CN101128730A - 光纤谐振器中表面等离子体谐振的光腔衰荡检测法 - Google Patents

光纤谐振器中表面等离子体谐振的光腔衰荡检测法 Download PDF

Info

Publication number
CN101128730A
CN101128730A CNA2005800486108A CN200580048610A CN101128730A CN 101128730 A CN101128730 A CN 101128730A CN A2005800486108 A CNA2005800486108 A CN A2005800486108A CN 200580048610 A CN200580048610 A CN 200580048610A CN 101128730 A CN101128730 A CN 101128730A
Authority
CN
China
Prior art keywords
fiber
optical
radiation
cavity
optical cavity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2005800486108A
Other languages
English (en)
Inventor
P·B·塔尔萨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Princeton University
Original Assignee
Princeton University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Princeton University filed Critical Princeton University
Publication of CN101128730A publication Critical patent/CN101128730A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/39Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection
    • G01N21/553Attenuated total reflection and using surface plasmons
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection
    • G01N21/553Attenuated total reflection and using surface plasmons
    • G01N21/554Attenuated total reflection and using surface plasmons detecting the surface plasmon resonance of nanostructured metals, e.g. localised surface plasmon resonance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/75Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
    • G01N21/77Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
    • G01N21/7703Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator using reagent-clad optical fibres or optical waveguides
    • G01N21/7746Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator using reagent-clad optical fibres or optical waveguides the waveguide coupled to a cavity resonator

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

一种与相干光源结合使用以检测环境变化的装置和方法。该装置包括:光腔,其包括输入耦合端口,和光纤部分;光耦合至该光腔的检测器,用于监测该光腔中的辐射;以及电耦合至该检测器的处理器,用于基于由该检测器监测的光腔中的辐射的衰减率分析光腔的检测部分附近的环境变化。该光腔的光纤部分包括检测部分,该检测部分涂覆有能支撑表面等离子体以提供腔损耗的导电层。该表面等离子体响应该检测部分附近的环境变化。该相干光源光学地耦合至光腔的输入耦合端口以提供光腔中的辐射。

Description

