CN101476611B - 六自由度大振幅振动主动隔离平台 - Google Patents

Abstract

一种六自由度大振幅振动主动隔离平台，由上平台、下平台、两自由度精密虎克铰、大载荷无间隙精密虎克铰、大振幅振动主动隔离杆组成，采用六杆并联机构构型；所述大载荷无间隙精密虎克铰是一种提供三个转动自由度的铰链；由上转体，上节叉，十字轴组件和下节叉四部分相互之间由上至下通过轴承活接在一起，形成三个独立的转动自由度；所述大振幅振动主动隔离杆由动子、定子及位置传感器组成；动子在上，定子在下，动子相对定子上下运动，抵消由定子传来的振动；该平台具有六自由度运动能力，其主动部件大振幅振动主动隔离杆响应速度快、定位精度高、承载能力强，可使该平台在大负载情况下对高频、大振幅振动进行有效隔离和抑制。

Description

六自由度大振幅振动主动隔离平台

(一)技术领域

本发明涉及一种六自由度大振幅振动主动隔离平台，属于精密机械领域。

(二)背景技术

随着车载、机载光学观察及激光瞄准等任务的提出，对六自由度大振幅振动主动隔离平台的需求日益迫切。车辆及飞机的工作环境复杂，其上安装的光学及激光设备一直处于颠簸、振动状态，这就使得在行驶过程中，锁定目标变得十分困难，尤其是在远距离情况下，很小的角度偏差，就会导致错失目标。因此在这些光学、激光设备与车身、机身之间往往需要安装隔振装置，隔离振动以提高光学设备的观测精度和激光设备的瞄准精度。

传统被动隔振装置对高频小振幅振动的隔离效果较好，对低频大振幅振动则很难进行隔离，而近年来国内外研制的主动隔振装置也都集中在小振幅振动隔离方面，因此使光学观察设备及激光瞄准设备在大振幅振动环境中的应用受到了很大限制。

(三)发明内容

本发明一种六自由度大振幅振动主动隔离平台，其目的是为车载、机载及舰载光学观察及激光瞄准等技术应用领域提供一种具有六自由度大范围振动隔离能力的主动隔振平台，以弥补传统隔振平台难以对低频大振幅振动隔离的不足。

本发明一种六自由度大振幅振动主动隔离平台，该平台由上平台、下平台、两自由度精密虎克铰、大载荷无间隙精密虎克铰、大振幅振动主动隔离杆组成，该系统采用六杆并联机构构型，具有较高的刚度和定位精度。

该平台底部为下平台，呈三边内陷的六边形平板状，其上设有安装孔，其分布如图1所示，装有六个大载荷无间隙精密虎克铰，下平台与大载荷无间隙精密虎克铰的下铰座使用螺钉进行连接；平台顶部为圆盘状的上平台，其上设有安装孔，分布如图3所示，其上装有六个两自由度精密虎克铰，上平台与两自由度精密虎克铰的虎克铰下铰座使用螺钉进行连接；

每个大载荷无间隙精密虎克铰的转盘与大振幅振动主动隔离杆的定子使用螺钉同心连接，每个两自由度精密虎克铰的虎克铰上铰座与大振幅振动主动隔离杆的动子使用螺钉同心连接。

两自由度精密虎克铰提供两个转动自由度，由虎克铰上铰座，虎克铰角接触轴承，虎克铰铰座端盖，虎克铰预紧螺钉，虎克铰十字轴，虎克铰下铰座组成，图4为两自由度精密虎克铰的爆炸图。

所述的虎克铰上铰座为一个半包围式的凹槽结构，凹槽的两侧设置有对称同轴的安装孔，此外凹槽的两侧和底部还设有排列规则的减轻孔。虎克铰十字轴四面各装有一个虎克铰角接触轴承，将其中一对虎克铰角接触轴承装入虎克铰上铰座的安装孔中。虎克铰铰座端盖为法兰盘结构，中心有中空圆柱凸台，法兰盘上有三个通孔，用于安装虎克铰下预紧螺钉，预紧两侧的虎克铰预紧螺钉，可使虎克铰铰座端盖向内施压，将一对虎克铰角接触轴承的外框压紧，消除轴承间隙，实现第一个转动自由度的无间隙传动。

