CN101407937A - 直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置 - Google Patents
直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101407937A CN101407937A CNA2008101220431A CN200810122043A CN101407937A CN 101407937 A CN101407937 A CN 101407937A CN A2008101220431 A CNA2008101220431 A CN A2008101220431A CN 200810122043 A CN200810122043 A CN 200810122043A CN 101407937 A CN101407937 A CN 101407937A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- resistance
- termination
- pin
- integrated transporting
- transporting discharging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 69
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 23
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 23
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 23
- 238000003466 welding Methods 0.000 title abstract description 7
- 230000004927 fusion Effects 0.000 claims abstract description 20
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 64
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 50
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 14
- 230000005622 photoelectricity Effects 0.000 claims description 9
- 241000209456 Plumbago Species 0.000 claims description 6
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 claims description 4
- TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 6-oxabicyclo[3.2.1]oct-3-en-7-one Chemical compound C1C2C(=O)OC1C=CC2 TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 abstract 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 206010000372 Accident at work Diseases 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本发明涉及一种直拉式单晶生产技术，旨在提供一种直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置。该装置包括滑轮、引出导线、外层包覆绝缘材料的缆索管、钢丝绳、金属材质的籽晶夹头、石英坩埚、石墨坩埚、导电材料的坩埚托杆和引出导线；钢丝绳、滑轮、炉体与检测报警电路构成一个回路。本发明可自动检测晶体与液面的熔接状态和判断熔接时刻；防止人为原因引起的籽晶过降导致的籽晶夹头熔化事故；可全程实时监测晶体与液面熔接状态，及时产生脱离液面报警；降低劳动强度，提高直拉式单晶炉的自动化程度，为全自动单晶炉设计解决了关键技术。
Description
技术领域
本发明涉及一种直拉式单晶生产技术，特别是涉及一种直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置。
背景技术