光纤谐振器中表面等离子体谐振的光腔衰荡检测法
技术领域
本发明一般地涉及包含表面等离子体传感器的光腔衰荡(ring-down)检测系统并且,尤其涉及使用光腔衰荡光谱测量表面等离子体传感器附近的环境变化。尤其是,本发明允许在表面等离子体检测器的涂覆光纤表面进行对结合事件的高灵敏度检测。
背景技术
尽管本申请涉及利用光腔衰荡辅助表面等离子体检测来测量环境的变化,但是下面的有关吸收光谱的背景技术可能会有助于理解本发明。
参照附图,其中相同的附图标记始终表示相同的元件,图1说明了对数标度上的电磁波谱。光谱科学研究光谱。与有关光谱的其它部分的研究相比,可见光学尤其涉及可见和近可见光,即波长由1mm延伸至1nm的可用光谱中的非常狭窄的一部分。近可见光包括波长比红光稍长的光(红外光)和波长比紫光稍短的光(紫外光)。该范围刚好延伸到人类可见范围的任意一侧,从而该光仍然可以利用大部分由通常用于可见光的材料制成的透镜和反射镜进行处理。通常必须考虑材料的光学特性的波长依赖性,以确保由这些材料制成的光学元件具有预期的效果。
吸收型光谱提供了高灵敏性,微秒级的响应时间、抗污染性以及只会受到来自除了所研究物质(species)之外的分子物质的有限干扰的特性。可通过吸收光谱检测或确定不同的分子物质。从而,吸收光谱提供了一种用于检测重要的痕量物质的常规方法。在气相中,由于元素吸收强度集中于一组尖锐的光谱线,所以这种方法的灵敏度和选择性达到最佳。光谱中的窄线可用于区别大多数干扰物质。
在很多工业过程中,期望以很高的速度和精度测量和分析流动的气体流和液体中痕量物质的浓度。当污染物浓度对最终产物的质量十分重要时,需要这种测量和分析,但是即使在不需要的时候也仍然是需要这种测量和分析。例如,使用诸如N2、O2、H2、Ar、和He的气体制造集成电路,例如,而杂质在这些气体中的存在——即使是十亿分之几(ppb)的水平——也可能会造成损害并减少可用的集成电路的产量。因此,对水和其它潜在污染物能进行相对高灵敏度的光谱法监测对半导体工业用的高纯气体的制造是重要的。同样,在很多其它工业应用中,也必须检测这些和其它不同的杂质。
另外,无论是固有的还是有意释放的,所有种类的流体中出现的杂质近来已经引起了特别的关注。光谱方法提供了一种方便的手段以监测被有害的化学和生物制剂污染的诸如气体和液体(即空气和水)的流体。这些方法还可以用来检测诸如炸药和毒品的材料的化学特征。
在所有的这些应用中,对任何检测方法来说灵敏度都是一个重要的考虑因素。光谱法对高纯气体中的气态杂质的检测已经达到了百万分之几(ppm)的水平。在某些情况下可获得ppb级的检测灵敏度。因此,诸如气体中的定量污染物监测的应用中使用了多种光谱方法,这些方法包括:在传统的长路径长度单元中的吸收测量、光声光谱、频率调制光谱、以及腔内激光吸收光谱。不幸的是,这些方法具有一些如授权给Lehmann的美国专利5,528,040号中所讨论的特征,使得它们难以使用且工业应用上难于实施。因此,它们主要限于实验室研究。
相反,光腔衰荡光谱法(CRDS)已经成为应用于科学、工业生产过程控制、以及大气痕量气体检测的重要的光谱技术。已经证明CRDS为在低吸收方面具有优势的测量光学吸收的技术,传统的方法在该方面的灵敏度不够。CRDS使用高精密光学谐振器中的光子的平均寿命作为吸收灵敏度观测量。
典型地,该谐振器包括一对名义上等价的、窄带、超高反射率的介质镜,适当构造以形成一稳定的驻波光学腔,或谐振腔。激光脉冲通过一个反射镜入射至谐振腔中以经历一平均寿命,该平均寿命由光子来回路程的传输时间、谐振腔的长度、吸收横截面和被检测的物质的粒子密度,以及一说明固有谐振腔损耗的因数(当忽略衍射损耗时,该因数主要是由于频率相关反射镜的反射率而引起的)决定。因此,光吸收的确定由传统的功率比测量转换为衰变时间的测量。CRDS的最终的灵敏度由固有谐振腔损耗的大小决定,通过使用诸如可以制造超低损耗光学元件的超抛光的技术能够使得固有损耗最小化。
目前,CRDS局限于用于生产高反射率介质反射镜的光谱区域。由于具有足够高反射率的反射镜现在还不存在,因此严重局限了该方法在许多紫外和红外区域中的有效性。即使在存在合适的介质反射镜的区域中,每组反射镜仅仅能在一个很小的波长范围内操作,典型的是百分之几的分数范围。此外,很多介质反射镜的构建需要使用随时间退化的材料,尤其是在暴露于化学腐蚀环境中时更是如此。由于这些现存的局限性限制或阻止了CRDS在很多潜在应用中的使用,已经清楚地认识到需要在关于谐振腔结构的现有技术的基础上作出改进。
