CN101552198A - 300mm立式氧化炉保温桶 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。所述底部石英板、顶部石英板为圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间是OP材料层(2.1)，上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层(2.2)。本发明适用于立式氧化炉的石英舟的支撑和保温，结构完善，保温效果好，洁净度高，能保证加工质量。

Description

300mm立式氧化炉保温桶

技术领域

本发明属于一种硅片加工装置，具体的是一种用于硅片加热氧化工艺的氧化炉的保温桶。

背景技术

硅片是一种重要的半导体材料，它的加工处理，特别是氧化处理是一种非常精密的工艺。目前国内使用的硅片氧化炉大多是卧式结构。国际上已经普遍采用立式氧化炉来为硅片做氧化工艺。为了提高保温效果，过去多采用真空保温桶，即采用石英板焊接成圆柱型腔体，内部填充石英棉或者其它保温隔热材料，为了防止这些材料污染工艺，通常的做法是把它们密封在石英腔体内部，同时抽真空，以防止工艺升降温的过程中产生炸裂。虽然此类保温桶隔热效果比较好，但制作工艺复杂，成本比较高，而且在制作及工艺过程中容易炸裂，对生产线造成巨大损失。因此，需要提出一种新结构的立式氧化炉内用于石英舟的保温和与炉门连接装置新型保温桶。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化炉保温桶，该保温桶制作工艺简单，成本低，保温效果好，洁净度高，而且安全可靠稳定。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板、中间石英片、支撑杆和顶部石英板，所述支撑杆为数个，垂直安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽。

所述底部石英板、顶部石英板为圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间层采用OP材料，上下两层及周边是高纯透明石英板材包覆。

本发明设有数个支撑杆起支撑作用，多片中间石英片，石英片数量多于其它同类的产品，可以更加有效的减少热量的流失。起到保温隔热的效果。中间石英片采用了三明治的形式，中间板材采用OP材料，上下两面及周边是高纯透明石英板材包覆，实验证明：它比单一透明石英片能更加有效的减少了工艺管热量的散失。同时由于有高纯透明石英板的包覆，阻挡了OP板材容易产生颗粒及杂质的扩散现象的发生，防止了污染硅片的事件。对高端工艺有很好的工艺适用性。底部石英板及顶部石英板分别与石英舟和石英炉门板连接，确保连接位置的准确及运行的可靠性。本发明具有制作工艺简单，成本相对低，保温效果别好，洁净度高，而且安全、可靠、稳定的优点。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明顶部和底部石英板俯视图；

图3是石英板的内部结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明：实施例：参见附图，300mm立式氧化炉保温桶，设有底部石英板1、中间石英片2、支撑杆3和顶部石英板4，所述支撑杆为4个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为19片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的3固定槽4.1。所述底部石英板、顶部石英板为圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间是OP材料层2.1，上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层2.2。

Claims (2)

1、一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。

2、根据权利要求1所述的氧化炉保温桶，其特征在于：所述底部石英板、顶部石英板为圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间是OP材料层(2.1)，上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层(2.2)。

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