CN101191677A - 辐射选择性的吸收涂层、吸收管和它们的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及辐射选择性的吸收涂层(20)，具有至少二个阻挡层(24a，24b)、位于其上面的在红外范围里的反射层(21)、布置在反射层(21)上的吸收层(22)及布置在吸收层(22)上的抗反射层(23)。本发明还涉及吸收管(13)，它具有钢制成的管子(1)和设置于其外面上的吸收层(20)。此外还介绍了用于制造吸收管(13)的方法，按此借助于热氧化将第一氧化物阻挡层(24a)施加在优质钢管上，借助于铝的物理气相沉积，在输入氧的条件下施加第二阻挡层(24b)，借助于金、银、铂或铜物理气相沉积而施加在红外范围内反射的层(21)，同时借助于铝和钼的物理气相沉积施加吸收层(22)，并且借助于硅的物理气相沉积，在输入氧的情况下施加抗反射层(23)。

Description

辐射选择性的吸收涂层、吸收管和它们的制造方法
技术领域
本发明涉及一种按权利要求1的前序部分所述的辐射选择性的吸收涂层。本发明也涉及一种具有一种这样的辐射选择性的涂层的吸收管、一种制造它们的方法和在应用这样的吸收管时使一种抛物面槽式集光器运行的方法。
背景技术
通常的吸收涂层由一个施加在基底上的，尤其是在金属管上的，在红外范围里反射的层、一个在太阳光滑范围里具有高吸收率的金属陶瓷层和一个施加在金属陶瓷层上的覆盖层，后者称之为抗反射层并且由于金属陶瓷层高的折射率设计用于减小在金属陶瓷层上的表面反射。
原则上都是力求实现尽可能高的能量输出。能量输出还取决于吸收率α和发射率∈的系数，其中总是力求使吸收层有高的吸收率(α＞95％)和小的发射率(∈＜10％)。
另外集光器的效率通过其运行时的温度来确定。按照这种观点希望有尽可能高的温度。与此相反但是吸收涂层的层状系统的耐用性却随着运行温度的升高由于老化过程和/或扩散过程而降低，因而金属陶瓷层的吸收性能和在红外范围里反射的层的反射性能可以降低。
DE 101 50 738 C1因此描述了一种辐射选择性的吸收涂层，它应该并没有重大的色彩变化并因此没有什么老化。这通过如下方法来达到：在施加第三层由铝和铝氧化物组成的涂层时调整一定的氧体积流量。在这个涂层上施加一层由Al2O3组成的最终封闭层。
由US 5,523,132已知了一种吸收涂层，在这涂层里设有多个金属陶瓷层，它们的金属成份和折射率都不同。通过在不同的波长时形成多个吸收最大值，应该可以实现更好地匹配于太阳光谱。扩扩散层可以设置在金属陶瓷层和这在IR(红外)范围里反射的层之间或者说在金属陶瓷层和抗反射层之间，其中并没有对材料和层厚作说明。
在Michael Lanxner和Zvi Elgat在SPIE卷1272，OpticalMaterials Technology for Energy Efficiency and Solar EnergyConversion IX(1990)，240至249页，所著的标题为“用于高服务温度的太阳光选择性的吸收涂层，由等离子喷镀产生”(“Solarselective  absorber coating for high service temperatures，Produced by plasma sputtering”的论文中描述了一种施加在钢基质上的吸收涂层，该涂层具有一个由SiO2组成的抗反射层、一个由Mo/Al2O3成分组成的金属陶瓷层和一个在红外范围里反射的由钼组成的涂层组成，其中在这在红外范围里反射的层和基质之间设有一个由Al2O3组成的扩散阻挡层。
由DE 10 2004 010 689 B3已知一种吸收装置，它具有辐射选择性的吸收涂层，这涂层具有一个金属基底、一个扩散阻断层、一个金属反射层、一个金属陶瓷层和一个抗反射层。扩散阻断层是一种氧化物层，它由金属基质的氧化物成分组成。
对于在红外范围里反射的层来说通常应用钼。当然钼涂层的反射性能并不是最佳的，因此应该要采用更好的反射材料。
已知的吸收管的运行温度在真空中为300-400℃。由于前面所列的原因原则上力求进一步提高运行温度，但并不影响例如金属陶瓷层的吸收性能和在红外范围里反射层的反射性能。
