CN101326433A - 用于检测被测物品的方法和设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于检测被测物品(2、12)的方法，其中借助扫描探针测量装置的测量探针(10)，利用扫描探针显微术来检测被测物品(2、12)，以及其中在配属于光学测量系统的观察区域内，利用光学测量系统光学地检测被测物品(2、12)的至少一个部分(1)，其中，由于扫描探针显微术检测而引起的被测物品(2、12)的至少一个部分(1)的从观察区域中出来的位置移动，可这样进行修正，使得被测物品(2、12)的至少一个位置移动的部分(1)借助再调节装置再次设置在观察区域中，所述再调节装置对表征位置移动的数据信号进行处理。

Description

用于检测被测物品的方法和设备

本发明涉及一种用于检测被测物品的方法，其中借助扫描探针测量装置的测量探针，利用扫描探针显微术来检测被测物品，以及其中在配属于光学测量系统的观察区域内，利用光学测量系统光学地检测被测物品的至少一个部分。此外，本发明还涉及一种设备，利用其可以实施此方法。

发明背景

扫描探针显微术(SPM-“扫描探针显微术(Scanning ProbeMicroscopy)”)是这样一项技术，其中测量探针可以在样品上扫描，所述样品也可以被称为被测物品或待检测的被测物品，并通过测量探针和样品之间的与距离有关的相互作用来获得形貌图。但也可以获得物料比照或其它的样品信息。这种测量技术的最突出的代表是扫描力显微镜(AFM-“原子力显微镜(Atomic Force Microscope)”)和扫描隧道显微镜(STM-“扫描隧道显微镜(Scanning TunnelingMicroscope)”)。另外的代表是近场显微镜(SNOM-“扫描近场显微镜(Scanning Near Field Microscope)”)，以及扫描光子显微镜(SPhM-“扫描光子力显微镜(Scanning Photon Force Microscope)”)。

在这些所有的技术中，除了给被测物品造像外，距离谱术(Abstands-Spektroskopie)也是另一重要的检测方法。在此，测量探针特别是在垂直的方向上或在空间内的任意方向上或在一个平面内相对于样品行进，并测量相互作用。在扫描力显微镜中，此方法例如这样应用，即通过将一个分子束缚到测量探针上，而将另一个分子束缚到样品上，来在测量分子之间的力。但也可以测量分子内的力，例如通过把测量探针沉到样品上，等待束缚。随后测量探针可从基底上离开并记录下力，样品设置在所述基底上。此外还可以设计其它的测量，而且也可以部分地执行这样的测量，即在所述测量中相互作用被测量，所述相互作用与两个或多个点的距离相关。

光学方法，例如荧光显微术，通过例如以特殊的荧光标志来标志微粒，能够提供关于被检测样品的组成信息。此外，例如FRET(FRET-“荧光共振能量转移(Fluorescence Resonance Energy Transfer”)让两个被标志了的分子的相互定位成为可能。

如果使用SPM作为检测方法，例如在前面所述的距离谱术的模式中，则在此经常产生被测物品的位置移动，所述位置移动于是也会对样品的荧光或其它的光学特性产生作用。为了能光学地观察到这些特性，光学测量系统的观察区域，其用于样品的光学检测，优选是指聚焦点，必须在空间上与被测物品的被光学检测的部段重迭。被测物品也必须紧密地位于光学轴附近，使它可以由光学测量系统，例如借助测量物镜来捕获。由于扫描探针显微法检测，被测物品的位置移动可以有不同的场景，其中被测物品和测量物镜之间的距离被改变，因此被测物品可能从光学测量系统的观察区域，例如测量物镜的聚焦面中移出来：

