CN101559312A - 化学过滤网的吸附装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明是一种化学过滤网的吸附装置的制造方法，其包括有下列步骤：上胶、贴覆滤网、加热粘固以及充填吸附剂。即在吸附装置的支撑结构表层上涂布热融胶后，将至少一滤网覆盖于吸附装置的支撑结构的表层上，而使支撑结构内形成容置空间，利用加热方式使吸附装置的支撑结构及其外侧表层上的滤网相互粘合，最后，将吸附剂填入并封设于该吸附装置的支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内。

Description

化学过滤网的吸附装置的制造方法

技术领域

本发明是有关一种化学过滤网的吸附装置的制造方法，尤指一种由上胶、贴覆滤网、加热粘固及充填吸附剂等步骤而制成的吸附装置，使具易于制作、可重复使用吸附装置，以及增加吸附剂含量，进而可提升吸附及过滤效果，达到环保及降低成本的目的，而适用于各式化学过滤网结构的吸附装置的制造。

背景技术

随着半导体技术不断的进步，使集成电路工艺线径不断的缩小，相对提高其制作环境的要求。因为，外部空气或无尘室内中含微污染(AMC：Airborne Molecular Contamination)物质对于工艺良率的影响日益扩大，为了提升工艺良率，半导体厂通常需于外气空调箱及气流循环区加装化学过滤网结构。

如图7所示，是为现有的化学过滤网结构的立体外观示意图，其是为一具有进风口与出风口的框体，而该框体内的进风口与出风口之间是结合固定有滤网，该滤网是以二层不织布A包夹一吸附剂与热融胶粉的混合物B形成一三明治结构，并经由加热后，令热融胶粉因遇热融化而使吸附剂(如：活性碳粉等)粘合固定于二层不织布A之间，且该不织布A的外层又设有一层细网(如：铁网)，以供固定结构用。然，现有制法，该二层不织布A内除了容置有吸附剂外，尚有热融胶粉；故，使得该二层不织布A内可容置的吸附剂的含量降低了，进而令整体结构的吸附、过滤的效果相对打折扣。因为，受限于现有结构是采固定结合滤网的方式，而当吸附剂在吸附饱和后，有吸附剂不易更新、置换的问题，也间接提高了化学过滤网结构的耗费成本；故，实际使用上，仍有不尽理想之处。

有鉴于此，本案发明人以从事该项事业多年的经验，并精心研究以求改进，是为本发明所欲研创的创作动机。

发明内容

本发明的主要目的，是在提供一种化学过滤网的吸附装置的制造方法，由上胶、贴覆滤网、加热粘固及充填吸附剂的制作步骤而制成的吸附装置，使具易于制作，并使热融胶粉不再占用可容置吸附剂的空间而增加了吸附剂的含量，提高吸附与过滤微污染(AMC)物质的效果，以增进整体的实用性。

本发明的次一目的，是在提供一种化学过滤网的吸附装置的制造方法，由该吸附装置的支撑结构上进一步设有一启闭机构，使吸附剂可更换，令吸附装置可重复使用，并使该取出的经过吸附饱和后的吸附剂可回收再利用，而达到环保及降低成本的目的，以增进整体的实用性、环保性及经济性。

为达成上述目的，本发明是提供一种化学过滤网的吸附装置的制造方法，其特征在于，其包括有下列步骤：

步骤一、上胶：在吸附装置的支撑结构表层上涂布热融胶；

步骤二、贴覆滤网：将至少一滤网覆盖于吸附装置的支撑结构的表层上，而使支撑结构内形成容置空间；

步骤三、加热粘固：利用加热方式使吸附装置的支撑结构及其外侧表层上的滤网相互粘合；以及

步骤四、充填吸附剂：将吸附剂填入并封设于该吸附装置的支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内。

其中该吸附装置的支撑结构的上、下二侧表层上分别上胶后，贴覆至少一滤网。

其中该上胶的方式采用人工涂布、上胶机涂布的其中任一种。

其中该加热粘固的加热方法采用烘烤箱加热、电熨斗加热、微波加热、红外线加热、加热机加热的其中任一种。

其中该支撑结构由四个侧边框相互连接呈一框体，而其框体内设有多根肋条与多根支撑肋相互连接形成的条格状结构，且各支撑肋的高度小于各肋条，以使该支撑结构内部形成多个贯穿通道，以利装填吸附剂。

其中，将吸附剂封设于该吸附装置的支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内的方式是采用活动启闭的封设的方式，该支撑结构进一步于其中一侧边上设有一开槽，以利吸附剂的装填及取出，而该开槽对应配设一密封条，以供形成一启闭机构，而利更换吸附剂及重复使用吸附装置。

其中，将吸附剂封设于该吸附装置的支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内的方式是采用固定封设的方式，该固定封设的方式是采用粘合、热融胶合、超音波结合的其中任一方式使吸附剂的充填口封死，以供将吸附剂密封固定于该支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内。

