CN101225535A - 一种不损害殷钢低膨胀特性的薄层镀镍工艺方法 - Google Patents

一种不损害殷钢低膨胀特性的薄层镀镍工艺方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101225535A
CN101225535A CNA2007101573104A CN200710157310A CN101225535A CN 101225535 A CN101225535 A CN 101225535A CN A2007101573104 A CNA2007101573104 A CN A2007101573104A CN 200710157310 A CN200710157310 A CN 200710157310A CN 101225535 A CN101225535 A CN 101225535A
Authority
CN
China
Prior art keywords
nickel plating
nickel
thin
plating
thin layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2007101573104A
Other languages
English (en)
Inventor
康仁科
乔玉鹏
袁和平
郭东明
金洙吉
贺荣明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dalian University of Technology
Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Original Assignee
Dalian University of Technology
Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dalian University of Technology, Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd filed Critical Dalian University of Technology
Priority to CNA2007101573104A priority Critical patent/CN101225535A/zh
Publication of CN101225535A publication Critical patent/CN101225535A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

本发明为一种薄层电镀镍工艺,采用瓦特型电镀镍方法,通过工艺参数的优化配置在一定的时间内获得很薄的镍镀层。首先对工件表面作磨削光整处理,使其表面粗糙度达到Ra 0.5μm;然后采用除油、酸洗和超声波水洗,以保证彻底去除表面的杂物;之后采用瓦特型镀镍液脉冲镀镍的工艺方案,通过控制脉冲电镀镍的工艺参数,在确定的时间内实现薄层镍完整覆盖工件表面。该方法不需专用设备,可在普通电镀设备上进行,工艺简单,成本低,加工效率较高,节省原料。工件的双金属变形效应得到有效的抑制,又可达到提高表面耐蚀性的目的,从而提高殷钢结构件的结构精度,满足超精密设备的使用要求。

Description

一种不损害殷钢低膨胀特性的薄层镀镍工艺方法
技术领域
本发明属于精密加工技术领域,涉及到精密、超精密设备制造与结构表面腐蚀防护技术,特别涉及到一种不损害殷钢低膨胀特性的薄层镀镍工艺方法。
背景技术
随着微细加工技术和超精密加工技术的快速发展,对加工所用设备的精度要求越来越苛刻。不但对设备工作精度提出很高的要求,而且对于设备工作环境的要求也不断提高,例如温度、振动、湿度、辐射等等,因此制造过程中必须综合考虑设备服役期间所有可能对加工精度产生影响的因素,并且逐一采取措施予以解决。以当前某些重要的微细加工设备为例,在工作时需要产品保持低于100nm的尺寸误差,这就对产品的制造设备提出了很高的要求。由于常见的工程材料在环境温度波动时,本身的热膨胀效应已经可以引起明显的变形误差,因此对于这些由多种材料匹配、结构复杂的加工系统来讲,要保证产品的制造精度,首先要着力解决设备主架构的膨胀变形误差问题,殷钢正是应这一需求而得到广泛应用的。但是殷钢的耐蚀性相比于常用的不锈钢尚有一定差距,这对它的应用形成了一定的限制。在精密设备中应用该合金时,通常采用表层镀镍的处理方法作为提高其耐蚀性的措施,但是厚达几十乃至几百微米厚度的镀层又因膨胀系数的差异会与母材产生双金属效应,对殷钢的特性形成破坏作用,因此面对新型微细和超精密加工设备的精度要求,这一处理方法显然难以适应,迫切需要加以改进,减薄镀层厚度便成为直接的解决方法。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种薄层电镀镍工艺,抑制殷钢结构件防腐蚀镀镍处理以后,因为双金属效应所产生的热膨胀变形,从而在保证工件精度的前提下提高殷钢结构的表面耐蚀性。
本发明的技术方案是,采用瓦特型电镀镍方法,通过工艺参数的优化配置,在确定的时间内获得很薄的镍镀层,其特征在于:
(1)对工件表面作磨削光整处理,使其表面粗糙度达到Ra0.5μm左右;
(2)采用除油、酸洗和超声波水洗,去除表面的杂物;
(3)采用瓦特型镀镍液脉冲镀镍工艺方案,通过控制脉冲电镀镍的工艺参数,
在确定的时间内实现薄层镍完整覆盖工件表面。
本发明的效果和益处是:
不需专用设备,可在普通电镀设备上完成加工;  使用化学药剂比较常见,工艺简单,成本低,加工效率较高,节省原料;加工后镀层与殷钢的双金属变形效应可得到有效的抑制,又可达到提高殷钢表面耐蚀性的目的,从而可以提高殷钢结构件的结构精度,满足超精密设备的使用要求。
附图说明
图1是按照给出工艺参数电镀3小时后的试样表面形貌。
图2是电镀后个别微小孔洞形貌。
具体实施方式
以下结合技术方案和附图,详细说明本发明的具体实施方式。
(1)对工件表面作磨削光整处理,使其表面粗糙度达到Ra0.5μm;
(2)采用化学除油法去除工件表面的油渍;使用稀硫酸溶液浸泡、除锈和弱侵蚀;
(3)采用超声波热水清洗,去除表面的杂物;
(4)采用瓦特型镀镍液和脉冲镀镍的工艺方案,通过控制脉冲电镀镍的工艺参数,在确定的时间内实现薄层镍完整覆盖工件表面。
电镀镍工艺参数为:
NiSO4·6H2O    220~300g/L
NiCl2·6H2O    40~60g/L
H3BO4          30~40g/L
pH值           3.7~4.6
温度           40±1℃
磁力搅拌       240±10r/min
阴极有无移动   有
阴阳极间距     100mm
电流密度Dk     0.5A/dm2
脉冲频率f      1200Hz
占空比γ       1/5
电镀时间       150~180min
实验中阳极采用电解镍板,Ni含量大于99.97%,面积为0.39dm2。在阳极镍板放入电镀液之前,先在超声波清洗剂内用弱酸侵蚀液浸泡去除氧化皮、活化表面,为防止阳极溶解产生的泥渣扩散,将镍板装入阳极袋内加以隔离;阴极板采用42mm×42mm×5mm的殷钢薄板试件,阳极与阴极面积之比为2∶1。
镀层孔隙率是反映镀层表面致密程度的一种性能指标,它直接影响到镀层的防腐蚀性能,特别是对阴极性镀层影响更为明显。由于镍的电势比铁正,对殷钢镀镍而言,镍镀层为阴极镀层。因此,孔隙率是衡量殷钢镀镍性能的主要指标。孔隙率测量方法主要有贴滤纸法、涂膏法、浸渍法和电图法。贴滤纸法因简单易行而被广泛采用,本发明即采用此方法。
从加工效果看出,采用现有的工艺方法,可在足够薄的镀层厚度下,同时保证试样表面覆盖有很完整的耐蚀性镍膜。

