CN101332700A - 喷墨打印头及检测故障喷嘴的方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种喷墨打印头及检测故障喷嘴的方法。当产生故障喷嘴时，可以通过简单的程序检测故障喷嘴。检测故障喷嘴的方法用于喷墨打印头，该喷墨打印头具有其中填充墨水的多个容腔、加热容腔中墨水的多个加热器和对应于加热器的多个喷嘴；该检测方法包括检测每一个加热器的温度，并且当检测到的温度偏离预设温度范围时，判断相应于所述加热器的喷嘴为故障喷嘴。

Description

喷墨打印头及检测故障喷嘴的方法

技术领域

本发明构思主要涉及喷墨打印头、具有该打印头的成像装置以及检测故障喷嘴的方法，尤其是涉及通过检测设置在喷墨打印头的各个加热器的温度来检测喷墨打印头的故障喷嘴的装置和方法。

背景技术

喷墨打印头是一种通过喷射墨滴到打印介质上指定的位置形成图像的装置。

根据墨滴喷射机构，喷墨打印头广义上分为电热式和压电式，电热式打印头通过热源在墨中生成气泡，并且通过气泡的扩张力喷射墨滴。

电热式打印头主要包括：构造为硅晶片的衬底；形成于衬底上的供墨孔，用于提供墨水；流体通道层，其在衬底上形成流体通道和多个容腔；位于流动体通道层上的喷嘴层，其对应于墨水容腔具有多个喷嘴；对应于墨水容腔设置的多个加热器，可加热容腔中的墨水。

在喷墨打印头中，当对应于各个喷嘴的加热器或致动器的任何部件不正常工作时，如果喷嘴的任何部件被阻塞或者毁坏，或者加热器的供电电路或致动器发生故障，在打印介质上将形成白线，这导致打印质量的恶化。

被损坏不能喷墨的喷嘴称为故障喷嘴。一种检测故障喷嘴并修正故障喷嘴以防止打印质量恶化的技术已经产生。

韩国专利申请公开说明书10-0636236中公开了一种检测故障喷嘴的方法的示例。所述公开的方法通过扫描打印单元中的打印结果来检测故障喷嘴。

换言之，传统的方法包括通过喷嘴在打印介质上喷射墨水来打印测试图像，并通过扫描传感器来扫描测试图像以检测故障喷嘴。

然而，由于执行打印测试图像和通过扫描来寻找故障喷嘴的过程，传统的检测故障喷嘴的方法麻烦而且复杂，从而需要花费大量时间来检测故障喷嘴。

进一步，传统的检测技术在实际打印了预定数量后，通过在规则的间隔内重复打印测试图像来查找故障喷嘴。然而，如果故障喷嘴正好在故障喷嘴检测程序之后形成，直到下一个故障喷嘴检测程序执行之前会生成低质量的图像。换言之，传统的检测技术不能在故障喷嘴形成的时候即刻检测故障喷嘴。

由于执行故障喷嘴检测程序需要喷墨到打印介质上，因此在故障喷嘴检测程序期间，打印介质或者墨水被无谓的消耗。

由于故障喷嘴的位置信息通过扫描传感器来检测，因此很难更加精确的检测出故障喷嘴的位置。

发明内容

本发明构思提供了一种当故障喷嘴形成时可利用简单的程序检测喷墨打印头的故障喷嘴的装置和方法。

本发明构思也提供了一种成像装置以及检测喷墨打印头故障喷嘴和故障喷嘴准确位置的方法。

本发明构思的其它方面和/或优点将部分地在以下描述中说明，并且部分地可以从该描述中显见或者可以通过实施本发明构思而获得。

本发明构思的上述和/或者其它方面和用途可以通过提供一种在喷墨打印头中检测故障喷嘴的方法而实现，所述打印头设置有多个其中填充墨水的容腔；用于加热容腔中墨水的多个加热器；对应于加热器的多个喷嘴；所述方法包括检测每个加热器的温度，并且当测得温度偏离预设温度范围时，确定对应于加热器的喷嘴为故障喷嘴。