当光以大于临界角的角度照射到传播介质的折射率较低的表面上时,发生全反射,即出现全内反射(TIR)。见J.D.Jackson,“ClassicalElectrodynamics”Chapter7,John Wiley&Sons,Inc.:New York,NY(1962)。然而,在反射点之外存在一个场,它是非传播的并且随着距界面的距离按指数规律衰减。这种消逝场在纯的电介质中不携带能量,但是反射波的衰减使得可以观测在消逝场区域中出现的吸收元素。F.M.Mirabella(ed.),“Internal Reflection Spectroscopy”,Chapter 2,Marcel Dekker,Inc:New York,NY(1993)。A.Pipino等的论文“Evanescent wave cavity ring-down spectroscopy with a total-internalreflection minicavity”,Rev.Sci.Instrum.68(8)(Aug.1997),提出了利用TIR改进谐振腔结构的方法。这种方法利用了单片的、具有至少一个凸平面的规则多边形几何结构(例如,正方形和八边形)的TIR环状谐振腔(即,行波光腔)。光脉冲由位于谐振腔外邻近区域的第一棱镜完全反射,从而生成消逝波,该消逝波可通过光子隧道效应进入谐振腔并激发谐振腔的稳定模式。
从单片谐振腔中的光子的平均寿命可获得位于谐振腔的全反射表面处的物质的吸收光谱,该寿命可根据通过与第二棱镜(也是位于谐振腔外但在其邻近区域中的全反射棱镜)输出耦合而在一检测器处接收到的信号的时间相关性而得出。这样,光学辐射通过光子隧道效应进入和离开谐振腔,这使得能够对输入和输出耦合进行精确控制。从而,得到了CRDS微型谐振腔的实现,而且TIR环形谐振腔将CRDS概念扩展到凝聚物质光谱学。TIR的宽带特性避开了传统的气相CRDS中由介质镜带来的窄带限制。需要注意,A.Pipino等的工作仅仅适用于TIR光谱学,其本征地受限于整个吸收路径长度很短的情况,而且由此受限于较高的吸收强度。
授权给Lehmann等的美国专利5,973,864号、6,097,555号、6,172,823B1号、以及6,172,824B1号中对基于反射镜的CRDS系统提供了多种新方法,这里通过引用方式将这些方法并入此处。这些方法教导了由两个反射元件或棱镜元件形成的近共焦谐振腔的使用。
图2示出了现有技术的CRDS检测器10,其中衰荡腔(RDC)单元60是驻波结构。如图2所示,光由窄带、可调、连续波二极管激光器20产生。可以通过温度控制器30激光器20进行温度调节,以便将其波长调整为分析物的预期的光谱线。隔离器40位于激光器20前方,并且与激光器20发出的辐射同轴(in line)。隔离器40提供单向传输通道,允许来自激光器20的辐射通过而阻止辐射以相反方向传播。这样的隔离器减少了激光器20中的噪声,这些噪声由返回到激光器腔中的不期望的光反射或光散射引起。单模光纤耦合器(F.C.)50将从激光器20发出的光耦合至光纤48中。光纤耦合器50被置于隔离器40前方,并与隔离器同轴。光纤耦合器50接收并加持住光纤48,并将由激光器20发出的辐射导向第一透镜46并从中穿过。第一透镜46收集并聚焦该辐射。由于激光器20发出的光束模式与光纤48中的传播的光模式不完全匹配,因此不可避免地存在失配损耗。需要注意,可以选择性地使用自由空间光学系统来传输激光。
激光辐射被近似地模式匹配入RDC单元60。反射镜52将该辐射导向分光器54。分光器54使得辐射的约90%导向第二透镜56并从中穿过。第二透镜56收集该辐射,并将其聚焦至单元60中。剩下的辐射穿过分光器54,并由反射镜58引导入分析物参考单元90。
穿过分析物参考单元90传输的辐射被导向第四透镜92且从中穿过。第四透镜92位于分析物参考单元90和第二光电检测器94(PD2)之间。光电检测器94向计算机和控制电子设备100提供输入信号。
单元60由两个高反射率反射镜62、64构成,它们作为近共焦标准具沿轴线a对准。反射镜62、64组成单元60的输入和输出窗口。所研究的样本气体通过窄管66流动,该管与单元60的光轴a共轴。反射镜62、64被置于用真空波纹管密封的可调法兰或底座上,以使得可以调节单元60的光学对准。
反射镜62、64具有高反射率电介质涂层并以涂层面向由单元60形成的腔的内侧的方式取向。激光的一小部分通过前反射镜62进入单元60,并在单元60的腔内反复“环回振荡(ring)”。穿过单元60的后反射镜64(反射器)透射的光被导向并穿过第三透镜68,并且,依次在第一光电检测器70(PD1)上成像。每个光电检测器70、94将输入光束转换为电流,并且,因此,向计算机和控制电子设备100提供输入信号。该输入信号描述腔衰荡的衰减率。
图3示出了现有技术中基于棱镜的CRDS谐振腔100的光路,该CRDS谐振腔被设计成在行波结构中进行操作。如图3所示,用于CRDS的谐振腔100基于使用两个布儒斯特角反射棱镜150和152。相对于棱镜150显示偏振角或布儒斯特角ΘB。入射光12和出射光14分别被示出为从棱镜152的输入和输出。在每个棱镜150和152中,谐振光束以约45°角无损耗地经历两次全内反射,其中该约45°角大于熔融石英和大多数其它常用光学棱镜材料在可见光谱内的临界角。光沿着光轴154在棱镜150和152之间行进。可选地,可以使用三个或更多的高反射率反射镜来形成基于反射镜的行波RDC。可以使用诸如基于棱镜的CRDS谐振腔100的行波RDC代替图2所示的CRDS检测器10中的驻波RDC 60。
