CN113406133A - 一种x射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪 - Google Patents
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- 239000003574 free electron Substances 0.000 title claims abstract description 27
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 55
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 41
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 230000001815 facial effect Effects 0.000 claims 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 239000008710 crystal-8 Substances 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 1
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/227—Measuring photoelectric effect, e.g. photoelectron emission microscopy [PEEM]
- G01N23/2273—Measuring photoelectron spectrum, e.g. electron spectroscopy for chemical analysis [ESCA] or X-ray photoelectron spectroscopy [XPS]
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
本发明公开了一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪,其特征在于:包括真空腔体、四轴调节架、快速切换腔、制冷系统、探测机构和弯晶;所述四轴调节架包括调节机构和工作杆,所述工作杆通过真空腔体上的接口伸入真空腔体,所述弯晶设在工作杆的末端,通过所述调节机构调节弯晶在真空腔体内的方位,使得弯晶的中心与入射光接口和出射光接口位于同一条直线上;所述快速切换腔与真空腔体真空连接用于更换弯晶;所述探测机构设在真空腔体的外部,通过真空腔体上的探测窗口对X射线进行探测。本发明通过高性能晶体分光、高精度晶体四轴调节和快速在线晶体切换,实现了单脉冲X射线光子的能量分布和入射强度的实时观测。
Description
技术领域
本发明涉及一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪。
背景技术
硬X射线自由电子激光装置(X-Ray Free-Electron Laser,XFEL)是新一代X射线光源,可以提供前所未有的亮度、高相干性和超短脉冲。结合XFEL谱学技术与泵浦-探测技术,可以实时观测物质体系受激发后能量或电荷传递、转移的超快过程,从原子、分子层次上了解其机理,从而深入地了解复杂体系光致反应的本质和历程。实际上,自发放大自发辐射(self-amplified spontaneous emission,SASE)机制的XFEL产生的X射线脉冲,其能量分布和强度是随机的,随着每一个脉冲变动而有不同的光谱分布。这就需要高精度地表征每个脉冲,使实验人员能够通过使用入射光谱进行归一化来提高其数据质量。因此,开发一种可实时观测单脉冲X射线光子的能量分布和入射强度的在线能谱仪对开展基于XFEL实验至关重要。
适用于XFEL装置的单脉冲在线能谱仪应该具有以下特点:
1、XFEL实验站的能量分辨率需求一般为1×10-4,这对在线诊断提出了更高的能量分辨要求。同时,光束通过在线能谱仪后还要进行后续实验。为了保证后续实验有足够多的光通量,要求在线能谱仪必须具有高透射性。
2、在线能谱仪安装在XFEL光束线上。由于光束线较长,为了保证产生的XFEL高效率传输,要选择超高真空管道。因此在线能谱仪需要设计超高真空腔体以兼容光束线传输。
3、光学元件在线调光时需要对准,要具有高精度的位置调节装置。此外,XFEL更高的峰值亮度和重复频率会导致更高的热负载,而高热负载会损坏光学元件。需要制冷系统将热量及时带走,从而保护光学元件长时间运行。
4、当在线能谱仪运行时,光学元件由于热负载效应达到使用寿命需要切换,或者根据不同能量分辨率和透射率需求需要选用多个光学元件,应该具有不破坏真空就可以切换光学元件的能力。
针对最新硬X射线自由电子激光装置对单脉冲在线光谱仪的需求,目前还没有对应的解决方案。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:现有技术没有能够实时观测单脉冲X射线光子的能量分布和入射强度的在线能谱仪。
为了解决上述问题,本发明的技术方案是提供了一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪,其特征在于:包括真空腔体、四轴调节架、快速切换腔、制冷系统、探测机构和弯晶;
所述四轴调节架包括调节机构和工作杆,所述工作杆与调节机构连接,调节机构具有X向、Y向、Z向和旋转调节功能,用于对工作杆进行调节;
所述工作杆通过真空腔体上的接口伸入真空腔体,所述弯晶设在工作杆的末端,所述真空腔体上设有入射光接口和出射光接口,通过所述调节机构调节弯晶在真空腔体内的方位,使得弯晶的中心与入射光接口和出射光接口位于同一条直线上;
