CN101249749B - 液体喷射头 - Google Patents

Abstract

根据本发明一方面的液体喷射头包括：通道单元，该通道单元包括：多个单独液体通道，每个单独液体通道包括压力室；和第一表面，该第一表面具有与多个压力室对应的多个开口；以及具有第二表面的压电促动器单元，该第二表面经由粘合剂粘结到所述通道单元的第一表面，以覆盖所述多个压力室。在所述通道单元的第一表面中形成一个或多个槽，以围绕所述多个压力室。所述压电促动器单元的第二表面的外边缘部分面对所述槽。在所述槽中设置支撑部分，该支撑部分面对所述压电促动器单元的第二表面的外边缘部分，以支撑所述压电促动器单元。

Description

液体喷射头

相关申请的交叉引用

本申请基于2007年2月23日提交的日本专利申请No.2007-043919并要求其优先权，在此将该日本专利申请的全部内容引入作为参考。

技术领域

本发明涉及一种液体喷射头，更具体地说，涉及经由粘合剂粘结通道单元和促动器单元的液体喷射头。

背景技术

JP-B-3692895(例如图4)公开了一种喷墨头，其包括堆放在空腔板的一个平表面上的压电促动器(压电促动器单元)，上述空腔板用作通道单元，压力室在该通道单元中打开。在压电促动器的侧表面上，形成有侧电极，该侧电极用于将在促动器的顶表面上形成的驱动电极电连接到外部配线。根据该构造，侧电极会由于金属空腔板而短路的可能性变高。因此，在JP-B-3692895的喷墨头中，通过在空腔板的顶表面中形成凹部，并通过利用侧电极和空腔板之间的凹部而将侧电极和空腔板彼此分开，防止在侧电极和空腔板之间的电短路。

当制造JP-B-3692895所描述的喷墨头时，通常，在粘合剂涂敷到空腔板的顶表面之后，将压电促动器压靠在空腔板的顶表面上。在该情况下，在空腔板的顶表面中形成的凹部也用作粘合剂的释放槽。即，从空腔板和压电促动器之间溢流出的粘合剂被容纳在该凹部中。因此，能够防止当粘合剂爬上压电促动器的侧表面并粘附到压电促动器的顶表面上时引起的较差喷射。

然而，当在制造JP-B-3692895的喷墨头中将压电促动器压靠在空腔板的顶表面上时，在压电促动器的外边缘附近的区域中可能产生裂纹。这是因为面对所述凹部的压电促动器的外边缘附近的区域不被空腔板支撑，因此，施加到外边缘附近的区域的按压力作为剪切力作用在压电促动器上。当压电促动器中产生裂纹时，墨会较差地喷射或者不能喷射。

发明内容

本发明的一方面提供一种喷墨喷射头，当压电促动器单元经由粘合剂粘结到通道单元时，该喷墨喷射头使得在压电促动器单元中几乎不产生裂纹。

根据本发明的方面，提供一种液体喷射头，该液体喷射头包括：通道单元，该通道单元包括：多个单独液体通道，每个单独液体通道包括压力室；和第一表面，该第一表面具有与多个压力室对应的多个开口；以及具有第二表面的压电促动器单元，该第二表面经由粘合剂粘结到所述通道单元的第一表面，以覆盖所述多个压力室，其中在所述通道单元的第一表面中形成一个或多个槽，以围绕所述多个压力室，其中所述压电促动器单元的第二表面的外边缘部分面对所述槽，并且其中在所述槽中设置支撑部分，该支撑部分面对所述压电促动器单元的第二表面的外边缘部分，以支撑所述压电促动器单元。

附图说明

图1是根据本发明第一实施例的喷墨头的外观侧视图；

图2是图1所示的喷墨头沿着其宽度方向的剖视图；

图3是图2所示的头单元的平面图；

图4是由图3所示的单点划线所围绕的区域的放大视图；

图5是沿着图4的线V-V的剖视图；

图6A和6B是用于解释图4所示的促动器单元的视图；

图7是图2所示的COF的平面图；

图8是图7所示的区域A的放大平面图；

图9是图7所示的区域B的放大平面图；

图10是沿着图7的线X-X的剖视图；

图11是根据本发明第二实施例的喷墨头的与图8对应的平面图；

图12是沿着图11中的线XII-XII的剖视图；以及

图13是根据本发明第三实施例的喷墨头的与图8对应的平面图。

具体实施方式

下面参照附图描述本发明的示例性非限制实施例。

(第一实施例)