在直拉式单晶硅生产过程中，从多晶硅料到拉制出单晶硅棒需要经过多个工艺步骤，其中的引晶、放肩、转肩、等径和收尾等工艺步骤下，都需要监测晶体与熔硅液面熔接的状态。其中的引晶过程为细晶的生长过程，引晶开始前需要将籽晶棒缓慢插入熔硅液面中，待液面温度达到细晶生长要求时即可控制液面温度和籽晶的提升速度来实现细晶的生长。而籽晶下降的过程中必须判断籽晶与熔硅液面的熔接状态，发现熔接时应停止下降，籽晶过降将造成籽晶全熔或籽晶夹头熔化的事故。在实际生产中，籽晶的下降过程必须操作者手动操作，通过肉眼判断熔接状态，增加了劳动强度并存在人为因素引起的事故隐患。生产过程中经常有此类事故发生。
在放肩、转肩、等径和收尾过程中，需要实时监测晶体与熔硅液面的熔接状态，一旦发现脱离液面则晶体无法继续生长，应立即中止生长并采取应对操作。整个晶体生长过程一般有30多小时，全程需要人为观察晶体与液面的熔接状态，因此提供一种自动检测晶体与熔硅液面熔接状态的装置，对于提高直拉式单晶炉自动化程度、降低操作者劳动强度和防止生产事故都具有重大意义。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置。
为了解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：
本发明中的直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置，如附图1所示包括滑轮1、引出导线2、外层包覆绝缘材料的缆索管3(缆索管也可以是绝缘材质制成的)、钢丝绳4、金属材质的籽晶夹头5、石英坩埚6、石墨坩埚7、导电材料的坩埚托杆8和引出导线9；钢丝绳4的一个端头与籽晶夹头5相连，另一端头通过滑轮1后绕在缆索管3上，缆索管3与升降驱动机构连接；钢丝绳4与滑轮1之间是导通的，和炉体之间是绝缘的；石英坩埚6和石墨坩埚7和导电材料的坩埚托杆8都与炉体是导通的；滑轮1上引出一根引出导线2与炉体上引出一根引出导线9连接至一个检测报警电路，该检测报警电路包括绝缘电阻与电容检测电路、阈值比较电路、光电隔离与驱动输出电路。
作为一种改进，所述检测报警电路通过信号线与升降驱动机构连接。
作为一种改进，所述绝缘电阻与电容检测电路包括：集成运放U2、电阻R14、电阻R7、电阻R3、电阻R13、电阻R11、电阻R18、电容C1、电容C2、电容C4、电容C13、电位器R0和稳压二极管Z1；电容C4和电阻R18并联一端接电源地一端接电阻R14，电阻R13与电位器R0串联，一端接电阻R14和集成运放U2的第2引脚，另一端接集成运放U2的第6引脚；电容C1并联在集成运放U2的第2、第6引脚上；电阻R7一端接电源-15V，另一端接集成运放U2的第3引脚；电阻R13和稳压二极管Z1并联一端接电源地，一端接集成运放U2的第3引脚；电容C2一端接电源地，一端接集成运放U2的第8引脚；集成运放U2的第6引脚接电阻R11和电容C13构成的一阶低通滤波器后输出。电容C4和电阻R18分别为缆索管与炉体之间电容和绝缘电阻。以上元件构成负反馈放大电路将缆索管和炉体之间电阻和电容值转换为一电压值输出。晶体脱离熔液面时U2构成电压跟随器，输出负电压。晶体接触熔液面时U2构成同相放大电路，输出放大后的负电压，R11和C13构成低通滤波器对电压输出滤波。电位器R0为该放大电路的增益调节电位器，通过调节该电位器可匹配不同的电容Csence和电阻Rsence的影响，使输出电压电压达到后级检测要求。
作为一种改进，所述阈值比较电路包括：集成运放U0、集成运放U1、电阻R6、电阻R4、电阻R2、电阻R1、电阻R5、电容C3、电容C12、电容C0、电位器R9、二极管D0；电阻R6一端连接C3，另一端接集成运放U1的第3引脚；电容C12一端接另一端接集成运放U1的第3引脚，另一端接电源地；集成运放U1的第2引脚接第6引脚和电容C3；电容C0一端接电源地，一端接集成运放U1的第8引脚；电阻R2一端接集成运放U1的第6引脚，另一端接集成运放U0的第2引脚；电阻R4一端接集成运放U0的第2引脚，另一端接电位器R9的第2引脚，电位器R9的第1、3引脚分别接电源+15V和-15V；电阻R1和二极管D0并联一端接集成运放U0的第6引脚，一端接集成运放U0的第2引脚；电阻R5一端接集成运放U0的第3引脚，一端接电源地。
作为一种改进，所述光电隔离与驱动输出电路包括光耦U3、电阻R8、电阻R12、电阻R17、电阻R16、电阻R15、三极管Q0、发光二极管D1；发光二极管D1的正极为电压信号输入端，负极接光耦U3的输入级正极；电阻R8一端接电源地，另一端接光耦U3的输入级负极；电阻R12一端接电源+24V，另一端接光耦U3的输出级集电极；电阻R17一端接三极管Q0的集电极，另一端接光耦U3的输出级集电极；电阻R15一端接电源+24V，另一端接三极管Q0的集电极；电阻R16一端接光耦U3的输出级发射极，另一端接三极管Q0的基极；三极管Q0的发射极接信号地；三极管Q0的集电极为电路的信号输出端。
作为一种改进，所述钢丝绳绕在外层包覆绝缘材料的缆索管上。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
可自动检测晶体与液面的熔接状态和判断熔接时刻；防止人为原因引起的籽晶过降导致的籽晶夹头熔化事故；可全程实时监测晶体与液面熔接状态，及时产生脱离液面报警；降低劳动强度，提高直拉式单晶炉的自动化程度，为全自动单晶炉设计解决了关键技术。