其中该吸附装置是制成薄片型，以利降低压力损失。

其中该滤网为不织布滤网。

其中该滤网为细网。

附图说明

本发明的其它特点及具体实施例可于以下配合附图的详细说明中进一步了解，其中：

图1是为本发明的制造方法的步骤流程示意图。

图2是为本发明的实施例的立体外观示意图。

图3是为本发明的实施例的元件分解示意图。

图4是为本发明的应用于组合式化学过滤网结构的单元体上的立体外观示意图。

图5是为本发明的应用于组合式化学过滤网结构的单元体上的元件分解示意图。

图6是为本发明的应用于组合式化学过滤网结构的单元体上的结合剖示图。

图7是为现有的化学过滤网结构的立体外观示意图。

主要元件符号说明

1、单元体

11、上胶

12、贴覆滤网

13、加热粘固

14、充填吸附剂

20、单元框

203、螺孔

21、开口

30、吸附装置

31、滤网

40、支撑结构

401、肋条

402、支撑肋

41、启闭机构

411、开槽

412、密封条

43、结合部

431、穿孔

432、螺栓

50、吸附剂

A、不织布

B、吸附剂与热融胶粉的混合物

具体实施方式

请参阅图1，是为本发明一种化学过滤网的吸附装置的制造方法的步骤流程示意图，并请同参阅图2及图3，其是包括下列步骤：

步骤一、上胶11：在吸附装置30的支撑结构40表层上涂布热融胶(hot-melt adhesive)；其中，该上胶11的方式是可采用人工涂布、上胶机涂布等的其中任一种。

步骤二、贴覆滤网12：将至少一滤网31覆盖于吸附装置30的支撑结构40的表层上，而使支撑结构40内形成容置空间；该滤网31是可为不织布滤网、细网…等其中任一种；本实施例是采用不织布滤网，而于在该吸附装置30的支撑结构40的上、下二侧表层上分别上胶后，各贴覆至少一不织布滤网31。

步骤三、加热粘固13：利用加热方式使吸附装置30的支撑结构40及其外侧表层上的滤网31相互粘合；而该加热粘固13的加热方法是采用烘烤箱加热、电熨斗加热、微波加热、红外线加热、加热机加热的其中任一种。

步骤四、充填吸附剂14：将吸附剂50填入并封设于该吸附装置30的支撑结构40与其外侧的滤网31所形成的容置空间内。

其中，该吸附装置30是制成薄片型，以利降低压力损失。而该吸附装置30是依据上述的制造方法的步骤流程可知，是包括有一支撑结构40、至少一滤网31及吸附剂50。而该支撑结构40是由四个侧边框相互连接呈一框体，而其框体内设有多根肋条401与多根支撑肋402相互连接形成的条格状结构，且各支撑肋402的高度是小于各肋条401，以使该支撑结构40内部形成多个贯穿通道，以利装填吸附剂50；而该支撑结构40可采塑料射出成型的方式，而一体成型出多根肋条401与多根支撑肋402相互连接的条格状结构。

再者，该充填吸附剂50后，将吸附剂50封设于该吸附装置30的支撑结构40与其外侧的滤网31所形成的容置空间内的方式是可采用固定封设的方式(图未示)，该固定封设的方式是采粘合、热融胶合、超音波结合…等的其中任一方式使吸附剂50的充填口封死，以供将吸附剂50密封固定于该支撑结构40与其外侧的滤网31所形成的容置空间内。另或，将吸附剂50封设于该吸附装置30的支撑结构40与其外侧的滤网31所形成的容置空间内的方式是可采活动启闭的封设的方式，该支撑结构40是可进一步于其中一侧边上设有一开槽411，以利吸附剂50的装填及取出，而该开槽411是对应配设一密封条412，以供取换该吸附剂50及防止倒入的吸附剂50外泄，该开槽411与密封条412是相互对应配合使用，以供形成一启闭机构41，而利更换吸附剂50及重复使用吸附装置30，进而利于吸附剂50的回收再生的利用。

当制作吸附装置30时，是依据本发明的制造方法，先将二滤网31以热融胶加热粘合于该支撑结构40的上下二侧，以使该支撑结构40二侧的滤网31与支撑结构40之间形成具多个条状贯穿的容置空间，再将该吸附剂50由该支撑结构40上的启闭机构41的开槽411倒入该支撑结构40与二滤网31所形成的容置空间内后，以密封条412将该启闭机构41的开槽411密合，以供防止吸附剂50外泄；由此，以完成该吸附装置30的制作。