图1是示出根据本发明第一实施例的喷墨打印机的整体构造的示意性侧视图。如图1所示，喷墨打印机101是具有四个喷墨头1的彩色喷墨打印机。在该喷墨打印机101中，在图中的左边设有片材馈送单元11，并且在图中的右边设有片材排出单元12。

在喷墨打印机101内部形成片材输送路径，片材(记录介质)P沿着该片材输送路径从片材馈送单元11朝向片材排出单元12被输送。夹住并输送片材的一对馈送辊5a和5b设置在片材馈送单元11的直接下游。提供这对馈送辊5a和5b来将片材P从片材馈送单元11输送到图中的右边。片材输送路径的中间部分设有皮带输送机构13、无端输送皮带8、以及压板15，皮带输送机构13包括两个皮带辊6和7，无端输送皮带8被缠绕成放置在辊6和7之间，并且压板15在输送皮带8包围的区域中设置在面对喷墨头1的位置中。压板15支撑输送皮带8，使得输送皮带8在面对喷墨头1的区域中可以不向下挠曲。夹压辊4设置在面对皮带辊7的位置中。该夹压辊4将馈送辊5a和5b从片材馈送单元11输送的片材P压靠在输送皮带8的外周表面8a上。

随着未示出的输送马达使皮带辊6旋转，输送皮带8被驱动。由此，输送皮带8在粘性地保持被夹压辊4压靠在外周表面8a上的片材P的同时，朝片材排出单元12输送该片材P。

分离机构14沿着片材输送路径设置在输送皮带8的直接下游。该分离机构14构造成将附着于输送皮带8的外周表面8a的片材P从外周表面8a分离，从而朝向位于图中右边的片材排出单元12馈送片材。

沿着输送方向布置与四种颜色的墨(品红色、黄色、青色和黑色)对应的四个喷墨头1。即，该喷墨打印机101是行式打印机。四个喷墨头1中的每一个均在其下端具有头单元2。该头单元2形成为在与输送方向垂直的方向上相对较长的细长长方体形状。而且，头单元2的底表面是面对外周表面8a的喷墨表面2a。当由输送皮带8输送的片材P依次通过四个头单元2正下方的部分时，从喷墨表面2a朝向片材P的顶表面(即打印表面)喷射每种颜色的墨，使得能够在片材P的打印表面上形成所期望的彩色图像。

下面，将参照图2详细描述喷墨头1。图2是喷墨头1沿着其宽度方向的剖视图。如图2所示，喷墨头1具有头单元2，在该头单元2中，通道单元9和四个促动器单元21经由粘合剂粘结在喷墨头1的下部处。将墨供应到头单元2的储存器单元71固定到头单元2的顶表面。COF(膜上芯片)的一端附近固定到促动器单元21的顶表面。COF50是上面安装有驱动器IC52的平的挠性基片。COF50的另一端电连接到控制板54。该控制板54通过驱动器IC52控制促动器单元21的驱动。驱动器IC52产生驱动促动器单元21的驱动信号。

四个促动器单元21、储存器单元71、COF50和控制板54覆盖有侧盖53和头盖55。侧盖53(为金属板)固定到通道单元9的顶表面的宽度方向上的两端附近，并沿着通道单元9的纵向方向延伸。头盖55固定到两个侧盖53的上端，以便放置在它们之间。

通过此叠放四个板91到94形成储存器单元71，并且在该储存器单元内形成未示出的墨流入通道、墨储存器61和十个墨流出通道62，以便彼此连通。另外，在图2中仅仅示出一个墨流出通道62。来自未示出的墨容器的墨流进墨流入通道内。墨储存器61与墨流入通道和墨流出通道62连通，并且暂时储存墨。墨流出通道62经由供墨口105b(参见图3)与通道单元9连通，供墨口105b形成在通道单元9的顶表面中。来自墨容器的墨通过墨流入通道、墨储存器61和墨流出通道62，并且经由供墨口105b供应到通道单元9。板94的底表面形成为凹凸表面，使得在板94和COF50之间可以形成间隙。

