CN101165476B

CN101165476B - 集成电路检测装置

Info

Publication number: CN101165476B
Application number: CN 200610096852
Authority: CN
Inventors: 周文进; 陈�峰
Original assignee: Suzhou Junhua Precision Machinery Co Ltd
Current assignee: Suzhou Junhua Precision Machinery Co Ltd
Priority date: 2006-10-20
Filing date: 2006-10-20
Publication date: 2011-07-13
Anticipated expiration: 2026-10-20
Also published as: CN101165476A

Abstract

本发明涉及一种集成电路检测装置。在基板上设有滑动平台和定位装置，滑动平台靠连接件安装有视觉检测装置，定位装置包含有夹持机构，其中心宽度可调，同时能实现升降，视觉检测装置、滑动平台、定位装置，各通过一驱动源驱动，驱动源带动视觉检测装置内的可动检测头、夹持机构产生运动。本发明通过线性扫描的检测头来配合夹持机构，能适应多种类型的集成电路，不仅提高了扫描分辨率，且整个过程一气呵成，除了可检测刻字字体的刻印质量外，还能检测集成电路灌胶面外部的瑕疵，避免不良品加入下道工序，造成产品易破裂、使冲模及传送结构受到损坏。

Description

集成电路检测装置

技术领域

本发明涉及一种检测装置，特别是用于集成电路的检测装置，尤其是对集成电路激光刻印后的打印质量以及集成电路表面缺陷的检测装置，属于集成电路制造技术领域。

背景技术

集成电路制造过程中，通常会使用到激光刻印，并且需要使用检测系统来确认激光刻印的质量以及检测原集成电路成品表面缺陷。而视觉检测是目前市场上常用的方式，检测头是固定式，因此，一次性检测的范围受到限制。也就是说，如果集成电路的产品要全部检查，则一定要分成多段，这样就影像了激光打字机的产出速度；而且扫描分辨率不高，不能根据检测产品的类型来实现微调。此外，这类设施对产品的外观瑕疵不能作好的检测，同一种检测装置只能适应同一种类型的集成电路。

发明内容

本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种集成电路检测装置。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

集成电路检测装置，包括有基板，其中：基板上设有滑动平台、定位装置，滑动平台靠连接件安装有视觉检测装置，定位装置包含有夹持机构，其中心宽度可调，同时能实现升降，视觉检测装置、滑动平台、定位装置，各通过一驱动源驱动，驱动源带动视觉检测装置内的可动检测头、夹持机构产生运动。

上述的集成电路检测装置，其中：视觉检测装置包括有可动检测头与离子风机，可动检测头上有支撑块，支撑块上设有线性滑轨座，线性滑轨座连接两根线性滑轨，线性滑轨安装在滑动平台上，离子风机安装在滑动平台下端，检测头沿线性滑轨实行线性滑动。

进一步地，上述的集成电路检测装置，其中：检测头上设有调焦滑轨，其与手动旋纽配合，对检测头进行调焦。

更进一步地，上述的集成电路检测装置，其中：线性滑轨座后部有刻度表。

更进一步地，上述的集成电路检测装置，其中：滑动平台上设有传感器与动力传输装置，传感器为对照式传感器，动力传输装置为丝杆，其上连有同步带轮。

更进一步地，上述的集成电路检测装置，其中：丝杆的中部设有连接块，丝杆的两端分别有支撑座，两个支撑座的内侧分别有一个缓冲机构。

更进一步地，上述的集成电路检测装置，其中：视觉检测装置的驱动源为马达，安装在基板下的马达座内，马达轴端的同步带轮与丝杆一端上所设的另一同步带轮同步。

更进一步地，上述的集成电路检测装置，其中：基板上安装有线性滑轨，每根滑轨上都设有滑块，滑块上安装有夹持机构，夹持机构上有遮光片。

更进一步地，上述的集成电路检测装置，其中：线性滑块上连有侧板，侧板上两端各有一个安装孔，通过在孔中塞入轴承后将圆皮带轮装入；侧板外侧安装有扁形气缸、轴承座、对照式传感器，扁形气缸驱动夹持机构实现升降，轴承座通过其内设有轴承保证升降平稳。