-用于样品的支撑物例如借助压电布置来运动，以便改变样品和测量探针之间的距离。如果现在光学待检测的物品，特别是样品的一个部分与样品固定相连，则会出现散焦。

-测量探针借助压电布置来运动，以便改变样品和测量探针之间的距离。如果光学待检测的物品与测量探针固定相连，则会出现散焦。

-如果被测物品是样品的组成部分，所述组成部分通过起作用的力而改变或移动，则，与运动的构件无关，发生散焦。

在距离谱术中的牵引宽度通常可能是100μm或更多，则散焦对于其它的光学检测是不可接受的。

发明概述

本发明的任务是，实现一种改进的方法和改进的装置，借助它们来简化利用扫描探针测量装置和光学测量系统的对被测物品的联合检测。

按本发明，按独立权利要求1所述的方法和独立权利要求17所述的设备来解决这一任务。本发明有利的构造是从属权利要求的内容。

借助本发明实现一种可能性：通过修正由于扫描探针显微法检测的被测物品相对于光学测量系统的观察区域的位置移动，对被测物品既可进行扫描探针显微法检测，也可进行光学地检测。因此，尽管同时或暂时相关地进行扫描探针显微法检测，也使光学检测成为可能。以这种方法为使用者简化用于一个和相同的被测物品的联合的测量方法的使用。

本发明优选的改进规定，在光学系统的观察区域中对被测物品的至少一个部分进行重置时，对观察区域进行改变地调整。

在本发明符合目的的构造中可规定，在观察区域进行改变地调整时，对光学测量系统进行位置移动。

本发明有利地实施方式规定，在光学系统的观察区域中对被测物品的至少一个位置移动的部分进行重置时，对被测物品的定位进行改变地调整。

本发明优选的改进中，在由于扫描探针显微术检测而引起的从观察区域中移出的位置移动下，被测物品的至少一个部分以以下方式中的至少一个来进行位置移动：空间的位置移动和在二维平面内的位置移动。

本发明的优选改进规定，表征位置移动的数据信号通过扫描探针显微术检测的数据信号的使用来导出。

在本发明符合目的的构造中可规定，构成扫描探针显微术检测的数据信号，使其包括用于在扫描探针显微术检测中的测量探针的弯曲的数据信号。

本发明有利的实施方式规定，构成扫描探针显微术检测的数据信号，使其包括用于在扫描探针显微术检测中的测量探针容纳部的位置移动的数据信号。

本发明的优选改进规定，构成扫描探针显微术检测的数据信号，使其包括用于在扫描探针显微术检测中的被测物品的支撑物的位置移动的数据信号。

本发明优选的实施方式规定，构成扫描探针显微术检测的数据信号，使其包括用于在扫描探针显微术检测中的被测物品的模型化行为的数据信号。

在本发明符合目的的构造中可规定，构成扫描探针显微术检测的数据信号，使其包括用于在扫描探针显微术检测中的被测物品的外部形状改变的数据信号。

本发明有利的实施方式规定，构成扫描探针显微术检测的数据信号，使其包括距离谱术数据信号。

本发明的优选改进规定，构成扫描探针显微术检测的数据信号，使其包括扫描力数据信号。

本发明的优选改进规定，在利用扫描探针测量装置进行扫描探针显微术检测时，实施以下方法中的至少一个：扫描力显微术、扫描隧道显微术、扫描光子显微术和扫描近场显微术。

在本发明的符合目的的构造中可规定，在利用光学测量系统进行光学检测时，实施以下方法中的至少一个：光学显微术检测、荧光测量法和吸收测量法。

本发明有利的实施方式规定，在对被测物品的至少一个部分进行光学检测时，光学系统的聚焦区被用作观察区域，且被测物品的至少一个位置移动的部分借助再调节装置再次设置在光学测量系统的聚焦区中。

下面描述了按本发明的设备的构造。

本发明的优选改进规定，再调节装置具有光学测量系统的定位装置，用于使光学测量系统的至少一个可位置移动的部件进行位置移动。借助再调节装置，也可规定对整个光学测量系统进行再调节，即光学系统的空间的位置移动。这例如也可以规定，如果在进行扫描探针显微术检测时，测量探针和被测物品的一个部分也一起相对于观察区域进行位置移动。

