线探测器；即每种波长都必需配置一个专用的分光与探测通道。这种结构的衍射分光与探测装置的优点在于各探测通道可同时采集数据，提高分析速度；其缺欠在于结构庞杂只适用有限、分立波长的分析。弯曲晶体色散装置分析X射线波长的局限性，推动人们寻求改造与创新。

(三)发明内容：

本发明的发明目的在于发明一种双曲晶体X荧光光谱分析仪及其工作方法，它完全改变了现有弯曲晶体色散结构与探测方法，采用四自由度联动机构，并以该机构为技术核心，把有限、分立波长的弯曲晶体X荧光光谱分析仪提升为连续衍射分光与探测的X荧光光谱分析仪，从而扩大弯曲晶体X荧光光谱分析仪的分析范围。

本发明的技术方案：一种双曲晶体X荧光光谱分析仪，其特征在于它包括分光测量室、抽真空部件、样品室、送样器、X射线激发源、供电电源、信息采集与处理器、仪器系统控制器及上位分析计算机；所说的分光测量室依真空管路接口与抽真空部件对接，依X射线入射法兰接口与样品室对接，依电源与信息交换接口连通供电电源，依电缆通讯线分别连通信息采集与处理器和仪器系统控制器；所说的样品室分别连接送样器和X射线激发源；所说的信息采集与处理器依信息与控制线连通仪器系统控制器；所说的仪器系统控制器依标准接口连通上位分析计算机。

上述所说的分光测量室内部安装有连续衍射分光与探测装置，所说的连续衍射分光与探测装置为四自由度联动机构，它由支撑托盘、罗兰圆盘、固定行走槽、晶体部件、齿条I、X射线探测器、齿条II、探测器拉臂、共有齿轮及罗兰圆盘电机构成；其中，支撑托盘上依固定行走槽支柱安装有固定行走槽；所说的罗兰圆盘上装有确保支撑托盘与罗兰圆盘的平行配置的平行滑行块，罗兰圆盘上间断的开有聚焦圆轨道，聚焦圆轨道上装有单列圆锥滚子轴承，在轴承的两侧备有安装晶体部件的晶体部件安装孔；所说的X射线探测器安装在探测器拉臂上，X射线探测器窗口前配有探测器狭缝；所说的探测器拉臂内装有齿条I，齿条I一端与共用齿轮啮合配装，探测器拉臂的探测器端装有可在聚焦圆轨道内滑移的拉臂移动轴；所说的固定行走槽内装有与探测器拉臂内相同的齿条II，齿条II一端与共用齿轮啮合装配，另一端配有入射线狭缝并装有罗兰圆盘导向轴，导向轴与入射线狭缝同轴并与聚焦圆轨道呈滑动装配；所说的晶体部件依晶体部件安装孔固定在聚焦圆轨道上，晶体部件与聚焦圆轨道之间叠装固定行走槽和探测器拉臂；所说的共用齿轮为一实现罗兰圆盘、晶体部件、X射线探测器位移的推动轮，它与罗兰圆盘电机轴呈同轴锁紧装配，并同时啮合固定行走槽内和探测器拉臂内的两条完全相同的齿条；所说的罗兰圆盘电机与其轴上的共用齿轮为四自由度联动机构的动力源，电机轴通过单列圆锥滚子轴承与罗兰圆盘配接。

上述所说的晶体部件是表面曲率为1/R，晶面曲率为1/2R的双曲晶体，R半径的取值范围10cm≤R≤50cm；晶体部件(5)的晶体架上可装1至4块曲率相同、晶面间距不同的双曲晶体，通过转动更换晶体；晶体部件5中的晶体选用LiF(200)、LiF(220)、Ge(111)、PET(002)、TAIP(001)、TAM(020)、ADP(101)或KAP(001)。