在C.E.Kennedy的“中至高温的太阳光选择性吸收器材料的考察”(“Review of Mid-to High-Temperature Solar Seletive AbsorberMaterials”)，Technical Report des National Renewable EnergyLaboratory(国家可再生能源实验室的技术报告)，2002年7月出版，中总结了这样的努力。由此得知了一种涂层构造，它由一个ZrOxNy-或一个ZrCxNy-吸收层和一个在IR范围里反射的由Ag或Al组成的涂层组成，这种涂层结构通过加入一个Al2O3-扩散阻隔层而具有更好的在空气中的温度稳定性。此外还发现了：红外反射层在真空里的温度稳定性可以通过在这涂层之下加入一个扩散阻隔层来改善。对于这种阻隔层来说建议将Cr2O3，Al2O3或SiO2作为涂层材料。这样使银反射层的稳定性提高到500℃。
但是因此并没有结束对更耐用的涂层的追求，并且同时要改善吸收率和发射率。
发明内容
就此而言本发明的任务是提供一种吸收涂层、具有这样的涂层的吸收管和抛物面槽式集光器，在集光器里使用了这样的吸收管，它们可以持久、经济地工作。
该任务通过如下方法来解决：在红外范围里反射的层布置在至少二个阻隔层上。
令人惊奇地业已表明，通过一个双层阻挡对在IR范围里反射的层相对于基底的遮蔽有效地阻止了基底材料，尤其是铁由钢吸收管中尤其是受热影响地扩散入在IR范围里反射的层里并因此提高了涂层的长时间温度稳定性。
特别有利的是，至少二个阻挡层中的第一阻挡层由一种热产生的氧化物构成，而至少二个阻挡层中的第二阻挡层由一种AlxOy化合物构成。作为铝氧化物优选为AlO，AlO2以及Al2O3。在这些铝氧化物中尤其是优选Al2O3。
在在IR范围里反射的层和有利地由金属陶瓷组成的吸收层之间优选设有第三阻挡层，它优选由一种AlxOy化合物组成，其中x可假设值为1或2，y可取值1，2或3。
将在红外范围里反射的层埋入在二个铝氧化物层之间和与之连系的三明治结构的优点在于：也没有什么材料能从在红外范围里反射的层扩散入位于其上面的吸收层里并且按此方式影响到吸收层的吸收性能。因此可以确保：很大程度上阻止了在涂层系统之内的扩散，尤其是进入在红外范围里反射的涂层或从该涂层出来，以及进入金属陶瓷吸收层。
按此方式可以首次证实当运行温度为550°在真空里持续时间250小时，吸收率高达α＞95.5％，发射率低达∈＜9％。因此可以同时在二个方面改善一种具有一个设有这种涂层的吸收管的集光器的效率：改善的选择性比α/∈＞0.95/0.1意味着较高的辐射能收益，而高的运行温度可以实现有效地转换成电能，其中这样的涂层长的使用寿命能确保一种具有这样施加过的吸收管的相应的抛物面槽形集光器经济地运行。
吸收涂层的高耐热性也就允许应用价廉的载热介质。以前都是使用昂贵的特种油作为载热流体，它们只是在小于大约400℃时热稳定的。吸收涂层的高耐热性因此允许使吸收管的运行温度达到＞450℃至550℃。
可以更加有利地使用一种沸点＜110℃的载热介质，尤其是水。在这样高的运行温度时产生水蒸汽，它可以直接被引入蒸气涡轮机里。不再需要将热量从以前所应用的油传递至水的附加的热交换器，因此按照这种观点就可以使具有用按照本发明的吸收涂层的吸收管的抛物面槽式集光器比以前经济得多地运行。
另一个优点在于：载热流体流过吸收管的流动速度可能被降低，这是因为较高的运行温度是许可的，对于吸收管涂层来说没有不利。按此方式可以节省用于使一个抛物面槽式集光器的泵运行的能量。
铝氧化物层的厚度优选在20和100nm之间。当厚度＜20nm时，根据邻接层的成份不同，铝氧化物层的阻挡作用并不令人满意。当厚度大于100nm时出现热应力，这可能会在一定条件下造成涂层脱落。
二个铝氧化物层的厚度可以是不同的，其中下面的铝氧化物层的厚度优选大于上面的铝氧化层的厚度。布置在基底和在IR范围里反射的层之间的铝氧化物层的层厚优选为20nm至100nm，优选为50nm至70nm，而布置在这于IR范围里反射的层和吸收层之间的铝氧化物层的层厚为0nm至50nm，根据层的成分优选为30nm至40nm或者5nm至15nm。