请再参阅图1～图5，本发明的特点是在于：由上胶11、贴覆滤网12、加热粘固13及充填吸附剂14的制作步骤而制成的吸附装置30，其以一支撑结构40、至少一滤网31及吸附剂50的组合设计，使具易于制作，并使热融胶粉不再占用容置吸附剂50的空间，而增加了吸附装置30内的吸附剂50的含量，进而提高吸附、过滤微污染(AMC)物质的效果；再由该吸附装置30是以一支撑结构40外侧粘贴结合至少一滤网31(本实施例中是于该支撑结构40上、下的二外侧上各胶合一滤网31；但，于实际实施时，亦可采一滤网31包覆粘贴该支撑结构40的上、下二外侧上)，而该支撑结构40进一步可设有一启闭机构41，以形成活动启闭的封设结构，进而可更换吸附剂50，令吸附装置30可重复使用，并使该取出的经过吸附饱和后的吸附剂50可回收再利用，而达到环保、降低成本的目的；综上所述，使本发明具实用性、环保性及经济性。

如图4～图6所示，是本发明的应用于组合式化学过滤网结构的单元体上的立体外观、元件分解及结合剖示意图，该组合式化学过滤网结构是由多个单元体1相互堆栈组成，该单元体1是包括有一具开口21的单元框20，而该单元框20的上、下层是可分别活动结合至少一吸附装置30。本实施例中，是以锁合的方式使吸附装置30结合于该单元框20上，其中，该依据本发明的制法所制成的吸附装置30于支撑结构40的四个侧边框内侧是进一步设有至少一结合部43(本实施例中是设有八个)，而该结合部43是为一具穿孔431(螺孔)的圆柱，该单元框20是于其与吸附装置30相互结合的对应位置上设有螺孔203，而以螺栓432穿过吸附装置30的穿孔431及单元框20的螺孔203中，达到对应锁合。而使用时，当外气是从单元框20的开口21进入单元框20内并通过该单元框20的上、下层的吸附装置30，让微污染物质被该吸附剂50吸收，接着再通过吸附装置30外侧的滤网31，以完成过滤。该组合式化学过滤网结构利用了本发明的吸附装置30，而具可更换吸附剂50及可重复使用的功效，进而可达到环保的目的，以及当吸附剂50吸附饱和后，具不需置换整组结构的优点，故，可有效降低更换设备的成本。

综上所述，本发明确可达到创作的预期目的，具有实用价值无疑，故依法提出专利申请。

惟以上所述的具体实施例，仅是用以例释本发明的特点及功效，而非用以限定本发明的可实施范畴，因此在未脱离本发明上揭的精神与技术范畴下，任何运用本发明所揭示内容而完成的等效改变及修饰，均仍应为本发明的权利要求范围所涵盖。

Claims (10)

1、一种化学过滤网的吸附装置的制造方法，其特征在于，其包括有下列步骤：

步骤一、上胶：在吸附装置的支撑结构表层上涂布热融胶；

步骤二、贴覆滤网：将至少一滤网覆盖于吸附装置的支撑结构的表层上，而使支撑结构内形成容置空间；

步骤三、加热粘固：利用加热方式使吸附装置的支撑结构及其外侧表层上的滤网相互粘合；以及

步骤四、充填吸附剂：将吸附剂填入并封设于该吸附装置的支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内。

2、如权利要求1所述的化学过滤网的吸附装置的制造方法，其特征在于，其中该吸附装置的支撑结构的上、下二侧表层上分别上胶后，贴覆至少一滤网。

3、如权利要求1所述的化学过滤网的吸附装置的制造方法，其特征在于，其中该上胶的方式采用人工涂布、上胶机涂布的其中任一种。

4、如权利要求1所述的化学过滤网的吸附装置的制造方法，其特征在于，其中该加热粘固的加热方法采用烘烤箱加热、电熨斗加热、微波加热、红外线加热、加热机加热的其中任一种。

5、如权利要求1所述的化学过滤网的吸附装置的制造方法，其特征在于，其中该支撑结构由四个侧边框相互连接呈一框体，而其框体内设有多根肋条与多根支撑肋相互连接形成的条格状结构，且各支撑肋的高度小于各肋条，以使该支撑结构内部形成多个贯穿通道，以利装填吸附剂。

6、如权利要求1或5所述的化学过滤网的吸附装置的制造方法，其特征在于，其中，将吸附剂封设于该吸附装置的支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内的方式是采用活动启闭的封设的方式，该支撑结构进一步于其中一侧边上设有一开槽，以利吸附剂的装填及取出，而该开槽对应配设一密封条，以供形成一启闭机构，而利更换吸附剂及重复使用吸附装置。

7、如权利要求1所述的化学过滤网的吸附装置的制造方法，其特征在于，其中，将吸附剂封设于该吸附装置的支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内的方式是采用固定封设的方式，该固定封设的方式是采用粘合、热融胶合、超音波结合的其中任一方式使吸附剂的充填口封死，以供将吸附剂密封固定于该支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内。

8、如权利要求1所述的化学过滤网的吸附装置的制造方法，其特征在于，其中该吸附装置是制成薄片型，以利降低压力损失。

9、如权利要求1所述的化学过滤网的吸附装置的制造方法，其特征在于，其中该滤网为不织布滤网。

10、如权利要求1所述的化学过滤网的吸附装置的制造方法，其特征在于，其中该滤网为细网。

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