CN101419476A - 湿法槽式机台液体槽中液体温度的检知监控系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种湿法槽式机台液体槽中液体温度的检知监控系统,包括温度检知热电偶、过热检知热电偶、第一温度控制器、第二温度控制器、温度检知报警系统和过热检知报警系统,还包括:差值运算器和漂移检知报警系统,所述差值运算器,其一端与第一温度控制器连接,另一端与第二温度控制器连接,用于对温度检知热电偶和过热检知热电偶的温度检测结果进行差值运算;所述漂移检知报警系统,与差值运算器连接,用于对差值运算结果进行判断并报警控制。本发明的检知监控系统,在温度检知热电偶发生故障或漂移时,能及时检知报警,有效避免因未检知液体温度异常而造成的大量产品异常,保证湿法工艺的正常进行。

Description

湿法槽式机台液体槽中液体温度的检知监控系统
技术领域
本发明涉及温度检知监控系统,尤其涉及一种对湿法槽式机台液体槽中的液体温度进行检知监控的系统。
背景技术
目前在湿法工艺中,采用槽式结构的机台,其对药液槽药液温度的检知监控普遍采用如下方式进行:
对药液槽内药液温度的检测主要采用一个单热电偶(ThermalCouple,TC)进行温度检知并设定上下限规格,该热电偶为温度检知热电偶,依据其检测的结果,反馈给第一温度控制器,继而依靠第一温度控制器对槽内加热器的开闭进行控制(见图1),依靠该温度检知热电偶与第一温度控制器组成的温度检知控制系统,实现对药液槽内药液温度的时时检测控制。同时采用另一个TC对药液槽实施温度过热检知,设定温度上限警报,当超过温度上限,提供温度过热警报,并通过第二温度控制器对槽内加热器进行关闭控制,该TC为过热检知热电偶,依靠该过热检知热电偶与第二温度控制器组成的过热检知控制系统,实现对药液槽内药液温度的过热检知控制。
这种方法在大多数情况下可以对药液槽内药液温度进行监控,但是存在如下缺点:
1)如果温度检知热电偶发生故障,导致药液槽内温度低于下限时,过热检知热电偶不能提供警报;
2)当温度检知热电偶温度检测结果有一定漂移时,会导致温度控制器依据漂移后的显示结果对药液槽加热器进行控制,从而引起药液槽内实际温度的漂移,而且在漂移后,如果实际温度未超过过热检知热电偶设定的上限,该检知系统不能检出。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种湿法槽式机台液体槽中液体温度的检知监控系统,其在温度检知热电偶发生故障或漂移时,能及时检知报警,避免因未检知液体温度异常而造成的大量产品异常。
为了解决上述技术问题,本发明湿法槽式机台液体槽中液体温度的检知监控系统,包括温度检知热电偶、过热检知热电偶、第一温度控制器、第二温度控制器、温度检知报警系统和过热检知报警系统,所述温度检知热电偶、第一温度控制器和温度检知报警系统依次顺序连接,所述过热检知热电偶、第二温度控制器和过热检知报警系统依次顺序连接,还包括:
差值运算器,其一端与第一温度控制器连接,另一端与第二温度控制器连接,用于对温度检知热电偶和过热检知热电偶的温度检测结果进行差值运算;
漂移检知报警系统,与差值运算器连接,用于对差值运算结果进行判断,如果所述差值运算结果超出设置的温度差范围,该漂移检知报警系统将进行报警控制。
本发明湿法槽式机台液体槽中液体温度的检知监控系统,依靠双热电偶(温度检知热电偶和过热检知热电偶)与差值运算器组成的温度差值检知系统,可及时检测由于温度检知热电偶发生故障而导致液体槽内温度低下的异常,也可及时检测由于温度检知热电偶的检测结果漂移而引起槽内液体实际温度漂移的异常,并通过漂移检知报警系统及时报警停机,有效避免因未检知液体温度异常而造成的大量产品异常,保证湿法工艺的正常进行。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1是现有湿法槽式机台液体槽中液体温度的检知监控系统的示意图;
图2是本发明湿法槽式机台液体槽中液体温度的检知监控系统的示意图。
具体实施方式
如图2所示,本发明湿法槽式机台液体槽中液体温度的检知监控系统,包括温度检知热电偶、过热检知热电偶、第一温度控制器、第二温度控制器、差值运算器、温度检知报警系统、过热检知报警系统和漂移检知报警系统。
所述温度检知热电偶、第一温度控制器和温度检知报警系统依次顺序连接,以实现对液体槽内液体温度的时时检测控制,当温度检知热电偶测得液体温度低于设定的下限温度规格时,第一温度控制器将该温度检测结果传送给温度检知报警系统进行报警,同时该第一温度控制器依据该温度检测结果开启槽内的加热器,当温度检知热电偶测得液体温度达到设定的上限温度规格时,第一温度控制器依据该温度检测结果关闭槽内的加热器。
所述过热检知热电偶、第二温度控制器和过热检知报警系统依次顺序连接,以实现对液体槽内液体温度的过热检知控制,当过热检知热电偶测得液体温度超过设定的上限温度规格时,第二温度控制器将该温度检测结果传送给过热检知报警系统进行报警,同时该第二温度控制器依据该温度检测结果关闭槽内的加热器。
所述差值运算器,其一端与第一温度控制器连接,另一端与第二温度控制器连接,用于对温度检知热电偶和过热检知热电偶的温度检测结果进行差值运算。
所述漂移检知报警系统,与差值运算器连接,用于对差值运算结果进行判断,如果所述差值运算结果超出设置的温度差范围,该漂移检知报警系统将进行报警,并及时停机,有效防止因未检知液体温度异常而造成的大量产品异常。
所述液体槽中的液体包括药液或水。
实施例1
药液槽中某药液温度设定如下:中心温度为65℃,上限温度70℃,下限温度为60℃。当药液实际温度为55℃,温度检知热电偶发生故障,检测温度仍显示65℃,依据该错误的显示结果,第一温度控制器不会对加热器进行开启要求,同时,过热检知热电偶温度测定显示正常,为55℃,但由于只检知上限温度设定70℃,该过热检知热电偶不会报警。此时,差值运算器显示对温度检知热电偶和过热检知热电偶的温度测定结果差值为10℃,而差值运算器规格设定为2℃,因此漂移检知报警系统依据差值结果超出设定规格,及时对机台作出报警反馈。
实施例2
药液槽中某药液温度设定如下:中心温度为65℃,上限温度70℃,下限温度为60℃。当药液实际温度为65℃,过热检知热电偶检测温度正常,显示检测结果65℃,温度检知热电偶发生漂移,显示检测温度为68℃,但由于该两个检测结果都在规格以内,设备不会报警。此时,差值运算器检测温度检知热电偶和过热检知热电偶的温度测定结果差值为3℃,差值运算器规格设定为2℃,因此漂移检知报警系统依据差值结果超出设定规格,及时对机台作出报警反馈。

