CN101414778B - 大振幅振动主动隔离杆 - Google Patents
大振幅振动主动隔离杆 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101414778B CN101414778B CN2008102232120A CN200810223212A CN101414778B CN 101414778 B CN101414778 B CN 101414778B CN 2008102232120 A CN2008102232120 A CN 2008102232120A CN 200810223212 A CN200810223212 A CN 200810223212A CN 101414778 B CN101414778 B CN 101414778B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- support tube
- stator
- line slideway
- screw
- fixed plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
一种大振幅振动主动隔离杆,它由动子、定子及位置传感器组成;大振幅振动主动隔离杆在运行时,动子在上,定子在下,动子相对定子上下运动,抵消由定子传来的振动,使动子保持稳定;所述的动子由内支撑筒、直线导轨滑块、直线导轨、电机动子组成;所述的定子由防尘盖、导轨固定板、电机定子、外支撑筒、定位螺钉及顶部定位块组成;所述的位置传感器由光栅固定板和光栅传感器组成。本发明大振幅振动主动隔离杆具有行程大、承载力大、响应速度快、可靠性高、振动隔离幅度大频带宽等优点。
Description
(一)技术领域:
本发明涉及一种大振幅振动主动隔离装置,属于精密机械领域。
(二)背景技术:
六自由度隔振定位平台是应用于精密光学观测设备及激光瞄准设备上的主动隔振及精确定位装置。它包括上平台、下平台、主动伸缩器件、两自由度转动铰链和三自由度转动铰链等几部分。通过六根主动元件的伸缩运动,上平台可实现六自由度的运动,实现六自由度的振动隔离和精确定位功能。
以往六自由度隔振定位平台中使用的主动伸缩器件多为音圈电机或压电陶瓷,但这些伸缩器件行程较小,难以实现大振幅振动隔离和大范围精确定位功能,限制了六自由度隔振定位平台在大振幅振动环境中的应用,因此急待改进。
(三)发明内容:
本发明一种大振幅振动主动隔离杆,其目的在于:针对目前六自由度隔振定位平台中使用的主动伸缩器件伸缩范围小,承载能力差等问题,提供一种基于直线电机的高速、大承载力、大振幅振动主动隔离杆。
本发明一种大振幅振动主动隔离杆,它由动子1、定子2及位置传感器3组成。大振幅振动主动隔离杆在运行时,动子1在上,定子2在下,动子1相对定子2上下运动,抵消由定子2传来的振动,使动子1保持稳定,如图1、图3、图5所示。
所述的动子1由内支撑筒4、直线导轨滑块7、直线导轨8、电机动子9组成。如图8所示,内支撑筒4呈中空圆柱状,外侧四面铣成平面,其中三面安装有直线导轨8和直线导轨滑块7。直线导轨8为截面呈凸字形的导轨,直线导轨8使用螺钉固定在内支撑筒4上。直线导轨滑块7为截面呈凹字形的滑块,直线导轨滑块7内部装有两排循环滚珠,运动时两排循环滚珠可嵌入直线导轨8中,实现高精度低摩擦滑动,如图6、图8所示。内支撑筒4顶部和底部各留有四个螺钉安装孔,其顶部通过螺钉安装孔与有效载荷连接,其底部通过螺钉安装孔与电机动子9连接。其中,所述直线导轨滑块7和直线导轨8采用钢质材料。
所述的定子2由防尘盖5、导轨固定板6、电机定子10、外支撑筒11、定位螺钉14及顶部定位块15组成。如图1,图3,图5所示,外支撑筒11为内部掏空的圆柱状,底部有四个电机固定孔和四个螺纹孔,电机固定孔用于使用螺钉固定电机定子10,四个螺纹孔用于定子2和其他设备连接时使用。外支撑筒11外侧四面加工成平面,每个平面上侧各有一个长方形开口,开口周围各有六个螺纹孔,用于固定导轨固定板6,导轨固定板6为长方形的阶梯台形状,周围各有六个螺钉孔用于与外支撑筒11上的螺纹孔连接,中部有四个螺钉孔用于使用螺钉和动子1的直线导轨滑块7固定,使直线导轨滑块7能与外支撑筒11固接,长方形开口下侧也各有一个较小的长方形开口,作为观察窗及透气孔使用。电机定子10的顶部与顶部定位块15之间同轴连接,用螺钉进行固定,再由四个定位螺钉14固定顶部定位块15,由此,电机定子10的底部和顶部均与外支撑筒11固接,结构稳定。防尘盖5呈与外支撑筒11截面形状相同的圆片状,以螺钉连接安装于外支撑筒11的顶部用于防止异物进入电机内部。
所述的位置传感器3由光栅固定板13和光栅传感器12组成,如图2,图7所示。光栅固定板13外形为长方形板状,周围有六个螺钉孔,用于与外支撑筒11连接,长方形板内侧有两个与长方形面垂直的安装平面,每个安装平面上各有两个开口槽。使用螺钉固定安装在两个安装平面间的光栅传感器12,长方形板中部有一圆形通孔,为光栅传感器指示灯的观察孔。光栅固定板13的外圈有六个螺钉孔,以安装螺钉的方式与外支撑筒11固接。