本发明的优选改进规定，再调节装置具有扫描探针测量装置的测量探针的定位装置，用于使测量探针进行位置移动。

在本发明的符合目的的构造中可以规定，再调节装置具有用于被测物品的支撑物的定位装置，用于使被测物品进行位置移动。

本发明有利的实施方式规定，再调节装置具有测量装置，用于在对被测物品进行扫描探针显微术检测时，对测量探针的弯曲进行测量。

本发明的优选改进规定，再调节装置具有测量装置，用于在对被测物品进行扫描探针显微术检测时，对用于被测物品的容纳部的位置移动进行测量。

本发明的优选改进规定，再调节装置具有测量装置，用于在对被测物品进行扫描探针显微术检测时，对扫描探针测量装置的测量探针的位置移动进行测量。

在本发明的符合目的的构造中可以规定，再调节装置具有控制装置，用于产生再调节数据信号，该再调节数据信号从数据信号中导出，该数据信号表征被测物品的至少一个部分的从观察区域中移出的位置移动。

本发明有利的实施方式规定，对扫描探针测量装置，实行以下的扫描探针测量装置中的至少一个：扫描力显微镜、扫描隧道显微镜、扫描光子显微镜和扫描近场显微镜。

本发明的优选改进规定，对光学测量系统，实行以下的光学测量系统中的至少一个：光学显微镜、荧光测量装置和吸收测量装置。

下面详细描述本发明的其它构造。

如果被测物品例如通过压电构件来运动，且待观察的被测物品与样品固定相连，则测量物镜例如可以借助压电驱动的调节器，与轴平行在相同的方向和长度上行进。在压电控制的情况下，两个构件优选具有传感器和相应的调控器，因此计划的运动实际也对应于计划的运动，并统一地进行两个运动。在样品的运动在实验前不能明确地限定的情况下，可能变得必要的是，这样来控制光学系统的控制，即样品运动的传感器的输出信号被当成其输入而接通。也可以考虑其它的方法，来替代通过压电的样品运动。这当然也适用于光学系统的调节。在这种情况下，即用可替代的方法执行对输入信号已知的运动，可以省略前面建议的传感器。

对测量物镜的调节可替代或补充的是，也可以通过在测量物镜前的透镜的运动对聚焦面进行调节。这具有特别的优点，即：例如SPhM的方法与其它前置的透镜一起进行工作。

如果测量探针代替样品(被测物品)来运动，如果被测物品与测量探针相连，则例如会出现聚焦问题。在这种情况下，上面做出的建议相应地也适用于再聚焦。

因此出现这样的特殊情况，即在有几个测量探针的情况下，例如在AFM中的悬臂的情况下，测量探针的运动不是统一的。因此通过悬臂的基点来促成此运动。悬臂的自由的、或连接在样品上的端部通过起作用的力而从只通过弹簧预先给定的平衡中偏移。其结果是，根据实际起作用的力，被测物品不位于聚焦点上。因此在这种情况下，聚焦面的运动必须配合测量探针的部分的运动，所述测量探针与被测物品相连。一般，这例如对于悬臂来说，是指在悬臂端部上的区域，必要时也可以被确定。这种修正例如在悬臂上可这样进行，即悬臂的测量的弯曲从基点的运动中抽出或加入。对此前提是，用于弯曲的构造的敏感性的校准，这本身是已知的。悬臂在此被选择作为示例，因为它是扫描探针的突出代表。对于具有类似特性的测量探针，也存在相同的可能性。