附图说明
图1是本发明中检测装置的结构示意图。
图2是绝缘电阻与电容检测电路图；
图3是阈值比较电路图；
图4是光电隔离与驱动输出电路图。
具体实施方式
参考附图，下面将对本发明进行详细描述。
本发明设计了具有绝缘性能的钢丝绳，使钢丝绳通过绝缘的缆索管与滑轮、升降驱动机构和石英坩埚其他部件实现了电气绝缘。晶体通过籽晶夹头与钢丝绳连接，在电气上是导通的，而熔融状态的硅具有导电性，液面与石英坩埚炉体存在接触电阻。在晶体未接触熔硅液面时，籽晶夹头与石英坩埚炉体之间存在很大的绝缘电阻，而接触到液面时，该绝缘电阻突变为较小的接触电阻；另一方面，晶体未接触熔硅液面时，籽晶夹头与石英坩埚炉体间构成电容器，在接触到液面时，该电容器的容值产生突变。设计电路通过籽晶夹头和炉体之间的电阻和电容产生一电压信号与设定阈值进行比较，产生开关量信号，经光电隔离并放大后输出，即可指示晶体与熔硅液面的接触状态。
直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置，如附图1所示包括滑轮1、引出导线2、外层包覆绝缘材料的缆索管3(缆索管也可以是绝缘材质制成的)、钢丝绳4、金属材质的籽晶夹头5、石英坩埚6、石墨坩埚7、导电材料的坩埚托杆8和引出导线9；钢丝绳4的一个端头与籽晶夹头5相连，另一端头通过滑轮1后绕在缆索管3上，缆索管3与升降驱动机构连接；钢丝绳4与滑轮1之间是导通的，和炉体之间是绝缘的；石英坩埚6和石墨坩埚7和导电材料的坩埚托杆8都与炉体是导通的；滑轮1上引出一根引出导线2与炉体上引出一根引出导线9连接至一个检测报警电路，该检测报警电路包括绝缘电阻与电容检测电路、阈值比较电路、光电隔离与驱动输出电路。
所述绝缘电阻与电容检测电路包括：集成运放U2、电阻R14、电阻R7、电阻R3、电阻R13、电阻R11、电阻R18、电容C1、电容C2、电容C4、电容C13、电位器R0和稳压二极管Z1；电容C4和电阻R18并联一端接电源地一端接电阻R14，电阻R13与电位器R0串联，一端接电阻R14和集成运放U2的第2引脚，另一端接集成运放U2的第6引脚；电容C1并联在集成运放U2的第2、第6引脚上；电阻R7一端接电源-15V，另一端接集成运放U2的第3引脚；电阻R13和稳压二极管Z1并联一端接电源地，一端接集成运放U2的第3引脚；电容C2一端接电源地，一端接集成运放U2的第8引脚；集成运放U2的第6引脚接电阻R11和电容C13构成的一阶低通滤波器后输出。电容C4和电阻R18分别为缆索管与炉体之间电容和绝缘电阻。以上元件构成负反馈放大电路将缆索管和炉体之间电阻和电容值转换为一电压值输出。晶体脱离熔液面时U2构成电压跟随器，输出负电压。晶体接触熔液面时U2构成同相放大电路，输出放大后的负电压，R11和C13构成低通滤波器对电压输出滤波。电位器R0为该放大电路的增益调节电位器，通过调节该电位器可匹配不同的电容Csence和电阻Rsence的影响，使输出电压电压达到后级检测要求。采用集成运放HA17741构成负反馈放大电路将缆索管和炉体之间电阻和电容值转化为电压值供检测，该电压值可通过电位器调节，以适应不同单晶炉条件下的接触电阻；
所述阈值比较电路包括：集成运放U0、集成运放U1、电阻R6、电阻R4、电阻R2、电阻R1、电阻R5、电容C3、电容C12、电容C0、电位器R9、二极管D0；电阻R6一端连接C3，另一端接集成运放U1的第3引脚；电容C12一端接另一端接集成运放U1的第3引脚，另一端接电源地；集成运放U1的第2引脚接第6引脚和电容C3；电容C0一端接电源地，一端接集成运放U1的第8引脚；电阻R2一端接集成运放U1的第6引脚，另一端接集成运放U0的第2引脚；电阻R4一端接集成运放U0的第2引脚，另一端接电位器R9的第2引脚，电位器R9的第1、3引脚分别接电源+15V和-15V；电阻R1和二极管D0并联一端接集成运放U0的第6引脚，一端接集成运放U0的第2引脚；电阻R5一端接集成运放U0的第3引脚，一端接电源地。其中集成运放U1和电阻R6、电容C3、电容C12、电容C0构成电压跟随器，将前级输出的电压进行隔离缓冲，集成运放U0和电阻R4、电阻R2、电阻R1、电阻R5，电位器R9，二极管D1构成反相加法电路，电位器R9调节输出一个反相的阈值电压，与前级输出的电压相加，阈值电压为正值，前级电压为负值。由1)分析，在晶体脱离液面时，前级输出较小负电压，将阈值的绝对值调节为大于此时前级输出电压的绝对值，经过U0构成的反相加法电路后，输出负电压；晶体接触液面时，前级输出较大负电压，当此时阈值绝对值小于前级输出电压的绝对值时，经过U0构成的反相加法电路后，输出正电压。调节电位器R9将阈值绝对值设定在前级输出的两个电压绝对值的中值上时，系统具有最大抗干扰性。采用集成运放HA17741构成加法电路将该检测信号与设定阈值进行比较，产生指示接触状态的开关量信号，该设定阈值可通过电位器调节，以适应不同单晶炉条件下的绝缘电阻；