更进一步地，上述的集成电路检测装置，其中：夹持机构的驱动源为安装在基板的两端的气缸。

更进一步地，上述的集成电路检测装置，其中：基板中心位置依次设有中心间隔机构、止动块，中心间隔机构为中心间隔块，其上设有快插式宽度调节块与接近传感器，止动块依靠升降汽缸实现升降。

再进一步地，上述的集成电路检测装置，其中：连接件为支柱，通过基板上滑动平台的孔与视觉检测装置连接。

本发明通过集成电路检测装置，通过线性扫描的检测头来配合夹持机构，能适应多种类型的集成电路。这不仅提高了扫描分辨率，且整个过程一气呵成，除了可检测刻字字体的刻印质量外，还能检测集成电路灌胶面外部的瑕疵，避免不良品加入下一道制作过程，造成产品易破裂、使冲模及传送结构受到损坏。本发明技术方案实施效果好，为集成电路制造加工技术领域的技术进步提供了有力支撑。

附图说明

本发明的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本发明技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本发明要求保护的范围之内。这些附图当中，

图1是本发明总体结构示意图；

图2是视觉检测装置结构示意图；

图3是定位装置结构示意图；

图中：1-滑动平台；2-检测头；3-离子风机；4-线性滑轨座；5a、5b-线性滑轨；6-手动旋纽；7-对照式传感器；8-丝杆；9-同步带轮；10-支撑座；11-马达座；12-滑块；13-侧板；14-夹持机构；15-止动块；16-中心间隔块；17-接近传感器；18-升降汽缸；19-位置传感器；20-马达；21-皮带；22-中间轴；23-支柱。

具体实施方式

如图1～3所示集成电路检测装置，包括有基板，其特征在于：基板上设有滑动平台1与定位装置，滑动平台1靠连接件安装有视觉检测装置，定位装置包含有夹持机构14，其中心宽度可调，同时能实现升降，视觉检测装置、滑动平台1、定位装置，各通过一驱动源驱动，因此通过各自的源驱动，分别带动视觉检测装置内的可动检测头2运动，夹持机构14实现开合、升降。连接件为支柱23，通过基板上滑动平台1的孔与视觉检测装置连接。

视觉检测装置包括有可动检测头2与离子风机3，可动检测头2上有支撑块，支撑块上设有线性滑轨5a、5b座4，线性滑轨5a、5b座4连接两根线性滑轨5a、5b，线性滑轨5a、5b安装在滑动平台1上，离子风机3安装在滑动平台1下端，检测头2依线性滑轨5a、5b实行线性滑动。同时，在检测头2上设有调焦滑轨，其与手动旋纽6配合，对检测头2进行调焦。通过线性滑轨5a、5b座4后部有刻度表，使用者能进一步对检测头2进行调焦。离子风机3可以随整个检测头2移动，对整个集成电路吹尘。

滑动平台1上设有传感器与动力传输装置，传感器为对照式传感器7，确保视觉检测装置的精确定位，动力传输装置为丝杆8，其上连有同步带轮9，为检测头2滑动提供动力。丝杆8的中部设有连接块，丝杆8的两端分别有支撑座10，两个支撑座10的内侧分别有一个缓冲机构。由于视觉检测装置的驱动源为马达20，安装在基板下的马达座11内，马达20轴端的同步带轮9与丝杆8一端上所设的另一同步带轮9同步。因此能够利用同步带实现转动的传输。

基板上安装有线性滑轨5a、5b，每根滑轨上都设有滑块12，滑块12上安装有夹持机构14，夹持机构14上有遮光片。线性滑块12上连有侧板13，侧板13上两端各有一个安装孔，通过在孔中塞入轴承后将圆皮带轮装入；侧板13外侧安装有扁形气缸、轴承座、对照式传感器7，扁形气缸驱动夹持机构14实现升降，轴承座通过其内设有轴承保证升降平稳。并且，夹持机构14的驱动源为安装在基板的两端的气缸，驱动夹持机构14由两侧相对中心夹紧滑动。基板中心位置依次设有中心间隔机构、止动块15，中心间隔机构为中心间隔块16，其上设有快插式宽度调节块与接近传感器17，止动块15依靠升降汽缸18实现升降。