COF50在夹在一个侧盖53和储存器单元71之间的同时进行延伸。COF50的另一端电连接到安装在控制板54上的连接器54a。驱动器IC52被海绵82偏压抵靠在侧盖53上，海绵82粘在储存器单元71的侧表面上。

下面，将参照图3到图6描述头单元2。图3是头单元2的平面图。图4是由图3的单点划线围绕的区域的放大视图。另外，在图4中，将由实线画出的促动器单元21由虚线画出，并且存在于促动器单元21下方并且应当由虚线画出的压力室110、孔隙112和喷墨口108由实线画出。图5是沿着图4的线V-V的剖视图。图6A是促动器单元21的放大剖视图，并且图6B是示出设置在图6A中促动器单元21的表面上的单独电极的平面图。另外，尽管在促动器单元21和空腔板122之间存在薄的粘合剂层146(参见图10)以便粘结它们，但在图6A中将其省略。

如图3所示，头单元2包括通道单元9以及固定到通道单元9的顶表面9a的四个促动器单元21。如图4所示，在通道单元9内形成包括压力室110的墨通道。促动器单元21包括分别与压力室110对应的多个促动器，并且具有选择性地将喷射能量给予压力室110中的墨的功能。

通道单元9形成为在平面图中与储存器单元71的板94几乎相同形状的长方体形状。在通道单元9的顶表面9a中，与储存器单元71的墨流出通道62(参见图2)相对应地形成有总共十个供墨口105b。在通道单元9内形成与供墨口105b相连通的集管通道105和从集管通道105分支的副集管通道105a。如图4和图5所示，通道单元9的底表面是喷墨表面2a，在该喷墨表面2a中以矩阵形式设置多个喷墨口108。在通道单元9的顶表面中，与喷墨口108类似地以矩阵形式布置多个压力室110。

在本实施例中，16排压力室110布置在一个促动器单元21内。每排均包括以等间隔布置的多个压力室110，并在通道单元9的纵向方向上延伸。包括在每个压力室排中的压力室110的数量在更靠近促动器单元21的长边(下底)处较大，在更靠近其短边(上底)处较小。这也同样适用于喷墨口108。

如图5所示，通道单元9包括九个不锈钢金属板等，从上开始依次包括空腔板122、基板123、孔隙板12、供应板125、三个集管板126、127和128、以及盖板129和喷嘴板130。这些板122到130具有在主扫描方向上长的矩形平面形状。通过彼此对准和叠放这些板122到130，在通道单元9中形成通过集管通道105、副集管通道105a、来自副集管通道105a的出口的用作隔膜的孔隙112和压力室110通到喷墨口108的多个单独墨通道132。

下面，将要描述促动器单元21。如图3所示，每个促动器单元21均具有梯形平面形状。四个促动器单元21在主扫描方向上交替地设置，以避开供墨口105b。每个促动器单元21的平行对边沿着通道单元9的纵向方向延伸。相邻的促动器单元21的斜边在主扫描方向上彼此重叠。

如图6A所示，每个促动器单元21均包括压电构件，在该压电构件中层压由具有铁电性的锆钛酸铅基(PZT)陶瓷材料制成的三个压电层141到143。在作为最上层的压电层141的顶表面的面对压力室110区域中形成单独电极135。在作为最上层的压电层141和下面的压电层142之间布置形成在整个片表面上的公共电极134。如图6B所示，单独电极135在平面图中具有与压力室110类似的大致菱形的形状。在平面图中，单独电极135的大部分处在压力室110的区域内。大致菱形的单独电极135的锐角部分中的一个锐角部分朝向压力室110外延伸，并且在该锐角部分末端处设置电连接到单独电极135的圆形单独焊盘136。单独焊盘136比单独电极135厚。而且，在压电层141的表面上形成电连接到公共电极134的COM焊盘138和139(参见图8和图9)。

公共电极134和单独电极135经由设置在COF50中的配线连接到驱动器IC52。从驱动器IC52将保持在地电位的信号供应到公共电极134。从驱动器IC52将根据要打印的图像图案而交替地采取地电位和正电位的驱动信号供应到单独电极135。