在非常多的情况下，被测物品位于基底和测量探针之间，并通过机械过程进行运动。此运动一方面将依赖于基底和测量探针相互的相对运动，或依赖于测量探针的其上束缚样品的部分。另一方面，所述运动也将依赖于整个样品的性状，被测物品，例如荧光体，嵌入所述样品中。随后，聚焦面的运动通过模拟或优选数字地实施的方法来控制。这种方法设想一种用于样品的模型，且于是可以例如从被测物品的初始位置或其它关于样品已知的信息出发，联系上面已提到的控制可能性，确定被测物品在垂直方向上的分布。数字方案比模拟方案更优选，因为可实现更高的灵活性。从而本发明能够对模型进行检验，特别是在实验进程的合适的时刻上在聚焦面内具有被测物品。

本发明优选实施例的描述

下面参照附图借助实施例更详细地描述本发明。其中示出：

图1a  牵引实验(Zugexperiment)的示意图，其中在被测物品上测量探针处于初始状态；

图1b  牵引实验的示意图，其中在图1a的被测物品上测量探针处于牵引状态；

图2a  牵引实验的示意图，其中在被测物品上测量探针处于初始状态；

图2b  牵引实验的示意图，其中在图2a的被测物品上测量探针处于牵引状态；

图3a  牵引实验的示意图，其中在被测物品上测量探针处于初始状态；

图3b  e牵引实验的示意图，其中在图3a的被测物品上测量探针处于牵引状态，其中进行了再调节；

图4a  牵引实验的示意图，其中在被测物品上测量探针处于初始状态；

图4b  牵引实验的示意图，其中在图4a的被测物品上测量探针处于牵引状态，其中进行了再调节；

图5a  牵引实验的示意图，其中在被测物品上测量探针处于初始状态；和

图5b  牵引实验的示意图，其中在图5a的被测物品上测量探针处于牵引状态，其中进行了再调节。

图1a示出牵引实验的示意图，其中在被测物品1上测量探针10处于初始状态。图1b示出图1a的牵引实验的示意图，其中在被测物品1上测量探针10处于牵引状态。

待观察的被测物品1是细胞2的一个部分，所述细胞固定在基底3上，其也可称为支撑物。此基底支架固定地位于示意性地示出的支架20上。被测物品1在其它实施中可位于细胞2和基底3之间，并促成接触。

细胞2现在与另外的细胞12相连，所述另外的细胞12固定在实施成悬臂的测量探针10上。此悬臂10为了操作而固定在构件11上，所述构件11例如是硅材构件，其在它那侧通过压电构件40与支架20相连。在构件11和压电构件40之间通常还有其它的构件，其在此处为了清楚性而一半地省略了。借助固定在其它支架20a上的测量物镜30和此处未详细描述的光学系统，例如商用反向显微镜，实施成聚焦面31的观察区域这样来调整，使得被测物品1可锋锐地成像。测量物镜30是光学测量系统的一个部件，被测物品1借助它可被光学地检测。

现在如果像图1b中所示的一样，压电构件40这样缩短，使得在两个细胞2、12之间还存在接触，则力作用到悬臂10上。此悬臂从原来的、在图1b中用虚线标出的位置上，弯曲到改变的位置14上。因为这两个细胞2、12改变它们的形状，因此产生形状改变的细胞5和另外的形状改变的细胞15。通过压电构件40引起的行程由两条辅助线18、19的距离来表示。它们在悬臂10的基点处成直线取向。

因为在这种情况下，被测物品1耦合到基底3上，因而耦合到另外的支架20b上，因此被测物品1的位置没有改变。因为测量物镜30与其它支架20a相连，因此在利用测量物镜30对被测物品1进行光学检测时，悬臂10的运动不会对成像产生影响。

图2a示出牵引实验的示意图，其中在被测物品1上测量探针10处于初始状态。图2b示出图2a的牵引实验的示意图，其中在被测物品1上测量探针10处于牵引状态。

图2a中的初始位置基本对应于图1a中的状况，不同的是，构件11此时直接固定在支架20上，而基底3通过另外的压电构件40b固定在另外的支架20b上。在此，同样，基底3和该另外的压电构件40b之间的可能的其它构件不限制普遍性地被省略了。