上述所说的X射线探测器包括X射线探测器件、电荷灵敏及线性成形放大器、多道脉冲幅度分析器、探测器件高压及气体密度稳定器；其中X射线探测器件可选用流气或充气正比计数管、NaI(TL)闪烁计数器、CsI闪烁计数器。

上述所说的罗兰圆盘上的聚焦圆轨道的半径R取值范围为10cm≤R≤50cm。

上述所说的X射线激发源为功率小于1KW且循环冷却的X射线激发源。

上述所说的信息采集与处理器内有中央处理控制器，它由C8051F系列单片机支持，外部晶振频率高达100MHZ；所说的C8051F系列单片机包括C8051F120、C8051F122、C8051F124、C8051F126、C8051F060、C8051F060、C8051F062和C8051F063。

一种双曲晶体X荧光光谱分析仪的工作方法，其特征在于它包括以下步骤：

(1)X射线激发源产生一定波长范围的X射线，该原级X射线以一定角度照射在由送样器送入样品室内的样品上；

(2)样品内的待分析元素在原级X射线作用下激发出各元素的特征X射线，特征X射线进入分光测量室内，经分光测量室内的晶体部件衍射分光后被X射线探测器接收并转换为电脉冲信息；

(3)电脉冲信息由脉冲幅度信息采集与处理器记录，记录的数据由仪器系统控制器传送到上位分析计算机；

(4)上位分析计算机完成对数据的分析和计算并给出所需的测试结果。

上述所说的步骤(2)中分光测量室内部的工作方法为：共用齿轮随罗兰圆盘电机转动时，共用齿轮与罗兰圆盘电机沿固定行走槽内齿条II直线移动，并拖动罗兰圆盘沿齿条II移动，由于固定行走槽上的罗兰圆盘导向轴的制约，罗兰圆盘只能绕电机轴转动式前移，实现一种四自由度联动；与此同时，共用齿轮啮合探测器拉臂内齿条I拉动探测器拉臂上的X射线探测器沿聚焦圆轨道位移。

本发明的工作原理：本发明的技术方案建立在下述物理基础和构思上，弯曲晶体对X射线的聚焦式衍射分光必需同时满足罗兰条件和布拉格条件；罗兰条件要求弯曲晶体应该是半径为2R的柱面反射器，依据光学的反射定律，源狭缝、晶体衍射中心、衍射线的实像焦点应处在同一个半径为R的罗兰圆上(亦称聚焦圆)，罗兰圆就是源狭缝、晶体衍射中心、以及衍射线实像焦点的轨迹，并且满足晶源弦长与晶焦弦长相等(晶体衍射中心点到源狭缝点的弦长与晶体衍射中心点到实像聚焦点的弦长相等)；布拉格条件要求X射线反射还应服从布拉格公式：nλ_i＝2d Sinθ_i(λ_i为X射线波长，θ_i为衍射角，d为晶体晶面间距，n为衍射级数，只考虑n＝1)。满足布拉格条件的晶体表面应和聚焦圆处处重合。为此，需要把晶面曲率为1/2R的柱面反射器的凹面再加工成具有曲率为1/R的表面；即具有表面曲率为1/R，晶面曲率为1/2R的弯曲晶体符合罗兰条件和布拉格条件，且具有强聚焦功能，衍射像可以聚焦到一点或一条线。本发明即以全聚焦功能的双曲晶体实现对X射线的衍射分光。

一种以四自由度联动机构为核心，可连续衍射分光与探测的双曲晶体X荧光光谱仪的可实现性如图3所示，其中SG_iD_i是半径为R＝O_iG_i的聚焦圆，这些不同位置的聚焦圆满足不同波长X射线的衍射分光与探测；S是所有聚焦圆的共有源狭缝点；S-G_n-G₁是过源狭缝点连接晶体衍射中心G_n的一条直线，即是晶体衍射中心G位移的轨迹，以G_i点为中心的衍射晶体表面与聚焦圆处处重合；O₁-O_n表示聚焦圆位移过程的圆心移动轨迹，SO₁为源心径；D₁-D_n是聚焦圆上的实像焦点，该点安装X射线探测器，对于每个聚焦圆存在G_iD_i＝SG_i服从晶源弦长与晶焦弦长相等；∠SG_iE_i为晶源弦SG_i的弦切角，该角即是入射线的衍射角，其值是晶源弦SG_i对应的圆心角∠SO_iG_i的二分之一。

