CN101545101A - 具有电极排列的基板卡匣 - Google Patents

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CN101545101A CN200810086272A CN200810086272A CN101545101A CN 101545101 A CN101545101 A CN 101545101A CN 200810086272 A CN200810086272 A CN 200810086272A CN 200810086272 A CN200810086272 A CN 200810086272A CN 101545101 A CN101545101 A CN 101545101A
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杨正安
何建立
叶公旭
黄明鸿
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Contrel Semiconductor Technology Co Ltd
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Abstract

一种具有电极排列的基板卡匣,包含有:一架体,底部具有一导电块,该导电块具有复数第一槽以及复数第二槽彼此平行且交替设置;该架体顶部具有复数固定件,每一第二槽内设有绝缘件;复数第一电极板;复数第二电极板;以及复数支撑件,设置于各该第一电极板的底段两面,以及设置于各该第二电极板的底段两面,该些支撑件与该些固定件上下相对且形成一限制空间可供基板置入于其间,该些支撑件即承接该些基板。由此,其内部的电极排列适合多个基板置入,并可承载多片基板,适用于化学气相沉积工艺。

Description

具有电极排列的基板卡匣
技术领域
本发明与置放板状物料的卡匣有关,特别是指一种具有电极排列的基板卡匣。
背景技术
公知的基板卡匣,主要是以多片直立置放于一卡匣内,或是多层迭置于一卡匣内,而卡匣内部则是具有对应的容置格或容置空间,可供各个基板置放。
然而,现今的非晶硅薄膜太阳能电池,其制造过程中的非晶硅薄膜是为关键,目前普遍的制造方式,是由等离子体辅助化学气相沉积法(Plasma-Enhance Chemical Vapor Deposition,PECVD)来制造成形的。现今的做法,大多以单片基板置入于一工艺腔内,再进行化学气相沉积工艺,目前尚未有一次同时以多片进行化学气相沉积的工艺,相对的,也尚未有适合此种工艺而可承载多个基板的卡匣。
发明内容
本发明的目的在于提供一种具有电极排列的基板卡匣,其可承载多片基板,并适用于化学气相沉积的工艺,且其内部的电极排列适合多个基板置入。
为实现上述目的,本发明提供的具有电极排列的基板卡匣,用以承接复数基板,该基板卡匣包含有:
一架体,底部具有至少一导电块,该导电块具有复数第一槽以及复数第二槽彼此平行,且第一槽与第二槽相隔预定距离交替设置;该架体顶部具有复数固定件,对应位于该些第一槽以及第二槽的上方,其中每一第二槽内设有绝缘件;
复数第一电极板,分别以底缘嵌置于该些第一槽,且顶缘固定于对应的该些固定件;
复数第二电极板,分别以底缘固定于该些绝缘件,且顶缘固定于对应的该些固定件;以及
复数支撑件,设置于各该第一电极板的底段两面,以及设置于各该第二电极板的底段两面,该些支撑件与该些固定件上下相对且形成一限制空间可供基板置入于其间,该些支撑件即承接该些基板。
所述的具有电极排列的基板卡匣,其中:该些绝缘件具有一容置槽,该些第二电极板嵌置于该些容置槽中。
所述的具有电极排列的基板卡匣,其中:该固定件的两侧分别向下延伸一挡檐,各该第一电极板以及各该第二电极板位于一该固定件的二挡檐之间。
所述的具有电极排列的基板卡匣,其中:该些第一电极板以及该些第二电极板中,每一电极板的两面分别置入一基板时,一该电极板两面的基板受到该固定件的二檐部所限位。
所述的具有电极排列的基板卡匣,其中:各该支撑件的外侧向上延伸一挡墙。
换言之,本发明的具有电极排列的基板卡匣,用以承接复数基板,该基板卡匣包含有:一架体,底部具有一导电块,该导电块具有复数第一槽以及复数第二槽彼此平行,且第一槽与第二槽相隔预定距离交替设置;该架体顶部具有复数固定件,对应位于该些第一槽以及第二槽的上方,其中每一第二槽内设有绝缘件;复数第一电极板,分别以底缘嵌置于该些第一槽,且顶缘固定于对应的该些固定件;复数第二电极板,分别以底缘固定于该些绝缘件,且顶缘固定于对应的该些固定件;以及复数支撑件,设置于各该第一电极板的底段两面,以及设置于各该第二电极板的底段两面,该些支撑件与该些固定件上下相对且形成一限制空间可供基板置入于其间,该些支撑件即承接该些基板。由此,其内部的电极排列适合多个基板置入,并可承载多片基板,适用于化学气相沉积的工艺。
本发明的效果是:
一、可承载多片基板,并适用于化学气相沉积的工艺。
二、于内部设置复数电极板,并于电极板两侧设置,而可适合多个基板置入,进而可进行多片式的化学气相沉积工艺。
附图说明
图1是本发明一较佳实施例的前视示意图。
图2是本发明一较佳实施例的示意图,显示导电块与绝缘件的关系。
图3是本发明一较佳实施例的立体示意图,显示卡匣底部与该第二电极板间的连接关系。
图4是本发明一较佳实施例的立体示意图,显示一第二电极板的型态。
图5是本发明一较佳实施例的使用状态图,显示置入基板后的状态。
附图中主要组件符号说明:
10 具有电极排列的基板卡匣
11 架体
12 导电块
14 第一槽
15 第二槽
16 固定件
17 绝缘件
171 容置槽
18 挡檐
21 第一电极板
31 第二电极板
41 支撑件
42 挡墙
99 基板
具体实施方式
为了详细说明本发明的构造及特点所在,举以下的一较佳实施例并配合附图说明如后,其中:
如图1至图4所示,本发明一较佳实施例所提供的一种具有电极排列的基板卡匣10,主要由一架体11、复数第一电极板21、复数第二电极板31、以及复数支撑件41所组成,其中:
该架体11,底部具有复数导电块12,该些导电块12具有复数第一槽14以及复数第二槽15彼此平行,且第一槽14以及第二槽15相隔预定距离交替设置。该架体11顶部具有复数固定件16,对应位于该些第一槽14以及第二槽15的上方,其中每一第二槽15内设有绝缘件17,该些绝缘件17具有一容置槽171。其中该些固定件16的两侧分别向下延伸一挡檐18。
该些第一电极板21,分别以底缘嵌置于该些第一槽14,且顶缘固定于对应的该些固定件16而位于各该固定件16的二挡檐18间。
该些第二电极板31,分别以底缘固定于该些绝缘件17的容置槽171中,且顶缘固定于对应的该些固定件16而位于各该固定件16的二挡檐18间。
该些支撑件41,设置于各该第一电极板21的底段两面,以及设置于各该第二电极板31的底段两面,各该支撑件41的外侧向上延伸一挡墙42。本实施例中该些支撑件41为轮体。该些支撑件41与该些固定件16上下相对且形成一限制空间可供基板置入于其间,该些支撑件41即承接该些基板。而每一电极板21,31的两面分别置入一基板(图中未示)时,一该电极板21、31两面的基板受到该固定件16的二檐部以及各该挡墙42所限位。
由上述结构,本发明于内部设置复数的第一电极板21以及第二电极板31,并且在电极板21,31两面均设有可用来固定基板的结构。如图5所示,在复数的基板99置入本发明后,即可受到该些支撑件41的支撑、挡墙42的限位、以及该些挡檐18所限位固定。由此可在本发明内定位复数的基板99,且令基板99之间也相隔预定距离,又可令基板99排列于对应的电极板21、31上,进而可在承载多片基板99的状况下进行气相沉积的工艺。