温度的检测可以包括用薄膜热电偶检测温度，该热电偶沉积于每个加热器的上部。

所述热电偶可以构造为K型热电偶。

所述预设温度范围可以介于100℃和330℃之间。

本发明构思的上述和/或者其它方面和用途也可以通过提供一种喷墨打印头来实现。所述打印头包括多个喷嘴模块，每个模块都具有其中填充墨水的容腔，对应于容腔的喷嘴，加热容腔中墨水的加热器；温度传感部件，该温度传感部件设置于各个喷嘴模块中，以检测加热器的加热温度；以及控制部件，该控制部件确定是否有故障喷嘴生成。当温度传感部件检测的温度偏离于预设温度范围时，所述控制部件可以确定对应于喷嘴模块的喷嘴是故障喷嘴。

喷墨打印头可以进一步包括保护加热器的钝化层。所述温度传感部件也可以设置在该钝化层上、对应于加热器。

喷墨打印头可以进一步包括位于钝化层上的抗空穴层。所述温度传感部件可以对应加热器位于钝化层和抗空穴层之间。

所述温度传感部件可以包括薄膜热电偶。

所述温度传感部件可以执行防空穴功能。

本发明构思的上述和/或者其它方面和用途也可以通过提供一种喷墨打印头来实现。该打印头包括衬底，该衬底形成有加热器和保护加热器的钝化层；流体通道层，其限定对应于所述加热器的容腔和连接于所述容腔的流体通道；形成有对应于所述容腔的喷嘴的喷嘴层；第一和第二金属层，对应喷嘴粘结于钝化层之上，形成温度传感部件；以及控制部件，该控制部件确定是否有故障喷嘴生成。当温度传感部件检测的温度偏离于预设温度范围时，所述控制部件可以确定该喷嘴为故障喷嘴。

本发明构思的上述和/或者其它方面和用途也可以通过提供一种喷墨打印头来实现。该打印头包括：多个喷嘴模块，每一个喷嘴模块都具有其中填充墨水的容腔、对应于该容腔的喷嘴、和加热容腔中墨水的加热器；温度传感单元，提供于各个喷嘴模块中，用于检测各个模块的加热器的加热温度。

本发明构思的上述和/或者其它方面和用途也可以通过提供一种具有喷墨打印头的成像装置来实现，该喷墨打印头具有多个喷嘴模块，每个喷嘴模块都包含其中填充墨水的容腔、对应于容腔的喷嘴、和用于加热容腔中墨水的加热器；温度传感单元，设置于各个喷嘴模块中，用于检测各个模块的加热器的加热温度。

所述成像装置可以进一步包括控制部件，该控制部件连接于喷墨打印头，当温度传感单元检测的加热温度偏离于预设温度范围时，确定喷嘴是否为故障喷嘴。

所述温度传感单元可以包括第一温度传感元件，该第一温度传感元件对应所述喷嘴模块加热器的位置设置；第二温度传感元件，该第二温度传感元件沿着要连接于所述第一温度传感单元的位置的加热器设置；所述加热温度包括对应于形成在第一温度传感元件和第二温度传感元件之间各位置的一系列温度。

所述温度传感单元可以包括传感器单元，该传感器单元连接于各个所述第一温度传感元件和所述第二温度传感元件，用于检测对应各个加热器位置的温度。

所述温度传感单元可以包括第一温度传感元件和第二温度传感元件，其对应于各个喷嘴模块的加热器的每个位置；连接于第一温度传感元件和第二温度传感元件的传感器单元，用于检测相应加热器的温度来作为加热温度。

所述温度传感单元可以包括第一温度传感元件和第二温度传感元件，其对应于各个喷嘴模块的加热器而形成，用于传输热量；以及连接于第一温度传感元件和第二温度传感元件的传感器单元，用于根据热量相应地检测加热器的温度作为加热温度。