所述光电隔离与驱动输出电路包括光耦U3、电阻R8、电阻R12、电阻R17、电阻R16、电阻R15、三极管Q0、发光二极管D1；发光二极管D1的正极为电压信号输入端，负极接光耦U3的输入级正极；电阻R8一端接电源地，另一端接光耦U3的输入级负极；电阻R12一端接电源+24V，另一端接光耦U3的输出级集电极；电阻R17一端接三极管Q0的集电极，另一端接光耦U3的输出级集电极；电阻R15一端接电源+24V，另一端接三极管Q0的集电极；电阻R16一端接光耦U3的输出级发射极，另一端接三极管Q0的基极；三极管Q0的发射极接信号地；三极管Q0的集电极为电路的信号输出端。设计电阻R12、电阻R17、电阻R16、电阻R15使NPN三极管Q0工作于开关状态。晶体脱离液面时，输出负电压，发光二极管D1反向截止，光耦关断，Q0截止，电路通过限流电阻R15输出24V高电平；晶体接触液面时，输出正电压，发光二极管D1正向导通，光耦导通，Q0导通，电路输出0V低电平。开关量信号经过光耦TLP521实现光电隔离，经过NPN三极管2N2222放大后输出，供驱动外围继电器或者PLC开关量输入点；
最后，还需要注意的是，以上列举的仅是本发明的具体实施例。显然，本发明不限于以上实施例，还可以有许多变形。本领域的普通技术人员能从本发明公开的内容直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本发明的保护范围。
Claims (6)
1、一种直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置，包括石英坩埚，其特征在于，还包括滑轮、钢丝绳和金属材质的籽晶夹头；钢丝绳的一个端头与籽晶夹头相连，另一端头通过滑轮后绕在外层包覆绝缘材料的缆索管上，缆索管与升降驱动机构连接；钢丝绳与滑轮之间是导通的，滑轮和石英坩埚均通过引出的导线连接至一个检测报警电路，该检测报警电路包括绝缘电阻与电容检测电路、阈值比较电路、光电隔离与驱动输出电路。
2、根据权利要求1所述的直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置，其特征在于，所述检测报警电路通过信号线与升降驱动机构连接。
3、根据权利要求1所述的直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置，其特征在于，所述绝缘电阻与电容检测电路包括：集成运放U2、电阻R14、电阻R7、电阻R3、电阻R13、电阻R11、电阻R18、电容C1、电容C2、电容C4、电容C13、电位器R0和稳压二极管Z1；电容C4和电阻R18并联一端接电源地一端接电阻R14，电阻R13与电位器R0串联，一端接电阻R14和集成运放U2的第2引脚，另一端接集成运放U2的第6引脚；电容C1并联在集成运放U2的第2、第6引脚上；电阻R7一端接电源-15V，另一端接集成运放U2的第3引脚；电阻R13和稳压二极管Z1并联一端接电源地，一端接集成运放U2的第3引脚；电容C2一端接电源地，一端接集成运放U2的第8引脚；集成运放U2的第6引脚接电阻R11和电容C13构成的一阶低通滤波器后输出。电容C4和电阻R18分别为缆索管与炉体之间电容和绝缘电阻。
4、根据权利要求1所述的直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置，其特征在于，所述阈值比较电路包括：集成运放U0、集成运放U1、电阻R6、电阻R4、电阻R2、电阻R1、电阻R5、电容C3、电容C12、电容C0、电位器R9、二极管D0；电阻R6一端连接C3，另一端接集成运放U1的第3引脚；电容C12一端接另一端接集成运放U1的第3引脚，另一端接电源地；集成运放U1的第2引脚接第6引脚和电容C3；电容C0一端接电源地，一端接集成运放U1的第8引脚；电阻R2一端接集成运放U1的第6引脚，另一端接集成运放U0的第2引脚；电阻R4一端接集成运放U0的第2引脚，另一端接电位器R9的第2引脚，电位器R9的第1、3引脚分别接电源+15V和-15V；电阻R1和二极管D0并联一端接集成运放U0的第6引脚，一端接集成运放U0的第2引脚；电阻R5一端接集成运放U0的第3引脚，一端接电源地。
5、根据权利要求1所述的直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置，其特征在于，所述光电隔离与驱动输出电路包括光耦U3、电阻R8、电阻R12、电阻R17、电阻R16、电阻R15、三极管Q0、发光二极管D1；发光二极管D1的正极为电压信号输入端，负极接光耦U3的输入级正极；电阻R8一端接电源地，另一端接光耦U3的输入级负极；电阻R12一端接电源+24V，另一端接光耦U3的输出级集电极；电阻R17一端接三极管Q0的集电极，另一端接光耦U3的输出级集电极；电阻R15一端接电源+24V，另一端接三极管Q0的集电极；电阻R16一端接光耦U3的输出级发射极，另一端接三极管Q0的基极；三极管Q0的发射极接信号地；三极管Q0的集电极为电路的信号输出端。
