CN101164110A - 像差检测装置及具有像差检测装置的光学拾取头装置 - Google Patents
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Abstract
第1偏振光全息元件(2)被分割成通过第1光束的第1区域(2a)、以及通过不包含光束的光轴的第2光束的第2区域(2b)和第3区域(2c)。利用由与通过光轴的径向的直线(D1)平行的分割直线(D2)及(D6);分割直线(D4);仅倾斜规定角度呈八字形状的分割直线(D3)及(D5);相反侧形成的分割直线(D7);以及第1偏振光全息元件(2)的圆弧(E1)和(E2)构成的各边界线,来划分第1区域(2a)。通过这样,能够提供提高像差误差信息的灵敏度,即使因跟踪控制时的物镜偏移而导致产生光束分离单元与光束的中心偏离,也减小像差误差信号的灵敏度变化,同时即使光束分离单元与光检测器产生光轴方向偏离而像差误差信号,也不产生偏置的像差检测装置;以及具有像差检测装置的光学拾取头装置。
Description
技术领域
本发明涉及检测聚焦光学系统中发生的像差用的像差检测装置及光学拾取头装置。
背景技术
近年来,随着信息量的增大,要求提高光盘的记录密度。光盘的高记录密度化,能够通过提高光盘的信息记录层的线记录密度或减小道间距来进行。为了应对该光盘的高记录密度化,必须缩小聚焦在该光盘的信息记录层上的光束的束径。
作为缩小光束的束径的方法,可以考虑采用光束的短波长化、以及增大作为对光盘进行记录重放的光学拾取头装置的聚焦光学系统的物镜的数值孔径(NA:Numerical Aperture)。
关于光束的短波长化,可以将光源从DVD(Digital Versatile Disc,数字通用光盘)一般利用的波长650nm的红色半导体激光器换成波长405nm的蓝紫色半导体激光器。
一般,在光盘中,为了防止尘埃及伤痕,保护信息记录层,用覆盖玻璃来覆盖信息记录层。因而,透过光学拾取头装置的物镜的光束通过覆盖玻璃,聚焦在它下面的信息记录层上,形成焦点。
若光束通过覆盖玻璃,则产生球差(SA:Spherical Aberration)。通常,将物镜设计成抵消该球差。但是,若覆盖玻璃的厚度偏离预定的值,则产生的问题是,聚焦在信息记录层上的光束将产生球差,束径增大,而不能正确读写信息。
另外,近年来,将信息记录层进行层叠而形成的多层光盘已经商品化,使得能够向光盘的厚度方向实现记录信息的高密度化。
在上述那样形成多层信息记录层的光盘中,由于从该光盘的表面(覆盖玻璃表面)到各信息记录层的厚度各不相同,因此光束通过光盘的覆盖玻璃时产生的球差对各信息记录层不相同。
再有,在高数值孔径(NA)的物镜中,球差的误差的影响大,产生导致信息读取精度下降的问题。因此,为了使用高数值孔径(NA)的物镜来实现高记录密度化,必须校正球差。
作为校正球差的技术,在例如日本国公开专利公报的特开2002-157771号公报(2002丰5月31日公开:以下为专利文献1)中揭示了一种校正球差的技术,该技术将从光盘反射并聚焦的回路的光束,利用全息元件,分离成靠近该光束的光轴的第1光束及其外侧的第2光束,利用第1光束的聚焦位置与第2光束的聚焦位置的不同,来检测球差,并根据该检测结果来校正球差。
下面,根据图24说明上述专利文献1中所述的光学拾取头装置的简要构成。
如图24所示,光学拾取头装置100中,将全息元件102、准直透镜103、以及物镜104配置在半导体激光器101的光束出射面与光盘106的光束反射面之间形成的光轴上,将光检测器107配置在上述全息元件102的衍射光的焦点位置。
在上述构成的光学拾取头装置100中,从半导体激光器101照射的光束作为0级衍射光通过全息元件102,利用准直透镜103变换成平行光之后,通过物镜104,聚焦在光盘106上的信息记录层106c或信息记录层106d上。
另外,从光盘106的信息记录层106c或信息记录层106d反射的光束按照物镜104及准直透镜103的顺序通过各构件,入射至全息元件102,用全息元件102进行衍射,聚焦在光检测器107上。上述光检测器107配置在全息元件102的+1级光的焦点位置。
上述光盘106由覆盖玻璃106a、基板106b、以及在覆盖玻璃106a与基板106b之间形成的2个信息记录层106c和106d构成。即,光盘106是双层光盘。因而,光学拾取头装置100通过使光束聚焦在信息记录层106c或信息记录层106d上,从各信息记录层106c或106d重放信息,另一方面向各信息记录层106c或106d记录信息。
下面,根据图25详细说明上述全息元件102。
上述全息元件102具有一分为三的3个区域102a、102b、102c。第1区域102a是用包含光轴的径向直线D101和以光轴为中心的第1半圆弧E101(半径r1)包围的区域,第2区域102b是用以光轴为中心的第2半圆弧E102(半径r2)和上述第1半圆弧E101(半径r1)和上述直线D101包围的区域。第3区域102c是用对于上述直线D101的与第1半圆弧E101及第2半圆弧E102相反侧的第3半圆弧E103(半径r2)和直线D101包围的区域。设全息元件102上的由物镜104的孔产生的有效半径104D的半径为r,这时通过设定为半径r1=0.7r,则球差误差信号为最大。
然而,在上述以往的光学拾取头装置100中,通过用以光轴为中心的圆弧(用物镜104的孔规定的光束有效半径104D的约70%的半径)来分离光束,能够使分离的光束的焦点位置偏移最大,以高灵敏度检测球差。
但是,具有的问题是,若由于跟踪控制时的物镜偏移而使光束与光束分离单元的中心位置偏离,则球差检测信号的灵敏度大大降低。
再有,没有考虑到关于为了检测焦点位置偏离而采用刀口法时的光束分离单元的调整方法。即,在采用刀口法时的光束分离单元的调整方法中,在从光束分离单元到光检测器之间的光轴方向有偏离时,由于焦点误差信号及球差检测信号分别发生偏置,因此为了使该偏置为0,通过旋转光束分离单元来进行但是具有的问题是,由于焦点误差信号的调整量与球差检测信号的调整量不一致,因此即使焦点误差信号的偏置消失,但球差检测信号仍残留有偏置。
再有,在解决该问题时,在采用存在焦点误差信号校正用的辅助受光区域的光检测器的光学拾取头装置中,具有的问题是,焦点误差信号也产生偏置。
本发明正是鉴于上述以往的问题而提出的,其目的在于通过优化光束的分离形状,在确保球差检测信号的灵敏度的绝对值(信号质量)之后,将跟踪控制时因物镜偏移而产生的球差检测信号的灵敏度变化抑制得足够小;还在于使光束分离单元旋转调整时的焦点误差信号的调整量与球差检测信号的调整量相等,将两偏置抑制得足够小;还在于提供在采用有辅助受光区域的光检测器的光学拾取头装置中能够解决上述该问题的像差检测装置及具有像差检测装置的光学拾取头装置。
发明内容
为了达到上述目的,本发明的像差检测装置,具有:将通过聚焦光学系统的光束分离成包含该光束的光轴的第1光束及不包含该光束的光轴的第2光束的光束分离单元;以及根据利用上述光束分离单元分离的2个第1光束及第2光束的焦点位置,检测上述聚焦光学系统的球差的球差检测单元,其中,上述光束分离单元被分割成通过上述第1光束的第1区域、以及通过不包含上述光束的光轴的第2光束的第2区域,同时上述第1区域利用由在与通过光轴的径向的直线平行的直线上的两端侧,分别形成的第1分割直线及第2分割直线;在比上述第1分割直线及第2分割直线的外周侧,与上述第1分割直线及第2分割直线平行形成的第3分割直线;从上述第1分割直线及第2分割直线的各端向着上述第3分割直线相互延伸形成、而且由相对于通过光轴的道方向的直线互相呈线对称并仅倾斜规定角度呈八字形状的直线对构成的第4分割直线及第5分割直线;相对于上述第1分割直线及第2分割直线在夹住通过光轴的径向直线的相反侧形成、而且与通过上述光轴的径向的直线平行的第6分割直线;以及上述第1分割直线与第6分割直线之间及上述第2分割直线与第6分割直线之间的、由光束分离单元的外周构成的各边界线来划分,同时上述第2区域由在夹住形成在光束分离单元的中间侧的上述第1区域的两侧形成的2个分区构成。
根据上述的发明,由于第1分割直线、第2分割直线、第3分割直线、以及第6分割直线与径向平行形成,因此不容易受到物镜偏移的影响,即使跟踪控制时发生物镜偏移,球差误差信号的灵敏度变化也小。因而,即使进行跟踪控制,也能够始终从高精度检测球差,进行校正。
另外,由于第4分割直线及第5分割直线具有相对于通过光轴的道方向的直线互相呈线对称并仅倾斜规定角度呈八字形状的直线对,因此追加在该区域得到的球差成分,所以球差误差信号的检测灵敏度升高。因而,不容易受到光学拾取头装置的光学系统中产生的散射光、或来自目标以外的信息记录层的无用光的影响,能够确保球差误差信号的信号质量。其结果,能够进行稳定的球差检测。