虎克铰下铰座的上半部分为一个半包围式的凹槽，凹槽的两侧设置有对称同轴的安装孔，底部有四个螺钉孔，用于与大振幅振动主动隔离杆连接。将虎克铰十字轴剩下一对虎克铰角接触轴承装入虎克铰下铰座的安装孔中。预紧两侧的虎克铰预紧螺钉，使虎克铰铰座端盖向内施压，将一对虎克铰角接触轴承的外框压紧，实现第二个转动自由度的无间隙传动。

所述大载荷无间隙精密虎克铰是一种提供三个转动自由度的铰链。采用角接触轴承预紧的方法消除轴承间隙，达到承载力大、精度高的效果。

大载荷无间隙精密虎克铰由上转体，上节叉，十字轴组件和下节叉四部分组成，如图5，图6，图7所示。这四部分相互之间由上至下通过轴承活接在一起，形成三个独立的转动自由度。

所述的上转体由转盘，上预紧螺钉，预紧螺母，预紧盖，上转体角接触轴承，轴承垫片组成，如图7所示。其中，转盘的上半部分呈圆柱状，其上端设置有一个十字槽，由此转盘的上端形成四个形状相同的扇形凸台，每个扇形凸台上各设有一个螺钉安装孔；转盘的下半部分为倒置的圆台状，圆台的外径小于上半部分圆柱的外径；转盘的内部为一个半径由上至下依次减小的二阶安装孔，分别用于安装预紧盖，上转体角接触轴承和轴承垫片。预紧盖为中心有通孔的法兰盖结构，法兰盖底部有凸出的中空圆柱台，法兰盖四周有四个螺钉沉孔用于安装上预紧螺钉，底部的中空圆柱台用于压紧上转体角接触轴承的外框，以消除间隙。

在组装上转体连接部件时，如图7所示，在转盘的安装孔中依次装入上转体角接触轴承和轴承垫片，轴承垫片位于两个上转体角接触轴承之间。再通过拧紧上预紧螺钉对预紧盖施加预紧力，可使两个上转体角接触轴承外框相互靠近，从而消除铰链间隙，实现无间隙平滑运动。

所述的上节叉由上铰座，铰座端盖，下预紧螺钉组成。其中上铰座的下半部分为一个半包围式的凹槽，凹槽的两侧设置有对称同轴的安装孔，凹槽的顶部设有一个伸出轴，伸出轴的上端部分攻有螺纹。铰座端盖为法兰盘结构，中心有中空圆柱凸台，法兰盘上有三个通孔，用于安装下预紧螺钉，当拧紧上铰座两侧的下预紧螺钉后，中空圆柱凸台抵住十字轴角接触轴承的外框，使两侧外框相互靠近，实现轴承间隙的消除。

如图7所示，大载荷无间隙精密虎克铰顶部为上转体和上节叉，上节叉中上铰座的伸出轴与上转体的上转体角接触轴承内圈配合，并使用预紧螺母相互固定，组成第一个转动自由度。

所述的十字轴组件，由十字轴和十字轴角接触轴承组成。十字轴结构是由四个阶梯圆柱组成的十字形结构，每个圆柱都与一个十字轴角接触轴承内孔相配。

所述的下节叉由铰座端盖，下预紧螺钉，下铰座组成。其中，下铰座为一个半包围式的凹槽结构，凹槽的两侧设置有对称同轴的安装孔，此外凹槽的两侧和底部还设有排列规则的减轻孔。

十字轴组件的上部为上节叉，十字轴组件中的十字轴四面各装有一个十字轴角接触轴承，将其中一对角接触轴承装入上铰座的轴承安装孔中。预紧两侧的下预紧螺钉，使铰座端盖向内施压，将一对角接触轴承的外框压紧，消除轴承间隙，实现第二个自由度的高精度传动，如图7所示，十字轴组件的下部为下节叉，十字轴组件中未安装的一对十字轴角接触轴承装入下节叉中下铰座的轴承安装孔中。预紧两侧的下预紧螺钉，使铰座端盖向内施压，将一对角接触轴承的外框压紧，实现第三个转动自由度的无间隙传动。

所述大振幅振动主动隔离杆是一种基于直线电机的高速、大承载力、大振幅振动主动隔离杆，可对低频大振幅振动进行主动隔离，如图9，图10所示。

大振幅振动主动隔离杆由动子、定子及位置传感器组成，如图11所示。大振幅振动主动隔离杆在运行时，动子在上，定子在下，动子相对定子上下运动，抵消由定子传来的振动，使动子保持稳定。