将这在红外范围里反射的层埋入在二个铝氧化物层之间具有以下另外的优点：对于该层可以采用如银、铜、铂或金的材料，它们虽然更容易扩散，但相比于钼来说具有以下决定性优点：它们在红外范围里的反射明显地更好，因此可以达到发射率∈＜10％。
这在红外范围里反射的层的厚度取决于材料优选为50nm至150nm。在这个厚度范围里优选的层厚为从100nm至120nm，如果尤其是应用铜或银的话。在应用银时层厚也可以优选为从90nm至130nm的范围里。在其它情况下层厚也可以考虑从50至100nm，尤其是从50至80nm。
可以采用在红外范围里反射的层的小的层厚，因为材料金、银、铂和铜都具有明显较高的反射率并且通过在二个铝氧化物层之间的包封不可能扩散进入到其它层里去或者说不会由于有干扰的其它的元素的扩散进入而影响其有利的性能。
贵金属Au、Ag和Pt的较高价格可以通过相比于这在红外范围里反射的层的已知层厚来说明显更小的层厚来补偿，部分地甚至是过度补偿。
吸收层的厚度优选为60至140nm。吸收层优选是一种由铝氧化物与钼组成的或由氧化锆与钼组成的金属陶瓷层。也可以是设有多个不同成分的吸收层，尤其是具有减少的金属成分，以代替均质的吸收层，或者设有一个逐渐变化的吸收层。金属陶瓷层优选是一种梯度层，这种梯度层就是一种在层内金属成分连续地，实践中也分级地增加或减小的层。
处于吸收层上的抗反射层的层厚优选为60至120nm。该层优选由氧化硅或铝氧化物组成。
一种尤其是用于抛物面槽形集光器的吸收管具有一个由钢制成的管子，在其外侧上有辐射选择性的吸收涂层，它至少具有一个在IR范围里反射的层、具有一个尤其由金属陶瓷材料组成的吸收层，并具有一层抗反射层，它施加在金属陶瓷层上，其特征在于，这在红外范围里反射的层布置在二个AlxOy-层之间，其中x可以取值1或2，y取值1，2或3。
使具有吸收管的一种抛物面槽状集光器工作运行的方法，载热介质导过吸收管，其特征在于，应用具有一种辐射选择性吸收涂层的吸收管，这涂层至少具有在红外范围里反射的层、尤其由金属陶瓷材料组成的吸收层和抗反射层，其中这在红外范围里反射的层布置在二个AlxOy层之间，其x可取值1或2，y取值1，2或3；而且使一种沸点＜110℃的载热流体流过这吸收管。
尤其是水可以被用作为载热流体。
按照另外一种实施形式，使抛物面槽式集光器工作运行的方法规定了：吸收管的运行温度调整到450℃至550℃，尤其是到480℃至520℃。
附图说明
以下根据附图对作为实例的实施形式进行详细说明。附图所示为：
图1：一个抛物面槽式集光器；
图2：经过一个按照本发明的一种实施形式的吸收管的剖视图。
具体实施方式
图1表示了一种抛物面槽式集光器10，它具有一个抛物面形状的轮廓的纵向延伸的抛物面反射器11。抛物面反射器11由一种支承结构12固定住。沿着抛物面反射器11的焦线布置了一个吸收管13，它固定在支架14上，支架与抛物面槽式集光器相连接。抛物面反射器11与支架14和吸收管13构成一个单元，该单元围绕吸收管13的轴线摆动并因此单轴地追随太阳S的位置。太阳S射入的平行太阳光被抛物面反射器11聚焦到吸收管13上。吸收管13被载热介质，尤其是水流过，并通过吸收的太阳光加热。在吸收管的流出端可以取出热传递介质并输送给一个耗能器或者能量转换器。
在图2中简略表示了吸收管13的一个剖视图。吸收管13具有一个被载热介质2流过的钢管1，此钢管构成了施加在管子1外侧上的吸收涂层20的基底。吸收涂层20的各层的层厚为了表示易于观察作了放大并画成一样厚。
吸收涂层20从里向外具有一个借助于热氧化施加在钢管1上的由铬铁氧化物组成的第一阻挡层或扩散阻隔层24a。在其上面在第二阻挡层24b和第三阻挡层24c之间(它们分别优选由铝氧化物组成)埋入一层在红外范围里反射的由金、银、铂或铜组成的层21。在第三阻挡层24c上施加了一个金属陶瓷层22，并且具有一个抗反射层23的涂层系统向外终止。
按照图2所示实施形式的吸收管用以下所述的方法进行涂层。
将钢管1，优选是不锈钢管子抛光并接着清洗。在抛光时表面粗糙度优选达到Ra＜0.2μm。接着使不锈钢管子在温度为＞400℃时热氧化半小时到2小时，尤其是在500℃时热氧化大约1小时。形成的氧化层15nm至50nm，优选为30nm±10nm厚，作为第一阻挡层24a。
