CN101229953A - 超薄平板玻璃的退火方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种生产厚度为1.0mm以下的超薄平板玻璃的退火方法，1)当距玻璃板边0.2L处玻璃温度从1000℃到温度T2中，退火炉横向温度的降温速率到25/L至75/L℃/mm；2)当距玻璃板边缘0.2L处玻璃温度从温度T2到温度T3中，退火炉横向温度的降温速率到50/L至100/L℃/mm，3)当距玻璃板边缘0.2L处玻璃温度从温度T3到温度T4，退火炉横向温度的降温速率到75/L至200/L℃/mm；4)当距玻璃板边缘0.2L处玻璃温度从温度T4到300℃左右，退火炉横向温度降温速率从75/L至200/L℃/mm降至无温差，通过本发明制造的超薄平板玻璃，降低了超薄平板玻璃残余应力，提高了超薄平板玻璃的生产效率，简化了制造工艺即退火后玻璃表面需要研磨以纠正退火工艺带来的表面变形。

Description

超薄平板玻璃的退火方法
技术领域
本发明涉及一种用于电子显示领域的平板玻璃，尤其涉及一种生产厚度为1.0mm以下的超薄平板玻璃的退火方法，即通过控制玻璃板在退火期间的退火炉横向降温速率来生产具有低残余应力的超薄平板玻璃的退火方法。
背景技术
用于电子显示的超薄玻璃基板，其主要应用于TFT-LCD液晶显示面板。由于在液晶面板的制造过程中，需要被切割分成规格不等的液晶面板，因此，玻璃基板的残留应力要保证在合适的规格以下，否则在切割成合适尺寸时会引起破损，造成液晶面板生产效率的降低。另外，由于其用于显示面板，所以玻璃基板表面的波伏扭曲变形要控制到一定规格以下，这样，显示面板所显示的图像才不会发生扭曲变形。
超薄玻璃基板应用范围很广，尤其在平面显示领域，超薄玻璃基板作为液晶显示器的原材料尤为重要。超薄平板玻璃生产工艺，有浮法生产工艺、向上牵引法生产工艺、有槽下拉法生产工艺和溢流成形法生产工艺等，其中溢流成形法生产超薄玻璃基板以玻璃基板正反两面在生产过程中不接触任何设备，依靠自然抛光而获得较高的表面性能而闻名。本专利以溢流成形法生产工艺来介绍技术背景。
如图1a为溢流成形法生产超薄平板玻璃的工艺流程示意图，图1b为溢流成形法工艺流程的横截面示意图。101为池炉，102为熔融玻璃通道，103为成形砖，104为玻璃板，105为封闭炉，106为成形槽中的熔融玻璃，107为过渡区，108为急冷区，109为退火区，108和109组成退火炉。成形砖被包覆在封闭炉105内，封闭炉105的作用是保证成形砖处于玻璃成形时的温度。在池炉101中熔化后的熔融玻璃经过玻璃通道102的澄清、搅拌和冷却进入到成形砖103的槽中，然后在成形砖103的两侧溢出，再向下流动，在成形砖103的根部玻璃汇合成一张玻璃板。玻璃板再向下流动经急冷区107，然后由退火炉108的进行合适退火后就可以得到成品玻璃板104。
超薄平板玻璃在进入退火炉时其厚度分布为中央有效部分的厚度薄，两边存在厚玻璃带，如图2示。其中玻璃板全宽L，中央正常厚度为d1，两边毛边厚度为d2，其厚度约为中央正常玻璃厚度d1的3到5倍。毛边宽度A约为0.1L至0.15L。这样，在退火过程中，要同时注意玻璃基板的两种应力，即平面应力和厚度应力。
由表及里冷却引起的玻璃厚度方向不可避免的温度梯度所形成的应力即为厚度应力，其可以依照传统退火理论，控制沿玻璃拉引方向的冷却速率来控制玻璃基板的厚度应力。对于超薄玻璃基板来说，厚度应力控制相对于厚玻璃来说要容易得多。
但是玻璃基板的平面应力，其主要是由于玻璃基板横向水平方向厚度不一致造成的玻璃温度分布一致，降温速率不同造成的。对于超薄玻璃基板来说，控制好平面应力，是决定生产良品率高低的关键。
相应地，为了消除玻璃板残留的内部应力，欧洲专利832858和日本专利2001-322823揭示了一种切割的玻璃板来退火后处理的方法。但是这种退火工艺的问题是其需要延长工艺时间和退火玻璃表面需要研磨以纠正退火工艺带来的表面变形。
传统的退火工艺理论是基于一定厚度的平板玻璃的厚度应力来进行退火炉退火功能划分、温度和降温速率设定的，而相对于平面应力，则是在超薄玻璃生产过程中的新问题。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中存在的不足而提供一种能够有效降低玻璃基板残余应力的超薄平板玻璃的退火方法，即通过控制退火炉两边一定区域的横向降温速率，从而降低玻璃基板横向由于厚度差造成的温度差，以达到降低玻璃基板平面应力，从而降低残余应力的目的。
本发明的目的是这样实现的：