压电层141在其厚度方向上进行极化。如果在极化方向上将电场施加到压电层141的夹在单独电极135和公共电极134之间的部分(活性部分)，使得单独电极135可以具有与公共电极134不同的电位，则该活性部分将会在压电效应下扭曲。例如，如果极化方向和电场的施加方向相同，则活性部分将在与极化方向垂直的方向上(在平面方向上)收缩。另一方面，压电层142和143是不自发扭曲的非活性层。此时，由于压电层141到143固定到限定压力室110的空腔板122的顶表面上，因此产生单压电晶片效应。因此，压电层141到143的与所述活性部分对应的的区域变形成朝向压力室110凸起。由于产生这种单压电晶片变形，因此压力(即喷射能量)施加到压力室110中的墨，由此从喷墨口108喷射墨滴。这样，由于促动器单元21的夹在单独电极135和压力室110之间的部分用作单独促动器，所以在促动器单元21中形成与压力室110的数量相同的促动器。

下面，将参考图7到图10描述空腔板122的细节。图7是空腔板122的局部平面图。在空腔板122中，压力室110形成为通孔。形成在空腔板122中的多个压力室110形成具有彼此相同梯形形状的四个压力室组151(它们中仅仅两个出现在图7所示的区域中)。每个压力室组151均具有与促动器单元21几乎相同的尺寸。

在空腔板122中形成具有梯形框架形状并且分别围绕四个压力室组151的四个环形槽153。每个环形槽153均形成为不通过空腔板122的凹部。多个矩形槽155(每个均用作第二槽的示例)从环形槽153的两个斜边延伸。矩形槽155具有与环形槽153的梯形形状的短边及长边平行的侧壁表面，并且矩形槽具有相对短的长度。所有矩形槽155都与环形槽153相连。以等间隔形成多个矩形槽155。从与两个相邻的环形槽相关的两个相对的斜边延伸的多个矩形槽155在它们的末端处彼此连接。通过对除了空腔板122上的环形槽和矩形槽之外的掩模部分进行半蚀刻而形成环形槽153和矩形槽155。

图8和图9分别是促动器单元21设置在空腔板122上的状态下时图7所示的区域A和区域B的放大平面图。图10是沿着图8中的线X-X的剖视图。在图10中，省略了对促动器单元21的层压结构的说明。如图8到图10所示，促动器单元21的底表面的外边缘在促动器单元的整个周边范围内面对环形槽153。另外，在图7到图9中，在促动器单元21的最外周处画出的压力室和单独电极形成为不执行喷墨的虚设物。

多个支撑柱157(每个均用作支撑部分的示例)从环形槽153的底表面突出。支撑柱157是空腔板122的一部分。支撑柱157包括沿着环形槽153的长边形成的支撑柱157a、沿着环形槽153的短边形成的支撑柱157b、沿着环形槽153的斜边形成的支撑柱157c、以及在环形槽153的四个角部处形成的支撑柱157d。所有支撑柱157在面对促动器单元157的底表面的外边缘的同时沿着环形槽153的延伸方向布置。而且，所有支撑柱157设置成与环形槽153的内壁表面及外壁表面分隔开的岛的形状。由于支撑柱157的高度与环形槽153的深度相等，如图10所示，支撑柱157经由粘结促动器单元21和空腔板122的粘合剂层146牢固地粘结到促动器单元21。由此，支撑柱157从下方支撑促动器单元21。当在空腔板122中形成环形槽153和矩形槽155时，在蚀刻过程中通过与支撑柱157对应的掩模部分与环形槽153和矩形槽155同时地形成支撑柱157。

以等间隔设置在环形槽153的长边处提供的多个支撑柱157a。而且，以与支撑柱157a相同的等间隔设置在环形槽153的短边处提供的多个支撑柱157b。以与支撑柱157a不同的等间隔设置在环形槽153的斜边处提供的多个支撑柱157c。

支撑柱157a具有在平面图中在副扫描方向上长的矩形形状。因此，即使促动器单元21由于制造误差而在副扫描方向上位置偏离，促动器单元21的底表面的外边缘部分面对支撑柱157a的可能性也高。也就是说，促动器单元21在副扫描方向上相对于通道单元9的位置偏离的可允许误差大。

通过分别使环形槽的外壁表面和内壁表面向内和向外凹进，环形槽153在其长边处的宽度在支撑柱157a周围比在其它地方大。这防止由于制造误差而使支撑柱157a与环形槽153的内壁表面或外壁表面相连，并由此防止支撑柱157a不再成为岛。