在所述两种行波RDC中,需要使棱镜或反射镜相互之间以及使其与输入和输出光束之间精确对准。在驻波RDC 60中期望精确调节反射镜62和64之间的距离,以使得激光在光腔中谐振。这意味着环境的改变,例如温度或腔中的介质的折射率的改变可以对这些空腔产生不利的影响。
如在待审查的申请:2003年8月20日提交的10/644,137号、以及2002年5月29日提交的其在先申请10/157,400号、以及2001年12月12日提交的本发明的在先申请10/017,367号中发明人所描述的,可以证明在CRDS检测器中使用无源光纤环形谐振腔对克服至少一些诸如图2和3中所示的那些使用现有技术的RDC的困难是有用的。本发明利用表面等离子体谐振提高CRDS检测器的灵敏度。
发明内容
本发明的一示例实施例是形成于光纤部分中的基于光纤的表面等离子体谐振(SPR)检测器,包括光纤部分的锥形光纤部分,该锥形光纤部分有外表面和导电层,该导电层能够支撑在锥形光纤部分外表面上形成的表面等离子体。在锥形光纤部分的外表面上形成的表面等离子体响应锥形光纤部分附近的环境变化。
本发明的另一个示例实施例是与相干光源结合使用以检测环境变化的装置,包括:光腔,其包括输入耦合端口和光纤部分;光学地耦合至该光腔的检测器,用于监测该光腔中的辐射;以及电耦合至该检测器的处理器,用于分析光腔的检测部分附近的环境变化,该分析是基于由该检测器监测的光腔中的辐射的衰减率进行的。该光腔的光纤部分包括检测部分,该检测部分涂覆有能支撑表面等离子体以提供腔损耗的导电层。表面等离子体响应于检测部分附近的环境变化。相干光源光学地耦合至光腔的输入耦合端口以便向光腔中提供辐射。
本发明的另一个示例实施例是与发出辐射的相干光源结合使用的用于检测结合事件的装置,包括:无源的、闭合的光纤光学环;传感器,该传感器具有预定形状、导电涂层,并且该传感器与该无源的、闭合的光纤光学环同轴;耦合装置,用于i)将由相干光源发出的辐射的至少一部分光学地耦合进该无源的、闭合的光纤光学环以便在光纤光学环产生传播场,以及ii)传输出该光纤光学环传播场的检测部分;检测器,用于检测由耦合装置传输出的传播场的检测部分的功率水平;处理器,其电耦合至该检测器,用于确定该传感器的导电涂层表面上的结合事件的水平。传感器的该导电涂层能支撑表面等离子体,该等离子体由该无源的、闭合的光纤光学环中的传播场驱动并响应于该导电涂层表面的结合事件的水平。该检测器产生响应于传播场的检测部分检测到的功率水平的信号,而且该处理器基于由该检测器检测到的传播场的检测部分的功率水平的衰减率来确定结合事件的水平。
本发明的另一个示例实施例是利用表面等离子体腔衰荡检测(SPCRD)系统检测流体中的环境变化的改进方法,该SPCRD系统包括在光腔中光学地耦合的表面等离子体谐振(SPR)传感器。该SPR传感器由金属涂覆的锥形光纤部分形成。包含预定波长的相干光辐射耦合入SPCRD系统的光腔中。监测该光腔中的相干光辐射的功率水平,并且基于监测到的功率水平确定光腔的初始腔损耗。将SPR传感器暴露于流体中,并基于在将SPR传感器暴露于流体中后新监测到的功率水平确定光腔的检测腔损耗。基于光腔的初始腔损耗和检测腔损耗之间的差异检测流体中的环境变化。
应当理解,前面的概括性的描述和后面的详细描述都是对本发明的示例性的,而不是限制性的描述。
附图说明
结合附图阅读以下详细描述能够最好地理解本发明。需要强调,根据惯例,附图的不同的技术特征不是按照比例描绘的。相反,为了清楚起见,不同技术特征的尺寸被任意的放大或缩小。所附附图如下:
图1是示出对数标度上的电磁光谱的示图;
图2是示出现有技术的使用反射镜的驻波CRDS系统的示意性框图;
图3是示出现有技术的使用棱镜的行波CRDS单元的顶平面图;
图4是示出根据本发明的示例实施例的示例表面等离子体腔衰荡检测(SPCRD)系统的示意性框图;
图5是示出传统光纤端平面的示图;
图6是示出传统光纤的透视图;
图7A、9A、和10A是示出根据本发明的示例实施例的示例表面等离子体谐振(SPR)传感器的侧切示图;
图7B和7C是示出图7A中所示的示例SPR传感器的特征的端切示图;
图7D是示出可以用于图7A中所示的示例SPR传感器的示例锥形光纤部分的特征的顶平面示图;
图8A是示出可以包括在图7A、9A、以及10A中所示的示例SPR传感器中的示例SPR层的侧切示图;
图8B是示出可以包括在图7A、9A、以及10A中所示的示例SPR传感器中的可选示例SPR层的侧切示图;
图9B和9C是示出图9A中所示的示例SPR传感器的特征的端切示图;
图10B和10C是示出图10A中所示的示例SPR传感器的特征的端切示图;
图11是示出根据本发明的示例实施例的用于SPCRD的示例性的基于光纤的行波CRDS单元的顶平面示图;
图12是示出根据本发明的示例实施例的使用SPCRD系统检测环境变化的示例方法的流程图;
具体实施方式
这里通过引用方式明确地将申请日为2003年8月20日的美国专利10/644,137号、申请日为2002年5月29日的美国专利10/157,400号、以及申请日为2001年12月12日的美国专利10/017,367号的全部公开内容并入此处。