本发明提供一种超薄平板玻璃的退火方法，退火温度曲线如图3示，平板玻璃在退火过程中是通过几个过程达到理想的应力状态的。通过退火宽度为L的熔融态玻璃板来最终得到玻璃板的方法，即超薄平板玻璃板的退火按以下四步进行：1)当距离玻璃板边缘0.2L处的玻璃温度从1000℃左右的熔融态变化到温度T2的过程中，从0逐步增加玻璃板水平宽度方向上在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边缘3mm之间的退火炉横向温度的降温速率到25/L至75/L℃/mm；2)当距离玻璃板边缘0.2L处的玻璃温度从比温度T2变化到温度T3的过程中，从25/L至75/L℃/mm逐步增加玻璃板水平宽度方向上在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边缘3mm之间的退火炉横向温度的降温速率到50/L至100/L℃/mm，3)当距离玻璃板边缘0.2L处的玻璃温度从温度T3变化到温度T4的过程中，从50/L至100/L℃/mm逐步增加玻璃板水平宽度方向上在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边缘3mm之间的退火炉横向温度的降温速率到75/L至200/L℃/mm；4)当距离玻璃板边缘0.2L处的玻璃温度从温度T4变化到300℃左右的过程中，玻璃板水平宽度方向上在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边部3mm之间的退火炉横向温度的降温速率逐步从75/L至200/L℃/mm降低至无温差。经过步骤1、2、3的退火后，玻璃板横向温度差低于10度。
本发明提供的超薄玻璃板退火的方法中，步骤1、2、3和4的执行时间相应地在40秒至80秒，25秒至60秒，50秒至100秒和150秒至240秒之间。
本发明提供的超薄玻璃板退火的方法中，步骤1、步骤2、步骤3结束时的距离边部0.2L处的玻璃温度T2、T3、T4分别为750℃至800℃、700℃至750℃、600℃至670℃；
本发明提供的超薄玻璃板退火的方法中，从玻璃板一边距离边缘0.2L到玻璃板另一边距离边缘0.2L之间的中央部分的退火炉温度一致，没有温度差。
利用本发明提供的超薄玻璃板退火的方法所制造的用于显示的超薄玻璃板，其中央部分的厚度为0.5至1.0mm。L的长度范围在1200至2800mm。
利用本发明提供的超薄玻璃板退火的方法所制造的用于显示的超薄玻璃板，其具有的最大残余应力值光程差为0.48Mpa或更小，并且其最大和最小残余应力的光程差的差值为0.55Mpa或更小。
本发明具有如下积极效果：通过使用本发明的退火方法制造的超薄平板玻璃，降低了超薄平板玻璃残余应力，提高了超薄平板玻璃的生产效率。简化了制造工艺即退火后玻璃表面需要研磨以纠正退火工艺带来的表面变形。
附图说明
图1a和图1b为溢流成形法生产超薄平板玻璃的工艺流程示意图和横截面示意图。
图2为超薄平板玻璃在进入退火炉时的厚度分布示意图。
图3为体现本发明的退火温度曲线图。
图4为体现本发明的四个退火步骤的流程图。
具体实施方式
众所周知，玻璃无固定熔点。自高温冷却，经过一个特殊的温度区域，在该温度区域内玻璃由典型的液态转变成脆性的固态物质，这一区域称为玻璃转变区，上限温度称为软化温度(玻璃粘度为109泊)，下限温度为应变点温度Tg。一般规定玻璃制品在某一温度下能在15分钟内消除其全部应力或在3分钟内能消除95％内应力，该温度称为退火上限温度，即退火点温度(玻璃粘度为1013泊)；如果在16小时内才能全部消除或在3分钟内仅消除5％的应力，该温度称为退火下限温度，即应变点(玻璃粘度为1014.5泊)。然而，在长期的生产实践中，我们发现，从高于玻璃退火点温度40℃至70℃时开始对玻璃基板温度分布进行预处理，对控制玻璃横向平面应力有极为积极的效果。
按照ASTM C338-93检验标准，玻璃软化点温度是指在直径为0.65mm、长度为23.5cm圆柱形的玻璃样品在电加热炉内以5度/min的速度加热时当由于样品由于自重以1mm/min的速度延展时的温度。
一般地，用于电子显示的TFT玻璃基板的退火按图4示的四个步骤进行：
1)在软化点左右的熔融玻璃进入退火炉。快速降低玻璃基板的温度至退火点温度上某一温度，这是快速降温区；2)使用夹紧定位轮定位玻璃基板两边，同时按照一定的降温速率缓慢冷却玻璃基板的温度至退火点温度，这是预退火区；3)使用夹紧定位轮定位玻璃基板两边，同时按照一定的降温速率缓慢冷却玻璃基板的温度至应变点温度，这是重要退火区；4)玻璃基板在应变点点以下的降温，这时玻璃已成玻璃态物质。按照一定降温速率退火来保证暂时应力防止玻璃基板的破裂和轻微变形。
对于超薄玻璃板来说，由于表面张力的作用，玻璃板在离开成型设备(如浮法生产中的锡液、溢流下拉法中的成型砖等)后，玻璃板两边会形成厚度约为中央正常厚度3至5倍的玻璃毛边。此玻璃带宽度约为50mm至150mm，随玻璃带的宽度的加大而加大。因此，对于超薄玻璃板来说，由于玻璃板两边和中央部分的厚度差而增加退火的难度。因此，本发明的方法为通过控制在步骤1、2、3范围内沿玻璃板水平横向在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边缘3mm之间的退火炉横向温度降温速率，其最能影响成型玻璃板的平面残余应力。
根据本发明用于制备电子显示用玻璃基板的四个步骤如下所述：