其中,所述直线导轨滑块和直线导轨采用钢质材料。
其中,所述内支撑筒、防尘盖、外支撑筒及顶部定位块使用的材料为硬铝合金。
其中,所述导轨固定板和光栅固定板使用的材料为钢。
其中,硬铝合金部件采用的表面处理工艺为表面阳极氧化。
其中,钢质部件采用的表面处理工艺为镀铬。
本发明大振幅振动主动隔离杆具有行程大、承载力大、响应速度快、可靠性高、振动隔离幅度大频带宽等优点。
(四)附图说明:
图1为大振幅振动主动隔离杆的等轴侧视图;
图2为大振幅振动主动隔离杆的主视图;
图3为图2的A-A剖视图;
图4为大振幅振动主动隔离杆的侧视图;
图5为图4的B-B剖视图;
图6为大振幅振动主动隔离杆的顶视图;
图7为大振幅振动主动隔离杆的位置传感器部分;
图8为大振幅振动主动隔离杆的动子部分。
图中的元件及其标号说明如下:
1动子, 2定子, 3位置传感器,
4内支撑筒, 5防尘盖, 6导轨固定板,
7直线导轨滑块,8直线导轨, 9电机动子,
10电机定子, 11外支撑筒,12光栅传感器,
13光栅固定板, 14定位螺钉,15顶部定位块。
(五)具体实施方式:
下面通过一个具体实施例来对本发明技术方案进行详细说明。
本实施例中,大振幅振动主动隔离杆包括动子1、定子2及位置传感器3三部分。动子1由内支撑筒4、直线导轨滑块7、直线导轨8、电机动子9组成;定子2由防尘盖5、导轨固定板6、电机定子10、外支撑筒11、定位螺钉14及顶部定位块15组成;位置传感器3由光栅固定板13和光栅传感器12组成。动子1在上,定子2在下,动子1相对定子2上下运动,抵消由定子2传来的振动,使动子1保持稳定,位置传感器3固定在定子2上,检测动子1的行程。
本实施方式的装配过程为,先将电机动子9与内支撑筒4相连,在内支撑筒4的三个侧面安装直线导轨滑块7和直线导轨8,完成动子1部分的组装;其次在电机定子10顶部安装顶部定位块15,再将电机定子10的底部与外支撑筒11连接,再通过4个定位螺钉14将顶部定位块15固定,将三个导轨固定板6与外支撑筒11连接,完成定子2的装配;接下来将装配好的动子1部分装入定子2内部,调节好同心度后,固定动子1部分的直线导轨滑块7和定子2部分的导轨固定板6,使动子1能沿导轨方向相对定子2运动;最后将光栅传感器3与光栅固定板13连接,再将光栅固定板13固定到外支撑筒11上,在外支撑筒11的顶部盖上防尘盖5,完成全部装配。
其中,电机动子9和电机定子10是由德国BOB公司生产的筒式直线电机组件,型号为DTL85/103,该筒式直线电机在20摄氏度下的持续输出力为142N,峰值输出力为217N,总行程55mm。导轨滑块7和导轨8由日本THK公司生产,型号为SRS15MUU和110LM。光栅传感器12为英国Renishow公司的RGH22,最高测量速度为10m/s,测量精度500nm。
其中内支撑筒4、防尘盖5、外支撑筒11及顶部定位块15使用的材料为硬铝合金,导轨固定板6和光栅固定板13使用的材料为钢。硬铝合金部件采用的表面处理工艺为表面阳极氧化,钢制部件采用的表面处理工艺为镀铬。
装配完成后,大振幅振动主动隔离杆的总高度为255mm,外接圆直径为135mm,总质量5.7kg。最大承载重量8kg,最大振动主动隔离幅值25mm,最高振动主动隔离频率50Hz以上。
Claims (6)
1.一种大振幅振动主动隔离杆,它由动子、定子及位置传感器组成;大振幅振动主动隔离杆在运行时,动子在上,定子在下,动子相对定子上下运动,抵消由定子传来的振动,使动子保持稳定;
所述的动子由内支撑筒、直线导轨滑块、直线导轨、电机动子组成;内支撑筒呈中空圆柱状,外侧四面铣成平面,其中三面安装有直线导轨和直线导轨滑块;直线导轨为截面呈凸字形的导轨,直线导轨使用螺钉固定在内支撑筒上;直线导轨滑块为截面呈凹字形的滑块,直线导轨滑块内部装有两排循环滚珠,运动时两排循环滚珠嵌入直线导轨中,实现高精度低摩擦滑动;内支撑筒顶部和底部各留有四个螺钉安装孔,其顶部通过螺钉安装孔与有效载荷连接,其底部通过螺钉安装孔与电机动子连接;
所述的定子由防尘盖、导轨固定板、电机定子、外支撑筒、定位螺钉及顶部定位块组成;外支撑筒为内部掏空的圆柱状,底部有四个电机固定孔和四个螺纹孔,使用螺钉将电机定子安装在电机固定孔,四个螺纹孔用于定子和其他设备连接时使用;外支撑筒外侧四面加工成平面,每个平面上侧各有一个长方形开口,开口周围各有六个螺纹孔,用于固定导轨固定板,导轨固定板为长方形的阶梯台形状,周围各有六个螺钉孔与外支撑筒上的螺纹孔连接,通过中部有四个螺钉孔,使用螺钉和动子的直线导轨滑块固定,使直线导轨滑块与外支撑筒固接,长方形开口下侧也各有一个较小的长方形开口;电机定子的顶部与顶部定位块之间同轴连接,用螺钉进行固定,再由四个定位螺钉固定顶部定位块,由此电机定子的底部和顶部均与外支撑筒固接;防尘盖呈与外支撑筒截面形状相同的圆片状,以螺钉连接安装于外支撑筒的顶部;
所述的位置传感器由光栅固定板和光栅传感器组成;光栅固定板外形为长方形板状,周围有六个螺钉孔与外支撑筒连接,长方形板内侧有两个与长方形面垂直的安装平面,每个安装平面上各有两个开口槽;使用螺钉固定安装在两个安装平面间的光栅传感器,长方形板中部有一圆形通孔,作为光栅传感器指示灯的观察孔;光栅固定板的外圈有六个螺钉孔,以安装螺钉的方式与外支撑筒固接。