各个加热器可以产生传输到温度传感单元的热量，并且所述温度传感单元根据各个加热器中热量的不同，可以检测加热器中某个加热器的加热温度。

不同的热量可以由各个加热器传输到温度传感单元，并且温度传感单元根据不同的热量，可以检测在各个喷嘴模块的多个加热器中的加热器的加热温度和加热器位置。

所述温度传感单元可以位于从加热器到墨水容腔间形成的路径上。

所述温度传感单元可以位于加热器和墨水容腔之间。

喷嘴模块可以包括：衬底，该衬底形成有加热器和保护加热器的钝化层；流体通道层，该流体通道层限定对应于加热器的容腔和连接于容腔的流体通道；喷嘴层，该喷嘴层形成有对应于容腔的喷嘴；以及温度传感单元，该温度传感单元可以包括对应各个喷嘴粘结于钝化层上的第一和第二金属层，用于形成温度传感单元。

所述成像装置可以包括控制部件，当温度传感单元检测到的温度偏离于预设温度范围时，判断其中一个喷嘴是否为故障喷嘴。

所述成像装置可以包括控制部件，当温度传感单元检测的温度偏离于预设温度范围时，判断其中一个喷嘴是否为故障喷嘴，并且喷墨打印头和控制部件形成在单独一个整体中。

多个喷嘴模块和所述温度传感单元可以形成于单独一个单体(monolithicbody)。

附图说明

本发明的这些和/或者其它方面和用途，从以下结合附图做出的对实施例的描述中，将变得明白并且更加容易理解。所述附图中：

附图1是俯视图，显示了一喷墨打印头，其可以使用于根据本发明构思的具体实施例的一个成像装置；

附图2是沿附图1中的线I-I截取的截面图；

附图3是附图1中根据本发明构思的具体实施例的喷墨打印头的部分剖面透视图；

附图4是根据本发明构思的另一个具体实施例的喷墨打印头的剖面图；

附图5是根据本发明构思的一个具体实施例的具有喷墨打印头的成像装置的控制方框图；以及

附图6是根据本发明构思的具体实施例、附图5中的成像装置的控制部件和温度传感单元的方框图。

具体实施方式

现在将详细说明本发明构思的实施例，相应的附图中显示了这些实施例的示例，其中，相同的附图标记始终表示相同的元件。以下将参照附图描述这些实施例，以说明本发明构思。

附图1是俯视图，显示了喷墨打印头，其可以使用于根据本发明构思的具体实施例的一个成像装置；附图2是沿附图1中的线I-I截取的截面图；附图3是附图1中根据本发明构思的具体实施例的喷墨打印头的部分剖面透视图。

电热式喷墨打印头可以用作本发明构思的喷墨打印头的例子，利用热源在墨水中生成气泡，并通过气泡的扩张力喷射墨滴。

如图1、2和3所述，本实施例的喷墨打印头包括衬底10，在衬底上提供加热器11用作喷墨的喷射压力生成元件。电极12形成于加热器11上，而且，钝化层13和抗空穴层14形成于电极12上。同时，限定墨水容腔21a的流体通道层20位于衬底10上，形成用于墨水喷射的喷嘴31的喷嘴层30位于流体通道层20之上。胶合层15被提供于流动通道层20和衬底10之间，用以将流体通道层20粘结于衬底10之上。温度传感单元(部件)43可以包括多个形成于钝化层13和抗空穴层14之间的温度传感元件。尽管本发明构思的该实施例描述温度传感单元43的温度传感元件形成于钝化层13和抗空穴层14之间，但是对本领域技术人员而言，应当了解温度传感单元43的温度传感元件可以形成于加热器11上任何位置。

温度传感单元43的温度传感元件可以被安装于从加热器11到相应于墨水容腔21a的热通道中，或者可以安装于具有墨水容腔21a、喷嘴31和喷墨压力生成器的喷嘴模块中的一个位置，以检测喷墨压力生成器(例如加热器11)的温度。所述喷墨压力生成器(例如加热器11)用于生成一个或者多个气泡，并通过喷嘴21从墨水容腔21a中喷射墨水。

由于墨水应该根据加热器的热量通过喷嘴从墨水容腔中喷射出来，加热器的温度可以代表对应于加热器和/或者喷嘴设置的墨水的温度。如果喷嘴是有缺陷的或者是故障喷嘴，喷嘴不能执行正常的喷射功能而被阻塞。因此，包含在该墨水容腔中的墨水的温度不同于其他墨水容腔中包含的墨水的温度，这是因为其他墨水容腔中的其他墨水和相应的喷嘴能够正常的执行喷射功能。