所述的动子由内支撑筒、直线导轨滑块、直线导轨、电机动子组成。内支撑筒呈中空圆柱状，外侧四面铣成平面，其中三面安装有直线导轨和直线导轨滑块。直线导轨使用螺钉固定在内支撑筒上，直线导轨为截面呈凸字形的导轨，直线导轨滑块为截面呈凹字形的滑块，直线导轨滑块内部装有两排循环滚珠，运动时两排循环滚珠可嵌入直线导轨中，实现高精度低摩擦滑动。内支撑筒顶部和底部各留有四个螺钉安装孔，其顶部通过螺钉安装孔与有效载荷连接，其底部通过螺钉安装孔与电机动子连接。其中，所述直线导轨滑块和直线导轨采用钢质材料。

所述的定子由防尘盖、导轨固定板、电机定子、外支撑筒、定位螺钉及顶部定位块组成。如图13所示，外支撑筒为内部掏空的圆柱状，底部有四个电机固定孔和四个螺纹孔，电机固定孔用于使用螺钉固定电机定子，四个螺纹孔用于定子和其他设备连接时使用。外侧四面加工成平面，每个平面上侧各有一个长方形开口，开口周围各有六个螺纹孔，用于固定导轨固定板，导轨固定板为长方形的阶梯台形状，周围各有六个螺钉孔用于与外支撑筒上的螺纹孔连接，中部有四个螺钉孔用于使用螺钉和动子的直线导轨滑块固定，使直线导轨滑块能与外支撑筒固接，长方形开口下侧也各有一个较小的长方形开口，作为观察窗及透气孔使用。电机定子的顶部与顶部定位块之间同轴连接，用螺钉进行固定，再由四个定位螺钉固定顶部定位块，由此，电机定子的底部和顶部均与外支撑筒固接，结构稳定。防尘盖呈与外支撑筒截面形状相同的圆片状，以螺钉连接安装于外支撑筒的顶部用于防止异物进入电机内部。

所述的位置传感器由光栅固定板和光栅传感器组成，如图11，图12所示。光栅固定板外形为长方形板状，周围有六个螺钉孔，用于与外支撑筒连接，长方形板内侧有两个与长方形面垂直的安装平面，每个安装平面上各有两个开口槽。使用螺钉固定安装在两个安装平面间的光栅传感器，长方形板中部有一圆形通孔，为光栅传感器指示灯的观察孔。光栅固定板的外圈有六个螺钉孔，以安装螺钉的方式与外支撑筒固接。

因为使用的驱动装置为直线电机，因此平台具有响应速度快、精度高、输出力大、可靠性高等优点。两自由度精密虎克铰和大载荷无间隙精密虎克铰均采用了预紧消隙技术，保证平台运动时不会受到铰链间隙的影响，使平台高精度平稳运动。

通过六根大振幅振动主动隔离杆伸缩运动，上平台可实现三自由度平动和三自由度转动运动，当这六个自由度的运动与下平台传来的运动方向相反时，可实现六自由度全方位的振动隔离效果，使上平台拥有安静的工作环境，大大提高安装在上平台上的光学设备及激光设备的精度。

其中，所述直线导轨滑块和直线导轨采用钢质材料。

本发明一种六自由度大振幅振动主动隔离平台，其优点及功效在于：具有六自由度运动能力，可以进行全方位的振动隔离和抑制。其主动部件大振幅振动主动隔离杆响应速度快、定位精度高、承载能力强，因此可使六自由度大振幅振动主动隔离平台在大负载情况下对高频、大振幅振动进行有效隔离和抑制。