2.如权利要求1所述的大振幅振动主动隔离杆,其特征在于:所述直线导轨滑块和直线导轨采用钢质材料。
3.如权利要求1所述的大振幅振动主动隔离杆,其特征在于:所述内支撑筒、防尘盖、外支撑筒及顶部定位块使用的材料为硬铝合金。
4.如权利要求1所述的大振幅振动主动隔离杆,其特征在于:所述导轨固定板和光栅固定板使用的材料为钢。
5.如权利要求3所述的大振幅振动主动隔离杆,其特征在于:硬铝合金部件采用的表面处理工艺为表面阳极氧化。
6.如权利要求2或4所述的大振幅振动主动隔离杆,其特征在于:钢质部件采用的表面处理工艺为镀铬。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2008102232120A CN101414778B (zh) | 2008-09-27 | 2008-09-27 | 大振幅振动主动隔离杆 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2008102232120A CN101414778B (zh) | 2008-09-27 | 2008-09-27 | 大振幅振动主动隔离杆 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101414778A CN101414778A (zh) | 2009-04-22 |
CN101414778B true CN101414778B (zh) | 2010-12-01 |
Family
ID=40595151
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2008102232120A Expired - Fee Related CN101414778B (zh) | 2008-09-27 | 2008-09-27 | 大振幅振动主动隔离杆 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101414778B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3624316A1 (en) * | 2011-04-26 | 2020-03-18 | Kokusai Keisokuki Kabushiki Kaisha | Electrodynamic actuator and electrodynamic excitation device |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102412695A (zh) * | 2011-09-23 | 2012-04-11 | 北京航空航天大学 | 一种基于线弹性双膜簧结构的音圈作动器 |
CN108574394B (zh) * | 2017-03-13 | 2023-11-24 | 上海瑞影医疗科技有限公司 | 一种带有新型音圈电机的高频超声探头扫描系统 |
CN108233669A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-06-29 | 江苏工大金凯高端装备制造有限公司 | 一种具有快速冷却功能的快刀伺服装置 |
CN109104066B (zh) * | 2018-09-11 | 2019-12-10 | 广州煌牌自动设备有限公司 | 一种直线电机 |
CN109510428A (zh) * | 2018-10-17 | 2019-03-22 | 南方电机科技有限公司 | 一种线性电机及自动化设备 |
CN110814695A (zh) * | 2019-12-16 | 2020-02-21 | 常州阳德自动化科技有限公司 | 阀门装配生产线 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5285995A (en) * | 1992-05-14 | 1994-02-15 | Aura Systems, Inc. | Optical table active leveling and vibration cancellation system |
CN2192097Y (zh) * | 1994-06-17 | 1995-03-15 | 中国科学院电工研究所 | 直流无刷直线电动机 |
JP2576691B2 (ja) * | 1993-03-29 | 1997-01-29 | 日本電気株式会社 | 振動アイソレーション装置 |
CN2531170Y (zh) * | 2001-12-10 | 2003-01-15 | 中国科学技术大学 | 减振装置 |
CN201062645Y (zh) * | 2007-06-19 | 2008-05-21 | 刘新广 | 自调磁减振器 |
-
2008