现在如果像图2b中所示的一样，该另外的压电构件40b缩短，悬臂10和细胞2、12再次弯曲。然而现在，被测物品1不再位于聚焦面31内，而是位于平面32内，且相应的，通过测量物镜30光学较差地成像。成像的质量自然很强地依赖行程，此行程在此再次由两条辅助线18、19来表示。

图3a示出牵引实验的示意图，其中在被测物品1上测量探针10处于初始状态。图3b示出图3a的牵引实验的示意图，其中在被测物品1上测量探针10处于牵引状态，其中，进行了再调节。

图3a中的初始位置基本对应于图2a中的状况。唯一的不同是，现在测量物镜30为了进行光学测量而设置在垂直的调节装置50上，其可以通过控制器51来运动。此外还设置有传感器52，借助此传感器可以测量所述另外的压电构件40b或优选甚至细胞2的偏移。

现在在图3b中示出一种状况，其中所述另外的压电构件40b再次缩短。借助传感器52测量偏移，并把相应的数据信号传递给控制器51。控制器51于是促使通过调节装置50的测量物镜30的运动，从而产生一个改变的聚焦面33，因此被测物品1再次位于测量物镜30的观察区域中。为此确保，被测物品1总是位于测量物镜30的聚焦点上。

图4a示出牵引实验的示意图，其中在被测物品1上测量探针10处于初始状态。图4b示出图4a的牵引实验的示意图，其中在被测物品1上测量探针10处于牵引状态，其中，进行了再调节。

在此实施方式中，除了悬臂10的运动外，还注意到通过扫描探针显微术检测而触发的悬臂弯曲。

图4a中示出初始状况，其与图1a中的状况非常相似。不同之处在于被测物品1和聚焦面31的位置，以及在于带有调节装置50、控制器51和传感器单元152、以及激光器60和其它的传感器61(其例如是二段式光电二极管(2-Segment-Photodiode)的再调节装置。

现在在图4b中，将压电构件40缩短，从而给被测物品1产生一个新的位置，其使改变的聚焦面33(观察区域)成为必要。但通过悬臂10的弯曲，聚焦面31和改变的聚焦面33之间的距离没有通过压电构件40促成的行程(亦即，在两条辅助线18、19之间的距离)大。这种情况被考虑，通过：除了传感器单元152的数据信号外，还提供其它的传感器61的数据信号，以及因此提供悬臂10弯曲的尺寸。在这个实施例中，此弯曲通过通过光指针来测量，其中借助激光器60可把激光测量束65聚焦到悬臂10上，并利用另外的传感器61接收和分析反射束66。这种测量悬臂10弯曲的方法对专业人员来说也是已知的，因此在这不做进一步详细的描述。除了光指针原理外，还已知其它测量弯曲的方法，也同样可以使用，例如用干涉仪来测量偏移。

图5a示出牵引实验的示意图，其中在被测物品1上测量探针10处于初始状态。图5b示出图5a的牵引实验的示意图，其中在被测物品1上测量探针10处于牵引状态，其中，进行了再调节。

被测物品1这样与细胞2相连，使其通过起作用的力或膨胀在细胞2内部运动，或至少相对于悬臂10和/或基底3运动。

图5a中再次示出初始状况，其与图4a中相比只有一些特征不同。一方面，被测物品1现在设置在细胞2的中间。此外，控制器51还与模型构件70，例如电子存储器，相连，所述模型构件70包含有电子可分析的信息，用于依赖于在扫描探针显微术检测中的起作用的力和整体偏移的被测物品1的垂直分布的模型。从这些信息中可以确定被测物品1的位置作为扫描探针显微术测量的结果，因此于是可以对聚焦点进行再调节。模型构件70和优选控制器51也优选用计算器来实行。其它参数，例如细胞2的温度和pH值同样也被包括；但它们在这里为表达清楚没有示出。通过对利用光学测量系统测量的光学信号进行分析，也可以提供一种支持。

