CN101554710B - 集成外转子式直驱抛光机转台 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及抛光设备技术领域，特别是关于一种集成外转子式直驱抛光机转台装置。支撑轴承的内圈固定安装于转子轴盘，支撑轴承的外圈固定安装于轴承座内，抛光盘安装于转子轴盘上，支撑轴承为转子轴盘和抛光盘提供精密的旋转支撑；直驱电机定子通过支撑盘安装于转子轴盘内部；圆光栅安装在转子轴盘下端，读数头安装在支撑盘上，用以完成转台的速度和位置反馈控制。转子轴盘集成了直驱电机的转子，实现直驱电机对抛光盘的直接驱动，使得转台结构紧凑、精度高，可广泛应用于精密抛光设备。

Description

集成外转子式直驱抛光机转台
技术领域
本发明涉及抛光设备技术领域，特别是关于一种集成外转子式直驱抛光机转台装置。
背景技术
抛光设备尤其是化学机械抛光设备是一种精密加工设备。抛光设备的转台是一种高精度、高承载能力的旋转支撑设备。由于转台台面尺寸较大，工作压力较大且一般为偏载，因而转台承受的载荷比较复杂。抛光过程的去除率与工作压力成一定比例关系，转台台面的回转精度尤其是端面跳动(轴向跳动)将会影响到抛光压力，对工件的抛光质量影响较大，因而抛光设备对转台的旋转精度要求较高。
目前，抛光机转台一般采用多个精密机械轴承支撑，由变频电机或伺服电机经过齿轮传动或皮带传动来驱动转台的旋转。由于传动链长，并且会引入额外的径向力，转台的回转精度不会特别高。而且由于工作转速不高，电机还需要配备减速器，电机和减速器一般都外置，使得转台结构不够紧凑。
直驱电机(力矩电机)是一种新型电机，这种电机能够直接提供较大转矩，而且转速不高，不需要配备减速器，可以直接驱动转台，使得传动部分的结构大大简化。直驱技术可以省略中间的传动环节，提高传动精度。
大台面的转台如果采用内转子型直驱电机，由于转子直径与转台直径相差较大，会使得结构布置不够紧凑。现在也有一些集成直驱电机，在电机内集成轴承，可直接作为转台。这种集成电机，一般对外提供的支撑面比较小，承载能力较小。
发明内容
为了克服现有抛光机转台旋转精度不高，结构不紧凑，承载能力不足等问题，本发明提供一种集成外转子式直驱抛光机转台，其特征在于，支撑轴承2的内圈安装在转子轴盘3上，支撑轴承2的外圈安装于轴承座1内；抛光盘6安装于转子轴盘3上；支撑盘8与轴承座1下端用螺栓联接，直驱电机定子7用螺栓安装于支撑盘8上；圆光栅9安装在转子轴盘3下端，读数头10安装在支撑盘8上，用以完成转台的速度和位置反馈控制；集液槽11安装于抛光盘6外沿下方，用以实现对抛光盘6上表面液体的收集。
所述的转子轴盘3集成了直驱电机转子，直驱电机定子7位于转子轴盘3内部，转子轴盘3与直驱电机定子7组成外转子型直驱电机。
所述的支撑轴承2为交叉滚子轴承、双排推力角接触球轴承或三排圆柱滚子组合轴承；对于内外圈没有安装孔的支撑轴承2，其内圈由内压盖5固定，外圈由外压盖4固定；对于内外圈有安装孔的支撑轴承2，其内外圈分别由螺栓固定。
所述转子轴盘3集成直驱电机转子的方式为：将永磁体31直接均匀地嵌入转子轴盘3内孔，或者将成套转子32压装在转盘轴承3内孔。
本发明的优点在于：以单个支撑轴承提供精密的旋转支撑，结构简单；直驱电机的转子集成于转子轴盘上，实现电机对抛光盘的直接驱动，结构紧凑，回转精度高。
附图说明
图1是本发明所述抛光机转台的俯视图；
图2是本发明所述抛光机转台(支撑轴承无安装孔)的A-A面剖视图；
图3是本发明所述抛光机转台(支撑轴承有安装孔)的A-A面剖视图；
图4是转子轴盘实施方式1的三维示意图；
图5是转子轴盘实施方式2的三维示意图。
图中标号：
1-轴承座；2-支撑轴承；3-转子轴盘；4-外压盖；5-内压盖；6-抛光盘；7-直驱电机定子；8-支撑盘；9-圆光栅；10-读数头；11-集液槽；11a-排液孔；31-永磁体；32-成套的转子。
具体实施方式
本发明提供了一种集成外转子式直驱抛光机转台，下面结合附图对本发明的具体实施方式进行说明。
本发明的原理是：支撑轴承2为交叉滚子轴承、双排推力角接触球轴承或者三排圆柱滚子组合轴承，可以承载较大的轴向、径向和弯矩载荷；转子轴盘3集成了直驱电机定子7，既是抛光盘6的旋转支撑，又是直驱电机的转子，实现了直驱电机直接驱动抛光盘6旋转；通过读数头10和圆光栅9提供速度和位置反馈控制；液体从抛光盘6的外沿流下直接进入集液槽11中，然后经由排液孔11a排出收集。
图1是本发明所述抛光机转台的俯视图；图2是本发明所述抛光机转台(支撑轴承无安装孔)的A-A面剖视图。本发明提供的一种集成外转子式直驱抛光机转台，主要包括：轴承座1、支撑轴承2、转子轴盘3、外压盖4、内压盖5、抛光盘6、直驱电机定子7、支撑盘8、圆光栅9、读数头10和集液槽11。
支撑轴承2的内圈安装在转子轴盘3上，并由内压盖5固定，支撑轴承2的外圈安装于轴承座1内，并由外压盖4固定，外压盖4与轴承座1、内压盖5与转子轴盘3之间均用螺栓联接；抛光盘6用螺栓安装于转子轴盘3上；支撑盘8用螺栓安装在轴承座1下端，直驱电机定子7用螺栓安装于支撑盘8上；圆光栅9安装在转子轴盘3下端，读数头10安装在支撑盘8上，用以完成转台的速度和位置反馈控制；集液槽11安装于抛光盘6外沿下方，用以实现对抛光盘6上表面液体的收集，收集的液体由排液孔11a排出。
上述的支撑轴承2为交叉滚子轴承。对于没有安装孔的交叉滚子轴承采用外压盖4和内压盖5将轴承固定；对于有安装孔的交叉滚子轴承，则直接用螺栓将轴承与轴承座1和转子轴盘3联接，从而不需要使用外压盖4和内压盖5。
上述读数头10与圆光栅9工作面相对，之间的距离在1mm以内。
上述的转子轴盘3集成了直驱电机转子，直驱电机定子7位于转子轴盘3内部，转子轴盘3与直驱电机定子7组成外转子型直驱电机。
转子轴盘3集成直驱电机转子的方式为：将永磁体31直接嵌入转子轴盘3内孔，永磁体31均匀分布在转子轴盘3四周，与转子轴盘3成为一体，如图4所示；或者将成套的转子32压装在转子轴盘3内孔，使其成为一体，如图5所示。
如图3所示，为本发明所述抛光机转台(支撑轴承有安装孔)的A-A面剖视图。支撑轴承2的内圈安装在转子轴盘3上，支撑轴承2的外圈安装于轴承座1内。对于内外圈有安装孔的支撑轴承2，其内圈用螺栓固定于转子轴盘3上，外圈用螺栓固定于轴承座1内。