再有,由于第6分割直线相对于第1分割直线及第2分割直线在夹住通过光轴的径向直线的相反侧形成,而且与通过上述光轴的径向的直线平行,因此在用双刀口法检测焦点误差信号的情况下,在例如通过旋转光束分离单元来调整从光束分离单元到光检测器之间的光轴方向的偏离时,能够减轻这时的焦点误差信号与球差误差信号的调整量的偏离。
其结果,在从光束分离单元到光检测器之间发生光轴方向的偏离、焦点误差信号及球差误差信号中产生偏置时,通过进行光束分离单元的旋转调整,对于焦点误差信号及球差误差信号的任一个信号,也能够减轻偏置。
为了达到上述目的,本发明的光学拾取头装置,具有:光源;使从上述光源照射的光束聚焦在光记录媒体上的聚焦光学系统;将通过上述聚焦光学系统的光束分离成包含该光束的光轴的第1光束、以及不包含该光束的光轴的第2光束的光束分离单元;根据利用上述光束分离单元分离的2个上述第1光束及第2光束的焦点位置,检测上述聚焦光学系统的球差的球差检测单元;以及将利用上述球差检测单元检测的球差进行校正的球差校正单元,上述光束分离单元被分割成通过上述第1光束的第1区域、以及通过不包含上述光束的光轴的第2光束的第2区域,同时上述第1区域利用由在与通过光轴的径向的直线平行的直线上的两端侧,分别形成的第1分割直线及第2分割直线;在比上述第1分割直线及第2分割直线的外周侧,与上述第1分割直线及第2分割直线平行形成的第3分割直线;从上述第1分割直线及第2分割直线的各端向着上述第3分割直线相互延伸形成、而且由相对于通过光轴的道方向的直线互相呈线对称,并仅倾斜规定角度呈八字形状的直线对构成的第4分割直线及第5分割直线;相对于上述第1分割直线及第2分割直线在夹住通过光轴的径向直线的相反侧形成、而且与通过上述光轴的径向的直线平行的第6分割直线;以及上述第1分割直线与第6分割直线之间及上述第2分割直线与述第6分割直线之间的、由光束分离单元的外周构成的各边界线来划分,同时上述第2区域由在夹住形成在光束分离单元的中间侧的上述第1区域的两侧形成的2个分区构成。
根据上述的发明,通过对使用有辅助受光区域的像差检测装置的光学拾取头装置采用上述光束单元,从而在通过旋转光束分离单元来调整从光束分离单元到球差检测单元之间的光轴方向的偏离时,减轻这时的焦点误差信号与球差误差信号的调整量的偏离,通过这样能够提供容易调整光束分离单元、廉价的光学拾取头装置。
另外,为了达成上述目的,本发明的像差检测装置,具有:将通过聚焦光学系统的光束分离成包含该光束的光轴的第1光束、以及从上述光轴来看在上述第1光束的外侧的第2光束的分离单元;以及根据利用上述分离单元分离的光束的检测单元上的照射位置,检测上述聚焦光学系统的球差的球差检测单元,其中,将上述光轴与第2光束的上述检测单元上的照射位置的最短距离,设定为比从具有多个信息记录层的光记录媒体的非重放层产生的无用反射光的照射半径要长,同时上述球差检测单元生成表示第2光束的焦点位置的信号,同时生成球差误差信号。
根据上述的发明,能够不受到从具有多个信息记录层的光记录媒体(多层盘片)的非重放层产生的无用反射光的影响,而检测球差误差信号,在多层盘片的记录重放中,能够检测更正确的球差误差信号,能够提供高可靠性的像差检测装置,进而能够提供高可靠性的光学拾取头装置。
根据以下所示的记载,将完全清楚本发明的进一步的其它的目的、特征及优点。另外,通过参照附图的以下说明,将明白本发明的好处。
附图说明
图1所示为本发明的光学拾取头装置的一个实施形态,是表示光学拾取头装置中的第2偏振光全息元件的构成平面图。
图2所示为上述光学拾取头装置的简要构成的剖视图。
图3(a)所示为上述光学拾取头装置中使用的光集成单元的平面图。
图3(b)所示为上述光学拾取头装置中使用的光集成单元的剖视图。
图4所示为上述光学拾取头装置中使用的光检测器,是表示在没有焦点偏离及球差的状态下的光检测器上的聚焦点的聚焦状态的平面图。
图5所示为上述光学拾取头装置中使用的光检测器,是表示在没有球差的状态下产生焦点偏离时的光检测器上的聚焦点的聚焦状态的平面图。
图6所示为上述光学拾取头装置中使用的光检测器,是表示在没有焦点偏离的状态下产生球差时的光检测器上的聚焦点的聚焦状态的平面图。
图7(a)所示为上述光学拾取头装置中的、球差误差信号与光盘的覆盖玻璃厚度变化的关系的曲线图。
图7(b)所示为以往例的光学拾取头装置中的、球差误差信号与光盘的覆盖玻璃厚度变化的关系的曲线图。
图8(a)所示为上述光学拾取头装置中的、球差误差信号与光盘的覆盖玻璃厚度变化的关系的曲线图。
图8(b)所示为上述光学拾取头装置中的、球差误差信号与光盘的覆盖玻璃厚度变化的关系的曲线图。
图9所示为上述光学拾取头装置中的、球差误差信号与光盘的覆盖玻璃厚度变化的关系的曲线图。
图10(a)所示为上述光学拾取头装置中的、球差误差信号与光盘的覆盖玻璃厚度变化的关系的曲线图。
图10(b)所示为上述光学拾取头装置中的、球差误差信号与光盘的覆盖玻璃厚度变化的关系的曲线图。
图11所示为上述光学拾取头装置中的、球差误差信号与光盘的覆盖玻璃厚度变化的关系的曲线图。
图12(a)所示为在将上述第2偏振光全息元件进行旋转调整的状态下的光检测器上的聚焦点的聚焦状态的平面图。
图12(b)所示为在将作为比较例的第2偏振光全息元件进行旋转调整的状态下的光检测器上的聚焦点的聚焦状态的平面图。
图13(a)所示为图12(a)的情况下的球差误差信号与光盘的覆盖玻璃厚度变化的关系的曲线图。
图13(b)所示为图12(b)的情况下在第2偏振光全息元件与光检测器之间有光轴方向偏离、进行第2偏振光全息元件旋转调整时的球差误差信号与光盘的覆盖玻璃厚度变化的关系的曲线图。
图14(a)所示为产生焦点偏离时的光检测器上的聚焦点的聚焦状态的平面图。
图14(b)所示为产生焦点偏离时的光检测器上的聚焦点的聚焦状态的平面图。
图15所示为本发明的光学拾取头装置的其它实施形态,是表示上述光学拾取头装置的简要构成的剖视图。
图16(a)所示为上述光学拾取头装置中使用的光集成单元的平面图。
图16(b)所示为上述光学拾取头装置中使用的光集成单元的剖视图。
图17(a)所示为上述光学拾取头装置中使用的光检测器,是表示在没有焦点偏离及球差的状态下的光检测器上的聚焦点的聚焦状态的平面图。
图17(b)所示为在聚焦误差信号曲线产生偏置的状态下、产生焦点偏离时的光检测器上的聚焦点的聚焦状态的平面图。
图18所示为用上述光学拾取头装置的光检测器检测的聚焦误差信号曲线的曲线图。
图19(a)所示为在使用实施形态1的第2偏振光全息元件时用光检测器检测的聚焦误差信号曲线的曲线图。
图19(b)所示为在使用实施形态2的第2偏振光全息元件时用光检测器检测的聚焦误差信号曲线的曲线图。
图20所示为上述光学拾取头装置中的第2偏振光全息元件的构成平面图。
图21所示为在与图17(b)同样产生焦点偏离时的光检测器上的聚焦点的聚焦状态的平面图。
图22所示为使用上述第2偏振光全息元件的光学拾取头装置中检测的聚焦误差信号曲线,是表示将改变直线w3的长度时进行对比的曲线图。
图23所示为使用上述第2偏振光全息元件的光学拾取头装置中的、球差误差信号与光盘的覆盖玻璃厚度变化的关系的曲线图。
图24所示为以往技术,是表示光学拾取头装置的简要构成的剖视图。
图25所示为上述光学拾取头装置中的第2偏振光全息元件的详细结构的平面图。
图26所示为使用实施形态1的第2偏振光全息元件时、光检测器上的聚焦点的聚焦状态的平面图。
图27所示为使用实施形态2的第2偏振光全息元件时、光检测器上的聚焦点的聚焦状态的平面图。
标号说明
1半导体激光器(光源)
2第1偏振光全息元件(光束分离单元)
3准直透镜
4物镜(聚焦光学系统)
6光盘(光记录媒体)
6a覆盖玻璃
7光检测器(球差检测单元)
10光学拾取头装置
11光束
12第2偏振光全息元件
20光集成单元
30光学拾取头装置
32第1偏振光全息元件(光束分离单元)
37光检测器
40光集成单元
D1包含光轴的径向的直线
D2~D12分割直线
E1~E4圆弧(分割线)
FES焦点(聚焦)误差信号
M无用反射光
OZ光轴
SAES球差误差信号
SP1~SP3聚焦点
具体实施方式
[实施形态1]
以下,根据图1至图14、及图26,说明本发明的一个实施形态。另外,在本实施形态中,对于将本发明的像差检测装置用于对作为光记录媒体的光盘通过光学方式进行信息的记录和重放的光记录重放装置中具有的光学拾取头装置的例子进行说明。
本实施形态的光记录重放装置,如图2所示,具有:对光盘(光记录媒体)6进行旋转驱动的未图示的主轴电动机;对光盘6进行记录重放信息的光学拾取头装置10;以及对上述主轴电动机及光学拾取头装置10进行驱动控制用的未图示的驱动控制部及控制信号生成电路。