针对不同宽度的集成电路成品，可以通过中心间隔机构调整夹持机构14的夹持距离，即通过装于中心间隔快上快插式宽度调节块进行适当调整，只要通过其上的定位孔可实现与中间间隔块对插。然后让基板上左右两侧的夹持机构14在气缸的驱动下，夹住调整后的快插式宽度调整块就适应了宽度定制要求。而且为了防止忘记安装宽度调节块，依靠间隔块上所安装的接近传感器17能及时告诉操作人员。

在上层检测头2滑动检测时，下层的集成电路成品需要固定不动的，因此通过止动块15当集成电路成品，由前道制程输送到此检测系统时，通过止动块15前侧的位置传感器19，感应到集成电路成品。其后的升降气缸驱动止动块15上升，从而挡住了集成电路成品的前进，这样左右两侧夹持机构14能对集成电路成品实现夹持，以便让上层检测系统方可进行检测。

集成电路成品的移动是靠安装于一侧的马达通过皮带21传送扭力于中间轴22实现的。中间轴22穿插于一对圆皮带轮上的，通过驱动圆皮带轮转动，使位于圆皮带21上的集成电路成品能够顺利移向下道制作工序。

检测头2采用的是线扫移动方式，也就是说就以往单一的传统定点检测而言，此集成电路检测装置实现了全方位线性扫描，同时为了适应目前市场上不同规格的集成电路成品，夹持定位机构达成了侧向距离调节，这样上层线性扫描与下层机构开合相统一，从而实现系统全检基础上的线扫描摄影效果，更好地对激光刻印质量以及集成电路成品表面缺陷进行检测，避免漏检造成后续制程的损失。

以上仅是本发明的具体应用范例，对本发明的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本发明权利保护范围之内。

Claims

1.集成电路检测装置，包括有基板，其特征在于：基板上设有滑动平台、定位装置，滑动平台靠连接件安装有视觉检测装置，定位装置包含有夹持机构，其中心宽度可调，同时能实现升降；所述的视觉检测装置、滑动平台、定位装置，各通过一驱动源驱动，驱动源带动所述视觉检测装置内的可动检测头、所述夹持机构产生运动；所述的视觉检测装置包括有所述可动检测头与离子风机，所述可动检测头上有支撑块，所述支撑块上设有线性滑轨座，所述线性滑轨座连接两根线性滑轨；所述线性滑轨安装在滑动平台上，所述离子风机安装在滑动平台下端，所述可动检测头沿所述线性滑轨实行线性滑动。

2.根据权利要求1所述的集成电路检测装置，其特征在于：所述滑动平台上设有传感器与动力传输装置，所述传感器为对照式传感器，所述动力传输装置为丝杆，所述丝杆上连有同步带轮。

3.根据权利要求2所述的集成电路检测装置，其特征在于：所述丝杆的中部设有连接块，所述丝杆的两端分别有支撑座，两个支撑座的内侧分别有一个缓冲机构。

4.根据权利要求2所述的集成电路检测装置，其特征在于：所述视觉检测装置的驱动源为马达，安装在基板下的马达座内，马达轴端的同步带轮与所述丝杆一端上所设的另一同步带轮同步。

5.根据权利要求1所述的集成电路检测装置，其特征在于：所述基板上安装有线性滑轨，每根所述线性滑轨上都设有滑块；所述滑块上安装有所述的夹持机构，所述夹持机构上有遮光片；所述滑块上连有侧板，侧板上两端各有一个安装孔，通过在孔中塞入轴承后将圆皮带轮装入；所述侧板外侧安装有扁形气缸、轴承座、对照式传感器，扁形气缸驱动所述夹持机构实现升降，轴承座通过其内设有轴承保证升降平稳。