Claims (3)

1.集成外转子式直驱抛光机转台，其特征在于，支撑轴承(2)的内圈安装在转子轴盘(3)上，支撑轴承(2)的外圈安装于轴承座(1)内；抛光盘(6)安装于转子轴盘(3)上；支撑盘(8)与轴承座(1)下端用螺栓联接，直驱电机定子(7)用螺栓安装于支撑盘(8)上；所述的转子轴盘(3)集成了直驱电机转子，直驱电机定子(7)位于转子轴盘(3)内部，转子轴盘(3)与直驱电机定子(7)组成外转子型直驱电机；圆光栅(9)安装在转子轴盘(3)下端，读数头(10)安装在支撑盘(8)上，用以完成转台的速度和位置反馈控制；集液槽(11)安装于抛光盘(6)外沿下方，用以实现对抛光盘(6)上表面液体的收集。
2.根据权利要求1所述的集成外转子式直驱抛光机转台，其特征在于，所述的支撑轴承(2)为交叉滚子轴承、双排推力角接触球轴承或三排圆柱滚子组合轴承；对于内外圈没有安装孔的支撑轴承(2)，其内圈由内压盖(5)固定，外圈由外压盖(4)固定；对于内外圈有安装孔的支撑轴承(2)，其内外圈分别由螺栓固定。
3.根据权利要求1所述的集成外转子式直驱抛光机转台，其特征在于，所述转子轴盘(3)集成直驱电机转子的方式为：将永磁体(31)直接均匀地嵌入转子轴盘(3)内孔，或者将成套转子(32)压装在转盘轴承(3)内孔。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103016551B (zh) * 2011-09-27 2015-04-01 北京首科凯奇电气技术有限公司 多接口轴承及其旋转装置
CN103358199A (zh) * 2013-07-31 2013-10-23 无锡市吉尔多轴承机械有限公司 一种磨床高精度旋转工作台
CN103465257B (zh) * 2013-09-10 2016-01-20 苏州凯欧机械科技有限公司 一种带传感器全行程有效定位的旋转机械手
CN106552967B (zh) * 2016-11-25 2019-08-20 秦川机床工具集团股份公司 大型高精度数控齿盘磨床
CN109149111B (zh) * 2018-07-11 2021-07-13 南京智真电子科技股份有限公司 直驱雷达转台
CN108818010A (zh) * 2018-09-05 2018-11-16 广州霏鸿智能科技有限公司 一种数控机床的旋转工作台
CN109724636A (zh) * 2018-12-26 2019-05-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一维转台
CN113427325B (zh) * 2021-07-16 2022-09-20 吉林大学 一种电磁流耦合光学曲面精密抛光加工机床及加工方法
WO2023082268A1 (zh) * 2021-11-15 2023-05-19 爱佩仪测量设备有限公司 高精度回转台及其应用的角度校准方法
CN114572426B (zh) * 2022-02-21 2022-10-11 中国科学院空间应用工程与技术中心 一种空间在轨离心机以及空间实验柜体
CN114448201B (zh) * 2022-02-21 2022-09-20 中国科学院空间应用工程与技术中心 一种空间旋转驱动装置及其组装方法和离心机

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101123377A (zh) * 2007-08-15 2008-02-13 北京首科凯奇电气技术有限公司 一种直驱回转装置
CN101369766A (zh) * 2007-08-16 2009-02-18 刘吉彬 直驱电机装置及其鉴别方法及力控的控制方法和用途

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101123377A (zh) * 2007-08-15 2008-02-13 北京首科凯奇电气技术有限公司 一种直驱回转装置
CN101369766A (zh) * 2007-08-16 2009-02-18 刘吉彬 直驱电机装置及其鉴别方法及力控的控制方法和用途

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP昭60-108854A 1985.06.14
JP昭60-157734A 1985.08.19
JP特开2008-167589A 2008.07.17

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