CN101556303B

CN101556303B - 整合无线射频识别的晶片测试系统及其测试方法

Info

Publication number: CN101556303B
Application number: CN 200810090699
Authority: CN
Inventors: 徐文政; 罗明旻; 王朝建; 卓义芳
Original assignee: Chipmos Technologies Inc
Current assignee: Chipmos Technologies Inc
Priority date: 2008-04-08
Filing date: 2008-04-08
Publication date: 2012-09-26
Anticipated expiration: 2028-04-08
Also published as: CN101556303A

Abstract

一种整合无线射频识别(RFID)的晶片测试系统及其测试方法，该系统包括：一晶片待测区，存放晶片载具；一探针机台，包括一运动平台、一探针卡夹持机构与一探针卡，运动平台提供X-Y-Z三轴的移动以承载受测的晶片，探针卡夹固于探针卡夹持机构；一测试机台，输入测试信号至探针机台以进行晶片测试，测试后呼叫一接口程序以将测试结果转换为特定数据格式的文件；载具设置RFID标签；探针机台设置有RFID读取机；一RFID中介平台，通过读取标签信息呼叫相关应用程序以产生对应的晶片信息；一数据分析系统，接收特定数据格式的文件并运算处理产生晶片测试后的良率信息；以及一工艺信息系统，用以整合RFID中介平台的晶片信息及良率信息，以实时监控以晶片为主的工艺与良率。

Description

整合无线射频识别的晶片测试系统及其测试方法

技术领域

本发明有关一种晶片测试系统及其测试方法，特别是有关一种整合无线射频识别(RFID)技术的晶片测试系统及其测试方法。

背景技术

关于使用RFID技术在晶片库存或运送的先前技术已有美国专利US6330971与美国早期公开申请案US20060043197以及中国台湾专利TWI267029所揭露。其中，美国专利US6330971揭露一种使用RFID技术以追踪晶片的系统，如图1A所示，此系统10包含承载晶片的多个载具11、RFID读取机12，贴附在载具11的RFID标签14以及控制器13，其中RFID读取机12通过其上的多个天线15以读取贴附在各载具11上的RFID标签14，同时RFID读取机12并将读取到的标签信息通过RS232接口传送至控制器13以提供目前载具11及其承载晶片所在位置。

此外，美国早期公开申请案US20060043197揭露一种使用RFID的载具以进行晶片运输的系统，如图1B所示，此系统100包含运输装置110、承载晶片的载具111、处理机台115、RFID读取机116以及机台控制器117，当载具111通过运输装置110输送至处理机台115时，则安装于处理机台115的RFID读取机116读取载具本体112的RFID标签114，以将RFID标签114记载的载具识别码送至机台控制器117，以提供处理机台115进行此载具111内晶片片的加工处理。

此外，中国台湾专利TWI267029揭露一种使用RFID的载具以进行晶片运输的系统，如图1C所示，此运输系统1000包含晶片盒1010、RFID标签1020、运输装置1030、处理机台1040、RFID读取机1050、主机1060及触发器1070，当晶片盒1010的RFID标签1020出现在处理机台1040附近时，由于RFID感应器直接接收到RFID标签1020而自动启动运输装置1030，可能错误将晶片盒1010通过机械手臂传送至装卸部而误伤操作员，但通过操作员直接操作触发器1070以对主机1060下达命令而控制RFID感应器何时感应，避免RFID感应器不当地感应RFID标签而使机械手臂意外被启动而危害操作员安全。

上述先前技术的内容主要是利用RFID以进行晶片输送或追踪，但是并没有将RFID技术与晶片测试有关的数据分析信息系统有效整合在一起，以提供系统或操作员(operator)、制造系统、甚至委托制造的客户等实时监控以晶片为主(waferbased)的工艺与良率。因此提供一种整合RFID技术至晶片测试系统，使在线上通过数据分析系统实时掌握晶片测试结果及晶片库存运送追踪，实是业界急需解决的课题。