上述光学拾取头装置10具有:对光盘6照射光束用的半导体激光器(光源)1、偏振光衍射元件22、准直透镜3、物镜(聚焦光学系统)4、以及光检测器(球差检测单元)7。另外,偏振光衍射元件22及光检测器(像差检测单元)7,构成本发明的像差检测装置。
在上述光学拾取头装置10中,从安装在光集成单元20中的半导体激光器1射出的光束,利用准直透镜3形成平行光后,通过物镜4聚焦在光盘6上。然后,从光盘6反射的光束(以下,将这称为「返回光」)再一次通过物镜4及准直透镜3,在安装在光集成单元20中的光检测器7上接受光。
准直透镜3利用球差校正机构沿光轴方向(Z方向)驱动,来校正光学拾取头装置10的光学系统中产生的球差。
上述光盘6由覆盖玻璃6a、基板6b、以及在覆盖玻璃6a与基板6b之间形成的2个信息记录层6c和6d构成。即,光盘6是双层光盘,光学拾取头装置10通过使光束聚焦在信息记录层6c或信息记录层6d上,从各信息记录层6c或6d重放信息,向各信息记录层6c或6d记录信息。
即,在上述构成的光学拾取头装置10中,从半导体激光器1照射的光束作为0级衍射光通过偏振光衍射元件22,利用准直透镜3变换成平行光之后,通过物镜4,聚焦在光盘6上的信息记录层6c或信息记录层6d上。
另外,从光盘6的信息记录层6c或信息记录层6d反射的光束按照物镜4及准直透镜3的顺序通过各构件,入射至偏振光衍射元件22,用偏振光衍射元件22进行衍射,聚焦在光检测器7上。
因而,在以下的说明中,光盘6的信息记录层表示信息记录层6c或信息记录层6d的某一层,设光学拾取头装置10能够使光束聚焦在某一个信息记录层6c或6d上,对信息进行记录或重放。
上述未图示的控制信号生成电路,根据从上述光检测器7得到的信号,生成跟踪误差信号、焦点误差信号(以下,称为「聚焦误差信号」)FES及球差误差信号SAES。跟踪误差信号向跟踪驱动电路输出,聚焦误差信号FES向聚焦驱动电路输出,球差误差信号SAES向球差校正机构驱动电路输出。然后,在各驱动电路中,根据各误差信号进行各构件的驱动控制。
在未图示的聚焦驱动电路中,输入聚焦误差信号FES,根据该聚焦误差信号FES的值,对物镜驱动机构进行驱动控制,使物镜4沿光轴方向移动,来校正该物镜4的焦点位置偏离。
另外,在未图示的球差校正机构驱动电路中,输入球差误差信号SAES,根据该球差误差信号SAES的值,对未图示的球差校正用执行器进行驱动控制,使准直透镜3沿光轴方向移动,来校正光学拾取头装置10的光学系统中产生的球差。
图3(a)及图3(b)所示为图2中图示的光集成单元20的构成图。另外,图3(a)是从光轴OS(参照图2)的方向(z方向)来看的平面图。另外,为了避免图形复杂,在图3(a)中,省略了偏振光分光镜5及偏振光衍射元件22及1/4波片23。
上述光集成单元20如图3(a)及图3(b)所示,具有半导体激光器1、光检测器7、偏振光分光镜5、偏振光衍射元件22、1/4波片23、以及壳体24。
上述壳体24利用心柱24a及底座24b及罩壳24c构成。在罩壳24c上形成使光通过用的窗口部24d。在上述壳体24内,安装半导体激光器1及光检测器7。图3(b)是为了表示壳体24内的半导体激光器1及光检测器7的配置关系、而对于图3(a)所图示的z方向(光轴方向)从y方向来看的侧面图。
如图3(b)所示,光检测器7安装在心柱24a上,在心柱24a的一侧部分设置半导体激光器1。为了确保从半导体激光器1射出的光束11的光路、及用光检测器7受光的返回光的光路,这样配置半导体激光器1的光束射出部及光检测器7的受光部,使其包含在罩壳24c上形成的窗口部24d的区域中。
下面,根据图3(a)及图3(b),说明各构成构件的配置。另外,在以下的说明中,为了说明方便起见,将偏振光分光镜5中的从半导体激光器1射出的光束11入射的面作为偏振光分光镜5的光束入射面,将偏振光分光镜5中的返回光入射的面作为偏振光分光镜5的返回光入射面。另外,将偏振光衍射元件22中的从半导体激光器1射出的光束11入射的面作为偏振光衍射元件22的光束入射面,将偏振光衍射元件22中的返回光入射的面作为偏振光衍射元件22的返回光入射面。
如图3(b)所示,上述偏振光分光镜5配置在壳体24上。具体来说,上述偏振光分光镜5的光束入射面配置在壳体24上,使其覆盖上述窗口部24d。
上述偏振光衍射元件22配置在从半导体激光器1射出的光束的光轴上,而且使其光束入射面与上述偏振光分光镜5的返回光入射面相对。
上述半导体激光器1使用射出波长λ=405nm的光束11的半导体激光器。另外,在本实施形态中,该光束11是对于图示的光轴方向(z方向)具有x方向的偏振光振动面的直线偏振光(P偏振光)。从半导体激光器射出的光束11入射至偏振光分光镜5。
上述偏振光分光镜5具有偏振光分光镜(PBS)面5a、以及反射镜(反射面)5b。
本实施形态的上述偏振光分光镜(PBS)面5a具有下述那样的特性,即,使得对于图示的光轴方向(z方向)具有x方向的偏振光振动面的直线偏振光(P偏振光)透过,而使得具有垂直于该偏振光振动面的偏振光振动面的、即对于图示的光轴方向(z方向)具有y方向的偏振光振动面的直线偏振光(S偏振光)反射。
上述偏振光分光镜(PBS)面5a配置在从上述半导体激光器1射出的具有P偏振光的光束的光轴上,使该光束11透过。上述反射镜5b配置成平行于偏振光分光镜(PBS)面5a。
入射至偏振光分光镜(PBS)面5a的上述光束11(P偏振光)照原样透过偏振光分光镜(PBS)面5a。透过偏振光分光镜(PBS)面5a的上述光束11接着入射至上述偏振光衍射元件22。
下面,详细说明上述偏振光衍射元件22。上述偏振光衍射元件22由第1偏振光全息元件(光束分离单元)2及第2偏振光全息元件12构成。
上述第1偏振光全息元件2及第2偏振光全息元件12都配置在光束11的光轴上。第1偏振光全息元件2这样构成,它比上述第2偏振光全息元件12配置在半导体激光器1一侧。另外,不一定限于此,例如也可以这样构成,将第2偏振光全息元件12比上述第1偏振光全息元件2配置在半导体激光器1一侧。
上述第2偏振光全息元件12使P偏振光产生衍射,使S偏振光透过,另外上述第1偏振光全息元件2使S偏振光产生衍射,使P偏振光透过。这些偏振光的衍射是利用各偏振光全息元件2及12上形成的沟槽结构(光栅)进行的,衍射角度由上述光栅的间距(以下,将它称为「光栅间距」)来规定。
上述第2偏振光全息元件12形成检测跟踪误差信号(TES)用的三光束生成用的全息图形。
即,若透过偏振光分光镜(PBS)面5a的P偏振光的光束11入射至构成上述偏振光衍射元件22的第1偏振光全息元件2,则进行衍射,形成检测跟踪误差信号(TES)用的三光束(主光束及2个副光束),从该第1偏振光全息元件2射出。另外,作为用三光束的TES检测方法,能够采用三光束法、差动推挽(DPP)法、以及相移DPP法等。
上述第1偏振光全息元件2使入射的光中的S偏振光产生衍射,使P偏振光照原样透过。
即,从第1偏振光全息元件2射出的P偏振光的光束11入射至第2偏振光全息元件12,产生衍射。用第2偏振光全息元件12进行了衍射的P偏振光的光束11入射至上述1/4波片23。另外,关于第1偏振光全息元件2的详细全息图形,将在后面叙述。
上述1/4波片23能够使直线偏振光入射、而变换成圆偏振光射出。因而,入射至1/4波片23的P偏振光的光束11(直线偏振光)变换成圆偏振光的光束,从光集成单元20射出。
从光集成单元20射出的圆偏振光的光束利用准直透镜3形成平行光之后,通过物镜4聚焦在光盘6上。然后,利用光盘6反射的光束、即返回光,再一次通过物镜4及准直透镜3,再一次入射至光集成单元20的上述1/4波片23。
入射至光集成单元20的1/4波片23的上述返回光是圆偏振光,利用该1/4波片23,变换成对于图示的光轴方向(z方向)具有y方向的偏振光振动面的直线偏振光(S偏振光)。S偏振光的返回光入射至上述第2偏振光全息元件12,照原样透过后,入射至上述第1偏振光全息元件2。
入射至上述第1偏振光全息元件2的S偏振光的返回光产生衍射成0级衍射光(非衍射光)、及±1级衍射光(衍射光),然后射出。该S偏振光的返回光入射至上述偏振光分光镜5,利用偏振光分光镜(PBS)面5a进行反射,再利用反射镜5b进行反射,从偏振光分光镜5射出。从偏振光分光镜5射出的该S偏振光的返回光用上述光检测器7受光。上述光检测器7配置在第1偏振光全息元件2的+1级光的焦点位置。另外,关于上述光检测器7的受光部图形,将在后面叙述。
用第2偏振光全息元件12形成的全息图形是使用三光束法或差动推挽法(DPP法)的跟踪误差信号(TES)的检测用的有规则的直线光栅。
上述第1偏振光全息元件2,如图1所示,具有一分为三的3个区域2a、2b、2c。