所述快速切换腔与真空腔体真空连接用于更换弯晶;
所述制冷系统与弯晶连接用于降温;
所述探测机构设在真空腔体的外部,通过真空腔体上的探测窗口对X射线进行探测。
优选地,所述弯晶包括平凹面基底、平凸面基底、通孔、螺丝、弹性柱塞、超薄单晶晶片和保持架,所述平凹面基底和凸面基底中心设置通孔,平凹面基底的凹面和平凸面基底的凸面中间夹持超薄单晶晶片,保持架设在平凹面基底和平凸面基底的两端起到夹持作用,保持架上装有弹性柱塞,弹性柱塞分别压紧于凹面基底和凸面基底的平面,保持架两侧设置螺丝,通过拧紧螺丝固定保持架。
优选地,所述快速切换腔和真空腔体之间通过阀门连接。
优选地,所述真空腔体连接有真空泵。
优选地,所述探测窗口水平垂直于光路方向,探测窗口选用高透射X射线材料。
优选地,所述探测机构包括面探测器和位移台,所述面探测器设在位移台上正对探测窗口,通过所述位移台调整面探测器与探测窗口之间的距离。
优选地,所述四轴调节架包括X向位移台、旋转位移台、Z向位移台和Y向位移台,所述X向位移台、旋转位移台、Z向位移台和Y向位移台分别与工作杆连接用于对工作杆进行调节。
优选地,所述四轴调节架与真空腔体之间通过套设在工作杆上的法兰连接。
优选地,还包括支撑台面,所述真空腔体和位移台设在支撑台面上。
优选地,所述超薄单晶晶片为单晶硅、单晶锗或单晶金刚石。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
1、能够实现高性能晶体分光:晶体由于晶格间距与X射线波长尺度接近,可以实现X射线的衍射分光,具有高能量分辨。将平面晶体弯曲固定制作弯晶,使得不同能量的光子在空间展开,可以实现X射线的分光。面探测器不同位置对应于不同能量的光子,实现在线光谱监测。设计超薄透射式弯晶,可以同时具有高能量分辨和高透射率。
2、具有超高真空腔体:通过多接口超高真空腔体设计,使得在线能谱仪可以兼容光束线超高真空传输。同时,真空探测窗口采用Be窗或者KAPTON等X射线高透射材料,兼容超高真空的同时具备更高的X射线透过率。
3、能够实现高精度晶体四轴调节:设计了光学元件四轴调节装置,包括X向位移台、旋转位移台、Z向位移台和Y向位移台,分别调整在线光学元件的X、Y、Z、θ方向的位置调节,具有更高的精度和更灵活的适配场景。此外,四轴调节装置还设计了制冷系统,制冷系统与弯晶底座管道连接,管道内填充液氮可以带走弯晶产生的热量,最低可以达到4K,具有更高的热负载能力,可以保证光学元件长时间运行。
4、能够实现快速在线晶体切换:快速进样腔的设实现不破坏真空就可以切换光学元件。快速切换腔与真空腔体之间设置阀门,更换弯晶时,关闭阀门,隔绝内外真空,在快速进样腔更换弯晶,然后快速进样腔进行抽真空,当快速切换腔与真空腔体的真空度小于两个量级时,打开阀门,将弯晶从快速切换腔传送到真空腔体内,降低了在线光谱仪维护难度。
附图说明
图1为本发明一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪结构示意图;
图2为真空腔体结构示意图;
图3为四轴调节架结构示意图;
图4为弯晶结构示意图;
图5为X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪光路图;
图6为X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪主要参数图。
具体实施方式
为使本发明更明显易懂,兹以优选实施例,并配合附图作详细说明如下。
针对最新硬X射线自由电子激光装置对单脉冲在线光谱仪高能量分辨衍射分光、高透射性、高真空兼容、高热负载能力等的需求,本发明提出了一种高性能、多模式的X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪。设计原理基于X射线衍射,利用硅原子晶格间距与X射线波长尺度相近,来实现X射线的衍射分光。超薄单晶的X射线吸收低,可实现高透射性,从而实现实时检测X射线自由电子激光单脉冲的能量以及入射强度分布。
如图1至4所示,本发明一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪包括真空腔体1、四轴调节架2、阀门3、快速切换腔4、位移台5、面探测器6、支撑平台7、弯晶8和真空泵14。
真空腔体1上加工入射光接口11、出射光接口12和探测窗口13,入射光接口11与出射光接口12保持180°。探测窗口13水平垂直于光路方向,选用高透射X射线材料。真空泵14设在真空腔体1外部与真空腔体1连接。
真空腔体1和快速切换腔4通过阀门3真空连接,阀门3和快速切换腔4可以实现不破坏真空腔体1的真空就可以切换弯晶8,降低了在线光谱仪维护难度。
面探测器6安装在位移台5上正对探测窗口13,面探测器6可以是计数型面面探测器,也可以是积分型面面探测器。位移台5置于真空腔体1外,用于调节面探测器6和探测窗口13的相对位置,位移台5行程可以为100mm、300mm和500mm。真空腔体1和位移台5安装在支撑台面7上与支撑台面7固定连接。
弯晶8包括平凹面基底81、平凸面基底82、通孔83、螺丝84、弹性柱塞85、超薄单晶晶片86和保持架87,平凹面基底81和平凸面基底82的中心设置通孔83,通孔83可以保证透射光直通。平凹面基底81的凹面和平凸面基底82的凸面中间夹持超薄单晶晶片86,超薄单晶晶片86的面形与平凹面基底81的凹面和平凸面基底82保持一致。保持架87安装在平凹面基底81和平凸面基底82的两端起到夹持作用,保持架87上方安装弹性柱塞85,弹性柱塞85分别压紧于凹面基底81和凸面基底82的平面,用于均匀施加压力,减少晶片损伤。保持架87两侧设置螺丝84,通过拧紧螺丝84固定保持架87。
超薄单晶晶片86可以是单晶硅、单晶锗、单晶金刚石等完美晶体。弯晶8可以是一个,也可以是多个。