在具有以上结构的喷墨头的制造过程中，当粘结空腔板122和促动器单元21时，从空腔板和促动器单元两者之间溢流出的粘合剂流入环形槽153内。此时，促动器单元21的大部分侧表面与空腔板和促动器单元的边界分离。因此，爬上促动器单元21的侧表面并且粘附到促动器单元21的顶表面的粘合剂的量减少。因此，抑制了由于粘合剂粘附到促动器单元21的顶表面而产生的差的喷射。粘合剂也流入与环形槽153相连的矩形槽155内。因此，爬上促动器单元21的侧表面的粘合剂的量显著减少。另外，由于矩形槽155在主扫描方向上形成为细长形状，所以当粘合剂沿着空腔板122的纵向方向相继转移到空腔板122的顶表面上时，矩形槽155容纳该粘合剂。从而，环形槽153的每个斜边的大部分均嵌入有粘合剂。因此，由于当粘结空腔板122和促动器单元21时大量粘合剂流入环形槽153内，所以爬上促动器单元21的侧表面的粘合剂的量进一步减少。

另外，在本实施例中，面对促动器单元21底表面的外边缘部分的支撑柱157支撑促动器单元21。从而，当促动器单元21经由粘合剂粘结到通道单元9时，施加到促动器单元21的挤压力将经由促动器单元21施加到支撑柱157。因此，作用在促动器单元21上的剪切力变得相当小，并且在促动器单元21中几乎不产生裂纹。而且，由于促动器单元21底表面的外边缘部分面对环形槽153，因此粘合剂在促动器单元21的整个周边范围内几乎不粘附到促动器单元21的顶表面。

而且，以与环形槽153的内壁表面和外壁表面分离的岛的形状设置支撑柱157。从而，在粘结通道单元9和促动器单元21时，施加到除了空腔板122顶表面的支撑柱157之外的部分的粘合剂不粘附到由环形槽153与这些部分分开的支撑柱157。从而，粘合剂更加几乎不粘附到促动器单元21的顶表面。

在根据本实施例的喷墨头中，在粘结通道单元9和促动器单元21时，支撑柱157将经由粘合剂紧密粘附到促动器单元21的底表面。从而，在促动器单元21紧密粘附到支撑柱157的范围内，粘合剂能够爬上促动器单元21的侧表面并到达其顶表面。如同本实施例，通过在环形槽153内沿着环形槽153的延伸方向布置多个支撑柱157，能够使每个支撑柱157的尺寸变小。从而，粘合剂几乎不粘附到促动器单元21的顶表面。而且，在设置多个支撑柱157的地方，在促动器单元21的更宽范围内能够几乎不产生裂纹。

同时，由于多个支撑柱157以等间隔设置在环形槽的长边、短边、斜边处，所以支撑柱157的数目能够是接近促动器单元21中不产生裂纹时的最小数目的显著小的数目。因此，粘合剂更加几乎不粘附到促动器单元21的顶表面。

另外，在本实施例的喷墨头中，促动器单元21具有梯形形状并且支撑柱157d面对促动器单元21的角部。这防止在易于产生裂纹的角部处产生裂纹。

(第二实施例)

下面，将参照图11和图12描述本发明的第二实施例。图11是根据本发明第二实施例的喷墨头的与图8对应的平面图。图12是沿着图11中的线XII-XII的剖视图。本实施例与第一实施例不同之处仅在于支撑部分与环形槽的内壁表面相连，并且不设置为岛的形状。因此，省略了与第一实施例重复部分的描述。

如图11所示，即使在本实施例中，在空腔板122中也形成具有梯形框架形状并且分别围绕四个压力室组151的四个环形槽163(这些环形槽中的一个环形槽163的一部分在图11中画出)。与短边和长边平行并相对较短的多个矩形槽165从所述一个环形槽163的两个斜边延伸。所有矩形槽165都与环形槽163相连。

促动器单元21的底表面的外边缘部分在促动器单元的整个周边范围内面对环形槽163。多个支撑突起167(其中每一个均用作支撑部分的示例)从环形槽163的内壁表面朝环形槽163外突出。支撑突起167与环形槽163的底表面相连接。支撑突起167是空腔板122的一部分。支撑突起167不到达环形槽163的外壁表面，并且不封闭环形槽163。