如上所述,CRDS提供了一种测量光腔内的介质中的分析物的高灵敏装置。此外,申请人在申请日为2002年5月29日的10/157,400号和申请日为2001年12月12日的10/017,367号中描述了使用环绕光纤的消逝场以在示例性的基于光纤的光衰荡腔中提供损耗的方法。本发明通过利用表面等离子体谐振(SPR)技术来提高传感灵器敏度,以及扩展可由根据本发明的示例传感器感测到的环境变化的类型,本发明对上述这些方法进行了延伸。
SPR光谱被用于测量涂覆有导电涂层的全内反射(TIR)元件的外表面上折射率的微小变化。如果光具有对应于其入射角的谐振波长,可沿形成于TIR表面上的薄的导电涂层的表面产生表面等离子体。给定入射角的谐振波长取决于TIR元件的基底和邻接导电涂层的外部介质之间的折射率的差值。能够产生明显表面等离子体的光的波长或入射角范围通常很小,从而使得SPR光谱可提供用于测量折射率变化的非常灵敏的装置。基于SPR的传感器可以是直接检测表面等离子体,或通过向表面等离子体的转换来检测来自入射光束的能量损耗。
SPR检测系统通常使用棱镜作为TIR元件,但是SPR技术已经被发展成结合锥形光纤传感器作为TIR元件。这些传感器包括沿着锥形渐变段具有连续的角范围的锥形光纤,从而仅仅需要用于信号分辨的光波长变化。耦合该光以形成单次通过的、多角度的SPR检测系统。这样的系统的分辨率取决于光纤的锥形部分的入射角的变化率。
通过累加多次通过的损耗,CRDS可提供高灵敏度的光学元件损耗检测方法。如上所述,Pipino et al.首次证明了:通过使用单片TIR环形谐振腔将SPR和CRDS这两种技术进行结合的可行性。该系统可提供高灵敏度的检测,但是将光耦合进和耦合出所用的单片TIR环形谐振腔的校准要求减少了该系统在需要灵活性和移动性的大多数实际应用中的使用。
通过在光学谐振腔内结合涂覆的光纤锥形SPR传感器,本发明可使得SPR和CRDS二者的优点在更多实际系统中得到实现。例如,使用结合在光纤环形谐振腔中的涂覆有导电涂层的光纤锥形SPR感测区进行折射率测量,可以获益于改进的CRDS灵敏度。包含涂覆有导电涂层的光纤锥形SPR感测区的光纤环的部分可以很容易被用于感测不同的流体介质的折射率,比如将其浸入流动的液体、气体、或悬浮液中。CRDS的使用还可以被用于帮助解决有噪音的SPR信号并提高对表面附近环境变化的灵敏度。
图4示出了根据本发明的示例实施例的具有SPR传感器500的基于光纤光学的衰荡装置400。该示例装置可以检测包围SPR传感器500的流体中的环境变化,包括检测附近流体的化学成分的变化,包括检测气体和液体中出现的痕量物质、或分析物。SPR传感器500可以检测的其它可能环境变化包括以下方面的变化:传感器的检测部分附近的介质的折射率;传感器的检测部分附近的环境温度;以及传感器的检测部分附近的电场和传感器附近的电离辐射。
在图4中,装置400包括谐振光纤环408,其具有光纤光缆402和沿光纤光缆402的长度方向分布的SPR传感器500(在以下详细描述)。尽管在本发明的可选实施例中可以使用其它的光腔,示例性的闭合光纤环形腔,比如图4所示的谐振光纤环408,需要具有较低的腔损耗,而不是由SPR传感器500提供的环境相关损耗。较低的腔损耗能够检测较小的环境相关损耗,从而导致环境变化检测系统的灵敏度较高。
谐振光纤环408的长度可适应于多种采集环境,比如周长感测或穿过例如实业工厂(physical plant)的不同部分。预期本发明的示例装置中光腔的长度可以小至1米或大至数千米。尽管如图所示,三个SPR传感器500沿着光纤光学环408的长度方向分布,如果需要,本发明在实践中可以仅仅使用一个SPR传感器500。多于一个SPR传感器500的分布使得可以对整个安装位置的不同点的环境变化进行采样。可选地,可将多个SPR传感器中的每一个设计成响应不同的环境变化,和/或不同的分析物。
尽管图4所示的示例系统使用了一个完整的光纤环形腔,需要注意的是,根据本发明的示例性表面等离子体腔衰荡检测(SPCRD)系统的光腔也可以由光纤和形成光腔的自由空间光学系统形成。例如,可在图3的示例光腔中沿光束路径154的一臂引入包括至少一个SPR传感器的光纤部分。该可选实施例的一个潜在优点是具有如下能力:即,容易在本示例性SPCRD系统中交换包含不同SPR传感器的光纤部分,使得SPCRD系统可以按照需要感测大量不同的环境变化中的任意一种。
此外,需要注意,也可以在示例SPCRD系统中使用驻波光腔。图11示出了示例光纤驻波腔1100,其包括也用作输入和输出耦合器的反射器1102。除了以下事实外,该光腔类似于图2所示的RDC 60,即,因为该光腔由光纤部分形成,示例性光纤驻波腔1100是柔性的,使得结合此光腔的SPCRD系统具有更大的自由度和通用性。应当注意,反射器1102可以是介质反射镜或金属反射镜,其可以直接形成于光纤驻波腔1100的劈开的末端上,或,可选地,通过自由空间光系统(未示出)将它们光学地耦合至光纤驻波腔1100上。需要注意,在此可选实施例中,需要沿着光纤驻波腔1100的长度方向放置SPR检测器500,以便至少一个在腔中形成的驻波模式的波腹处于SPR传感器中。如果SPR传感器的感测部分为一个或多个波长长度,这一条件很容易满足。