接着将钢管装入一个真空涂层设备里并将该设备抽真空。在达到小于5×10-4毫巴(mbar)，优选为1×10-4毫巴的压力之后借助于物理的气相沉积(PVD)，尤其是借助于阴极溅射(喷镀)施加随后的层。为此使钢管旋转着在喷镀源处，也就是在由涂层物质，例如Al，Ag和Mo组成的靶子旁经过。
在第一沉积步骤中施加一种AlxOy层形式的第二阻挡层24b，其方法是使铝蒸发或喷镀并在输入氧的情况下反应地沉积。氧压力调整在10-2mbar和10-3mbar之间，优选4至7×10-3mbar。这第二阻挡层的优选层厚为30nm至65nm并特别优选为50nm±10nm。
在以下的第二沉积步骤中施加这在红外范围里反射的层21，其方法是使金、银、铂或铜，优选为银以厚度从90nm至130nm，特别优选为110nm±10nm沉积在第二阻挡层24b上。
在第三沉积步骤中施加另外一种AlxOy层形式的第三阻挡层24c，其方法是使铝如同在第二阻挡层情况下那样蒸发并在输入氧的情况下反应沉积。第三阻挡层的优选层厚最大达50nm，特别优选10nm±5nm。这种阻挡层但也可以完全去掉，因为业已证实：当施加在反射层21上的吸收层22的成份适合时就不必通过一个附加的阻挡层来阻止扩散了。
在第四沉积步骤中通过铝和钼从一个共同的坩埚里或者由二个分开的靶子里同时蒸发/喷镀施加吸收层或者更准确地在这种情况下施加金属陶瓷层22。优选同时地将氧引入到蒸发-/喷镀部位里，以便除了铝和钼(反应地)也沉积氧化铝。
在第四沉积步骤中通过相应地选择运行参数(蒸发/喷镀率和氧量)不同地调整成分并且甚至在层的走向中发生变化。尤其是在应用分开的靶子时可以在吸收层22里相对于铝成分和/或铝氧化物成分的沉积有变化地实施钼成分的沉积。换言之，吸收层22的钼成分作成有梯度的，其中它优选在施加吸收层22时降低。它在里面优选为25％-70％(体积)，特别优选40±15％(体积)，并且向外减小到10％-30％(体积)，特别优选为20±10％(体积)。
相对于沉积的铝成分来说氧的添加优选按欠化学计算地来进行，从而在吸收层22里保留一种未氧化的铝成分。这种铝成分则用作为氧化还原电位或氧吸气剂，从而停止形成钼氧化物。吸收层22里的未氧化的铝成分相对于吸收层的总的成分组成而言优选为低于10％(体积)，特别是优选在0和5％(体积)之间。未氧化的铝成分同样也可以在吸收层之内通过运行参数蒸发率和氧量的变化而改变。
吸收层22总共优选的厚度为70nm至140nm，特别是优选是100±10nm。
在第五沉积步骤里施加一种SiO2形式的抗反射层23，其方法是借助于硅的物理气相沉积在输入氧的情况下进行沉积。优选的这样沉积的抗反射层23厚70nm至110nm，特别优选为90±10nm。
一种按此方式生产出的吸收管在一个真空加热装置里在550℃时加热了250小时。真空腔里的压力在此加热期间小于1×10-4mbar。在250小时之后将加热装置断开。在将试样冷却到100℃以下之后使真空腔室通风并取出试样。接着对试样进行了光谱测量，其中可以确定太阳光谱AM 1.5direkt和波长范围350-2500nm的整体太阳光吸收率为95.5％±0.5％。对于基质温度为400℃的热发射率已求出为8％±2％。这由光谱测量计算出的热发射率接着通过一种热损失测量进行了校验。为此这种涂层管子设置一个抽成真空的玻璃外壳并从里面进行了加热。通过热损失测量可以证实计算的发射率的精度为±1％。
附图标记列表
1.钢管
2.载热流体
10抛物面槽形集光器
11抛物面反射器
12支承结构
13吸收管
14支架
20辐射选择性的吸收涂层
21在红外范围里反射的层
22吸收层
23抗反射层
24a第一阻挡层
24b第二阻挡层
24c第三阻挡层

Claims (42)

1.辐射选择性的吸收涂层(20)，尤其是用于抛物面槽形集光器(10)的吸收管(13)，吸收涂层具有在红外范围里反射的层(21)、至少一个布置在该反射层(21)之上的吸收层(22)并具有布置在吸收层(22)之上的抗反射层(23)，其中反射层(21)布置在至少两个阻挡层上。
