CN101294292A - 一种电镀铝液 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种电镀金属液，特别涉及一种电镀铝液。本发明的电镀铝液组成如下：有机溶液、三乙基铝、氟化钠、0.01％－8％的添加剂组成。添加剂采用0.01％－8％的无机添加剂，0.01％－8％的有机添加剂。本发明代替了以往三乙基铝电镀铝液，解决了以往三乙基铝电镀铝液效率极低、能耗高的缺点，本发明有溶液稳定、镀膜速度快，膜层好、成本低等优点。
Description
本发明涉及一种电镀金属液，特别涉及一种电镀铝液。
在现有技术中，作为镀层在工业上应用的金属有几十种，从防腐角度来看，铝容易钝化，较其他金属效果好，真空镀铝因工艺复杂，成本高，未能广泛应用，熔融盐和高沸点醚由于要消耗溶液中的铝，溶液消耗大，成本也很高，《电镀工艺手册》一书提供了一种由甲苯、三乙基铝、氟化钠组成的电镀铝液，温度为80-95摄氏度。由于用氟化钠作为络合剂，解决了三乙基铝易燃易爆的问题，但因其效率极低、能耗高，导致成本高，一直未能工业化应用。
本发明的目的就是要克服上述三乙基铝作为电镀铝液的缺陷，提供一种新的三乙基铝的电镀铝液。
本发明的技术方案是：本发明的电镀铝液由有机溶液、三乙基铝、氟化钠、0.01％-8％的添加剂组成。添加剂采用0.01％-8％的无机添加剂，0.01％-8％的有机添加剂。电镀温度为0-100摄氏度，其中以5-35摄氏度的常温下电镀节省能量，且膜层无明显变化。
本发明的优点和效果在于代替了以往的三乙基铝电镀铝液，解决了以往三乙基铝电镀铝液效率极低、能耗高的缺点，本发明操作简单，成本低。
实施例：
电镀铝液的配制方法：用有机溶液30％-80％，氟化钠1％-10％，放入封闭的容器内，用高纯氮气或惰性气体保护，缓慢注入三乙基铝10％-50％，并搅拌，待三乙基铝和氟化钠形成络合物后，加入0.01％-8％的添加剂，添加剂采用0.01％-8％的无机添加剂或0.01％-8％的有机添加剂。配制成电镀铝液，以被镀金属工件为阴极，以90％以上的铝板为阳极，在阴极电流密度为0.1-5A/dm2、5-40摄氏度的常温条件下进行电镀，由于阳极铝板溶解补充阴极消耗的铝，保证了溶液的稳定性，使其可以长期使用，本电镀铝液具有镀膜速度快，膜层好、成本低等优点。
Claims (4)
1、一种电镀铝液，由有机溶液、三乙基铝、氟化钠组成，其特征在于电镀铝液组成中含有0.01％-8％的添加剂。
2、根据权利要求1所述的添加剂，其特征在于添加剂含有0.01％-8％的无机添加剂。
3、根据权利要求2所述的添加剂，其特征在于添加剂含有0.01％-8％的有机添加剂。
4、根据权利要求1所述的添加剂，其特征在于添加剂含有0.01％-8％的有机添加剂。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104894610A (zh) * | 2015-06-10 | 2015-09-09 | 陈新棠 | 一种电镀液 |
| CN104934363A (zh) * | 2014-03-17 | 2015-09-23 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 在半导体器件中形成金属结构的方法及互连层的制作方法 |
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2007
- 2007-04-25 CN CNA2007100216839A patent/CN101294292A/zh active Pending
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| CN104934363B (zh) * | 2014-03-17 | 2018-09-18 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 在半导体器件中形成金属结构的方法及互连层的制作方法 |
| CN104894610A (zh) * | 2015-06-10 | 2015-09-09 | 陈新棠 | 一种电镀液 |
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