第1区域2a是用对于与包含光轴的径向垂直的直线D1平行的分割直线D2和D6(于直线D1的距离h2)及分割直线D4(与直线D1的距离h1、长度w1)、对于沿垂直于光轴的道方向(x方向)延伸的直线为轴对称而且仅倾斜规定角度(角度±θ的分割直线)D3和D5、对于直线D1平行的分割直线D7(与直线D1的距离h3)、以及以光轴为中心的圆弧E1和E2(半径r2)包围的区域。
第2区域2b是用分割直线D2~D6、以及以光轴为中心的圆弧E3(半径r2)包围的区域。另外,第3区域2c是用以光轴为中心的圆弧E4(半径r2)及分割直线D7包围的区域。
上述的分割线全部与光轴垂直。设通过区域2b的光束聚焦在光检测器7上的光点为SP1,同样,设通过区域2a的光束聚焦在光检测器上的光点为SP2,设通过区域2c的光束聚焦在光检测器7上的光点为SP3。
设第1偏振光全息元件2上的用物镜4的孔规定的光束的有效半径的半径为r时,设包含光轴的直线D1与分割直线D4的距离h1=0.6r,包含光轴的直线D1与分割直线D2的距离h2=0.3r,包含光轴的直线D1与分割直线D7的距离h3=0.125r,θ=±45deg,分割直线D4的长度w1=0.6r。半径r2考虑到物镜偏移及调整误差,设定为比半径r大得多。
图4所示为对于图2中的光盘6的覆盖玻璃6a的厚度,对上述准直透镜3在光轴方向进行位置调整的状态下以聚焦状态在信息记录层6c上聚焦时的、光检测器7上的光束,以便不因物镜4对聚焦光束产生球差。进一步还表示第1偏振光全息元件2的3个区域2a、2b、2c与+1级衍射光的前进方向的关系。另外,实际上,虽然第1偏振光全息元件2的中心位置设置在与光检测器7的受光部7a~7d的中心位置相对应的位置,但为了说明起见,图示中对于光轴方向(z方向)沿y方向偏离。
在去路光学系统中用第2偏振光全息元件12形成的3个光束(主光束、2个副光束)13用光盘4反射,在回路光学系统中利用第1偏振光全息元件2分离成非衍射光(0级衍射光)14、以及衍射光(+1级衍射光)15。
如图4所示,光检测器7用14个受光部7a~7n构成。光检测器7具有接受非衍射光(0级衍射光)14及衍射光(+1级衍射光)15中的、检测RF信号及伺服信号所必需的光束用的受光部。具体来说,形成第1偏振光全息元件2的3个非衍射光(0级衍射光)14、以及9个衍射光(+1级衍射光)15的共计12个光束。其中,非衍射光(0级衍射光)14设计为形成具有某种程度大小的光束,使得能够检测出利用推挽法的跟踪误差信号TES。在本实施形态中,为了使得上述非衍射光(0级衍射光)14的束径具有某种程度的大小,将光检测器7设置在相对于非衍射光(0级衍射光)14的聚焦点稍微向近前侧偏离的位置。另外,本发明不限定于此,也可以将光检测器7设置在相对于非衍射光(0级衍射光)14的聚焦点稍微向远离侧偏离的位置。
这样,由于具有某种程度大小的光束直径的光束聚焦在受光部7a~7d的边界部,因此通过进行调整,使得这4个受光部7a~7d的输出相等,从而能够进行非衍射光(0级衍射光)14与光检测器7的位置调整。
图5所示为根据图4的状态、在图2的物镜4接近光盘6时的光检测器7上的光束。由于物镜4接近光盘6,因而光束的束径增大。但是,没有发生光束从受光部7a~7d超出范围。
接着,用图4及图5说明伺服信号生成的动作。另外,这里将受光部7a~7n的输出信号表示为Sa~Sn。
首先,用非衍射光(0级衍射光)14检测出重放信号。即,重放信息RF可以用下式给出。
RF=Sa+Sh+Sc+Sd
跟踪误差信号TES可以用下式给出。
TES={(Sa+Sb)-(Sc+Sd)}-α{(Se-Sf)+(Sg-Sh)}
另外,式中,α设定成为了消除因物镜偏移或光盘倾斜而产生的偏置的最佳系数。
利用双刀口法检测出聚焦误差信号FES。即,聚焦误差信号FES可以用下式给出。
FES=(Si-Sj)-β(Sk-Sl)
另外,式中,β设定成为了消除因2光点间的光通量的不同而产生的偏置的最佳系数。
下面,说明聚焦误差信号FES的检测动作。
首先,考虑光盘6的信息记录层6c或信息记录层6d的任一个上焦点一致的情况。如图4所示,由于聚焦光点SP1聚焦在受光部7k与受光部71的边界线上,因此第1输出信号(Sk-Sl)为0。另外,由于聚焦光点SP3也聚焦在受光部7i与受光部7j的边界线上,因此第3输出信号(Si-Sj)也为0。因而,聚焦误差信号FES为0。
接着,考虑因光盘6接近或远离物镜4、而焦点位置从信息记录层6c或信息记录层6d偏离的情况。如图5所示,因聚焦光点SP1及聚焦光点SP3的形状分别产生变化,故第1输出信号(Sk-Sl)及第3输出信号(Si-Sj)分别输出与焦点偏离相当的值。因而,聚焦误差信号FES表示与焦点偏离相当的、0以外的值。
其结果,为了使焦点位置始终与信息记录层一致,只要使物镜4沿光轴方向移动,使得聚焦误差信号FES的输出始终为0即可。
接着,考虑光学拾取头装置10的光学系统中没有焦点偏离、而产生球差的情况。球差在光盘6的覆盖玻璃6a的厚度变化、或在信息记录层6c与信息记录层6d进行层间转移时产生。
例如,在覆盖玻璃6a的厚度变化而产生球差时,对于光束的光轴附近的光束与光束外周部的光束,其光束的焦点位置(光束直径为最小的位置)不同。因而,利用第1偏振光全息元件2的第1区域2a使光束的光轴附近的光束进行衍射,若产生球差,则检测光束的光轴附近的光束的焦点偏离的第2输出信号(Sm-Sn)的值、及检测光束外周部的光束的焦点偏离的第1输出信号(Sk-Sl)的值不是0,输出与球差量相对应的值。因产生球差而引起焦点位置偏离的方向对于光束内周部与光束外周部是反方向。因而,通过计算上述第1输出信号(Sk-Sl)的值与第2输出信号(Sm-Sn)的值的差信号,能够得到灵敏度更高的球差误差信号SAES。
即,球差误差信号SAES可以利用以下的运算得到。
SAES=(Sm-Sn)-γ(Sk-Sl)
下面,说明球差误差信号SAES的检测动作。
首先,考虑没有球差的情况。如图4所示,由于聚焦光点SP1聚焦在受光部7k与受光部71的边界线上,因此第1输出信号(Sk-Sl)为0。另外,由于聚焦光点SP2也聚焦在受光部7m与受光部7n的边界线上,因此第2输出信号(Sm-Sn)也为0。因而,球差误差信号SAES为0。
接着,考虑产生球差的情况。如图6所示,尽管没有焦点位置偏离,但聚焦光点SP1及聚焦光点SP2分别从聚焦状态变为散焦状态。因而,分别表示0以外的值。由于散焦方向对于聚焦光点SP1与聚焦光点SP2是反方向,因此通过采用这些信号的差信号,能够检测出灵敏度高的球差误差信号SAES。
再考虑在光学拾取头装置10的光学系统中残存若干焦点偏离的状态下产生球差的情况。在这种情况下,即使没有球差时,由于焦点偏离的影响,聚焦光点SP1及聚焦光点SP2分别成为散焦状态,因此第1输出信号(Sk-Sl)及第2输出信号(Sm-Sn)分别表示0以外的值。在焦点偏离小的范围内,由于第1输出信号(Sk-Sl)及第2输出信号(Sm-Sn)的变化分别可看成是近似直线,因此通过优化系数γ,能够除去焦点偏离对球差误差信号SAES的影响。另外,由于因球差而引起的散焦对于聚焦光点SP1与聚焦光点SP2是反方向,因此即使进行系数β的优化,球差误差信号SAES也不会没有输出。
但是,在多层盘片的记录重放中,来自非重放层的无用反射光入射至受光部7m、7n。图26中所示为来自多层盘片的非重放层的无用反射光M在光检测器7上形成的光点。
无用反射光M是以光轴为中心、半径R的圆形,聚焦在光检测器7上。当无用反射光M入射至受光部7m、7n时,若该无用反射光M具有一样的光强度分布,则不产生偏置,但由于实际上不是一样分布,因此入射至受光部7m的光通量与入射至受光部7n的光通量产生不平衡,产生偏置。因而,第2输出信号(Sm-Sn)产生偏置,对球差误差信号SAES1产生影响,不能进行正确的球差校正。另外,对于受光部7k及受光部7l,无用反射光M不聚焦的位置、即从光轴到受光部7k、7l的最短距离设定得比无用反射光M的半径R要长。
这里,球差误差信号SAES2能够利用来自不受无用反射光M的影响的受光部7k及受光部7l的信号(第2输出信号)生成。
SAES2=Sk-Sl
通过采用该运算方式,能够生成不受来自多层盘片的非重放层的无用反射光M的影响的球差误差信号SAES2。
接着,考虑在光学拾取头装置10的光学系统中残存焦点偏离的状态下产生球差的情况。在球差误差信号SAES2中,由于不采用第1输出信号与第2输出信号之差,因此存在的问题是,球差误差信号SAES2随焦点偏离而变化,不能正确检测球差。
为了抑制焦点位置偏离的影响,使用聚焦误差信号FES,利用下式生成球差误差信号SAES3。
SAES3=(Sk-Sl)-δ×FES
这时,只要决定常数δ,使得即使产生焦点偏离、但球差误差信号SAES3的变化变小即可。在因产生球差时的焦点偏离而使第2输出信号(Sk-Sl)产生偏置时,通过加减聚焦误差信号FES,能够使偏置减少。根据该运算方法,即使同时产生球差及焦点偏离,也能够进行正确的球差误差检测。