具有宽度为L的熔融玻璃板从成型设备(例如溢流下拉法的成型砖和马弗炉设备等)中拉出，然后经过快速冷却，将液态玻璃板(此时温度约为软化点温度)送至退火炉。此时玻璃处于液态状态，内部不存在热应力。处于软化点温度的玻璃按照本发明提供的四个步骤进行退火，以控制玻璃基板横向温度差，达到控制玻璃基板平面应力的效果。玻璃板退火曲线示意图如图3示。
步骤1，当距离玻璃板边缘0.2L处的玻璃温度从软化点左右温度T1变化到T2的过程中，T2的温度为比退火点温度高40至70℃，即从T1到T2的过程中，玻璃处于液态，由于玻璃内部产生的热应力可以由分子之间的位置移动来抵消，因此，此时不存在热应力。控制玻璃板水平宽度方向上的降温速率主要是为了减小在这个方向上的温度差。玻璃板水平宽度方向上在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边缘3mm之间的退火炉横向温度降温速率V从0增加到25/L≤V≥75/L℃/mm；
步骤2，当距离玻璃板边缘0.2L处的玻璃温度从T2变化到退火点温度T3的过程中，即从T2到T3的过程中，玻璃板水平宽度方向上在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边缘3mm之间的退火炉横向温度降温速率V从25/L≤V≥75/L℃/mm增加到50/L≤V≥100/L℃/mm。
步骤3，当距离玻璃板边缘0.2L处的玻璃温度从退火点温度T3变化到应变点温度T4的过程中，即从T3到T4的过程中，玻璃板水平宽度方向上在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边缘3mm之间的退火炉横向温度降温速率V从50/L≤V≥100/L℃/mm增加到75/L≤V≥200/L℃/mm；步骤2和步骤3这两个阶段对玻璃横向温度的降温速率的控制对玻璃板平面应力的降低至关重要，因为在这两个阶段，玻璃平面应力的产生重要是由玻璃板横向厚度差导致横向温度差造成的，这样，控制玻璃横向的降温速率达到控制玻璃板横向温度差的作用，从而达到降低玻璃板平面应力的效果。依据本发明，在步骤3，当退火炉横向降温速率低于75/L时，玻璃板易发生毛边断裂，断板等，在玻璃板横向降温速率高于200/L时，玻璃板易发生扭曲变形、翘曲变形等。
步骤4，当距离玻璃板边缘0.2L处的玻璃温度从应变点温度T4变化到T5度的过程中，即从T4到T5的过程中，温度T5一般在500度以下。玻璃板水平宽度方向上在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边部3mm之间的退火炉横向温度降温速率V从75/L≤V≥200/L℃/mm逐步降低至无温差。
本发明的另一个特点是，在以上四个步骤中，从玻璃板一边距离边缘0.2L到玻璃板另一边距离边缘0.2L之间的中央部分的退火炉温度一致，没有温度差。
根据本发明，玻璃板的宽度L可以在1000至2800mm之间。最好为1450至1850mm；其中央部分的厚度为0.5至1.0mm。依据玻璃的成分的不同，玻璃基板的退火时间和各阶段的温度范围为：步骤1、2、3和4的执行时间相应地在40秒至80秒，25秒至60秒，50秒至100秒和150秒至240秒之间，步骤1、步骤2、步骤3结束时的距离边部0.2L处的玻璃温度T2、T3、T4分别为750℃至800℃、700℃至750℃、600℃至670℃。
按照本发明的退火方法所生产的玻璃基板具有的最大残余应力值光程差为0.48Mpa或更小，并且其最大和最小残余应力的光程差的差值为0.55Mpa或更小。
下面的举例和对比举例，其目的只是为了说明本发明的使用效果，本发明并不局限于实施例所举的范围。
 实施例1：
用于LCD熔融无碱玻璃(软化点975℃，退火点721℃，应变点667℃)，用来制备的玻璃板宽度L为1350mm，厚度0.7mm(两边的毛边厚度2.7mm，宽度100mm)。
步骤1，进入退火炉时距离玻璃板边缘270mm处的玻璃温度为974℃，经过40秒的退火，步骤1结束时此处的玻璃温度为765℃。在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘270mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0逐步调整到0.025℃/mm。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘270mm到玻璃板另一边距离边缘270mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
步骤2，然后再经过30秒的退火，步骤2结束时距离玻璃板边缘270mm处的玻璃温度降低到720℃，在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘270mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0.025℃/mm逐步调整到0.045℃/mm。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘270mm到玻璃板另一边距离边缘270mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