- 2008-09-27 CN CN2008102232120A patent/CN101414778B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5285995A (en) * | 1992-05-14 | 1994-02-15 | Aura Systems, Inc. | Optical table active leveling and vibration cancellation system |
JP2576691B2 (ja) * | 1993-03-29 | 1997-01-29 | 日本電気株式会社 | 振動アイソレーション装置 |
CN2192097Y (zh) * | 1994-06-17 | 1995-03-15 | 中国科学院电工研究所 | 直流无刷直线电动机 |
CN2531170Y (zh) * | 2001-12-10 | 2003-01-15 | 中国科学技术大学 | 减振装置 |
CN201062645Y (zh) * | 2007-06-19 | 2008-05-21 | 刘新广 | 自调磁减振器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3624316A1 (en) * | 2011-04-26 | 2020-03-18 | Kokusai Keisokuki Kabushiki Kaisha | Electrodynamic actuator and electrodynamic excitation device |
US11824416B2 (en) | 2011-04-26 | 2023-11-21 | Kokusai Keisokuki Kabushiki Kaisha | Electrodynamic actuator and electrodynamic excitation device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101414778A (zh) | 2009-04-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101414778B (zh) | 大振幅振动主动隔离杆 | |
CN101719700A (zh) | 一种机载光电平台内框架用的力矩电机驱动轴系模块 | |
CN104105941B (zh) | 具有被约束的配重的坐标测量机 | |
CN103309009B (zh) | 应用于光学系统的压电陶瓷直线电机调焦装置 | |
CN102565983B (zh) | 一种动镜轴向微调装置 | |
KR20080046643A (ko) | 마이크로 액츄에이터 | |
DE60325661D1 (de) | Optischen Weltraumteleskop mit einem Verriegelungssystem zum Feststellen der Spiegelsegmente | |
WO2009044817A1 (ja) | 光学装置及び測量方法 | |
CN106840590B (zh) | 一种小型化大载荷一体式五分量动态俯仰天平 | |
CN105783764A (zh) | 光纤光栅应变传感器校准装置 | |
CN108107934B (zh) | 光电吊舱多级稳像/回扫复合控制系统 | |
CN104570269A (zh) | 机载面阵成像仪调焦会聚镜组装置 | |
US20160336504A1 (en) | Positioning Device | |
CN110793747A (zh) | 一种多自由度移动测量机构 | |
CN104149084B (zh) | 一种三支链六自由度机器人驱动机构 | |
CN208026980U (zh) | 光电搜跟俯仰轴系 | |
CN211425799U (zh) | 一种轴向磁轴承刚度测试装置 | |
CN104122281A (zh) | 一种中空轴测角仪装置 | |
CN210010981U (zh) | 一种用于工业机器人的单自由度主动自适应力控法兰 | |
CN209057094U (zh) | 一种直线电机模组 | |
CN203365777U (zh) | 应用于光学系统的压电陶瓷直线电机调焦装置 | |
CN110928238A (zh) | 一种刚柔耦合旋转平台及其控制方法 | |
CN217404627U (zh) | 一种基于电涡流传感器可透射式应用的快速反射镜系统 | |
KR101305874B1 (ko) | 가변 강성형 진동 흡수 장치 | |
CN114839762A (zh) | 一种基于电涡流传感器可透射式应用的快速反射镜系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20101201 Termination date: 20140927 |
|
EXPY | Termination of patent right or utility model |