6、根据权利要求1所述的直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置，其特征在于，所述直拉式单晶炉有一炉体，石英坩埚外接设一个石墨坩埚，导电材料的坩埚托杆连接石墨坩埚和炉体，引出的导线设于炉体上；所述钢丝绳和滑轮与炉体之间是绝缘的。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2008101220431A CN101407937A (zh) | 2008-10-30 | 2008-10-30 | 直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2008101220431A CN101407937A (zh) | 2008-10-30 | 2008-10-30 | 直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101407937A true CN101407937A (zh) | 2009-04-15 |
Family
ID=40571139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNA2008101220431A Withdrawn CN101407937A (zh) | 2008-10-30 | 2008-10-30 | 直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101407937A (zh) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101724891B (zh) * | 2009-12-14 | 2012-10-10 | 晶龙实业集团有限公司 | 直拉硅单晶直径自动补偿方法 |
| CN103194803A (zh) * | 2013-03-22 | 2013-07-10 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 适用于高温氧化物晶体生长的辅助监测系统 |
| CN103290468A (zh) * | 2012-02-24 | 2013-09-11 | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 | 单晶炉籽晶触液检测装置 |
| CN103616726A (zh) * | 2013-11-15 | 2014-03-05 | 中航光电科技股份有限公司 | 一种可靠性高的有水信号传感器 |
| CN107142516A (zh) * | 2017-06-16 | 2017-09-08 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置 |
| CN107818559A (zh) * | 2017-09-22 | 2018-03-20 | 太原理工大学 | 晶体接种状态检测方法和晶体接种状态图像的采集装置 |
| CN110257903A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-09-20 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 自动降籽晶过程中自动定位至原生籽晶处终止下降的方法 |
| CN116026487A (zh) * | 2023-03-31 | 2023-04-28 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 液面温度测量方法、装置、计算机设备和存储介质 |
-
2008
- 2008-10-30 CN CNA2008101220431A patent/CN101407937A/zh not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101724891B (zh) * | 2009-12-14 | 2012-10-10 | 晶龙实业集团有限公司 | 直拉硅单晶直径自动补偿方法 |
| CN103290468A (zh) * | 2012-02-24 | 2013-09-11 | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 | 单晶炉籽晶触液检测装置 |
| CN103194803A (zh) * | 2013-03-22 | 2013-07-10 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 适用于高温氧化物晶体生长的辅助监测系统 |