支撑突起167包括沿着环形槽163的长边形成的支撑突起167a、沿着环形槽163的短边形成的支撑突起(未示出)、沿着环形槽163的斜边形成的支撑突起167c、以及沿着环形槽163的四个角部形成的支撑突起167d。所有支撑突起167都在面对促动器单元的底表面的外边缘部分的同时沿着环形槽163的延伸方向布置。由于支撑突起167的高度与环形槽163的深度相同，如图12所示，支撑突起167经由粘合剂层146紧密粘附到促动器单元21。由此，支撑突起167从下方支撑促动器单元21。

以等间隔设置在环形槽163的长边处提供的多个支撑突起167a。进一步，以与支撑突起167a相同的相等间隔设置在环形槽163的短边处提供的多个支撑突起。以与支撑突起167a不同的相等间隔设置在环形槽163的斜边处提供的支撑突起167c。

支撑突起167a具有在平面图中在副扫描方向上长的矩形形状。因此，即使促动器单元21由于制造误差而在副扫描方向上位置偏离，促动器单元21的底表面的外边缘部分面对支撑突起167a的可能性也高。也就是说，促动器单元21在副扫描方向上相对于通道单元9的位置偏离的可允许误差大。

通过使环形槽的外壁表面向外凹进，环形槽163在其长边处的宽度在支撑突起167a周围比在其它地方大。这防止由于制造误差而使支撑突起167a与环形槽163的外壁表面相连。

即使根据本实施例，通过在环形槽163中设置支撑突起167a，在粘结通道单元9和促动器单元21时在促动器单元21中也几乎不产生裂纹。另外，能够获得与第一实施例相同的效果，除了支撑突起167不设置为岛的形状这一事实之外。

(第三实施例)

下面将参照图13描述本发明的第三实施例。图13是根据本发明第三实施例的喷墨头的与图8对应的平面图。本实施例与第一实施例的不同之处仅在于围绕压力室组的槽不是环形槽。因此，省略了与第一实施例重复部分的描述。

如图13所示，即使在本实施例中，也分别由多个周槽173围绕形成在空腔板122中的四个压力室组151(压力室组中的一组的一些周槽在图13中画出)。周槽173包括沿着促动器单元21的长边形成的周槽173a、沿着促动器单元21的短边形成的周槽(未示出)、沿着促动器单元21的斜边形成的周槽173c。与促动器单元21的短边及长边平行并相对短的多个矩形槽175从每个周槽173c延伸。所有矩形槽175都与周槽173c相连。

促动器单元21底表面的外边缘部分在促动器单元的除了相邻的周槽173之间外的整个周边范围内都面对周槽173。一个或多个支撑柱177(每个均用作支撑部分的示例)从每个周槽173的底表面突出。支撑柱177是空腔板122的一部分。支撑柱177分别包括形成在周槽173a内的支撑柱177a、形成在沿着促动器单元21的短边形成的周槽内的支撑柱(未示出)、形成在周槽173c内形成的支撑柱177c(除去落在支撑柱177d下方的支撑柱)、以及形成在促动器单元21的四个角部处的支撑柱177d。在每个周槽173a中仅仅形成一个支撑柱177a。另外，在本实施例中，一个支撑柱177d位于周槽173c内。然而，支撑柱177d可以形成在周槽173a内，或者形成在沿着促动器单元21的短边的周槽内。

所有支撑柱177都面对促动器单元21底表面的外边缘部分。同时，所有支撑柱177设置为与周槽173的内壁表面及外壁表面隔开的岛的形状。由于支撑柱177的高度等于环形槽173的深度，因此支撑柱177经由粘结促动器单元21和空腔板122的粘合剂层146紧密地粘附到促动器单元21。由此，支撑柱177从下方支撑促动器单元21。

支撑柱177以等间隔设置在促动器单元21的每个长边、短边和斜边处。

支撑柱177a具有在平面图中在副扫描方向上长的矩形形状。因此，即使促动器单元21由于制造误差而在副扫描方向上位置偏离，促动器单元21的底表面的外边缘部分面对支撑柱177a的可能性也高。也就是说，促动器单元21在副扫描方向上相对于通道单元9的位置偏离的可允许误差大。