发明内容

为了提供一种可实时监控以晶片为主的工艺与良率，以解决上述先前技术不尽理想之处，本发明提供一种整合RFID的晶片测试系统及其测试方法，此整合RFID的晶片测试系统至少包括一晶片待测区、一探针机台、一测试机台、一RFID中介平台、一数据分析系统与一工艺信息系统。晶片待测区存放具有多个晶片的载具，而载具设置有RFID标签。探针机台设置有一RFID读取机，以读取来自RFID标签所储存的标签信息。RFID中介平台读取标签信息，并呼叫相关应用程序以产生一对应的晶片信息。数据分析系统接收来自接口程序所转换的特定数据格式的文件，加以运算处理以产生晶片测试后的良率信息。工艺信息系统用以整合RFID中介平台的晶片信息及EDA系统的良率信息，据此，可实时监控以晶片为主的工艺与良率。

因此，本发明的主要目的在于提供一种整合RFID的晶片测试系统与测试方法，可将无线射频识别(RFID)技术整合至晶片测试的数据分析系统(EDA)，通过将测试完的晶片测试数据直接送至此数据分析系统以提供晶片测试良率信息的实时监控。

本发明的次要目的在于提供一种整合RFID的晶片测试系统与测试方法，可进一步在其探针机台设置RFID读取机，通过无线射频方式以读取来自贴附在载具的RFID标签的标签信息(tag info)，借以提供系统或操作员实时掌握此载具的晶片批号信息。

本发明的再一目的在提供一种整合RFID的晶片测试系统与测试方法，可进一步提供一RFID中介平台，以接收RFID读取机所读取的标签信息，并呼叫相关应用程序处理该标签信息以产生一晶片信息。

本发明的又一目的在提供一种整合RFID的晶片测试系统与测试方法，可进一步提供一测试机台(tester)，输入测试信号至探针机台以进行晶片的测试，测试完后呼叫一接口程序以将晶片的测试结果(test result)转换为一特定数据格式的文件。

本发明的另一目的在提供一种整合RFID的晶片测试系统与测试方法，可进一步提供一工艺信息系统(MES system)，用以整合RFID中介平台的晶片信息及EDA系统的良率信息，据此系统或操作员(operator)可实时监控以晶片为主(waferbased)的工艺与良率。

本发明的另一目的在提供一种整合RFID的晶片测试系统与测试方法，可进一步提供EDA系统与MES系统间可进行数据连结(data interconnection)的接口。

附图说明

图1A至图1C示出先前技术的一种整合RFID的晶片系统。

图2是本发明一较佳实施例的使用RFID的晶片测试系统的示意图。

图3是图2所示的使用RFID的晶片测试系统的一种信息平台的配置示意图。

具体实施方式

由于本发明是揭露一种整合RFID的晶片测试系统及其测试方法，以提供系统或操作员可实时监控以晶片为主(wafer based)的工艺与良率，其中所利用的晶片测试流程及其无线射频识别原理，已为相关技术领域具有通常知识者所能明了，故以下文中的说明，不再作完整描述。同时，以下文中所对照的附图，是表达与本发明特征有关的结构示意，并未亦不需要依据实际尺寸完整绘制。