图5b示出工作方式。被测物品1朝上运动，而改变的聚焦面33可以被成功地调整，尽管在实验开始时，聚焦面31到聚焦面33新位置的距离可能大大地偏离行程运动，所述行程运动借助两条辅助线18、19来示出。现在这也还可以达到，而没有显微镜的分析单元参与。

本发明的优点在于，光学测量可以在完全确定的时间点上，例如在扫描探针显微术检测中断开接触时，进行，而在其余的时间内遮光器避免例如荧光分子褪色。

如果在此配置中，基底3代替悬臂10运动，或被测物品1束缚在上面的细胞12上，或甚至位于两个细胞2、12之间，则状况是相似的，也说是说，必须要建立一种模型，能够在偏移和悬臂弯曲以及可能的其它参数的帮助下，以适当的精确度来预先计算被测物品1的分布，也就是它的地点位置。

在两侧上的两个细胞2、12的描述只是示例性的配置。也可以提供其它可能的布置，例如在悬臂10上的细胞和均匀覆层的样品作为基体。

由于扫描探针显微术检测而产生的被测物品1的位置移动也可以通过压缩来触发。

本发明在前面所述的描述、权利要求和附图中公开的特征即可单个地，也能够以任意的组合起重要作用，用来在本发明的不同的实施方式中实现本发明。

Claims (26)

1.用于检测被测物品(2、12)的方法，其中借助扫描探针测量装置的测量探针(10)，利用扫描探针显微术来检测所述被测物品(2、12)，以及其中在配属于光学测量系统的观察区域内，利用光学测量系统光学地检测所述被测物品(2、12)的至少一个部分(1)，其中，由于扫描探针显微术检测而引起的所述被测物品(2、12)的所述至少一个部分(1)的从所述观察区域中移出的位置移动，可这样进行修正，使得所述被测物品(2、12)的所述至少一个位置移动的部分(1)借助再调节装置再次设置在所述观察区域中，所述再调节装置对表征所述位置移动的数据信号进行处理。

2.按权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述光学系统的所述观察区域中对所述被测物品(2、12)的所述至少一个部分(1)进行重置时，对所述观察区域进行改变地调整。

3.按权利要求2所述的方法，其特征在于，在对所述观察区域进行改变的调整时，对所述光学测量系统进行位置移动。

4.按上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在所述光学系统的所述观察区域中对所述被测物品(2、12)的至少一个位置移动的部分(1)进行重置时，对所述被测物品(2、12)的定位进行改变地调整。

5.按上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在所述由于所述扫描探针显微术检测而引起的从所述观察区域中移出的位置移动下，所述被测物品(2、12)的所述至少一个部分(1)以以下方式中的至少一个来进行位置移动：空间的位置移动和在二维平面内的位置移动。

6.按上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述表征所述位置移动的数据信号通过扫描探针显微术检测的数据信号的使用来导出。

7.按权利要求6所述的方法，其特征在于，构成所述扫描探针显微术检测的所述数据信号，使其包括用于在所述扫描探针显微术检测中的所述测量探针(10)的弯曲的数据信号。

8.按权利要求6或7所述的方法，其特征在于，构成所述扫描探针显微术检测的所述数据信号，使其包括用于在所述扫描探针显微术检测中的测量探针容纳部(11)的位置移动的数据信号。

9.按权利要求6至8之一所述的方法，其特征在于，构成所述扫描探针显微术检测的所述数据信号，使其包括用于在所述扫描探针显微术检测中的所述被测物品(2、12)的支撑物(3)的位置移动的数据信号。

10.按权利要求6至9之一所述的方法，其特征在于，构成所述扫描探针显微术检测的所述数据信号，使其包括用于在所述扫描探针显微术检测中的所述被测物品(2、12)的模型化行为的数据信号。