衬底10构造为硅晶片，形成有供墨孔10a，墨水通过该供墨孔从墨水存储部件(图中未示出)中提供。位于衬底10之上的加热器11被构造成典型的薄膜加热器，通过将来自于电极12的电信号转化为热能来加热容腔21a中的墨水。加热器11可以由耐热金属如氮化钽(TaN)或者钽铝合金(Ta-Al)制成。电极12通过沉积足够导电率的金属材料如铝(Al)形成。沉积的金属层通过光刻工艺和蚀刻工艺以预定的布线构图形成于加热器11之上。电极12接收来自于典型CMOS逻辑和功率晶体管的信号，并将信号传输到加热器11。

热量存储层16可以作为由氧化硅薄膜形成的绝缘层提供于加热器11和衬底10之间。热量存储层16作用为防止加热器11产生的热量扩散(转移)到衬底10。

钝化层13通过防止加热器11和电极12被氧化或者直接接触墨水来保护它们。钝化层13可以配置成氮化硅(SiN)薄膜，这种薄膜有良好的绝缘性和传热效率。抗空穴层14可以提供于钝化层13上，在相对于喷嘴31的加热器11的热量产生区域之上。

抗空穴层14保护加热器11远离当容腔21a中的气泡缩小并爆裂时产生的空穴力，并且防止加热器11被墨水腐蚀。抗空穴层14通过在钝化层13上沉积预定厚度的钽(Ta)形成。

抗空穴层14能够在对应于喷嘴的位置，通过在温度传感部件43上沉积钽(Ta)形成并对其构图而形成。然而，如图4所示，抗空穴层可以被去掉。虽然抗空穴层被去掉，但是提供于钝化层13之上的温度传感部件43检测加热器11的温度，并另外保护加热器11远离当容腔21a中的气泡缩小并爆裂时产生的空穴力。温度传感部件43具有对应于加热器11的热量产生区域的宽度。相应的，在改进的实施例中，由于通过钽(Ta)的沉积和构图形成抗空穴层的过程可以被忽略，因而提高了加工效率。

流体通道层20限定一个墨水通道21以连接供墨孔10a和喷嘴31。墨水通道21具有其中填充墨水的容腔21a和连接供墨孔10a和容腔21a的限流器21b，限流器用于限制供墨孔10a和墨水容腔21a之间的墨水流动。

在钝化层13和抗空穴层14之间提供了第一金属层41和第二金属层42作为温度传感元件，其形成温度传感单元43以检测加热器11的温度。

温度传感单元43的温度传感元件可以具有薄膜热电偶。使用电阻温度系数(TCR)的温度传感器可以用作检测温度的温度传感器。然而，由于使用TCR的温度传感器使用金属的电阻变化值来检测温度，所以它仅能检测相对宽的范围内的平均温度，而不能检测特定点或位置的温度。相应地，本发明构思提供了使用热电偶的温度传感部件43。

热电偶是一种温度传感器，其中两种不同类型的金属被放置成一个闭合环，形成于彼此连接成闭合环的两种类型金属之间的两个结合点中的一个连接于高温侧，另一个结合点连接于低温侧。这样的热电偶使用热电效应，根据闭环中金属的类型和两个结点之间的温差产生电动力。这里，热电效应可以温差转化为电流以代表温度。

在本实施例中，热电偶被构造成彼此连接的两种金属之间的一个结点，被直接连接于温度检测区域，两种不同金属的另一个开放(未连接)的端点连接于一个数据采集板，由此可以轻易的获取温度信号。基于温度信号，热电偶能够方便的检测指定区域的温度。根据组成热电偶的两个金属的类型，热电偶可以被分成不同的类型。

使用镍铬合金(chromel)和阿留麦尔镍合金(alumel)的K型热电偶可以用于本实施例。

通过使用包括镍铬合金和阿留麦尔镍合金的K型热电偶，作为温度传感部件43的温度传感元件的第一金属层41和第二金属层42可以形成为使得第一金属层41的一端和第二金属层42的一端被粘结于钝化层13之上，以更容易探测加热器11的温度。