首先请参考图2及图3，图中示出本发明提出的一较佳实施例，为一种整合无线射频识别(RFID)技术的晶片测试系统20。此整合RFID技术的晶片测试系统20包含有一晶片待测区21、一探针机台(prober)22、一测试机台(tester)23以及一后端信息平台(backend IT platform)200，而此后端信息平台200包括一RFID中介平台24、一数据分析系统(EDA system)25以及一工艺信息系统(MES system)26。晶片待测区21用以存放多个载具27，每一载具27可承载至少一个晶片270，同时在每一载具27设置有至少一个RFID标签271。探针机台22是作晶片测试之用，至少具有一运动平台221、一探针卡夹持机构222与一探针卡223。探针卡夹持机构222夹持固定探针卡223，运动平台221具有X-Y-Z三轴(未图示)的运动平台221用以承载晶片270，以供探针卡223的测试之用。此外探针机台22进一步设置有一RFID读取机224，以无线射频方式读取贴附在载具27的RFID标签271内的标签信息(tag info)，而此标签信息是记载包括标签识别码(tag ID)、载具编号(carrier ID)、客户编号(customer ID)、晶片编号(wafer ID)及探针卡编号(probecard ID)等信息。测试机台(tester)23则根据上述标签信息以输入对应此待测晶片的测试信号至探针机台22以进行晶片测试，当晶片测试完后，则测试机台23呼叫应用软件服务器28的一接口应用程序281以将晶片的测试结果231转换为一特定数据格式的文件232，而此特定数据格式符合XML格式或适合产业的其它数据交换标准。RFID中介平台24用以接收RFID读取机224所读取的标签信息，并呼叫应用软件服务器28的另一应用程序282以处理上述标签信息而产生一晶片信息。数据分析系统(EDA system)接收来自接口应用程序所转换的特定数据格式的文件232，加以运算处理以产生晶片的良率信息。工艺信息系统(MES system)26用以整合RFID中介平台24的晶片信息及EDA系统25的良率信息，据此，系统或操作员则可实时监控以晶片为主(wafer based)的工艺与良率。

在上述实施例中，操作员可通过一输出装置30实时监控晶片的测试结果，而此输出装置30可以是浏览器(browser)为主的PC工作平台(browser-based PCworkstation)。进一步地，委托进行晶片测试的客户，亦可以通过某种授权之后，通过类似的输出装置实时监控晶片的测试结果，借以视需要实时调整晶片制造过程的工艺参数。

RFID中介平台24进一步包含一中介数据库240，以存放与待测晶片的标签信息有关的数据。EDA系统25进一步包含一EDA数据库250，用以存放与晶片测试良率有关的数据。工艺信息系统26进一步包含一MES数据库260，用以存放与晶片测试方法加工有关的数据。此外，后端信息平台200进一步包含一文件服务器29，用以存放与晶片的测试参数有关的建立文件290，而此建立文件290是根据待测晶片的标签信息并通过中介数据库与该MES数据库的数据整合而产生的，换言之，EDA数据库250与MES数据库260彼此间可进行数据连结(data interconnection)，据此测试机台23接收此待测晶片的建立文件290可对此待测晶片进行相关测试。上述应用软件服务器28用以存放与中介数据库240、MES数据库260或文件服务器29有关的应用程序。此外，上述RFID标签271可以是被动式或主动式。此外，载具27可以是晶舟盒(cassette)、晶片传送匣(FOUP)或晶片运输盒(FOSB)的任一种。此外，上述标签信息可进一步包含一优良晶粒数(number of good dies on eachwafer)。

此外，本发明根据上述整合RFID技术的晶片测试系统20而提出另一较佳实施例，为一种整合RFID技术的晶片测试方法，此测试方法包括有：

(1)提供一晶片待测区，以存放具有多个晶片的载具，而载具设置有至少一RFID标签；

(2)提供一探针机台，此探针机台至少具有一运动平台、一探针卡夹持机构与一探针卡，其中上述运动平台提供X-Y-Z三轴的移动以承载一晶片，探针卡夹持固定于探针卡夹持机构；

(3)提供一测试机台，输入测试信号至探针机台以进行晶片测试，测试完后呼叫一接口程序以将晶片的测试结果转换为一特定数据格式的文件；

(4)进一步在上述探针机台设置有一RFID读取机，以无线射频方式读取一来自上述RFID标签的标签信息

(5)提供一RFID中介平台，以接收RFID读取机所读取的标签信息，并呼叫相关应用程序处理此标签信息以产生一晶片信息；

(6)提供一数据分析系统，以接收来自接口程序所转换的特定数据格式的文件，并对其加以运算处理后以产生晶片的良率信息；以及

(7)提供一工艺信息系统，以整合该RFID中介平台的晶片信息及该EDA系统的良率信息，据此系统或操作员可实时监控以晶片为主的工艺与良率。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用以限定本发明的权利范围；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在申请专利范围中。