上述罗兰圆的位移及其上的双曲晶体、X射线探测器的跟随位移始终服从下述叁个条件：第一，聚焦圆位移过程，共有源狭缝点S保持固定不变；第二，晶体衍射中心点位移过程的轨迹不变，总是处在源狭缝点与晶体衍射中心点的一条(S-G_n-G)直线上；第三，X射线探测器在聚焦圆上位移时，保持晶焦弦长等于晶源弦长。

基于本发明技术方案的物理基础和构思，本发明在一个可位移的刻有聚焦圆轨道的罗兰圆盘上，实现双曲晶体部件和X射线探测器能同时满足罗兰条件和布拉格条件的四自由度联动；通过罗兰圆盘、双曲晶体部件、X射线探测器的位移过程完成对X射线的连续衍射分光与探测；罗兰条件要求双曲晶体应该是半径2R的柱面反射器，源狭缝、晶体衍射中心、衍射线的实像焦点应处在同一个半径为R的聚焦圆上，其R取值为10cm≤R≤50cm，聚焦圆就是源狭缝、以及衍射线的实像焦点的轨迹；双曲晶体部件和X射线探测器在位移中时时满足晶源弦长与晶焦弦长相等；满足布拉格条件的晶体表面应和聚焦圆处处重合。具体地说，罗兰圆盘、双曲晶体部件、X射线探测器三者的位移始终满足下述三个条件：第一，罗兰圆盘位移过程，共有源狭缝点保持固定不变，第二，双曲晶体部件位移过程，其晶体衍射中心点的位移轨迹不变，总是处在源狭缝S点与晶体衍射中心点的一条直线上，第三，X射线探测器在聚焦圆上位移过程，保持晶焦弦长等于晶源弦长。

上述四自由度联动机构驱动罗兰圆盘及其上的聚焦圆、双曲晶体、X射线探测器沿S-G_n-G直线作四自由度联动：既以双曲晶体衍射中心轴转动，又沿S-G_n-G直线移动，同时拉动探测器在聚焦圆上移动。

本发明的优越性在于：(1)本发明提供一种双曲晶体连续衍射分光与探测的控制方法，创新一种四自由度联动式连续衍射分光与探测机构，彻底更新目前采用的单-波长固定通道分光与探测机构；(2)采用四自由度联动机构的双曲晶体X荧光光谱分析仪仅用一块双曲晶体一个X射线探测器即能完成X射线的连续衍射分光与探测，是一种多元素分析的弯曲晶体光谱仪，其连续分析波长范围由布拉格公式决定；(3)采用双曲晶体完成X射线衍射分光，它具有全聚焦功能，衍射像可聚焦到一点或一条线，含有双曲晶体的衍射分光机构，比平面晶体衍射分光机构具有更高的衍射强度和分辨本领，其衍射分光效率能提高二至三数量级，波长分辨率好到千分位量级；(4)四自由度联动机构仅由一个驱动电机即能实现聚焦圆、双曲晶体、X射线探测器三者之间符合罗兰条件和布拉格条件的位移，最大限度的简化衍射分光与探测机构，降低成本、易于推广应用；(5)本发明提供的连续衍射分光与探测机构可推广到同步辐射光和一定波长范围的轫致辐射连续谱线的分析；(6)本发明中采用特制的入射线狭缝限制入射X射线取样宽度；采用特制的探测器狭缝降低杂散辐射进入X射线探测器，保证高信噪比、高分辨率的探测条件；(7)本发明中抽真空部件保证分光测量室内处于低真空状态，减少低能X射线被空气吸收，自动送样装置完成样品的更换与定位，流气装置确保X射线探测器的工作气体稳定。