第一金属层41可以通过溅射或者化学气相沉积来沉积镍铬合金并对其构图来形成。类似的，第二金属层42可以通过溅射或者化学气相沉积来沉积阿留麦尔镍合金并对其构图来形成。

加热器11的加热温度通过温度传感部件43来测量，测得温度的模拟信号通过A/D转化器(没有显示)转化成数字信号，然后数字信号被发送到控制部件50(这将在后面描述)。

附图5是根据本发明构思的一个实施例的具有喷墨打印头的成像装置的控制方框图。根据本实施例的成像装置包括控制部件50和加热器驱动部件51。

参考附图1-5，根据打印操作的输入信号控制部件50通过加热器驱动部件51来驱动加热器11，以利用墨水喷射力来喷射墨水，在打印介质上形成图像。

包括由流体通道层20限定的容腔21a，在容腔21a之下设置的加热器11，检测加热器11温度的温度传感部件43以及设置在容腔21a上的喷嘴31的喷嘴模块单元形成于多个喷墨打印头上。

在喷嘴模块中，通过驱动加热器11在容腔21a中生成气泡，墨滴通过气泡的扩张力(墨水喷射力)由喷嘴31喷射出来。

同时，当驱动加热器11时，温度传感单元43检测加热器11的温度。温度传感单元43测得的温度信号被传送到控制部件50。

第二金属层42和第一金属层41的每一端连接到温度传感单元43的末端，使得从加热器11接收的热量被传送到温度传感单元43，代表由温度传感单元43测得的温度的电压信号输出到控制部件50。于是，温度传感单元43的末端连接到第二金属层42的一个远端和第一金属层41的每个远端，温度传感单元43利用由第二金属层42和第一金属层41的每端形成的每个结点的热量来检测温度，同时也根据测得的温度以及第二金属层42和相应第一金属层41的连接结点来检测加热器的位置。

例如，当喷嘴31中的一个是故障喷嘴(有缺陷的喷嘴)时，由于第一金属层41和第二金属层42形成的结点置于相应的墨水容腔21a和加器11之间，其中一个结点显示的温度不同于其它结点。代表由温度传感单元43测得的结点温度的一个电压信号不同于代表其它结点温度的电压信号。根据该电压与其他电压之间的差别，控制部件50可以判断相应的喷嘴为故障喷嘴以及故障喷嘴的位置。

当喷墨打印头包括多排喷嘴时，多个第二金属层42可以沿对应于每排喷嘴的加热器放置，并且可以连接到相应的温度传感单元43。这样，单个温度传感单元可以用来连接到多个第二金属层42。使用每个第一金属层41和多个第二金属层42中的每一个第二金属层，控制部件50可以检测到电压，来表示每个加热器的温度。

当加热器11在正常的情形下通过控制部件50的信号生成热量时，由于容腔21a中的受热墨水通过喷嘴31喷射，加热器11保持在预定的温度范围内。换言之，当墨水通过喷嘴31正常的喷射时，加热器11保持在一温度范围内，如298℃±30℃，在这种温度范围内，气泡产生在墨水中。

如果当喷嘴31被阻塞时，加热器11生成热量，由于容腔21a中的墨水不能通过喷嘴31喷射出来，加热器11的温度持续升高，比如超过330℃。

此外，如果加热器11不正常工作或者不能产生热量，加热器11被保持环境温度。

当产生故障喷嘴时，比如喷嘴31被阻塞或者加热器11不能产生热量，加热器11的温度偏离于预设温度范围，如298℃±30℃。于是，如果控制部件50监测加热器11的温度并判断其温度偏离于前述温度范围，所述控制部件断定相应的喷嘴模块的喷嘴31为故障喷嘴。

为了减少故障喷嘴的判断错误，如果加热器11的测得温度低于例如100℃，控制部件可以判断加热器不产生热量。并且，如果加热器11的测得温度高于例如330℃，控制部件可以判断喷嘴31阻塞。换言之，如果预设的温度范围被扩宽到从100℃到330℃，并且加热器11的温度偏离于所述预设的温度范围，就可以判断对应的喷嘴模块的喷嘴31为故障喷嘴。