Claims (4)

1、一种湿法槽式机台液体槽中液体温度的检知监控系统,包括温度检知热电偶、过热检知热电偶、第一温度控制器、第二温度控制器、温度检知报警系统和过热检知报警系统,所述温度检知热电偶、第一温度控制器和温度检知报警系统依次顺序连接,所述过热检知热电偶、第二温度控制器和过热检知报警系统依次顺序连接,其特征在于,还包括:
差值运算器,其一端与第一温度控制器连接,另一端与第二温度控制器连接,用于对温度检知热电偶和过热检知热电偶的温度检测结果进行差值运算;
漂移检知报警系统,与差值运算器连接,用于对差值运算结果进行判断,如果所述差值运算结果超出设置的温度差范围,该漂移检知报警系统将进行报警控制。
2、如权利要求1所述的检知监控系统,其特征在于,所述液体包括药液。
3、如权利要求1所述的检知监控系统,其特征在于,所述第一温度控制器依据温度检知热电偶的温度检测结果对槽内加热器进行开闭控制。
4、如权利要求1所述的检知监控系统,其特征在于,所述第二温度控制器依据过热检知热电偶的温度检测结果对槽内加热器进行开闭控制。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103109460A (zh) * 2010-09-28 2013-05-15 日产自动车株式会社 温度保护装置
CN104049651A (zh) * 2013-03-11 2014-09-17 鸿富锦精密工业(武汉)有限公司 制冷系统
CN104181957A (zh) * 2014-01-22 2014-12-03 漳州灿坤实业有限公司 一种电加热控制系统和使用该系统设计的电子感温棒
CN105511524A (zh) * 2015-12-01 2016-04-20 成都铁安科技有限责任公司 一种在线探伤装置耦合水池的加热装置及方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1147408C (zh) * 1997-05-16 2004-04-28 日野自动车工业株式会社 制动器警报装置
CN2618593Y (zh) * 2003-01-30 2004-06-02 武汉苏泊尔有限公司 智能过滤煎药器

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103109460A (zh) * 2010-09-28 2013-05-15 日产自动车株式会社 温度保护装置
CN103109460B (zh) * 2010-09-28 2015-12-16 日产自动车株式会社 温度保护装置
CN104049651A (zh) * 2013-03-11 2014-09-17 鸿富锦精密工业(武汉)有限公司 制冷系统
CN104049651B (zh) * 2013-03-11 2016-12-28 广州市旺骏机电设备安装有限公司 制冷系统
CN104181957A (zh) * 2014-01-22 2014-12-03 漳州灿坤实业有限公司 一种电加热控制系统和使用该系统设计的电子感温棒
CN105511524A (zh) * 2015-12-01 2016-04-20 成都铁安科技有限责任公司 一种在线探伤装置耦合水池的加热装置及方法

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