| CN103194803B (zh) * | 2013-03-22 | 2015-11-04 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 适用于高温氧化物晶体生长的辅助监测系统 |
| CN103616726A (zh) * | 2013-11-15 | 2014-03-05 | 中航光电科技股份有限公司 | 一种可靠性高的有水信号传感器 |
| CN107142516A (zh) * | 2017-06-16 | 2017-09-08 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种热炉内用于直拉单晶时的液面定位装置 |
| CN107818559A (zh) * | 2017-09-22 | 2018-03-20 | 太原理工大学 | 晶体接种状态检测方法和晶体接种状态图像的采集装置 |
| CN110257903A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-09-20 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 自动降籽晶过程中自动定位至原生籽晶处终止下降的方法 |
| CN116026487A (zh) * | 2023-03-31 | 2023-04-28 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 液面温度测量方法、装置、计算机设备和存储介质 |
| CN116026487B (zh) * | 2023-03-31 | 2023-08-08 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 液面温度测量方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101407937A (zh) | 直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置 | |
| CN201301357Y (zh) | 直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置 | |
| CN105897233A (zh) | 连接输入电源与负载的智能开关 | |
| CN100436656C (zh) | 单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法 | |
| CN101638087B (zh) | 机车电加热玻璃控制器 | |
| CN107084164A (zh) | 一种防卡钎凿岩控制系统 | |
| CN201398037Y (zh) | Rh钢包台车供电装置 | |
| CN102494734A (zh) | 一种液氦液位计分时供电控制系统 | |
| CN106684831A (zh) | 一种中压短路电流快速识别与开断控制装置及其控制方法 | |
| CN207116277U (zh) | 断路器选相分合闸装置 | |
| CN202696865U (zh) | 数字功放开关电源 | |
| CN206100574U (zh) | 车灯的亮度调节装置及有轨车辆 | |
| CN205353720U (zh) | 一种无线遥控电能数据采集及监控系统 | |
| CN205324368U (zh) | 一种带有拉力检测的5t单链拉拔机 | |
| CN212205677U (zh) | 一种硅铁炉的电极自动升放装置 | |
| CN104406415B (zh) | 电炉电极调节系统 | |
| CN204924613U (zh) | 一种大功率激光光纤耦合端的安全保护装置 | |
| CN204205517U (zh) | 一种输电系统的自动融冰雪装置 | |
| CN207026686U (zh) | 光伏焊带焊接控制系统 | |
| CN108910707A (zh) | 一种集装箱空箱具吊具下降保护控制装置及方法 | |
| CN206340965U (zh) | 一种中压短路电流快速识别与开断控制装置 | |
| CN201196748Y (zh) | 分调稳压器 | |
| CN218446416U (zh) | 一种自动与现场条件匹配的电磁感应电熔焊机系统 | |
| CN205304760U (zh) | 一种基于偏差检测的开关控制电路 | |
| CN104360623A (zh) | 一种配电柜内加热器开关控制方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C04 | Withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WW01 | Invention patent application withdrawn after publication |
Open date: 20090415 |