步骤3，然后再经过80秒的退火，步骤3结束时距离玻璃板边缘270mm处的玻璃温度降低到666℃，在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘270mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0.045℃/mm逐步调整到0.10℃/mm。此时玻璃板横向温度差为10℃。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘270mm到玻璃板另一边距离边缘270mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
步骤4，最后然后再经过170秒的退火，距离玻璃板边缘270mm处的玻璃温度降低到300℃，在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘270mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0.10℃/mm逐步调整到0。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘270mm到玻璃板另一边距离边缘270mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
经过退火后的玻璃板，使用光弹测量仪对玻璃板有效部分沿拉引方向两边间隔60mm，中间间隔80mm测量40个点。测量结果显示最大残留应力为0.45Mpa，最大最小应力差为55Mpa。另外，玻璃板的表面平坦度很好，没有明显的变形。
在生产过程中，其他步骤的退火方法不变，只是把步骤3中退火炉在距离玻璃板边缘270mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由20℃/mm逐步调整到5℃/mm后。此时玻璃板横向温度差为30℃。经过这种退火方法退火后的玻璃板，使用光弹测量仪对玻璃板有效部分沿拉引方向两边间隔60mm，中间间隔80mm测量40个点。测量结果显示最大残留应力为1.2Mpa，最大最小应力差为1.4Mpa。
实施例2：
用于LCD熔融无碱玻璃(软化点975，退火点721，应变点667)，用来制备的玻璃板宽度L为1350mm，厚度0.7mm(两边的毛边厚度2.7mm，宽度100mm)。
步骤1，进入退火炉时距离玻璃板边缘270mm处的玻璃温度为975℃，经过45秒的退火，步骤1结束时此处的玻璃温度为770℃。在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘270mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0逐步调整到0.05℃/mm。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘270mm到玻璃板另一边距离边缘270mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
步骤2，然后再经过35秒的退火，步骤2结束时距离玻璃板边缘270mm处的玻璃温度降低到722℃，在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘270mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0.05℃/mm逐步调整到0.07℃/mm。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘270mm到玻璃板另一边距离边缘270mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
步骤3，然后再经过60秒的退火，步骤3结束时距离玻璃板边缘270mm处的玻璃温度降低到666℃，在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘270mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0.07℃/mm逐步调整到0.14℃/mm。此时玻璃板横向温度差为8℃。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘270mm到玻璃板另一边距离边缘270mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