在以上的说明中,是假设光束的中心与第2偏振光全息元件12的中心一致时的情况。
在实际的光学拾取头装置10中,为了使光束聚焦在光盘6的信息记录层6c或信息记录层6d上形成的道上,进行使物镜4沿光盘6的径向(半径方向)移动、始终聚焦在道上的跟踪控制。
在第1偏振光全息元件2与物镜4一体制成时虽没有问题,但在分开安装在光学拾取头装置10上时,产生因跟踪控制而使光束的中心与第1偏振光全息元件2的中心不一致的状况。
这时,在采用以往的图25所示的分割形状的全息元件102时,本来分别应该在全息元件102的区域102a及区域102b中进行衍射的光束的一部分,分别在别的区域中进行衍射。这样,在光束的中心与全息元件102的中心有偏离的情况及无偏离的情况下,光检测器107的来自各区域102a及102b的电信号发生变化。因而,即使球差量一定,但球差误差信号SAES随光束的中心与全息元件102的中心的偏离量而变化
这里,图7(a)所示为使用本实施形态的第1偏振光全息元件2时的、球差误差信号SAES与光盘6的覆盖玻璃6a的厚度变化的关系的曲线图。另外,作为比较例,图7(b)所示为使用图25所示那样的全息元件102时的、球差误差信号SAES与光盘6的覆盖玻璃6a的厚度变化的关系的曲线图。另外,全息元件102的分割线的半径r1按照半径r1=0.7r进行计算,第1偏振光全息元件2的分割线之一的分割直线D4与包含光轴的直线D1的距离h1按照分割直线D4与包含光轴的直线D1的距离h1=0.6r进行计算。
图7(a)所示的曲线图表示第1偏振光全息元件2的中心与光束的中心没有偏离时、即偏离量为0μm时的球差误差信号SAES。另外,图7(b)所示的曲线图表示第1偏振光全息元件2的中心与光束的中心因跟踪控制而沿光盘6的径向偏离300μm时的球差误差信号SAES。由于物镜4的有效半径为半径r=1.5mm,因此300μm相当于有效半径的20%。
由上述图7(a)及图7(b)所示的曲线图可知,在用第1偏振光全息元件2的分割线分离光束时,即使第1偏振光全息元件2的中心与光束的中心偏离300μm,对球差误差信号SAES也几乎没有影响,但在用全息元件102的分割线分离光束时,因全息元件102的中心与光束的中心偏离,而球差误差信号SAES将受到明显影响。
另外,若比较球差误差信号SAES的信号灵敏度的绝对值,则可知,虽然用第1偏振光全息元件2的分割线分离光束时小于全息元件102的情况,但能够得到足够的灵敏度。
根据上述理由,为了尽量抑制因光轴沿光盘6的径向偏离而对球差误差信号SAES的影响,只要使用平行于径向的直线形成的分割形状即可。另外,由于在用全息元件102的分割线分离光束时,球差误差信号SAES的信号灵敏度最高,因此第1偏振光全息元件2的分割线必须近似于全息元件102的分割线。为了满足该条件,在设上述的笫1偏振光全息元件2上的由物镜4的孔规定的光束的有效半径的半径为r时,条件是设分割直线D4与包含光轴的直线D1的距离h1=0.6r,分割直线D2与包含光轴的直线D1的距离h2=0.3r,θ=±45deg,分割直线D4的长度w1=0.6r。
图8(a)所示为设分割直线D4与包含光轴的直线D1的距离h1为0.4r、0.6r、0.8时的、球差误差信号SAES与光盘6的覆盖玻璃6a的厚度变化的关系。由此可知,在分割直线D4与包含光轴的直线D1的距离h1为0.4r时,球差误差信号SAES的检测灵敏度减小。
另外,图8(b)中所示为设分割直线D4与包含光轴的直线D1的距离h1为0.8r、第1偏振光全息元件2的中心与光束的中心因跟踪控制而沿光盘6的径向偏离300μm时的球差误差信号SAES。与图8(a)所示的分割直线D4与包含光轴的直线D1的距离h1为0.6r的情况相比,分割直线D4与包含光轴的直线D1的距离h1为0.8r时,因第1偏振光全息元件2的中心与光束的中心偏离,而球差误差信号SAES将受到大的影响。根据以上情况,最好使分割直线D4与包含光轴的直线D1的距离h1为0.6r。
图9所示为设分割直线D2与包含光轴的直线D1的距离h2为0.4r、0.6r、0.8时的、球差误差信号SAES与光盘6的覆盖玻璃6a的厚度变化的关系。由图9可知,由于在分割直线D2与包含光轴的直线D1的距离h2为0.2r、0.4r时,球差误差信号SAES的检测灵敏度减小,因此最好使分割直线D2与包含光轴的直线D1的距离h2为0.3r。
图10(a)所示为设分割直线D4的长度w1为0.4r、0.6r、0.8时的、球差误差信号SAES与光盘6的覆盖玻璃6a的厚度变化的关系。可知,按照分割直线D4的长度w1为0.8r、0.6r、0.4r顺序,球差误差信号SAES的检测灵敏度减小。
另外,图10(b)中所示为设分割直线D4的长度w1为0.8r、第1f的中心与光束的中心因跟踪控制而沿光盘6的径向偏离300μm时的球差误差信号SAES。与图8(a)所示的分割直线D4与包含光轴的直线D1的距离h1为0.6r的情况相比,分割直线D4与包含光轴的直线D1的距离h1为0.8r时,因第1偏振光全息元件2的中心与光束的中心偏离将受到大的影响。根据以上情况,最好使分割直线D4的长度w1为0.6r。
图11中所示为使θ为45±deg、±90deg时的、球差误差信号SAES与光盘6的覆盖玻璃6a的厚度变化的关系。可知,通过使θ为45±deg,球差误差信号SAES的信号灵敏度将提高。
另外,由于是平行于径向的直线形成的分割形状,因此球差误差信号SAES不因第1偏振光全息元件2的中心与光束的中心偏离而受到影响。
下面,根据图4~图6、图12及图13,说明第1偏振光全息元件2的调整方法。
首先,如图2所示,使来自光盘6的返回光入射至第1偏振光全息元件2。接着,将第1偏振光全息元件2沿X、Y方向进行调整,使得通过第1偏振光全息元件2的非衍射光(0级衍射光)14如图4所示,均匀入射至光检测器7a~7d,通过这样调整第1偏振光全息元件2的中心与光轴的偏离。
再有,在第1偏振光全息元件2是图1所示那样的分割形状时,上述光束11在第1偏振光全息元件2上沿X方向移动时,从第1区域2a检测的光通量与从第2区域2b检测的光通量的比例变化。另外,光束11在第1偏振光全息元件2上沿Y方向移动时,将从第1区域2a检测的光通量与从第2区域2b检测的光通量相加的光通量、与从第3区域2c检测的光通量的比例变化。因而,能够利用这些关系,使第1偏振光全息元件2的中心位置与光束11的中心位置对准。其结果,由于不需要形成位置对准的分割图形,因此能够利用光束11的全部区域的双刀口法来检测聚焦误差信号FES,所以能够进行稳定的聚焦控制。
另外,在第1偏振光全息元件2与光检测器7之间产生光轴方向的偏离时,与图5的情况相同,聚焦光点SP1、SP2、SP3成为散焦状态。即,第1输出信号(Sk-Sl)及第3输出信号(Si-Sj)都不是0,因而
FES=(Si-Sj)-β(Sk-Sl)
不为0,这成为聚焦误差信号fes的偏置。作为该调整方法,已知有旋转第2偏振光全息元件12来进行调整的方法。
图12(b)所示为比较例,是在第1偏振光全息元件2的形状中、分割直线7与光轴一致时(包含光轴的直线D1与分割直线D7的距离h3为0时)的第1偏振光全息元件82中的旋转调整的说明图。
通过旋转第1偏振光全息元件82,则聚焦光点SP1、SP2、SP3以非衍射光(0级衍射光)14的聚焦光点为中心进行旋转。由于聚焦光点SP1、SP2与聚焦光点SP3夹住旋转中心相对面,因此各聚焦光点的移动量的Y分量为正负相反。通过这样,第1输出信号(Sk-Sl)与第3输出信号(Si-Sj)反向增减,其结果,存在聚焦误差信号FES为0的旋转量。
但是,即使调整聚焦误差信号FES为0,但球差误差信号SAES也不同时为0,会产生偏置。图13(b)所示为使用图12(b)所示的全息元件形状的第1偏振光全息元件82时的、产生覆盖玻璃6a的厚度变化时的球差误差信号SAES。横轴是覆盖玻璃6a的厚度变化,纵轴是旋转调整后的球差误差信号SAES。另外,表示第1偏振光全息元件82与光检测器7之间产生光轴方向偏离0.2mm、进行旋转调整时的球差误差信号SAES。+0.2mm的曲线表示第1偏振光全息元件82与光检测器7之间沿远离0.2mm的方向偏离的情况,-0.2mm的曲线表示第1偏振光全息元件82与光检测器7之间沿接近0.2mm的方向偏离的情况。由该图可知,若旋转调整光轴方向偏离,则专没有覆盖玻璃6a的厚度变化时,球差误差信号SAES将产生偏置。
下面,说明该偏置量的产生原因。
生成球差误差信号SAES的聚焦光点SP1及聚焦光点SP2设相距旋转中心即光轴OZ分别仅为距离L1及L2。若设第1偏振光全息元件82的旋转调整量为θ,则若进行旋转调整,聚焦光点SP1沿-Y方向移动L1 sinθ,聚焦光点SP2沿-Y方向移动L2 sinθ。