相干辐射源404可以是光学参量发生器(OPG)、光学参量放大器(OPA)、激光器、或其它相干源,该相干辐射源需要在与SPR传感器500的表面等离子体谐振波长一致的波长处发射辐射。相干源404可以是具有窄带的可调二极管激光器。可选地,相干源404可以包括不止一个光源以便在多个波长处提供辐射。这些波长可以对应于不同的SPR传感器500,或者它们也可以对应于用于不同的环境变化和/或不同的分析物的表面等离子体谐振器。商业上已有的光学参量放大器的一个实例是可从California的Mountain View的Spectra Physics获得的OPA-800C型。
预期本发明可用于检测流体中多种对人和/或动物有害的化学和生物试剂。这些化学和生物制剂的存在可以在这些流体的折射率中引起可以由SPR传感器500检测到的足够的变化。还可预期的是,通过如图7A和8A所示在SPR层814(位于锥形光纤部分802上)的外表面涂覆专门与所期望的试剂相结合的抗体,可以增强这种检测。这些抗体可被沉积于导电层816上以形成功能化学涂层818,这可响应于由抗体结合的试剂的数量而改变它的折射率。应当注意,功能化学涂层818还可选择性地由如下材料制成,该材料可以响应于其它特定的环境参数,例如温度、湿度、pH值、电场、电离辐射等,而改变其折射率。
在图4所示的示例性实施例的SPCRD系统中,需要通过可选的光学隔离器406、耦合器410、以及消逝输入耦合器412将相干源404发出的辐射提供给谐振光纤光学环408。可选地,可采用基于光栅的耦合器代替消逝输入耦合器412。在行波空腔中使用自由空间光系统或包括驻波腔的SPCRD系统中,可通过高反射率的反射镜或光腔的TIR棱镜的表面将辐射耦合进腔中。当相干源404是二极管激光器时,使用光学隔离器406通过阻止返回到激光器中的反射而有助于使得激光器中的噪声最小化。消逝输入耦合器412可将来自相干源404的固定百分比的辐射提供到谐振光纤光学环408中,或者是可以基于整个谐振光纤光学环408中存在的损耗进行调节。优选地,由消逝输入耦合器412(或其它耦合器)向谐振光纤光学环408提供的辐射的量与光纤光缆402和光腔连接器(未示出)中存在的损耗相匹配,从而达到腔中的稳态辐射谐振。商用的提供1%辐射耦合(99%/1%分裂比耦合)的消逝耦合器由New Jersey的ThorLabs of Newton制造,零件号码为10202A-99。在一个优选的实施例中,消逝输入耦合器412将少于相干源404发出辐射的1%的辐射耦合入光纤402。
光纤光缆402的横截面如图5所示。为了形成SPR传感器500,移除覆盖光纤光缆402的护套402a的部分,以暴露包围光纤光缆402的内芯402c的包层402b。可选地,可将护套402a和包层402b都移除,以暴露内芯402c。然而,由于在某些类型的光纤光缆中使用的内芯402c的易碎特性,这种可选方案可能不是最需要的。
可以预期的是,护套402a(在图中所示的任意的示例SPR传感器中)的移除可以由机械装置比如传统的光纤去皮工具,或者通过将光缆的这部分浸入会腐蚀并溶解护套402a而不影响包层402b和内芯402c的溶剂中实现。在部分移除护套402a的情况下,可以修改该溶剂方法,即向要移除的护套部分选择性地使用该溶剂。
图6提供了一示例性的图示,其说明了辐射是如何通过光纤光缆402传播的。如图6所示,辐射606在内芯402c和包层402b之间的边界处出现全内反射(TIR)。这时,存在一些可以忽略的损耗(未示出),即辐射没有被反射,而是被包层402b吸收所引起的损耗。尽管图6是按照光纤光缆进行描述的,图6和本发明的该示例性实施例都同等地适用于空心光纤,例如空心波导,其中包层402b包围一空心的内芯。
再次参照图4,在穿过传感器500后剩下的辐射继续穿过光纤环402。剩下的辐射的一部分由消逝输出耦合器416耦合出光纤环402。消逝输出耦合器416通过检测器418和信号线422与处理器420耦合。检测器418可以是任意类型的模拟光电检测器,比如光电二极管、光敏电阻、或光电晶体管。
需要注意,可选地,相干源404发出的辐射可通过信号消逝输入/输出耦合器耦合入或耦合出谐振光纤光学环408。这种消逝输入/输出耦合器可以将来自相干源404的固定百分比的辐射提供到谐振光纤光学环408中,或者可以基于在整个谐振光纤光学环404中出现的损耗进行调节。在此可选示例实施例中,消逝输入/输出耦合器实质上是上面就图4的示例性实施例所讨论的消逝输入耦合器412和消逝输出耦合器416的再组合。需要的是,这种消逝输入/输出耦合器将来自激光器404的少于1%的辐射耦合进光纤402。也可以用处理器420控制波长选择器430,以防止在将来自相干源404的辐射耦合进光纤402后的时间段内来自相干源404的辐射使得检测器418“致盲”。在另一个可选实施例中,可用同轴电吸收检测器(图中未示出)代替检测器418,使得不需要输出耦合器。理想地,在检测过程中该电吸收检测器吸收少于激光器404发出的辐射的1%。