步骤4，最后然后再经过200秒的退火，距离玻璃板边缘270mm处的玻璃温度降低到300℃，在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘270mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0.14℃/mm逐步调整到0。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘270mm到玻璃板另一边距离边缘270mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
经过退火后的玻璃板，使用光弹测量仪对玻璃板有效部分沿拉引方向两边间隔60mm，中间间隔80mm测量40个点。测量结果显示最大残留应力为0.42Mpa，最大最小应力差为0.45Mpa。另外，玻璃板的表面平坦度很好，没有明显的变形。
实施例3：
用于LCD熔融无碱玻璃(软化点975℃，退火点721℃，应变点667℃)，用来制备的玻璃板宽度L为1900mm，厚度0.7mm(两边的毛边厚度2.8mm，宽度150mm)。
步骤1，进入退火炉时距离玻璃板边缘380mm处的玻璃温度为975℃，经过50秒的退火，步骤1结束时此处的玻璃温度为765℃。在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘380mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0逐步调整到0.015℃/mm。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘380mm到玻璃板另一边距离边缘380mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
步骤2，然后再经过40秒的退火，步骤2结束时距离玻璃板边缘380mm处的玻璃温度降低到722℃，在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘380mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0.015℃/mm逐步调整到0.05℃/mm。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘380mm到玻璃板另一边距离边缘380mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
步骤3，然后再经过90秒的退火，步骤3结束时距离玻璃板边缘380mm处的玻璃温度降低到666℃，在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘380mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0.05℃/mm逐步调整到0.10℃/mm。此时玻璃板横向温度差为8℃。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘380mm到玻璃板另一边距离边缘380mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
步骤4，最后然后再经过200秒的退火，距离玻璃板边缘380mm处的玻璃温度降低到300℃，在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘380mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0.10℃/mm逐步调整到0。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘380mm到玻璃板另一边距离边缘380mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
经过退火后的玻璃板，使用光弹测量仪对玻璃板有效部分沿拉引方向两边间隔60mm，中间间隔80mm测量40个点。测量结果显示最大残留应力为0.40Mpa，最大最小应力差为0.43Mpa。另外，玻璃板的表面平坦度很好，没有明显的变形。
实施例3
用于LCD熔融无碱玻璃(软化点975℃，退火点721℃，应变点667℃)，用来制备的玻璃板宽度L为1900mm，厚度0.7mm(两边的毛边厚度2.8mm，宽度150mm)。
步骤1，进入退火炉时距离玻璃板边缘380mm处的玻璃温度为976℃，经过60秒的退火，步骤1结束时此处的玻璃温度为780℃。在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘380mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0逐步调整到0.03℃/mm。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘380mm到玻璃板另一边距离边缘380mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