(四)附图说明：

图1为本发明所涉一种双曲晶体X荧光光谱分析仪的整体结构示意图。

图2为本发明所涉一种双曲晶体X荧光光谱分析仪中连续衍射分光与探测装置的结构示意图(其中，图2-1为其主视图，图2-2为其后视图)。

图3为本发明所涉一种双曲晶体X荧光光谱分析仪的物理基础和连续衍射分光与探测的原理示意图。

其中，1为真空测量室，2为支撑托盘，3为罗兰圆盘，4为固定行走槽，5为晶体部件，6为为齿条I，7为X射线探测器，8为探测器拉臂，9为罗兰圆盘电机，10为共有齿轮，11为平行滑块，12为固定行走槽支柱，13为聚焦圆轨道，14为单列圆锥滚子轴承，15为探测器狭缝，16为齿条II，17为罗兰圆盘导向轴，18为晶体部件安装孔，19为入射线狭缝，20为拉臂移动轴，21为罗兰圆盘电机轴，23为X射线入射法兰接口，24为室内外电源与信息交换接口，25为真空管路接口，26为真空部件，27为样品室，28为送样器，29为X射线激发源，30为供电电源，31为信息采集与处理器，32为仪器系统控制器，33为上位计算机。

(五)具体实施方式：

实施例：一种双曲晶体X荧光光谱分析仪(见图1)，其特征在于它包括分光测量室1、抽真空部件26、样品室27、送样器28、X射线激发源29、供电电源30、信息采集与处理器31、仪器系统控制器32及上位分析计算机33；所说的分光测量室1依真空管路接口25与抽真空部件26对接，依X射线入射法兰接口23与样品室27对接，依电源与信息交换接口25连通供电电源30，依电缆通讯线分别连通信息采集与处理器31和仪器系统控制器32；所说的样品室27分别连接送样器28和X射线激发源29；所说的信息采集与处理器31依信息与控制线连通仪器系统控制器32；所说的仪器系统控制器32依标准接口连通上位分析计算机33。

上述所说的分光测量室1内部安装有连续衍射分光与探测装置(见图2)，所说的连续衍射分光与探测装置为四自由度联动机构，它由支撑托盘2、罗兰圆盘3、固定行走槽4、晶体部件5、齿条I 6、X射线探测器7、齿条II 16、探测器拉臂8、共有齿轮10及罗兰圆盘电机9构成；其中，支撑托盘2上依固定行走槽支柱12安装有固定行走槽4；所说的罗兰圆盘3上装有确保支撑托盘2与罗兰圆盘3的平行配置的平行滑行块11，罗兰圆盘3上间断的开有聚焦圆轨道13，聚焦圆轨道13上装有单列圆锥滚子轴承14，在轴承14的两侧备有安装晶体部件的晶体部件安装孔18；所说的X射线探测器7安装在探测器拉臂8上，X射线探测器7窗口前配有探测器狭缝15；所说的探测器拉臂8内装有齿条I 6，齿条I 6一端与共用齿轮10啮合配装，探测器拉臂的探测器端装有可在聚焦圆轨道13内滑移的拉臂移动轴20；所说的固定行走槽4内装有与探测器拉臂8内相同的齿条II 16，齿条II 16一端与共用齿轮10啮合装配，另一端配有入射线狭缝19并装有罗兰圆盘导向轴17，导向轴17与入射线狭缝19同轴并与聚焦圆轨道13呈滑动装配；所说的晶体部件5依晶体部件安装孔18固定在聚焦圆轨道13上，晶体部件5与聚焦圆轨道13之间叠装固定行走槽4和探测器拉臂8；所说的共用齿轮10为一实现罗兰圆盘3、晶体部件5、X射线探测器7位移的推动轮，它与罗兰圆盘电机轴21呈同轴锁紧装配，并同时啮合固定行走槽4内和探测器拉臂8内的两条完全相同的齿条；所说的罗兰圆盘电机9与其轴上的共用齿轮10为四自由度联动机构的动力源，电机轴通过单列圆锥滚子轴承14与罗兰圆盘3配接。