(四)附图说明

图1为六自由度大振幅振动主动隔离平台的等轴视图

图2为六自由度大振幅振动主动隔离平台下平台的等轴视图

图3为六自由度大振幅振动主动隔离平台的顶视图

图4为两自由度精密虎克铰的爆炸图

图5为大载荷无间隙精密虎克铰的等轴视图

图6为大载荷无间隙精密虎克铰的主视图

图7为图6的A-A剖视图

图8为十字轴的等轴视图

图9为大振幅振动主动隔离杆的等轴视图

图10为大振幅振动主动隔离杆的主视图

图11为图10的A-A剖视图

图12为大振幅振动主动隔离杆的位置传感器部分

图13为大振幅振动主动隔离杆的动子部分

图14为振动隔离原理图

图中标号说明如下：

1上平台     2下平台，    3两自由度精密虎克铰

4大载荷无间隙精密虎克铰  5大振幅振动主动隔离杆

6虎克铰上铰座       7虎克铰角接触轴承  8虎克铰铰座端盖，

9虎克铰预紧螺钉     10虎克铰十字轴     11虎克铰下铰座，

12上转体            13上节叉           14十字轴组件，

15下节叉            16转盘             17上预紧螺钉，

18预紧螺母          19预紧盖           20上转体角接触轴承，

21轴承垫片          22上铰座           23十字轴，

24铰座端盖          25十字轴角接触轴承 26下预紧螺钉，

27下铰座            28动子             29定子

30位置传感器        31内支撑筒         34直线导轨滑块，

35直线导轨          36电机动子         37电机定子

38外支撑筒          39光栅传感器       40光栅固定板，

41定位螺钉          42顶部定位块

(五)具体实施方式

本发明是一种六自由度大振幅振动主动隔离平台，由上平台1、下平台2、精密两自由度虎克铰3、大载荷无间隙精密虎克铰4、大振幅振动主动隔离杆5组成。

本实施方式的装配过程为，首先将六个三自由精密度虎克铰4与下平台2相连，再将六个两自由度精密3与上平台1相连，再将六个大行程直线电机作动器5的底部分别与三自由精密度虎克铰4连接，最后连接两自由度精密3与大行程直线电机作动器5的顶部，完成平台装配。

精密两自由度虎克铰3的装配过程为，先将十字轴10插入上铰座6的轴承孔中，再将角接触轴承7从外侧装入上铰座6的安装孔中并使角接触轴承7的内圈与十字轴10配合紧密，并使用铰座端盖8和预紧螺钉9进行固定和预紧；以相同的方法装配下铰座11和十字轴7，完成精密两自由度虎克铰3的装配。

大载荷无间隙精密虎克铰4的装配过程为，先将十字轴23插入下铰座27的轴承孔中，再将十字轴角接触轴承25从外侧装入下铰座27的轴承孔中并使十字轴角接触轴承25的内圈与十字轴23配合紧密，并使用铰座端盖24和下预紧螺钉26进行固定和预紧；以相同的方法装配上铰座22和十字轴23；将一对面对面安装的上转体角接触轴承20和夹在两者之间的轴承垫片21装入转盘16的轴承孔中，并使用上预紧螺钉17和预紧盖19将上转体接触轴承20和轴承垫片21预紧固定；把上铰座22的伸出轴插入上转体角接触轴承20的内圈，并使用预紧螺母18进行固定，完成大载荷无间隙精密虎克铰4装配。

大振幅振动主动隔离杆5的装配过程为，先将电机动子36与内支撑筒31相连，在内支撑筒31的三个侧面安装直线导轨滑块34和直线导轨35，完成动子28部分的组装；其次在电机定子37顶部安装顶部定位块42，再将电机定子37的底部与外支撑筒38连接，再通过4个定位螺钉41将顶部定位块42固定，将三个导轨固定板33与外支撑筒38连接，完成定子29的装配；接下来将装配好的动子28部分装入定子29内部，调节好同心度后，固定动子28部分的直线导轨滑块34和定子29部分的导轨固定板33，使动子28能沿导轨方向相对定子29运动；最后将光栅传感器30与光栅固定板40连接，再将光栅固定板40固定到外支撑筒38上，在外支撑筒38的顶部盖上防尘盖32，完成大振幅振动主动隔离杆5的装配。

平台在隔振时，每个大振幅振动主动隔离杆5的动子28和定子29分别按轴线方向安装一个加速度传感器。安装在定子29的加速度传感器用于采集下平台2传来的杆向振动加速度信号，再经过两次积分将其转变成杆向振动位移信号。振动控制器得到杆向振动位移信号后，对其进行调理和计算并驱动大振幅振动主动隔离杆5进行反响运动，从而抵消振动。安装在动子28的加速度传感器用于采集经过隔振后动子28上的残余振动，振动控制器可根据此残余振动的大小，自适应调节控制器的各项参数，使隔振效果达到最好，如图14所示。以此方法使六根大振幅振动主动隔离杆5，均将自身的底部振动隔离，即可实现上平台1相对下平台2的振动隔离。因六根大振幅振动主动隔离杆5相互交叉排列且方向均不相同，所以六个自由度的振动均会在这六个振动主动隔离杆的杆向产生投影，从而实现六自由度大振幅振动主动隔离平台的六自由度振动主动隔离功能。

虎克铰角接触轴承7、上转体接触轴承20和十字轴角接触轴承25属于大接触角角接触轴承，接触角为40度，由日本NSK公司生产，具有较高的精度和较好的承载能力。上转体角接触轴承20采用的型号为7202B，虎克铰角接触轴承7和十字轴角接触轴承25采用的型号为7200B。