四轴调节架2包括X向位移台21、旋转位移台22、Z向位移台24、Y向位移台25和工作杆26,X向位移台21、旋转位移台22、Z向位移台24、Y向位移台25组成调节机构对工作杆26的位置进行调节,调节机构通过工作杆26连接弯晶8,并通过对工作杆26的调节进而对弯晶8的空间位置进行调节。工作杆26通过真空腔体1上的接口伸入真空腔体1,四轴调节架2与真空腔体1之间通过套设在工作杆26上的法兰连接。弯晶8置于真空腔体1内部中心,弯晶8中心与入射光接口11和出射光接口12中心共线。制冷系统23安装在四轴调节架2上与弯晶8连接。
当一束已知发散度的X射线通过真空腔体1的入射光接口11照射到弯晶8的凸面时,每个满足布拉格条件的波长都被反射,并在径向上远离弯曲圆的中心分散,如图5所示。根据等式nλi=2dsinθB,i,其中d是晶格间距,θB,i是布拉格角,并且i表示在光束内每个不同的波长。对应于能量区间ΔE的布拉格衍射脉冲在探测器平面上的光谱色散位置Δx由下式给出:
最大的光谱范围ΔEmax取决于入射光束大小H和弯曲晶体的半径R。
由以上两个公式可以得到X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪的主要参数,有晶面选择布拉格角、透射率、能量范围及能量分辨率,分别依次对应于图6a、b、c和d。
晶面选择:如图6a所示,不同晶面的晶体在特定光子能量下的本征达尔文宽度是不同的,这使得晶体的布拉格角也是不同的。例如,在10keV光子入射下,Si(111)的布拉格角为11.4°,而Si(333)的布拉格角为36.38°。同一晶面布拉格角随着入射能量的变大而减小。高阶晶面具有小的晶面间距和大的布拉格角。
透射率:如图6b,在10-25keV能量范围内,硅晶体的透射率随着不同厚度减小而增大。使用厚度小于20um的硅晶体可以保持80%以上的透过率。
能量范围:如图6c,谱仪的能量范围是指分析晶体所能探测X射线的光谱范围。自由电子激光装置单次激发的频谱宽度一般为0.001-0.01。即入射光能量为10keV,光谱仪的能量范围应该在10-100eV。
能量分辨率:能量分辨率是光谱仪最重要的参数。自由电子激光单发光谱并不是传统同步辐射光源的高斯分布,而是SASE模式的随机分布。单发光谱具有几十个尖峰,角宽可达2μrad。实验时可以根据晶体晶面,或者选用合适的弯晶8半径,调节面探测器6与弯晶8的距离,选用分辨率更高的面探测器6等参数实现高能量分辨。曲率半径为300mm,探测器与弯晶距离400mm,像素大小为50um,不同晶面的能量分辨率如图6d所示。
Claims (10)
1.一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪,其特征在于:包括真空腔体(1)、四轴调节架(2)、快速切换腔(4)、制冷系统(23)、探测机构和弯晶(8);
所述四轴调节架(2)包括调节机构和工作杆(26),所述工作杆(26)与调节机构连接,调节机构具有X向、Y向、Z向和旋转调节功能,用于对工作杆(26)进行调节;
所述工作杆(26)通过真空腔体(1)上的接口伸入真空腔体(1),所述弯晶(8)设在工作杆(26)的末端,所述真空腔体(1)上设有入射光接口(11)和出射光接口(12),通过所述调节机构调节弯晶(8)在真空腔体(1)内的方位,使得弯晶(8)的中心与入射光接口(11)和出射光接口(12)位于同一条直线上;
所述快速切换腔(4)与真空腔体(1)真空连接用于更换弯晶(8);
所述制冷系统(23)与弯晶(8)连接用于降温;
所述探测机构设在真空腔体(1)的外部,通过真空腔体(1)上的探测窗口(13)对X射线进行探测。
2.如权利要求1所述的一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪,其特征在于:所述弯晶(8)包括平凹面基底(81)、平凸面基底(82)、通孔(83)、螺丝(84)、弹性柱塞(85)、超薄单晶晶片(86)和保持架(87),所述平凹面基底(81)和凸面基底(82)中心设置通孔(83),平凹面基底(81)的凹面和平凸面基底(82)的凸面中间夹持超薄单晶晶片(86),保持架(87)设在平凹面基底(81)和平凸面基底(82)的两端起到夹持作用,保持架(87)上装有弹性柱塞(85),弹性柱塞(85)分别压紧于凹面基底(81)和凸面基底(82)的平面,保持架(87)两侧设置螺丝(84),通过拧紧螺丝(84)固定保持架(87)。
3.如权利要求1所述的一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪,其特征在于:所述快速切换腔(4)和真空腔体(1)之间通过阀门(3)连接。
4.如权利要求1所述的一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪,其特征在于:所述真空腔体(1)连接有真空泵(14)。
5.如权利要求1所述的一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪,其特征在于:所述探测窗口(13)水平垂直于光路方向,探测窗口(13)选用高透射X射线材料。
6.如权利要求1所述的一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪,其特征在于:所述探测机构包括面探测器(6)和位移台(5),所述面探测器(6)设在位移台(5)上正对探测窗口(13),通过所述位移台(5)调整面探测器(6)与探测窗口(13)之间的距离。
7.如权利要求1所述的一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪,其特征在于:所述四轴调节架(2)包括X向位移台(21)、旋转位移台(22)、Z向位移台(24)和Y向位移台(25),所述X向位移台(21)、旋转位移台(22)、Z向位移台(24)和Y向位移台(25)分别与工作杆(26)连接用于对工作杆(26)进行调节。