2.按权利要求1所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述至少两个阻挡层中的第一阻挡层(24a)由热产生的氧化物组成，而所述至少两个阻挡层中的第二阻挡层(24b)由AlxOy化合物组成，其中x可以取值1或2，y可取值1、2或3。
3.按权利要求1或2所述的吸收涂层(20)，其特征在于，在反射层(21)和吸收层(22)之间设有第三阻挡层(24c)。
4.按权利要求3所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述第三阻挡层(24c)由AlxOy化合物组成，其中x可取值1或2，y可取值1、2或3。
5.按上述权利要求之一所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述第二和/或第三阻挡层(24b，24c)的厚度为20至100nm。
6.按上述权利要求之一所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述第二和第三阻挡层(24b，24c)的厚度是不同的。
7.按上述权利要求之一所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述吸收层(22)由金属陶瓷材料组成。
8.按上述权利要求之一所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述在红外范围里反射的层(21)具有金、银、铂或者铜，或者由金、银、铂或铜组成。
9.按上述权利要求之一所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述反射层(21)的厚度为50nm至150nm。
10.按权利要求9所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述反射层(21)的厚度为90至130nm。
11.按权利要求9所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述反射层(21)的厚度为50-100nm。
12.按权利要求11所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述反射层(21)的厚度为50nm至80nm。
13.按上述权利要求之一所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述第一阻挡层(24a)包含有铁氧化物。
14.按上述权利要求之一所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述第一阻挡层(24a)包含有铬氧化物。
15.按权利要求13和14所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述第一阻挡层(24a)是铬铁氧化物层。
16.按上述权利要求之一所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述吸收层(22)的厚度为60nm至140nm。
17.按上述权利要求之一所述的吸收涂层(20)，其特征在于，所述抗反射层(23)的厚度为60nm至120nm。
18.吸收管(13)，尤其用于抛物面槽状集光器，具有由钢制成的管子(1)，在管子外侧上施加了辐射选择性的吸收涂层(20)，该涂层具有至少一个在红外范围里反射的层(21)、至少一层布置在该反射层(21)之上的吸收层(22)和布置在吸收层(22)之上的抗反射层(23)，其中在钢管(1)和反射层(21)之间设有至少两个阻挡层，其中施加在钢管(1)上的第一阻挡层(24a)由热产生的氧化物组成，而施加在第一阻挡层(24a)上的第二阻挡层(24b)由一种AlxOy化合物组成，其中x可以取值1或2，y可取值1、2或3。
19.按权利要求18所述的吸收管(13)，其特征在于，在反射层(21)和吸收层(22)之间设有第三阻挡层(24c)。