电机动子36和电机定子37是由德国BOB公司生产的筒式直线电机组件，型号为DTL85/103，该筒式直线电机在20摄氏度下的持续输出力为142N，峰值输出力为217N，总行程55mm。导轨滑块34和导轨35由日本THK公司生产，型号为SRS15MUU和110LM。光栅传感器39为英国Renishow公司的RGH22，最高测量加速度为30g，测量精度500nm。

上平台1使用硬铝合金加工，下平台2使用45号钢加工，表面处理工艺均采用喷塑。平台质量110kg，高度437mm，底面外接圆半径1072mm，承载能力30Kg。

Claims (2)

1.一种六自由度大振幅振动主动隔离平台，其特征在于：

该六自由度大振幅振动主动隔离平台由上平台、下平台、两自由度精密虎克铰、大载荷无间隙精密虎克铰、大振幅振动主动隔离杆组成，采用六杆并联机构构型；

该六自由度大振幅振动主动隔离平台底部为下平台，呈三边内陷的六边形平板状，其上设有安装孔，装有六个大载荷无间隙精密虎克铰，下平台与大载荷无间隙精密虎克铰的下铰座使用螺钉进行连接；该六自由度大振幅振动主动隔离平台顶部为圆盘状的上平台，其上设有安装孔，其上装有六个两自由度精密虎克铰，上平台与两自由度精密虎克铰的虎克铰下铰座使用螺钉进行连接；

每个大载荷无间隙精密虎克铰的转盘与大振幅振动主动隔离杆的定子使用螺钉同心连接，每个两自由度精密虎克铰的虎克铰上铰座与大振幅振动主动隔离杆的动子使用螺钉同心连接；

所述两自由度精密虎克铰提供两个转动自由度，由虎克铰上铰座，虎克铰角接触轴承，虎克铰铰座端盖，虎克铰预紧螺钉，虎克铰十字轴，虎克铰下铰座组成；

所述的虎克铰上铰座为一个半包围式的凹槽结构，凹槽的两侧设置有对称同轴的安装孔，此外凹槽的两侧和底部还设有排列规则的减轻孔；虎克铰十字轴四面各装有一个虎克铰角接触轴承，将其中一对虎克铰角接触轴承装入虎克铰上铰座的安装孔中；虎克铰铰座端盖为法兰盘结构，中心有中空圆柱凸台，法兰盘上有三个通孔，用于安装虎克铰下预紧螺钉，预紧两侧的虎克铰预紧螺钉，可使虎克铰铰座端盖向内施压，将一对虎克铰角接触轴承的外框压紧，消除轴承间隙，实现第一个转动自由度的无间隙传动；

所述虎克铰下铰座的上半部分为一个半包围式的凹槽，凹槽的两侧设置有对称同轴的安装孔，底部有四个螺钉孔，用于与大振幅振动主动隔离杆连接；将虎克铰十字轴剩下一对虎克铰角接触轴承装入虎克铰下铰座的安装孔中；预紧两侧的虎克铰预紧螺钉，使虎克铰铰座端盖向内施压，将一对虎克铰角接触轴承的外框压紧，实现第二个转动自由度的无间隙传动；

所述大载荷无间隙精密虎克铰是一种提供三个转动自由度的铰链；采用角接触轴承预紧的方法消除轴承间隙；由上转体，上节叉，十字轴组件和下节叉四部分组成；这四部分相互之间由上至下通过轴承活接在一起，形成三个独立的转动自由度；

所述的上转体由转盘，上预紧螺钉，预紧螺母，预紧盖，上转体角接触轴承，轴承垫片组成；其中，转盘的上半部分呈圆柱状，其上端设置有一个十字槽，由此转盘的上端形成四个形状相同的扇形凸台，每个扇形凸台上各设有一个螺钉安装孔；转盘的下半部分为倒置的圆台状，圆台的外径小于上半部分圆柱的外径；转盘的内部为一个半径由上至下依次减小的二阶安装孔，分别用于安装预紧盖，上转体角接触轴承和轴承垫片；预紧盖为中心有通孔的法兰盖结构，法兰盖底部有凸出的中空圆柱台，法兰盖四周有四个螺钉沉孔用于安装上预紧螺钉，底部的中空圆柱台用于压紧上转体角接触轴承的外框，以消除间隙；