上述所说的晶体部件5(见图2)是表面曲率为1/R，晶面曲率为1/2R的双曲晶体，R半径的取值范围10cm≤R≤50cm；晶体部件(5)的晶体架上可装1至4块曲率相同、晶面间距不同的双曲晶体，通过转动更换晶体；晶体部件5中的晶体选用LiF(200)、LiF(220)、Ge(111)、PET(002)、TAIP(001)、TAM(020)、ADP(101)或KAP(001)。

上述所说的X射线探测器7(见图2)包括X射线探测器件、电荷灵敏及线性成形放大器、多道脉冲幅度分析器、探测器件高压及气体密度稳定器；其中X射线探测器件可选用流气或充气正比计数管、NaI(TL)闪烁计数器、CsI闪烁计数器。

上述所说的罗兰圆盘3(见图2)上的聚焦圆轨道13的半径R取值范围为10cm≤R≤50cm。

上述所说的X射线激发源29(见图1)为功率小于1KW且循环冷却的X射线激发源。

上述所说的信息采集与处理器31(见图1)内有中央处理控制器，它由C8051F系列单片机支持，外部晶振频率高达100MHZ；所说的C8051F系列单片机包括C8051F120、C8051F122、C8051F124、C8051F126、C8051F060、C8051F060、C8051F062和C8051F063。

(1)X射线激发源29产生一定波长范围的X射线，该原级X射线以一定角度照射在由送样器送入样品室27内的样品上；

(2)样品内的待分析元素在原级X射线作用下激发出各元素的特征X射线，特征X射线进入分光测量室1内，经分光测量室1内的晶体部件5衍射分光后被X射线探测器7接收并转换为电脉冲信息；

(3)电脉冲信息由脉冲幅度信息采集与处理器31记录，记录的数据由仪器系统控制器32传送到上位分析计算机33；

(4)上位分析计算机33完成对数据的分析和计算并给出所需的测试结果。

上述所说的步骤(2)中分光测量室1内部的工作方法为：共用齿轮10随罗兰圆盘电机9转动时，共用齿轮10与罗兰圆盘电机9沿固定行走槽4内齿条II 16直线移动，并拖动罗兰圆盘3沿齿条II 16移动，由于固定行走槽4上的罗兰圆盘导向轴17的制约，罗兰圆盘3只能绕电机轴转动式前移，实现一种四自由度联动；与此同时，共用齿轮10啮合探测器拉臂8内齿条I 6拉动探测器拉臂8上的X射线探测器7沿聚焦圆轨道13位移。

Claims

1、一种双曲晶体X荧光光谱分析仪，其特征在于它包括分光测量室、抽真空部件、样品室、送样器、X射线激发源、供电电源、信息采集与处理器、仪器系统控制器及上位分析计算机；所说的分光测量室依真空管路接口与抽真空部件对接，依X射线入射法兰接口与样品室对接，依电源与信息交换接口连通供电电源，依电缆通讯线分别连通信息采集与处理器和仪器系统控制器；所说的样品室分别连接送样器和X射线激发源；所说的信息采集与处理器依信息与控制线连通仪器系统控制器；所说的仪器系统控制器依标准接口连通上位分析计算机。