通过分别使周槽的外壁表面和内壁表面向内和向外凹进，周槽173a的宽度在支撑柱177a周围比在其它地方大。这防止由于制造误差而使支撑柱177a与周槽173a的外壁表面或内壁表面相连。

即使根据本实施例通过在环形槽173中设置支撑柱177，在粘结通道单元9和促动器单元21时在促动器单元21中也几乎不产生裂纹。另外，能够获得与第一实施例相同的效果，除了周槽173不形成为环形形状这一事实之外。而且，由于在相邻的周槽173之间的多个位置中，形成压力室组处的区域和该区域外的区域彼此相连，因此同样抑制了空腔板122的刚性下降。

如上所述，在任一上述实施例中，促动器单元21由支撑柱157或177或支撑突起167支撑，并且固定到通道单元9上。当促动器单元21装配到喷墨头1内时，通过印刷方法在单独电极135上形成粘结到COF50的终端的单独焊盘136。当形成了各个焊盘136时，在促动器单元21上设置具有开口的掩模，并且在掩模沿着涂刷器移动的同时将导电膏输送到单独电极135上。此时，由于涂刷器在喷墨头的纵向方向上移动，应力可能暂时集中在促动器单元21的角部或端部。然而，由于支撑柱157或177或支撑突起167从下方支撑促动器单元21，因此促动器单元21不由于挤压力的集中而损坏。

尽管已经描述了本发明的实施例，但本发明不限于以上实施例，并且在权利要求中所阐述的范围内能够在以上实施例中实现多种设计改变。例如，促动器单元21可以具有除梯形形状外的平面形状。而且，支撑部分可以不面对促动器单元21的角部。而且，支撑部分可以不是空腔板122的一部分，并且可以形成为单独的部分(例如基板123的一部分)。

Claims (12)

1.一种液体喷射头，包括：

通道单元，该通道单元包括：多个单独液体通道，每个单独液体通道包括压力室；和第一表面，该第一表面具有与多个压力室对应的多个开口；以及

具有第二表面的压电促动器单元，该第二表面经由粘合剂粘结到所述通道单元的第一表面，以覆盖所述多个压力室，

其中在所述通道单元的第一表面中形成一个或多个槽，以围绕所述多个压力室，

其中所述压电促动器单元的第二表面的外边缘部分面对所述槽，并且

其中在所述槽中设置支撑部分，该支撑部分面对所述压电促动器单元的第二表面的外边缘部分，以支撑所述压电促动器单元。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，

其中所述支撑部分具有与所述槽的侧壁表面隔开的岛形状。

3.根据权利要求1所述的液体喷射头，

其中所述槽具有围绕所述多个压力室的环形形状。

4.根据权利要求1所述的液体喷射头，

其中在所述槽内沿着所述槽的延伸方向布置多个所述支撑部分。

5.根据权利要求4所述的液体喷射头，

其中以等间隔设置所述多个支撑部分。

6.根据权利要求1所述的液体喷射头，

其中所述压电促动器单元具有多边形形状，并且所述支撑部分面对所述压电促动器单元的所述第二表面的角部。

7.根据权利要求1所述的液体喷射头，

其中所述支撑部分具有沿着所述槽的延伸方向的第一长度和与该延伸方向垂直的第二长度，并且

其中第二长度大于第一长度。

8.根据权利要求1所述的液体喷射头，

其中所述支撑部分连接到所述槽的侧壁表面。

9.根据权利要求1所述的液体喷射头，

其中所述槽具有内壁表面和外壁表面，该外壁表面与所述压力室关于内壁表面相对布置，

其中内壁和外壁中的至少一个的一部分具有凹部，并且

其中在所述槽的与所述凹部对应的部分中设置所述支撑部分。

10.根据权利要求1所述的液体喷射头，

其中所述槽具有内壁表面和外壁表面，该外壁表面与所述压力室关于内壁表面相对布置，并且

其中第二槽形成为连接到所述槽的外壁表面并在离开所述压力室的方向上延伸。

11.根据权利要求10所述的液体喷射头，

其中所述第二槽在平面图中大致沿着所述通道单元的纵向方向延伸。

12.根据权利要求1所述的液体喷射头，

其中所述支撑部分的高度和所述槽的深度大致相同。

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