步骤2，然后再经过45秒的退火，步骤2结束时距离玻璃板边缘380mm处的玻璃温度降低到722℃，在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘380mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0.03℃/mm逐步调整到0.045℃/mm。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘380mm到玻璃板另一边距离边缘380mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
步骤3，然后再经过60秒的退火，步骤3结束时距离玻璃板边缘380mm处的玻璃温度降低到666℃，在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘380mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0.045℃/mm逐步调整到0.08℃/mm。此时玻璃板横向温度差为9℃。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘380mm到玻璃板另一边距离边缘380mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
步骤4，最后然后再经过230秒的退火，距离玻璃板边缘380mm处的玻璃温度降低到300℃，在这个过程中，退火炉在距离玻璃板边缘380mm位置到距离玻璃板边缘3mm处的降温速率由0.08℃/mm逐步调整到0。同时，在退火炉横向方向上从玻璃板一边距离边缘380mm到玻璃板另一边距离边缘380mm之间的中央部分的退火炉温度相同。
经过退火后的玻璃板，使用光弹测量仪对玻璃板有效部分沿拉引方向两边间隔60mm，中间间隔80mm测量40个点。测量结果显示最大残留应力为0.39Mpa，最大最小应力差为0.43Mpa。另外，玻璃板的表面平坦度很好，没有明显的变形。

Claims (7)

1.一种超薄平板玻璃的退火方法，其特征在于：通过退火宽度为L的熔融态玻璃板来最终得到玻璃板的方法，即超薄平板玻璃板的退火按以下四步进行：
1)、当距离玻璃板边缘0.2L处的玻璃温度从温度T1变化到温度T2的过程中，玻璃板水平宽度方向上在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边缘3mm之间的退火炉横向温度的降温速率V从0逐步增加到25/L≤V≥75/L℃/mm；
2)、当距离玻璃板边缘0.2L处的玻璃温度从比温度T2变化到温度T3的过程中，玻璃板水平宽度方向上在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边缘3mm之间的退火炉横向温度的降温速率V从25/L≤V≥75/L℃/mm逐步增加到50/L≤V≥100/L℃/mm；
3)、当距离玻璃板边缘0.2L处的玻璃温度从温度T3变化到温度T4的过程中，玻璃板水平宽度方向上在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边缘3mm之间的退火炉横向温度的降温速率V从50/L≤V≥100/L℃/mm逐步增加到75/L≤V≥200/L℃/mm；
4)、当距离玻璃板边缘0.2L处的玻璃温度从温度T4变化到温度T5的过程中，玻璃板水平宽度方向上在距离玻璃板边缘0.2L点到距离边部3mm之间的退火炉横向温度的降温速率V逐步从75/L≤V≥200/L℃/mm降低至无温差。
2.如权利要求1中所述的玻璃板退火方法，其特征在于：经过步骤1、2、3的退火后，玻璃板横向温度差低于10度。
3.如权利要求1中所述的玻璃板退火方法，其特征在于：步骤1、2、3和4的执行时间相应地在40秒至80秒，25秒至60秒，50秒至100秒和150秒至240秒之间。
4.如权利要求1中所述的玻璃板退火方法，其特征在于：步骤1、步骤2、步骤3结束时的距离边部0.2L处的玻璃温度T2、T3、T4分别为750℃至800℃、700℃至750℃、600℃至670℃。
5.如权利要求1中所述的玻璃板退火方法，其特征在于：从玻璃板一边距离边缘0.2L到玻璃板另一边距离边缘0.2L之间的中央部分的退火炉温度一致，没有温度差。
6.一种根据权利要求1-5所述的玻璃板退火方法所制作的用于显示的超薄玻璃板，其特征在于：其中央部分的厚度为0.5至1.0mm，L的长度范围在1200至2800mm。
7.如权利要求6中所述的用于显示的超薄玻璃板，其特征在于：其具有的最大残余应力值光程差为0.48Mpa或更小，并且其最大和最小残余应力的光程差的差值为0.55Mpa或更小。
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