2、根据权利要求1所说的一种双曲晶体X荧光光谱分析仪，其特征在于所说的分光测量室内部安装有连续衍射分光与探测装置，所说的连续衍射分光与探测装置为四自由度联动机构，它由支撑托盘、罗兰圆盘、固定行走槽、晶体部件、齿条I、X射线探测器、齿条II、探测器拉臂、共有齿轮及罗兰圆盘电机构成；其中，支撑托盘上依固定行走槽支柱安装有固定行走槽；所说的罗兰圆盘上装有确保支撑托盘与罗兰圆盘的平行配置的平行滑行块，罗兰圆盘上间断的开有聚焦圆轨道，聚焦圆轨道上装有单列圆锥滚子轴承，在轴承的两侧备有安装晶体部件的晶体部件安装孔；所说的X射线探测器安装在探测器拉臂上，X射线探测器窗口前配有探测器狭缝；所说的探测器拉臂内装有齿条I，齿条I一端与共用齿轮啮合配装，探测器拉臂的探测器端装有可在聚焦圆轨道内滑移的拉臂移动轴；所说的固定行走槽内装有与探测器拉臂内相同的齿条II，齿条II一端与共用齿轮啮合装配，另一端配有入射线狭缝并装有罗兰圆盘导向轴，导向轴与入射线狭缝同轴并与聚焦圆轨道呈滑动装配；所说的晶体部件依晶体部件安装孔固定在聚焦圆轨道上，晶体部件与聚焦圆轨道之间叠装固定行走槽和探测器拉臂；所说的共用齿轮为一实现罗兰圆盘、晶体部件、X射线探测器位移的推动轮，它与罗兰圆盘电机轴呈同轴锁紧装配，并同时啮合固定行走槽内和探测器拉臂内的两条完全相同的齿条；所说的罗兰圆盘电机与其轴上的共用齿轮为四自由度联动机构的动力源，电机轴通过单列圆锥滚子轴承与罗兰圆盘配接。

3、根据权利要求2所说的一种双曲晶体X荧光光谱分析仪，其特征在于所说的晶体部件是表面曲率为1/R，晶面曲率为1/2R的双曲晶体，R半径的取值范围10cm≤R≤50cm；晶体部件(5)的晶体架上可装1至4块曲率相同、晶面间距不同的双曲晶体，通过转动更换晶体；晶体部件5中的晶体选用LiF(200)、LiF(220)、Ge(111)、PET(002)、TAIP(001)、TAM(020)、ADP(101)或KAP(001)。

4、根据权利要求2所说的一种双曲晶体X荧光光谱分析仪，其特征在于述所说的X射线探测器包括X射线探测器件、电荷灵敏及线性成形放大器、多道脉冲幅度分析器、探测器件高压及气体密度稳定器；其中X射线探测器件可选用流气或充气正比计数管、NaI(TL)闪烁计数器、CsI闪烁计数器。

5、根据权利要求2所说的一种双曲晶体X荧光光谱分析仪，其特征在于所说的罗兰圆盘上的聚焦圆轨道的半径R取值范围为10cm≤R≤50cm。

6、根据权利要求1所说的一种双曲晶体X荧光光谱分析仪，其特征在于所说的X射线激发源为功率小于1KW且循环冷却的X射线激发源。

7、根据权利要求1所说的一种双曲晶体X荧光光谱分析仪，其特征在于所说的信息采集与处理器内有中央处理控制器，它由C8051F系列单片机支持，外部晶振频率高达100MHZ；所说的C8051F系列单片机包括C8051F120、C8051F122、C8051F124、C8051F126、C8051F060、C8051F060、C8051F062和C8051F063。

8、一种双曲晶体X荧光光谱分析仪的工作方法，其特征在于它包括以下步骤：

9、根据权利要求8所说的一种双曲晶体X荧光光谱分析仪的工作方法，其特征在于所说的步骤(2)中分光测量室内部的工作方法为：共用齿轮随罗兰圆盘电机转动时，共用齿轮与罗兰圆盘电机沿固定行走槽内齿条II直线移动，并拖动罗兰圆盘沿齿条II移动，由于固定行走槽上的罗兰圆盘导向轴的制约，罗兰圆盘只能绕电机轴转动式前移，实现一种四自由度联动；与此同时，共用齿轮啮合探测器拉臂内齿条I拉动探测器拉臂上的X射线探测器沿聚焦圆轨道位移。