Claims (1)

1.一种不损害殷钢低膨胀特性的薄层镀镍工艺方法,采用镀暗镍工艺方法,通过调整工艺参数,获取5μm厚度的镀层,其特征在于:
(1)对工件表面作磨削光整处理,使其表面粗糙度达到Ra0.5μm;
(2)采用除油、酸洗和超声波水洗,去除表面的杂物;
(3)采用瓦特型镀镍液脉冲镀镍的工艺方案,通过控制脉冲电镀镍的工艺参数,在确定的时间内实现薄层镍完整覆盖工件表面;
电镀镍工艺参数为:
NiSO4·6H2O    220~300g/L
NiCl2·6H2O    40~60g/L
H3BO4          30~40g/L
pH值           3.7~4.6
温度           40±1℃
磁力搅拌       240±10r/min
阴极有无移动   有
阴阳极间距     100mm
电流密度Dk     0.5A/dm2
脉冲频率f      1200Hz
占空比γ       1/5
电镀时间       150~180min
CNA2007101573104A 2007-09-28 2007-09-28 一种不损害殷钢低膨胀特性的薄层镀镍工艺方法 Pending CN101225535A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2007101573104A CN101225535A (zh) 2007-09-28 2007-09-28 一种不损害殷钢低膨胀特性的薄层镀镍工艺方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNA2007101573104A CN101225535A (zh) 2007-09-28 2007-09-28 一种不损害殷钢低膨胀特性的薄层镀镍工艺方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101225535A true CN101225535A (zh) 2008-07-23

Family

ID=39857732

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2007101573104A Pending CN101225535A (zh) 2007-09-28 2007-09-28 一种不损害殷钢低膨胀特性的薄层镀镍工艺方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101225535A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110067011A (zh) * 2019-03-28 2019-07-30 上海大学 制备块体纳米晶镍的方法及电沉积装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110067011A (zh) * 2019-03-28 2019-07-30 上海大学 制备块体纳米晶镍的方法及电沉积装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Xiang et al. Effect of current density on wettability and corrosion resistance of superhydrophobic nickel coating deposited on low carbon steel
CN103868775B (zh) 一种用于锅炉受热面氧化皮厚度测量的金相制样方法
CN110724992B (zh) 在铝合金表面制备耐腐蚀超疏水膜层的方法
CN104250813B (zh) 一种镁合金超疏水自清洁耐腐蚀表面的制备方法
Pecequilo et al. Study of copper electrodeposition mechanism from a strike alkaline bath prepared with 1-hydroxyethane-1, 1-diphosphonic acid through cyclic voltammetry technique
CN103792128A (zh) 一种显示双相不锈钢的两相晶界的方法
Cho et al. Selective electrodeposition of copper on stainless steel using laser irradiation
Jiang et al. Study on Ni-Ni (S)-Ni (P) multilayer coating by friction-assisted jet electroplating on sintered NdFeB
CN105506693A (zh) 一种提高耐腐蚀性的表面镍涂层晶粒度调控方法
CN103882492A (zh) 金属基体化学镀前处理方法
CN107462456A (zh) 金相组织显示方法
CN113201780A (zh) 具有镍基超疏水纳米CeO2复合镀层的复合材料及其制备方法
CN111058067A (zh) 一种用于金属表面的电镀锌镍合金工艺
CN102899703A (zh) 一种硅酸盐电解液及其在制备镁合金微弧氧化膜中的应用
Yang et al. Electrodeposition of Ni-Cr alloy on aluminum substrate
CN106637377B (zh) 镍基合金电解抛光液及其抛光方法
CN101225535A (zh) 一种不损害殷钢低膨胀特性的薄层镀镍工艺方法
CN110453261B (zh) 一种基于电化学的材料表面改性方法与装置
CN105220216B (zh) 一种铝或铝合金电化学抛光方法
CN101603197A (zh) 电抛光用电解液配方及电解方法
Hung et al. Using a nickel electroplating deposition for strengthening microelectrochemical machining electrode insulation
CN115161733A (zh) 一种铝合金的表面处理结构及其制备方法
Micallef et al. Rapid surface finishing of chemical vapour deposited tungsten carbide hard coatings by electropolishing
CN110724980B (zh) 一种不锈钢螺栓局部镀铬方法
Zhang et al. Electrodeposition of multi-layer Pd–Ni coatings on 316L stainless steel and their corrosion resistance in hot sulfuric acid solution

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20080723