处理器420可以是个人计算机,例如,具有用于将从检测器418的模拟输出转换成用于处理的数字信号、并被编程为执行对该数字信号的分析的装置。可选地,可以使用其它的处理器装置比如数字信号处理器、专用电路、或ASIC作为处理器420。处理器420还需要通过控制线424控制相干源404。一旦处理器420接收到由检测器418发出的信号,处理器可以基于由于检测到表面等离子体而引起的损耗量来确定测量到的环境变化的量和类型。对于脉冲相干源,可以基于腔中辐射的衰减率确定这种损耗,或者对于CW相干源,可以基于腔中的辐射的稳态能量水平确定这种损耗。
可选地,波长选择器430可置于消逝输出耦合器416和检测器418之间。波长选择器430充当滤波器以阻止不在预定范围的辐射输入检测器418中。该滤波器可以是可调滤波器,以允许搜索预定的带宽和/或跟踪可调相干源。此外,检测器414可被耦合至输入耦合器412的输出。检测器414的输出经由信号线422提供给处理器420,以便确定何时谐振光纤环402收到了用于执行SPR分析的足够辐射。
图7A-D示出了示例性SPR传感器,其可用于本发明的示例SPCRD系统,比如图4所示的示例性系统。如图7A和7D所示,通过使内芯804和包层805成为锥形以生成具有锥形内芯808和锥形包层809的锥形区域802,从而由光纤801形成传感器800。可以使用两种技术之一形成锥形区域802。第一种技术是加热光纤801的局部区域并且同时在期望形成传感器800的区域的任意一侧进行隔热拉伸。这一工序在光纤801中形成了固定的锥形。接着,在锥形区域802的表面的至少一部分上形成SPR层814。
图8A和8B示出根据本发明的示例SPR传感器的上半部分,示出示例性SPR层。图8A和8B中的虚线824表示用于这些示例SPR传感器中的光纤的轴。如图8A所示,SPR层814包括薄的导电层816,表面等离子体在该导电层上产生。可通过标准的沉积技术,例如溅射、蒸发、或外延形成该层,或者可以将其喷射或涂敷到锥形光纤上。导电层816包括一导电材料,例如金属或导电聚合物。
图8A还示出了功能化学涂层818,其可以在导电层816上形成。根据待测量的环境变化,可由多种材料形成功能化学涂层818。可用于聚集分析物的一种这样的涂层材料的例子是聚乙烯。此外,抗原特异性结合剂可被用于以高特异性吸引所期望的生物分析物。形成这种涂层所需的方法可根据形成它的材料而不同。
此外,可在导电层816上的多个部分中形成功能化学涂层818,并可以按期望的图案对其进行排列,该图案比如是沿着传感器的长度方向的条带形或围绕圆周的带环形。这些部分可以由不同的材料形成,以允许用单个的SPR传感器感测多个环境变化(或多个分析物)。可将该多个涂层部分设计成响应于单一辐射波长,从而提供对任意一感测到的变化(或分析物)的单一报警,或者可将它们设计成响应于不同的波长而提供多通道感测能力。
如上所述,本发明人已经发现了同时利用SPR和CRDS所提供的优点可适用于测量在SPR传感器附近的环境变化。这些环境变化可直接影响SPR传感器周围的流体的折射率,或者可以通过作为SPR层814的一部分而形成的功能化化学涂层818而加剧。用于这一涂层中的功能化学制品可以基于多种环境变化而改变其折射率,这些变化包括:温度、湿度、pH值、电场和电离辐射。功能化学涂层还可以响应于其表面上的结合事件而允许示例SPCRD系统检测到极少量的特定化学和生物制剂。传统的单独使用的CRDS具有这样的缺点,即,不具有SPR的锥形光纤谐振腔的灵敏度由于暴露于锥形感测区域812中的增强型消逝场810的分析物的吸收而受到限制。
使用SPR传感器的一个问题就是操作的波长范围。典型的金属导电层能支撑由波长范围为500nm-600nm内的辐射产生的表面等离子体。虽然目前有多种不同类型光纤可供使用,仍期望能在本发明的示例SPR传感器中使用相对便宜、损耗低的通信用光纤。一个例子是Corning的SMF-28e熔融硅光纤,其已经在通信应用中获得标准应用。存在能够传输许多不同波长的光的特种光纤,比如由Texas的Austin的3M公司制造的488nm/514nm单模光纤(零件号码为FS-VS-2614)、由Texas的Austin的3M公司制造的630nm可见波长单模光纤(零件号码为FS-SN-3224)、由Texas的Austin的3M公司制造的820nm标准单模光纤(零件号码为FS-SN-4224)、和由日本的KDD Fiberlabs制造的具有4-微米传输的0.28-NA氟化玻璃光纤(零件号码为GF-F-160)。此外,如上面所述,光纤光缆402可以是空心光纤。
光的波长影响锥形区域内的光模式转换并因此影响灵敏度,但是这种影响可由锥形设计来平衡。为了获得最高的灵敏度,优选与光纤的设计波长匹配的波长。尽管某些波长对于模式转换可以更灵敏,可以预期的是,远离光纤的设计波长的波长会由于引起过多的传输损耗和无用的衰荡信号而降低期望的灵敏度。在一个示例实施例中,波长是1550nm(电信光纤中的最低损耗波长),在此波长下可使得最便宜、耐用的电信元件实现优化。然而,其他波长也是适用的,比如1300nm(电信光纤中的零色散波长),尽管设想本发明可以使用1250nm和1650nm之间范围的波长。