所述的上节叉由上铰座，铰座端盖，下预紧螺钉组成；其中上铰座的下半部分为一个半包围式的凹槽，凹槽的两侧设置有对称同轴的安装孔，凹槽的顶部设有一个伸出轴，伸出轴的上端部分攻有螺纹；铰座端盖为法兰盘结构，中心有中空圆柱凸台，法兰盘上有三个通孔，用于安装下预紧螺钉，当拧紧上铰座两侧的下预紧螺钉后，中空圆柱凸台抵住十字轴角接触轴承的外框，使两侧外框相互靠近，实现轴承间隙的消除；

所述大载荷无间隙精密虎克铰顶部为上转体和上节叉，上节叉中上铰座的伸出轴与上转体的上转体角接触轴承内圈配合，并使用预紧螺母相互固定，组成第一个转动自由度；

所述的十字轴组件，由十字轴和十字轴角接触轴承组成；十字轴结构是由四个阶梯圆柱组成的十字形结构，每个圆柱都与一个十字轴角接触轴承内孔相配合；

所述的下节叉由铰座端盖，下预紧螺钉，下铰座组成；其中，下铰座为一个半包围式的凹槽结构，凹槽的两侧设置有对称同轴的安装孔，此外凹槽的两侧和底部还设有排列规则的减轻孔；

所述十字轴组件的上部为上节叉，十字轴组件中的十字轴四面各装有一个十字轴角接触轴承，将其中一对角接触轴承装入上铰座的轴承安装孔中；预紧两侧的下预紧螺钉，使铰座端盖向内施压，将一对角接触轴承的外框压紧，消除轴承间隙，实现第二个自由度的高精度传动，十字轴组件的下部为下节叉，十字轴组件中未安装的一对十字轴角接触轴承装入下节叉中下铰座的轴承安装孔中；预紧两侧的下预紧螺钉，使铰座端盖向内施压，将一对角接触轴承的外框压紧，实现第三个转动自由度的无间隙传动；

所述大振幅振动主动隔离杆由动子、定子及位置传感器组成；动子在上，定子在下，动子相对定子上下运动，抵消由定子传来的振动；

所述的动子由内支撑筒、直线导轨滑块、直线导轨、电机动子组成；内支撑筒呈中空圆柱状，外侧四面铣成平面，其中三面安装有直线导轨和直线导轨滑块；直线导轨使用螺钉固定在内支撑筒上，直线导轨为截面呈凸字形的导轨，直线导轨滑块为截面呈凹字形的滑块，直线导轨滑块内部装有两排循环滚珠，运动时两排循环滚珠可嵌入直线导轨中，实现高精度低摩擦滑动；内支撑筒顶部和底部各留有四个螺钉安装孔，其顶部通过螺钉安装孔与有效载荷连接，其底部通过螺钉安装孔与电机动子连接；

所述的定子由防尘盖、导轨固定板、电机定子、外支撑筒、定位螺钉及顶部定位块组成；外支撑筒为内部掏空的圆柱状，底部有四个电机固定孔和四个螺纹孔，电机固定孔用于使用螺钉固定电机定子，定子通过四个螺纹孔用与其他设备连接使用；外侧四面加工成平面，每个平面上侧各有一个长方形开口，开口周围各有六个螺纹孔，固定导轨固定板；所述导轨固定板为长方形的阶梯台形状，周围各有六个螺钉孔用于与外支撑筒上的螺纹孔连接，中部有四个螺钉孔用于使用螺钉和动子的直线导轨滑块固定，使直线导轨滑块能与外支撑筒固接，长方形开口下侧也各有一个较小的长方形开口，作为观察窗及透气孔使用；电机定子的顶部与顶部定位块之间同轴连接，用螺钉进行固定，再由四个定位螺钉固定顶部定位块，由此，电机定子的底部和顶部均与外支撑筒固接，结构稳定；防尘盖呈与外支撑筒截面形状相同的圆片状，以螺钉连接安装于外支撑筒的顶部；

所述的位置传感器由光栅固定板和光栅传感器组成；光栅固定板的外形为长方形板状，周围有六个螺钉孔，与外支撑筒连接，长方形板内侧有两个与长方形面垂直的安装平面，每个安装平面上各有两个开口槽；使用螺钉固定安装在两个安装平面间的光栅传感器，长方形板中部有一圆形通孔，为光栅传感器指示灯的观察孔；光栅固定板的外圈有六个螺钉孔，以安装螺钉的方式与外支撑筒固接。

2.如权利要求1所述的一种六自由度大振幅振动主动隔离平台，其特征在于：所述直线导轨滑块和直线导轨采用钢质材料。

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