附图6是根据本发明构思的具体实施例、附图5中的成像装置的控制部件和温度传感单元的方框图。参考图1、5和6，温度传感单元43包括传感器单元44，以检测代表第二金属层42和相应第一金属层41的结点的温度的电压。传感器单元44可以包括多个传感器，对应于第二金属层42和第一金属层41的每一个，以根据各自的热量产生代表第二金属层42和相应第一金属层41的结点的各个温度的信号。控制部件50可以连接于传感器单元44以接收生成的信号。

检测出故障喷嘴后，通过各种故障喷嘴补偿方法，防止打印质量的恶化。韩国专利申请公开说明书2006-0067056披露了一种故障喷嘴修正方法的例子。由于各种传统故障喷嘴补偿方法可以被用于本发明构思，这里就不再解释。

例如，可以利用另外一个喷嘴来将墨水喷射到打印介质的认定故障喷嘴的部分，以喷射墨水来形成图像，从而，所述未能由故障喷嘴喷射墨水的打印介质的部分通过使用另外的喷嘴来补偿。传统的维护操作可以用作故障喷嘴补偿方法。

因为无论何时执行打印操作，都可通过上述的检测过程来检测故障喷嘴，与用扫描操作来检测故障喷嘴的传统方法相比，故障喷嘴可以被迅速地发现；并且，不需要高分辨率的扫描传感器，故障喷嘴可以被被精确测得。

另外，可以省略一系列复杂的打印和扫描程序，不用执行不必要的打印操作，从而防止打印介质或墨水的浪费。

如上所述，和使用扫描操作的传统的故障喷嘴检测方法相比，根据本发明构思的喷墨打印头故障喷嘴的检测方法和装置，可以迅速地检测出故障喷嘴，这是由于无论何时执行打印操作，通过利用加热器的加热温度可以判断是否有故障喷嘴产生。

此外，不需要高分辨率的扫描传感器，故障喷嘴可以被准确的检测出来。

此外，故障喷嘴可以通过简单的过程被检测出来，不执行不必要的打印程序，从而可以防止打印介质和墨水的浪费。

尽管已经示出并描述了本发明构思的若干实施例，但是本领域技术人员应当了解，在不背离本发明构思原理和精神的情况下可以对这些实施例做出改变，而本发明构思的范围被限定在权利要求及等价物内。

Claims (22)

1.一种用于检测成像装置喷墨打印头中使用的故障喷嘴的方法，该成像装置设置有其中填充墨水的多个容腔、加热容腔中墨水的多个加热器和对应于加热器的多个喷嘴，该检测方法包括：