8.如权利要求1所述的一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪,其特征在于:所述四轴调节架(2)与真空腔体(1)之间通过套设在工作杆(26)上的法兰连接。
9.如权利要求6所述的一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪,其特征在于:还包括支撑台面(7),所述真空腔体(1)和位移台(5)设在支撑台面(7)上。
10.如权利要求2所述的一种X射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪,其特征在于:所述超薄单晶晶片(86)为单晶硅、单晶锗或单晶金刚石。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110659615.5A CN113406133B (zh) | 2021-06-15 | 2021-06-15 | 一种x射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110659615.5A CN113406133B (zh) | 2021-06-15 | 2021-06-15 | 一种x射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113406133A true CN113406133A (zh) | 2021-09-17 |
CN113406133B CN113406133B (zh) | 2023-03-21 |
Family
ID=77683844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110659615.5A Active CN113406133B (zh) | 2021-06-15 | 2021-06-15 | 一种x射线自由电子激光单脉冲在线诊断能谱仪 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN113406133B (zh) |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB865033A (en) * | 1959-03-24 | 1961-04-12 | Ontario Research Foundation | Improvements in or relating to spectrometers |
US4796284A (en) * | 1984-12-31 | 1989-01-03 | North American Philips Corporation | Polycrystalline X-ray spectrometer |
CN200944095Y (zh) * | 2006-09-20 | 2007-09-05 | 北京逸东机电技术开发有限公司 | 旋转式弯晶衍射分光与探测装置 |
CN101581680A (zh) * | 2008-12-25 | 2009-11-18 | 中国建筑材料检验认证中心 | 一种双曲晶体x荧光光谱分析仪及其工作方法 |
CN102621167A (zh) * | 2012-03-19 | 2012-08-01 | 中国科学院物理研究所 | 透射式硬x射线谱仪 |
CN202522529U (zh) * | 2011-12-21 | 2012-11-07 | 上海激光等离子体研究所 | 高分辨x射线椭圆弯晶谱仪 |
US20130108022A1 (en) * | 2011-10-27 | 2013-05-02 | Lawrence Livermore National Security, Llc | METHOD FOR CHARACTERIZATION OF A SPHERICALLY BENT CRYSTAL FOR K-alpha X-RAY IMAGING OF LASER PLASMAS USING A FOCUSING MONOCHROMATOR GEOMETRY |
US20160327499A1 (en) * | 2015-05-08 | 2016-11-10 | Keisuke Kobayashi | Hard X-Ray Photoelectron Spectroscopy Apparatus |
CN106974667A (zh) * | 2016-01-15 | 2017-07-25 | 西门子保健有限责任公司 | 具有弯曲的干涉光栅的设备和x射线相衬成像装置和方法 |
CN108418088A (zh) * | 2018-03-08 | 2018-08-17 | 中国科学技术大学 | 一种用于自由电子激光器的可切换反射镜的光学谐振腔 |
CN109702909A (zh) * | 2019-01-17 | 2019-05-03 | 同济大学 | 一种应用于球面弯晶制作的夹持工具及制作方法 |
CN110865094A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-03-06 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种多通道真空极紫外-软x射线单色仪 |
CN111650226A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-09-11 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 一种基于实验室x射线源的中能x射线吸收谱仪 |