例如,如图12(b)所示,若L1>L2,则聚焦光点SP1的移动量大于聚焦光点SP2。即,在图12(b)中,若旋转第1偏振光全息元件82,则由于聚焦光点SP1的移动量大,因此大部分从受光区域7k上移动到受光区域7l上。与此相比,由于聚焦光点SP2的移动量小,因此不太从受光区域7m上移动到受光区域7n上。因而,是第1输出信号(Sk-Sl)与第2输出信号(Sm-Sn)之差的球差误差信号SAES不为0。
该问题可以通过增加聚焦光点SP2的视在y方向分量的移动量、即将聚焦光点SP2更多聚焦在受光区域7n上来解决。
图12(a)所示为使用图1所示的第1偏振光全息元件2时的光检测器7上的聚焦光点。如图1所示的全息形状那样,设置分割直线D7为包含光轴的直线D1与分割直线D7的距离h3(>0),在第2偏振光全息元件12与光检测器7之间产生光轴方向的偏离,在进行第1偏振光全息元件2的旋转调整时,聚焦光点SP2聚焦在受光区域7n上。即,以光轴为中心,在与多个径向的分割直线D2、D6的相反侧设置分割直线D7,通过这样能够同时消除聚焦误差信号FES及球差误差信号SAES两方面都存在的偏置。
图13(a)所示为在图1~图12(a)的全息元件形状的情况下、在第1偏振光全息元件2与光检测器7之间产生光轴方向的偏离并进行第1偏振光全息元件2的旋转调整后的球差误差信号SAES。确认了即使进行旋转调整、球差误差信号SAES也不产生偏置的效果。
这里,在图1中,包含光轴的径向的直线D1与分割直线D7的距离h3必须是h2以下的长度。即,若包含光轴的直线D1与分割直线D7的距离h3大于分割直线D2与包含光轴的直线D1的距离h2,则球差误差信号SAES的信号灵敏度的绝对值不够,不能确保球差误差信号SAES的可靠性。
关于该原因,根据图14(a)及图14(b)进行说明。图14(a)及图14(b)是图6所示的状态的受光区域7m、7n及聚焦光点SP2的放大图。图14(a)所示为[包含光轴的径向的直线D1与分割直线D7的距离h3]和[分割直线D2与包含光轴的直线D1的距离h2]相等的状态。聚焦光点SP2聚和包焦光在受光部7m与7n的分割线上。这时,受光部7m与受光部7n的分割线含轴的径向的直线D1一致。因此,从用包含光轴的径向的直线D1、分割直线D2和D6、分割直线D2的延长线、及圆弧E1和E2包围的区域产生聚焦光点,以及从用分割直线D7及圆弧E1和E2包围的区域产生聚焦光点,而由于从该各自的聚焦光点生成的信号Sm与信号Sn相等,因此在光检测器7上互相抵消。即,由于仅由从用分割直线D3、D4、D5及延长分割直线D2的部分包围的梯形上的区域产生的聚焦光点生成球差误差信号SAES,因此与图1所示的状态(h3<h2=相比,球差误差信号SAES的绝对值减少。再有,如图14(b)所示,若[包含光轴的径向的直线D1与分割直线D7的距离h3]大于[分割直线D2与包含光轴的直线D1的距离h2],则从用分割直线D7及圆弧E1和E2包围的区域形成的信号抵消从用分割直线D3、D4、D5及延长分割直线D2的部分包围的梯形区域形成的信号,进而球差误差信号SAES的绝对值不够。因而,[包含光轴的径向的直线D1与分割直线D7的距离h3]必须在[分割直线D2与包含光轴的直线D1的距离h2]以下。
这样,在本实施形态的像差检测装置及具有像差检测装置的光学拾取头装置10中,具有:将通过物镜4的光束11分离成包含该光束11的光轴的聚焦光点SP2及不包含该光束11的光轴的聚焦光点SP1、SP3的第1偏振光全息元件2;以及根据利用该第1偏振光全息元件2分离的聚焦光点SP2、SP1、SP3的焦点位置来检测物镜4的球差的光检测器7。
上述第1偏振光全息元件2被分割成通过上述第1光束的第1区域2a、及通过不包含上述光束的光轴的第2光束的第2区域2b和第3区域2c,同时第1区域2a利用由在与通过光轴的径向的直线平行的直线上的两端侧分别形成的分割直线D2及D6;在比分割直线D2及D6的外周侧、与分割直线D2及D6平行形成的分割直线D4;从分割直线D2及D6的各端向着分割直线D4相互延伸形成的、而且由相对于通过光轴的道方向的直线D1互相呈线对称并仅倾斜规定角度呈八字形状的直线对构成的分割直线D3及D5;相对于该分割直线D2及D6在夹住通过光轴的径向直线D1的相反侧形成的、而且与通过上述光轴的径向的直线D1平行的分割直线D7;以及分割直线D2与分割直线D7之间及分割直线D6与分割直线D7之间的、第1偏振光全息元件2的圆弧E1和E2构成的各边界线来划分,同时上述第2区域2b及第3区域2c由在夹住形成在第1偏振光全息元件2的中间侧的上述第1区域2a的两侧形成的2个分区构成。
通过这样,在从第1偏振光全息元件2到光检测器7之间产生光轴方向的偏离、而聚焦误差信号FES及球差误差信号SAES产生偏置时,通过进行第1偏振光全息元件2的旋转调整,对于聚焦误差信号FES及球差误差信号SAES的任一个信号,都能够减轻偏置。
另外,在本实施形态中,作为将从光盘6的信息记录层反射的光束11引导至光检测器7用的单元,是使用了第1偏振光全息元件2,但不限定于此,例如也可以使用将分光镜与楔形棱镜组合的构件。但是,从力图使装置小型化的观点,最好使用全息元件。
另外,在本实施形态中,是以将光源与光检测器形成一体化的全息元件激光器为例进行说明的,但不一定限于此,也可以这样构成,即对光源使用单体的半导体激光器,利用偏振光分光镜(PBS)来分割光路,用光检测器7接受它的反射光。在这种情况下,只要对回路的光学系统配置光束分离单元即可。
另外,在本实施形态中,是驱动准直透镜3作为球差校正机构,但也可以采用调整构成配置在准直透镜3与物镜4之间的未图示的光束扩展器的2个透镜的间隔的机构。
[实施形态2]
以下,根据图15至图23、及图27,说明本发明的其它实施形态。另外,在本实施形态中进行说明的以外的构成与前述实施形态1相同。另外,为了说明方便起见,对于具有与前述实施形态1的图示所示的构件相同的功能的构件,附加同一标号,并省略其说明。
本实施形态的光记录重放装置与前述实施形态1相同,如图15所示,具有:对光盘(光记录媒体)6进行旋转驱动的主轴电动机(未图示);对光盘6进行记录重放信息的光学拾取头装置30;以及对上述主轴电动机及光学拾取头装置30进行驱动控制用的未图示的驱动控制部及控制信号生成电路。
上述光学拾取头装置30具有对光盘6照射光束用的半导体激光器(光源)1、第1偏振光全息元件(光束分离单元)32、准直透镜3、物镜(聚焦光学系统)4、及光检测器(像差检测单元)37。
从光盘6的信息记录层6c或信息记录层6d反射的光束按照物镜4及准直透镜3的顺序通过各构件入射至第1偏振光全息元件32,用第1偏振光全息元件32进行衍射,聚焦在光检测器37上。
图16(a)及图16(b)所示为光集成单元40的构成的构成图。另外,图16(b)是对于图示的光轴方向(z方向)从y方向来看的侧面图。与实施形态1的光集成单元20的不同点在于,具有第1偏振光全息元件32及光检测器37,以代替第1偏振光全息元件2及光检测器7。关于第1偏振光全息元件32的详细说明在后面叙述。
下面,根据图17(a)及图17(b),说明具有辅助受光区域的光检测器37。
如图17(a)所示,光检测器37具有与前述实施形态1中的光检测器7的受光部7a~7n的受光区域相同的、受光区域37a~37n及辅助受光区域37o~37t。设来自受光区域37a~37t的输出信号为Sa~St。
利用双刀口法检测出聚焦误差信号FES。即,聚焦误差信号FES可以用下式给出。
FES=(Si+Sp-Sj-So)-β(Sk+Sr-Sl-Sq)
另外,式中,β设定成为了消除因2光点间的光通量的不同而产生的偏置的最佳系数。
图18所示为聚焦误差信号FES的曲线图。实线的曲线表示有辅助受光区域37o~37t时的聚焦误差信号FES曲线,虚线的曲线表示没有辅助受光区域37o~37t时的聚焦误差信号FES曲线。在超过聚焦误差信号FES拉入范围-d1~+d1的区域,能够使缓慢收敛于0的曲线急剧收敛于0。通过这样,在重放双层盘片时,由于能够得到聚焦误差信号FES偏置足够小的独立的2条(双层)聚焦误差信号FES曲线,因此能够进行正常的聚焦伺服。
但是,若同时使用具有辅助受光区域37o~37t的光检测器37、及图1所示的实施形态1中说明的第1偏振光全息元件2,则如图19(a)所示,会发生Δd2的偏置。图17(b)中所示为产生偏置Δd2的散焦量时的聚焦光点的状态。在图17(b)中,圆弧33表示产生偏置Δd2的散焦量时的第1偏振光全息元件32上的光束的有效半径。在该散焦状态下,由于聚焦光点SP3仅入射至辅助受光区域37o,因此成为
FES=-So
对聚焦误差信号FES产生偏置Δd2。
这里,为了消除偏置Δd2,必须使得聚焦在受光区域37i。下面说明得到该效果的第1偏振光全息元件32。