检测每个加热器的温度；并且

当测得温度偏离于预设温度范围时，确定相应于该加热器的喷嘴是故障喷嘴。

2.如权利要求1所述的方法，其中，温度的检测包括利用沉积于每一个加热器上部的薄膜热电偶来检测温度。

3.如权利要求2中所述的方法，其中热电偶包括一个K型热电偶。

4.如权利要求1中所述的方法，其中所述预设温度范围在100℃与330℃之间，包括100℃和330℃。

5.一种成像装置，包括：

多个喷嘴模块，所述喷嘴模块包括其中填充墨水的容腔、对应于容腔的喷嘴和加热容腔中墨水的加热器；

一个或者多个温度传感单元，所述温度传感单元设置于相应喷嘴模块内，以检测加热器的加热温度；以及

控制部件，该控制部件判断是否有故障喷嘴生成，

其中，当所述一个或者多个温度传感单元测得的温度偏离于预设的温度范围时，所述控制部件判断相应喷嘴模块的喷嘴是故障喷嘴。

6.如权利要求5中所述的成像装置，进一步包括：

保护加热器的钝化层，

其中，对应于所述加热器，所述一个或多个温度传感单元设置在钝化层上。

7.如权利要求6中所述的成像装置，进一步包括：

设置于钝化层上的抗空穴层，

其中，对应于所述加热器，所述一个或者多个温度传感单元设置于所述钝化层和抗空穴层之间。

8.如权利要求5中所述的成像装置，其中所述一个或者多个温度传感单元包括薄膜热电偶。

9.如权利要求6中所述的成像装置，其中所述一个或者多个温度传感单元执行防空穴功能。

10.一种成像装置，包括：

形成有加热器和保护加热器的钝化层的衬底；

限定了对应于加热器的容腔和连接于容腔的流体通道的流体通道层；

形成有对应于容腔的喷嘴的喷嘴层；

第一和第二金属层，所述第一和第二金属层对应于喷嘴粘结于钝化层之上，形成一个或者多个温度传感单元；以及

控制部件，该控制部件判断是否有故障喷嘴产生，

其中，当所述一个或多个温度传感单元检测出的温度偏离于预设温度范围时，控制单元判断该喷嘴为故障喷嘴。

11.一种喷墨打印头，包括：

多个喷嘴模块，每一个喷嘴模块具有其中填充墨水的容腔、对应于容腔的喷嘴和加热容腔中墨水的加热器；以及

温度传感单元，该温度传感单元设置于相应的喷嘴模块中，以检测各个模块中加热器的加热温度。

12.一种成像装置，包括：

喷墨打印头，该喷墨打印头包括：

多个喷嘴模块，每一个喷嘴模块具有其中填充墨水的容腔、对应于容腔的喷嘴和加热容腔中墨水的加热器；以及

温度传感单元，该温度传感单元设置于相应的喷嘴模块中，以检测各个模块中加热器的加热温度。

13.如权利要求12中所述的成像装置，进一步包括：

连接于喷墨打印头的控制部件，当温度传感器单元检测到的加热温度偏离于预设温度范围时，该控制部件判断喷嘴是否为故障喷嘴。

14.如权利要求12中所述的成像装置，其中，温度传感单元包括：第一温度传感元件，该第一温度传感元件对应于喷嘴模块的加热器的位置设置；以及第二温度传感元件，该第二温度传感元件沿着要连接于第一温度传感元件的位置的加热器设置；并且

加热温度包括多个温度，所述多个温度对应于在各个所述第一温度传感元件和所述第二温度传感元件之间形成的各位置。

15.如权利要求12中所述的成像装置，其中，所述温度传感单元包括连接于各个所述第一温度传感元件和所述第二温度传感元件的传感器单元，以检测对应于各个加热器的位置的温度。

16.如权利要求12中所述的成像装置，其中，温度传感单元包括：

第一温度传感元件和第二温度传感元件，其对应于各个喷嘴模块的加热器形成，用于传输热量；以及

传感器单元，该传感器单元连接于第一温度传感元件和第二温度传感元件，以根据热量按照加热温度来检测相应加热器的温度。

17.如权利要求12中所述的成像装置，其中，各个加热器产生热量，以传输到温度传感单元，并且

温度传感单元根据各个加热器中热量的不同来检测加热器中的某个加热器的加热温度。

18.如权利要求12中所述的成像装置，其中，温度传感单元设置在从加热器到墨水容腔的通道上。

19.如权利要求12中所述的成像装置，其中，所述喷嘴模块包括：

形成有加热器和保护加热器的钝化层的衬底；

限定对应于加热器的容腔和连接于容腔的流体通道的流体通道层；

形成有对应于容腔的喷嘴的喷嘴层；且

所述温度传感单元包括：

第一和第二金属层，其对应各自的喷嘴粘结于钝化层上，以形成温度传感单元。

20.如权利要求19中所述的成像装置，进一步包括：

控制部件，当温度传感单元检测到的温度偏离于预设的温度范围时，该控制部件判断其中一个喷嘴是否为故障喷嘴。

21.如权利要求12中所述的成像装置，进一步包括：

控制部件，当温度传感单元检测的温度偏离于预设的温度范围时，该控制部件判断其中一个喷嘴是否为故障喷嘴，

其中，喷墨打印头和控制部件形成于单独一个整体中。

22.如权利要求12中所述的成像装置，其中，多个喷嘴模块和温度传感单元形成于单独一个单体中。

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