11.按权利要求6至10之一所述的方法，其特征在于，构成所述扫描探针显微术检测的所述数据信号，使其包括用于在所述扫描探针显微术检测中的所述被测物品(2、12)的外部形状改变的数据信号。

12.按权利要求6至11之一所述的方法，其特征在于，构成所述扫描探针显微术检测的所述数据信号，使其包括扫描力数据信号。

13.按权利要求12所述的方法，其特征在于，构成所述扫描探针显微术检测的所述数据信号，使其包括距离谱术数据信号。

14.按上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在利用所述扫描探针测量装置进行扫描探针显微术检测时，实施以下方法中的至少一个：扫描力显微术、扫描隧道显微术、扫描光子显微术和扫描近场显微术。

15.按上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在利用所述光学测量系统进行光学检测时，实施以下方法中的至少一个：光学显微术检测、荧光测量法和吸收测量法。

16.按上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在对所述被测物品(2、12)的所述至少一个部分进行光学检测时，所述光学系统的聚焦区(31)被用作观察区域，且所述被测物品(2、12)的至少一个位置移动的部分(1)借助所述再调节装置再次设置在所述光学测量系统的所述聚焦区(31)中。

17.用于检测被测物品(2、12)的设备，其具有：扫描探针测量装置，用于对所述被测物品进行扫描探针显微术检测；以及光学测量系统，用于对被所述测物品(2、12)进行光学检测；其中，设置有再调节装置，其构成，以便如果所述被测物品(2、12)的至少一个部分(1)由于由所述扫描探针显微术检测所引起的位置移动而从观察区域中移出，则将所述被测物品(2、12)的所述至少一个部分(1)再次设置在所述观察区域中，所述至少一个部分(1)利用所述光学测量系统在配属于所述光学测量系统的观察区域内被光学地检测。

18.按权利要求17所述的设备，其特征在于，所述再调节装置具有所述光学测量系统的定位装置(50)，用于使所述光学测量系统的至少一个可位置移动的部件(30)进行位置移动。

19.按权利要求17或18所述的设备，其特征在于，所述再调节装置具有所述扫描探针测量装置的所述测量探针的定位装置(40)，用于使所述测量探针进行位置移动。

20.按权利要求16至19之一所述的设备，其特征在于，所述再调节装置具有用于所述被测物品(2、12)的支撑物(3)的定位装置(40b)，用于使所述被测物品进行位置移动。

21.按权利要求16至20之一所述的设备，其特征在于，给所述再调节装置分配测量装置(60、61)，用于在对所述被测物品进行扫描探针显微术检测时，对所述测量探针(10)的弯曲进行测量。

22.按权利要求16至21之一所述的设备，其特征在于，给所述再调节装置分配测量装置(52)，用于在对所述被测物品进行扫描探针显微术检测时，对用于所述被测物品的容纳部的位置移动进行测量。

23.按权利要求16至22之一所述的设备，其特征在于，给所述再调节装置分配测量装置(52)，用于在对所述被测物品进行扫描探针显微术检测时，对所述扫描探针测量装置的所述测量探针(10)的位置移动进行测量。

24.按权利要求16至23之一所述的设备，其特征在于，所述再调节装置具有控制装置(51)，用于产生再调节数据信号，所述再调节数据信号从数据信号中导出，所述数据信号表征所述被测物品(2、12)的所述至少一个部分(1)的从所述观察区域中移出的所述位置移动。

25.按权利要求16至24之一所述的设备，其特征在于，对所述扫描探针测量装置，实行以下的扫描探针测量装置中的至少一个：扫描力显微镜、扫描隧道显微镜、扫描光子显微镜和扫描近场显微镜。

26.按权利要求16至25之一所述的设备，其特征在于，对所述光学测量系统，实行以下的光学测量系统中的至少一个：光学显微镜、荧光测量装置和吸收测量装置。

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