上述第1偏振光全息元件32如图20所示,具有一分为三的3个区域即第1区域32a、第2区域32b及第3区域32c。
第1区域32a是用与包含光轴的径向的直线D1平行的分割直线D2和D6(与包含光轴的径向的直线D1的距离h2)及分割直线D4(与包含光轴的径向的直线D1的距离h1、长度w2)、相对于道方向的直线呈线对称并仅倾斜规定角度(角度±θ)的分割直线D3和D5、与包含光轴的径向的直线D1平行的多个分割直线D8和D9(与包含光轴的径向的直线D1的距离h4)、道方向的多个分割直线D10和D11、径向的分割直线D12、以及以光轴为中心的圆弧E1和E2(半径r2)包围的区域。
即,第1区域32a在实施形态1的分割直线D7的中间部分具有矩形凹下部分,该矩形凹下部分具有相对于通过光轴的径向的直线D1平行相对的分割直线D12。
第2区域32b是用分割直线D2~D6及以光轴为中心的圆弧E3(半径r2)包围的区域。第3区域32c是用以光轴为中心的圆弧E4(半径r2)、包含光轴的径向的直线D1、平行的多个分割直线D8和D9(与包含光轴的径向的直线D1的距离h4)、道方向的多个分割直线D10和D11、以及径向的分割直线D12包围的区域。分割直线D12包含光轴。上述的分割线全部与光轴垂直。
设通过第2区域32b的上述光束11聚焦在上述光检测器37上的光点为SP1,同样,设通过第1区域32a的上述光束11聚焦在上述光检测器37上的光点为SP2,设通过第3区域32c的上述光束11聚焦在上述光检测器37上的光点为SP3。设第1偏振光全息元件32上的用物镜4的孔规定的光束11的有效半径的半径为r时,则设与包含光轴的径向的直线D1的距离h1=0.6r,与包含光轴的径向的直线D1的距离h2=0.3r,与包含光轴的径向的直线D1的距离h4=0.21r,θ=±45deg,分割直线D4的长度w2=0.6r,分割直线D12的长度w3=0.6r。半径r2考虑到物镜偏移及调整误差,设定为比半径r大得多。
图21中所示为产生偏置Δd2的散焦量时的光束11通过第1偏振光全息元件32、聚焦在光检测器37上时的状态。由于在第1区域32a的中间部分设置由分割直线D10~D12构成的矩形区域,通过这样聚焦光点SP3聚焦在受光区域37i上,因此成为
FES=Si-So
能够减轻聚焦误差信号FES的偏置Δd2。图19(b)中所示为这时的聚焦误差信号FES曲线。可知能够减轻偏置Δd2。
越减小分割直线D12与光轴OZ的距离,则聚焦在受光区域37i上的光束量越多,越能够减轻偏置Δd2。
另外,如上述的第1偏振光全息元件32那样,在分割直线D12与光轴OZ的距离为0时,即,分割直线D12包含光轴OZ时,如图21所示,聚焦光点SP3的分割线与光受光区域37i和37j的分割线一致。因此,由于能够在散焦状态下使用刀口法进行稳定的焦点误差检测,所以最好分割直线D12包含光轴。
图27中所示为来自多层盘片的非重放层的无用反射光M在光检测器37上形成的光点。无用反射光M是以光轴为中心、半径R的圆形,聚焦在光检测器37上。对于受光部37k、37l、37g、37r,无用反射光M不聚焦的位置、即从光轴到受光部37k、37l的最短距离设定得比无用反射光M的半径R要长。
受光部37k、37l、37g、37r设定在无用反射光M不聚焦的位置。这里,球差误差信号SAES4能够利用来自不受无用反射光M的影响的受光部37k、37l、37g、37r的信号生成。
SAES4=(Sk+Sr)-(Sl+Sg)
通过采用该运算方式,能够生成不受来自多层盘片的非重放层的无用反射光M的影响的球差误差信号SAES4。
接着,考虑在光学拾取头装置10的光学系统中残存焦点偏离的状态下产生球差的情况。在球差误差信号SAES4中也与实施形态1的球差误差信号SAES2相同,存在的问题是,球差误差信号SAES4随焦点偏离而变化,不能正确检测球差。
为了抑制焦点位置偏离的影响,使用聚焦误差信号FES,利用下式生成球差误差信号SAES5。
SAES5={(Sk+Sr)-(Sl+Sg)}-δ×FES
这时,只要决定常数δ,使得即使产生焦点偏离、但球差误差信号SAES5的变化变小即可。在因产生球差时的焦点偏离而使(Sk+Sr)-(Sl+Sg)产生偏置时,通过加减聚焦误差信号FES,能够使偏置减少。根据该运算方法,即使同时产生球差及焦点偏离,也能够进行正确的球差误差检测。
接着,图22中所示为改变分割直线D12的长度时的聚焦误差信号FES曲线。在设第1偏振光全息元件32上的用物镜4的孔规定的光束11的有效半径的半径为r时,实线表示分割直线D12的长度w3=0.48r时的聚焦误差信号FES曲线。另外,虚线表示分割直线D12的长度w3=0.24r时的聚焦误差信号FES曲线。可知,若分割直线D12的长度w3比0.48r要短,则聚焦误差信号FES曲线产生偏置。因此,最好使分割直线D12的长度w3为0.48r以上。
如上所述,通过将光轴OZ作为中心在与多个径向的分割直线D2和D6的相反侧设置分割直线,减轻第1偏振光全息元件32与光检测器37之间产生光轴方向偏离、而旋转调整第1偏振光全息元件32时的球差误差信号SAES的偏置。在本实施形态的第1偏振光全息元件32中,为了也得到同样的效果,设置多个径向的直线D8及D9。
但是,与实施形态1的第1偏振光全息元件2相比,在本实施形态的第1偏振光全息元件32中,由于设置由分割直线D10、D11、D12构成的矩形区域,因此在旋转调整第1偏振光全息元件32时,聚焦在受光区域37n上的聚焦光点SP2的光通量减小。因此,球差误差信号SAES中产生偏置。
为了解决该问题,使多个径向的分割直线与光轴OZ的距离h4大于实施形态1的分割直线D7与光轴OZ的距离h3,通过这样减轻第1偏振光全息元件32与光检测器37之间产生光轴方向偏离、而旋转调整第1偏振光全息元件32时的球差误差信号SAES的偏置。这时,通过决定与光轴OZ的距离h4,使得前述实施形态1中的第1偏振光全息元件2的用直线D1、分割直线D7、及圆弧E1和E2包围的面积,和本实施形态的第1偏振光全息元件32的用直线D1、分割直线D8、D9、D11、D12及圆弧E1和E2包围的面积相等,从而在第1偏振光全息元件32中,也能够得到与第1偏振光全息元件2同样的效果。
图23所示为在上述的条件下使用设定分割直线与光轴OZ的距离h4的长度(与光轴OZ的距离h4=0.21r)的图20的全息元件形状的情况下、覆盖玻璃产生厚度变化时的球差误差信号SAES。横轴为覆盖玻璃6a的厚度变化,纵轴为旋转调整后的球差误差信号SAES。另外,表示在与第2偏振光全息元件12之间产生0.2mm轴向偏离、进行旋转调整时的球差误差信号SAES。+0.2mm的曲线表示第2偏振光全息元件12与光检测器37之间沿远离0.2mm的方向偏离的情况,-0.2mm的曲线表示第1偏振光全息元件32与光检测器7之间沿接近0.2mm的方向偏离的情况。确认了即使进行旋转调整、球差误差信号SAES中也不产生偏置的效果。
另外,即使进行是与实施形态1同样效果的跟踪控制,也能够得到始终以高精度检测球差、能够进行校正的效果,并能够得到减轻在旋转光束分离单元来调整从光束分离单元到光检测器之间的光轴方向的偏离时的、焦点误差信号及球差误差信号的调整量的偏离的效果。
如上所述,本发明的像差检测装置,前述第1区域也可以在前述第6分割直线的中间部分具有矩形凹下部分,该矩形凹下部分具有对于通过前述光轴的径向的直线平行相对的第7分割直线。
通过这样,由于聚焦光点聚焦在受光区域上,因此能够减轻焦点误差信号的偏置。
在本发明的像差检测装置中,通过前述光轴的径向的直线与前述第6分割直线的最短距离也可以设定为光束分离单元上的、例如用物镜的孔规定的光束有效半径的半径光束半径的30%以下的范围内。
通过这样,能够抑制球差误差信号的灵敏度的减少。
另外,由于在产生光束分离单元与光束的位置偏离时、即使道方向及径向的任何方向产生位置偏离时从各区域得到的信号也变化,因此光束分离单元与光轴能够对准位置。
其结果,由于不需要形成位置对准的分割图形,因此能够利用光束的全部区域的双刀口法来检测焦点误差信号,能够进行稳定的聚焦控制。
在本发明的像差检测装置中,前述第1分割直线及第2分割直线的与通过光轴的径向的直线的最短距离也可以设定为光束分离单元上的光束半径的30%以上的范围内,前述第3分割直线的与通过光轴的径向的直线的最短距离也可以设定为光束分离单元上的光束半径的60%以下的范围内。
通过这样,第1分割直线及第2分割直线与通过光轴的径向的直线的最短距离、以及第2分割直线与通过光轴的径向的直线的最短距离设定为光束分离单元上的用物镜的孔规定的光束有效半径的30%及60%的2种,从而球差误差信号的检测灵敏度提高。
在本发明的像差检测装置中,由前述直线对构成的第4分割直线及第5分割直线的、相对于前述第1分割直线及第2分割直线的各倾斜角度也可以实质上为45度。