Claims

1.一种整合无线射频识别的晶片测试系统，至少包括有：

一晶片待测区，用以存放具有多个晶片的载具；

一探针机台，至少具有一运动平台、一探针卡夹持机构与一探针卡，该运动平台系提供X-Y-Z三轴的移动以承载一受测的晶片，该探针卡夹持固定于该探针卡夹持机构；以及

一测试机台，输入测试信号至该探针机台以进行该晶片的测试，测试完后呼叫一接口程序以将该晶片的测试结果转换为一特定数据格式的文件；

其特征在于：

该载具设置有至少一个无线射频识别标签；

该探针机台设置有一个无线射频识别读取机，以读取该无线射频识别标签所储存的标签信息；

一无线射频识别中介平台，通过该读取的标签信息，呼叫相关应用程序以取得其对应的晶片信息；

一数据分析系统，接收来自该接口程序所转换的该特定数据格式的文件，加以运算处理以产生该晶片的良率信息；以及

一工艺信息系统，用以整合该无线射频识别中介平台的晶片信息及该数据分析系统的良率信息，以实时监控晶片的工艺与良率。

2.根据权利要求1所述的整合无线射频识别的晶片测试系统，其特征在于该标签信息包括由下列信息之一或其组合：标签识别码、载具编号、客户编号、晶片编号、优良晶粒数及探针卡编号。

3.根据权利要求1所述的整合无线射频识别的晶片测试系统，其特征在于该无线射频识别标签是被动式或主动式。

4.根据权利要求1所述的整合无线射频识别的晶片测试系统，其特征在于该无线射频识别中介平台进一步包含一中介数据库，用以存放与该标签信息有关的数据；该数据分析系统进一步包含一数据分析数据库，用以存放与测试良率有关的数据；及该工艺信息系统进一步包含一工艺信息数据库，用以存放与晶片测试有关的数据。

5.根据权利要求4所述的整合无线射频识别的晶片测试系统，进一步包含一文件服务器，用以存放与晶片的测试参数有关的建立文件，而该建立文件是通过该中介数据库与该工艺信息数据库的数据整合而产生的，并输入至该测试机台以进行晶片测试。

6.根据权利要求5所述的整合无线射频识别的晶片测试系统，其特征在于进一步包含一应用软件服务器，以存放与该中介数据库、工艺信息数据库或文件服务器有关的应用程序。

7.根据权利要求1所述的整合无线射频识别的晶片测试系统，其特征在于进一步包含一输出装置以供实时监控使用，而该输出装置是以浏览器为主的PC工作平台。

8.根据权利要求1所述的整合无线射频识别的晶片测试系统，其特征在于该载具是选自于由晶舟盒、晶片传送匣与晶片运输盒所构成的群组。

9.根据权利要求1所述的整合无线射频识别的晶片测试系统，其特征在于该特定数据格式的文件是XML格式。

10.一种整合无线射频识别的晶片测试方法，包括有：

提供一晶片待测区，用以存放具有多个晶片的载具；

提供一探针机台，至少具有一运动平台、一探针卡夹持机构与一探针卡，该运动平台系提供X-Y-Z三轴的移动以承载一受测的晶片，该探针卡系夹持固定于该探针卡夹持机构；以及

提供一测试机台，输入测试信号至该探针机台以进行该晶片的测试，测试完后呼叫一接口程序以将该晶片的测试结果转换为一特定数据格式的文件；

其特征在于该晶片测试方法进一步包含：

提供至少一个无线射频识别标签设置于该载具；

提供一个无线射频识别读取机，设置于该探针机台，以读取该无线射频识别标签所储存的标签信息；

提供一无线射频识别中介平台，通过该读取的标签信息，呼叫相关应用程序以取得其对应的晶片信息；

提供一数据分析系统，接收来自该接口程序所转换的该特定数据格式的文件，加以运算处理以产生该晶片的良率信息；以及

提供一工艺信息系统，用以整合该无线射频识别中介平台的晶片信息及该数据分析系统的良率信息，以实时监控晶片的工艺与良率。