Claims (5)

1、一种具有电极排列的基板卡匣,用以承接复数基板,该基板卡匣包含有:
一架体,底部具有至少一导电块,该导电块具有复数第一槽以及复数第二槽彼此平行,且第一槽与第二槽相隔预定距离交替设置;该架体顶部具有复数固定件,对应位于该些第一槽以及第二槽的上方,其中每一第二槽内设有绝缘件;
复数第一电极板,分别以底缘嵌置于该些第一槽,且顶缘固定于对应的该些固定件;
复数第二电极板,分别以底缘固定于该些绝缘件,且顶缘固定于对应的该些固定件;以及
复数支撑件,设置于各该第一电极板的底段两面,以及设置于各该第二电极板的底段两面,该些支撑件与该些固定件上下相对且形成一限制空间可供基板置入于其间,该些支撑件即承接该些基板。
2、依据权利要求1所述的具有电极排列的基板卡匣,其中:该些绝缘件具有一容置槽,该些第二电极板嵌置于该些容置槽中。
3、依据权利要求1所述的具有电极排列的基板卡匣,其中:该固定件的两侧分别向下延伸一挡檐,各该第一电极板以及各该第二电极板位于一该固定件的二挡檐之间。
4、依据权利要求3所述的具有电极排列的基板卡匣,其中:该些第一电极板以及该些第二电极板中,每一电极板的两面分别置入一基板时,一该电极板两面的基板受到该固定件的二檐部所限位。
5、依据权利要求1所述的具有电极排列的基板卡匣,其中:各该支撑件的外侧向上延伸一挡墙。
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