这样,通过将直线对的倾斜角度设定实质上为45度,从而球差误差信号的检测灵敏度为最高。
在本发明的像差检测装置中,前述第7分割直线的长度也可以设定为光束分离单元上的光束半径的48%以上的范围内。
通过这样,在采用有辅助受光区域的光检测器的光学拾取头装置中,能够检测出没有偏置的焦点误差信号。
在本发明的像差检测装置中,前述第7分割直线也可以包含光轴那样形成。
通过这样,能够得到更正确的焦点误差信号。
在本发明的像差检测装置中,前述第6分割直线与通过前述光轴的径向的直径的最短距离也可以这样设定,使得在前述第1区域中不存在矩形凹下部分时的用通过光轴的径向的直线、第6分割直线及光束分离单元的外周包围的区域的面积,与在前述第1区域中存在矩形凹下部分时的用通过光轴的径向的直线、第6分割直线及光束分离单元的外周包围的、除去上述矩形凹下部分的区域的面积相等。
通过这样,对于从光束分离单元到球差检测单元之间的光轴方向的偏离,在旋转调整光束分离单元时,能够得到减轻焦点误差信号及球差误差检测信号的调整量的偏离的效果。
在本发明的光学拾取头装置中,前述第1区域也可以在前述第6分割直线的中间部分具有矩形凹下部分,该矩形凹下部分具有相对于通过前述光轴的径向的直线平行相对的第7分割直线。
通过这样,由于聚焦光点聚焦在受光区域上,因此能够减轻焦点误差信号的偏置。
在本发明的像差检测装置中,前述球差检测单元也可以利用表示第2光束的焦点位置的信号、以及调整信号量的焦点误差信号,生成球差误差信号。
通过这样,在同时产生球差及焦点位置偏离时,能够检测出尽量抑制了焦点位置偏离的影响的球差误差信号,能够进行正确的球差误差信号的检测,能够提供高可靠性的像差检测装置以及光学拾取头装置。
发明的详细说明项中说明的具体实施形态或实施例始终只是为了阐明本发明的技术内容,不应该仅限于那样的具体例子作狭义地解释。在本发明的精神及下述的专利要求项的范围内,能够进行各种变更并加以实施。
工业上的实用性
本发明可以适用于检测聚焦光学系统中产生的像差用的像差检测装置及光学拾取头装置。
Claims (14)
1.一种像差检测装置,具有:
将通过聚焦光学系统的光束分离成包含该光束的光轴的第1光束及不包含该光束的光轴的第2光束的光束分离单元;以及
根据利用所述光束分离单元分离的2个第1光束及第2光束的焦点位置,检测所述聚焦光学系统的球差的球差检测单元,其特征在于,
所述光束分离单元被分割成通过所述第1光束的第1区域、以及通过不包含所述光束的光轴的第2光束的第2区域,同时
所述第1区域利用由
在与通过光轴的径向的直线平行的直线上的两端侧,分别形成的第1分割直线及第2分割直线;
在比所述第1分割直线及第2分割直线的外周侧,与所述第1分割直线及第2分割直线平行形成的第3分割直线;
从所述第1分割直线及第2分割直线的各端向着所述第3分割直线相互延伸形成、而且由相对于通过光轴的道方向的直线互相呈线对称,并仅倾斜规定角度呈八字形状的直线对构成的第4分割直线及第5分割直线;
相对于所述第1分割直线及第2分割直线在夹住通过光轴的径向直线的相反侧形成,、而且与通过所述光轴的径向的直线平行的第6分割直线;以及
所述第1分割直线与第6分割直线之间及所述第2分割直线与第6分割直线之间的、由光束分离单元的外周构成的各边界线来划分,同时
所述第2区域由在夹住形成在光束分离单元的中间侧的所述第1区域的两侧形成的2个分区构成。
2.如权利要求1所述的像差检测装置,其特征在于,
所述第1区域
在所述第6分割直线的中间部分,具有对于通过所述光轴的径向的直线平行相对的第7分割直线的矩形凹下部分。
3.如权利要求1所述的像差检测装置,其特征在于,
将通过所述光轴的径向的直线与所述第6分割直线的最短距离,设定为光束分离单元上的光束半径的30%以下的范围内。
4.如权利要求1所述的像差检测装置,其特征在于,
将所述第1分割直线及第2分割直线与通过光轴的径向的直线的最短距离,设定为光束分离单元上的光束半径的30%以上的范围内,同时
将所述第3分割直线与通过光轴的径向的直线的最短距离,设定为光束分离单元上的光束半径的60%以下的范围内。
5.如权利要求2所述的像差检测装置,其特征在于,
将所述第1分割直线及第2分割直线与通过光轴的径向的直线的最短距离,设定为光束分离单元上的光束半径的30%以上的范围内,同时
将所述第3分割直线与通过光轴的径向的直线的最短距离,设定为光束分离单元上的光束半径的60%以下的范围内。
6.如权利要求4所述的像差检测装置,其特征在于,
由所述直线对构成的第4分割直线及第5分割直线的、相对于所述第1分割直线及第2分割直线的各倾斜角度实质上为45度。
7.如权利要求5所述的像差检测装置,其特征在于,
由所述直线对构成的第4分割直线及第5分割直线的、相对于所述第1分割直线及第2分割直线的各倾斜角度实质上为45度。
8.如权利要求7所述的像差检测装置,其特征在于,
将所述第7分割直线的长度,设定为光束分离单元上的光束半径的48%以上的范围内。
9.如权利要求8所述的像差检测装置,其特征在于,
包含光轴那样地形成所述第7分割直线。
10.如权利要求9所述的像差检测装置,其特征在于,
将所述第6分割直线与通过所述光轴的径向的直径的最短距离设定成
在所述第1区域中不存在矩形凹下部分时的、用通过光轴的径向的直线;第6分割直线;以及光束分离单元的外周包围的区域的面积,与
在所述第1区域中存在矩形凹下部分时的、用通过光轴的径向的直线;第6分割直线;以及光束分离单元的外周包围的、除去所述矩形凹下部分的区域的面积相等。
11.一种光学拾取头装置,其特征在于,具有:
光源;
使从所述光源照射的光束聚焦在光记录媒体上的聚焦光学系统;
将通过所述聚焦光学系统的光束分离成包含该光束的光轴的第1光束、以及不包含该光束的光轴的第2光束的光束分离单元;
根据利用所述光束分离单元分离的2个所述第1光束及第2光束的焦点位置,检测所述聚焦光学系统的球差的球差检测单元;以及
将利用所述球差检测单元检测的球差进行校正的球差校正单元,
所述光束分离单元被分割成通过所述第1光束的第1区域、以及通过不包含所述光束的光轴的第2光束的第2区域,同时
所述第1区域利用由
在与通过光轴的径向的直线平行的直线上的两端侧,分别形成的第1分割直线及第2分割直线;
在比所述第1分割直线及第2分割直线的外周侧,与所述第1分割直线及第2分割直线平行形成的第3分割直线;
从所述第1分割直线及第2分割直线的各端向着所述第3分割直线相互延伸形成、而且由相对于通过光轴的道方向的直线互相呈线对称,并仅倾斜规定角度呈八字形状的直线对构成的第4分割直线及第5分割直线;
相对于所述第1分割直线及第2分割直线在夹住通过光轴的径向直线的相反侧形成、而且与通过所述光轴的径向的直线平行的第6分割直线;以及
所述第1分割直线与第6分割直线之间及所述第2分割直线与述第6分割直线之间的、由光束分离单元的外周构成的各边界线来划分,同时
所述第2区域由在夹住形成在光束分离单元的中间侧的所述第1区域的两侧形成的2个分区构成。
12.如权利要求11所述的光学拾取头装置,其特征在于,
所述第1区域
在所述第6分割直线的中间部分具有对于通过所述光轴的径向的直线平行相对的第7分割直线的矩形凹下部分。
13.一种像差检测装置,具有:
将通过聚焦光学系统的光束分离成包含该光束的光轴的第1光束、以及从所述光轴来看在所述第1光束的外侧的第2光束的分离单元;以及
根据利用所述分离单元分离的光束的检测单元上的照射位置,检测所述聚焦光学系统的球差的球差检测单元,其特征在于,
将所述光轴与第2光束的所述检测单元上的照射位置的最短距离,设定为比从具有多个信息记录层的光记录媒体的非重放层产生的无用反射光的照射半径要长,同时
所述球差检测单元生成表示第2光束的焦点位置的信号,同时生成球差误差信号。
14.如权利要求13所述的像差检测装置,其特征在于,
所述球差检测单元利用表示第2光束的焦点位置的信号、以及调整信号量的焦点误差信号,生成球差误差信号。
Applications Claiming Priority (3)
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-
2006
- 2006-03-15 CN CNA2006800134828A patent/CN101164110A/zh active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN112950627A (zh) * | 2021-04-01 | 2021-06-11 | 上海柏楚电子科技股份有限公司 | 用于激光切割的检测及控制方法和系统 |
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