20.按权利要求19所述的吸收管(13)，其特征在于，所述第三阻挡层(24c)由AlxOy化合物组成，其中x可取值1或2，y可取值1、2或3。
21.吸收管(13)的制造方法，具有以下步骤：
借助于热氧化将第一氧化物阻挡层(24a)施加在钢管上，
借助于铝的物理气相沉积(PVD)在输入氧的情况下施加第二阻挡层(24b)，
借助于金、银、铂或铜的物理气相沉积施加在红外范围里反射的层(21)，
借助于铝和钼的同时的物理气相沉积施加吸收层(22)，
借助于硅的物理气相沉积在输入氧的条件下施加抗反射层(23)。
22.按权利要求21所述的方法，其特征在于，所述钢管在热氧化之前进行抛光。
23.按权利要求22所述的方法，其特征在于，借助于抛光使钢管获得小于0.2μm的表面粗糙度Ra。
24.按权利要求21至23中之一所述的方法，其特征在于，所述第一阻挡层(24a)的施加厚度为15nm至50nm。
25.按权利要求21至24中之一所述的方法，其特征在于，所述物理气相沉积在环境压力小于5×10-4mbar时实施。
26.按权利要求21至25中之一所述的方法，其特征在于，所述管子在物理气相沉积时旋转地在靶子旁经过，该靶子具有相应要施加的物质。
27.按权利要求21至26中之一所述的方法，其特征在于，所述采用一种喷镀法用于物理气相沉积。
28.按权利要求21至27中之一所述的方法，其特征在于，第二阻挡层(24b)的施加厚度为30nm至65nm。
29.按权利要求21至28中之一所述的方法，其特征在于，作为在红外范围里反射的层(21)沉积银层，其厚度为90nm至130nm。
30.按权利要求21至29中之一所述的方法，其特征在于，在施加了在红外范围里反射的层(21)之后借助于铝的物理气相沉积在输入氧的情况下施加第三阻挡层(24c)。
31.按权利要求30所述的方法，其特征在于，所述第三阻挡层(24c)的施加厚度小于或等于50nm。
32.按权利要求21至31中之一所述的方法，其特征在于，在输入氧的条件下铝成分沉积在吸收层(22)里。
33.按权利要求32所述的方法，其特征在于，相对于沉积的铝成分来说低于化学计算量地来进行氧的添加，因而在吸收层(22)里保留未氧化的铝成分。
34.按权利要求33所述的方法，其特征在于，所述未氧化的铝成分在吸收层(22)中相对于吸收层(22)的总成分组成来说小于10％(体积)。
35.按权利要求21至34中之一所述的方法，其特征在于，所述钼成分的沉积相对于铝成分和/或铝氧化物成分的沉积来说在吸收层(22)里可以变化地实施。
36.按权利要求33所述的方法，其特征在于，在施加吸收层(22)时钼成分相对于铝成分和/或铝氧化物成分被降低。
37.按权利要求30所述的方法，其特征在于，在吸收层(22)里的钼成分从30％-70％(体积)降低到10％-30％(体积)。
38.按权利要求21至37中之一所述的方法，其特征在于，所述吸收层(22)的施加厚度为70nm至140nm。
39.按权利要求21至37中之一所述的方法，其特征在于，所述抗反射层(23)的施加厚度为70nm至110nm。
40.运行具有吸收管(13)的抛物面槽形集光器的方法，载热介质(2)流过该吸收管(13)，其特征在于，应用了所述具有辐射选择性的吸收涂层(20)的吸收管(13)，该吸收涂层具有至少一个在红外范围里反射的层(21)、至少一个布置在该反射层(21)之上的吸收层(22)和布置在该吸收层(22)之上的抗反射层(23)，其中在吸收管(13)和反射层(21)之间设有至少两个阻挡层，其中朝向吸收管(13)的第一阻挡层(24a)由热产生的氧化物组成，而施加在第一阻挡层(24a)上的第二阻挡层(24b)由AlxOy化合物组成，其中x可取值1或2，y可取值1、2或3；而且使沸点为＜110℃的载热流体流过吸收管(13)。
41.按权利要求40所述的方法，其特征在于，应用水作为载热流体。
42.按权利要求40或41所述的方法，其特征在于，将所述吸收管(13)的运行温度调整到450℃至550℃。
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