CN112083023A (zh) * | 2020-08-18 | 2020-12-15 | 上海科技大学 | 一种高性能紧凑型x射线吸收光谱仪 |
CN112201383A (zh) * | 2020-08-17 | 2021-01-08 | 上海科技大学 | 一种真空压弯式弯晶 |
US20210010960A1 (en) * | 2019-07-09 | 2021-01-14 | Scienta Omicron Ab | Hard x-ray photoelectron spectroscopy system |
-
2021
- 2021-06-15 CN CN202110659615.5A patent/CN113406133B/zh active Active
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB865033A (en) * | 1959-03-24 | 1961-04-12 | Ontario Research Foundation | Improvements in or relating to spectrometers |
US4796284A (en) * | 1984-12-31 | 1989-01-03 | North American Philips Corporation | Polycrystalline X-ray spectrometer |
CN200944095Y (zh) * | 2006-09-20 | 2007-09-05 | 北京逸东机电技术开发有限公司 | 旋转式弯晶衍射分光与探测装置 |
CN101581680A (zh) * | 2008-12-25 | 2009-11-18 | 中国建筑材料检验认证中心 | 一种双曲晶体x荧光光谱分析仪及其工作方法 |
US20130108022A1 (en) * | 2011-10-27 | 2013-05-02 | Lawrence Livermore National Security, Llc | METHOD FOR CHARACTERIZATION OF A SPHERICALLY BENT CRYSTAL FOR K-alpha X-RAY IMAGING OF LASER PLASMAS USING A FOCUSING MONOCHROMATOR GEOMETRY |
CN202522529U (zh) * | 2011-12-21 | 2012-11-07 | 上海激光等离子体研究所 | 高分辨x射线椭圆弯晶谱仪 |
CN102621167A (zh) * | 2012-03-19 | 2012-08-01 | 中国科学院物理研究所 | 透射式硬x射线谱仪 |
US20160327499A1 (en) * | 2015-05-08 | 2016-11-10 | Keisuke Kobayashi | Hard X-Ray Photoelectron Spectroscopy Apparatus |
CN106974667A (zh) * | 2016-01-15 | 2017-07-25 | 西门子保健有限责任公司 | 具有弯曲的干涉光栅的设备和x射线相衬成像装置和方法 |
CN108418088A (zh) * | 2018-03-08 | 2018-08-17 | 中国科学技术大学 | 一种用于自由电子激光器的可切换反射镜的光学谐振腔 |
CN109702909A (zh) * | 2019-01-17 | 2019-05-03 | 同济大学 | 一种应用于球面弯晶制作的夹持工具及制作方法 |
US20210010960A1 (en) * | 2019-07-09 | 2021-01-14 | Scienta Omicron Ab | Hard x-ray photoelectron spectroscopy system |
CN110865094A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-03-06 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种多通道真空极紫外-软x射线单色仪 |
CN111650226A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-09-11 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 一种基于实验室x射线源的中能x射线吸收谱仪 |
CN112201383A (zh) * | 2020-08-17 | 2021-01-08 | 上海科技大学 | 一种真空压弯式弯晶 |
CN112083023A (zh) * | 2020-08-18 | 2020-12-15 | 上海科技大学 | 一种高性能紧凑型x射线吸收光谱仪 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
ZHENGXIAN QU ET AL.: "Termal loading on self-seeding monochromators in x-ray free electron lasers", 《NUCLEAR INST.AND METHODS IN PHYSICS RESEARCH,A》 * |
纪腾等: "硬X光在线弯晶谱仪的设计与实现", 《科技资讯》 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113406133B (zh) | 2023-03-21 |
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