可选地,使用400nm至700nm范围内的波长的光是理想的。尽管标准光纤对这些光的吸收可能过高,但在这个波长范围内的光对激发表面等离子体具有优势。这样,对低损耗可见波段光纤的改进可以容许设计改进的SPCRD系统。
图8B示出可选的示例SPR层820,其可用于扩展基于金属膜的SPR传感器的波长范围。可选的SPR层820由多种金属涂覆的电介质纳米粒子822形成。这些金属涂覆的电介质纳米粒子具有小于约1μm的直径,理想的直径范围是5nm-25nm。可选SPR层820能够支撑表面等离子体的辐射波长范围可受到金属涂覆的电介质纳米粒子822的直径和形成这种纳米粒子的电介质材料的介电特性的影响。金属涂覆电介质纳米粒子822还可涂覆有功能化学涂层。应当注意,与上面结合图8A描述的多涂布区域类似,具有不同的功能化学涂层的纳米粒子可结合于一单层的SPR层中,以形成一多通道SPR传感器。金属涂覆电介质纳米粒子822可静电地附着于光纤上,如图8B所示,或者可被容纳于一聚合物母体中(未示出)。如果金属涂覆电介质纳米粒子822容纳于聚合物母体中,则该聚合物母体用作示例性的SPR传感器的功能化学涂层。
图7B示出传感器800在锥体前和锥体后的区域中的横截面。如图7B所示,内芯804和包层805处于未改变的状态。应当注意,为了简单起见,图示和说明不涉及光纤光缆801的保护套,尽管这样的保护套被假定为是处于光纤光缆801的至少一部分的位置处。
图7C示出传感器800的锥形区域802中的横截面。如图7C所示,与内芯804和包层805相比,锥形内芯808和锥形包层809中每个的直径明显减小,并且都被SPR层814覆盖。锥形区域802可以是任何基于特定应用的长度。在该示例实施例中,如图7D所示,例如,腰部直径为约12微米的锥形区域的长度接近4mm。
再次参照图7A,与锥形区域802中的增强消逝场810相比,内芯804区域中的消逝场806很窄而且有限。如图所示,增强消逝场810易暴露于SPR层814以容许产生表面等离子体,就如以上关于较早的示例实施例讨论的那样,并且,因此,能更好的检测预期的环境变化。
图9A-9C示出另一个可用于检测环境变化的示例SPR传感器900。如图9A所示,通过去除包层905的一部分以形成基本上为“D”形横截面区域902,而由光纤901形成传感器900。“D”形横截面区域902的形成可使用,例如研磨料,抛光光纤包层905的一侧而实现。该研磨料可用于沿着区域902以持续增加深度的方式去除包层905以保持导模质量,最终在包层909的最小厚度点处到达最大深度。接着在锥形区域902的表面的至少一部分处形成SPR层914。该最低包层厚度的区域表示最大消逝暴露区域910。
图10A-10C示出另一个可被用于检测环境变化的示例性的SPR传感器1000。使用上述的关于锥形传感器的示例实施例的第二技术形成SPR传感器1000。如图10A所示,如本领域技术人员所知,通过使用化学试剂去除包层1005的一部分,从而由光纤1001形成SPR传感器1000,以形成具有锥形包层1009的锥形区域1002。重要的是,不能让该化学试剂破坏或去除内芯的任何部分,因为这将在SPR传感器1000中引起极大的损耗。接着在锥形区域1002的表面的至少一部分上形成SPR层1014。
图10B示出SPR传感器1000在锥体前和锥体后区域中的横截面。如图10B所示,内芯1004和包层1005处于未改变状态。仍需注意,为简单起见,图示和说明不涉及光纤光缆1001的保护套,尽管这样的保护套假定为是在光纤光缆1001的至少一部分的位置处。
图10C示出SPR传感器1000的锥形区域1002中的横截面。如图10C所示,内芯1004不受影响而与包层1005相比锥形包层1009直径明显减小,且SPR层1014被形成于锥形包层1009上。锥形区域1002可以是任何基于特定应用的所需长度。例如,在该示例性的实施例中,腰部直径为约12微米的锥形区域的长度接近4mm。
再次参照图10A,与锥形区域1002中的增强消逝场1010相比,内芯1004区域中的消逝场1006很窄而且有限。如图所示,增强消逝场1010易暴露于SPR层1014以容许产生表面等离子体,就如以上关于较早的示例实施例讨论的那样,并且,因此,能更好的检测预期的环境变化。
对于上述的传感器800、900和1000,可通过在改造光纤前针对预期的检测限制确定适当的锥形直径或抛光深度,而由暴露于SPR层的消逝场的量来平衡因形成传感器而在光纤中产生的损耗。此外,理想的是,为传感器800、900和/或1000提供保护装置以补偿由于各自成锥形和抛光的操作所增加的脆度。
设想传感器800、900和/或1000可作为未受限制的光纤用在圆柱芯元件中(其可以是实心的、空心的或其它可穿透的),比如芯轴,或在环形或弯曲结构中(未示出),如于2001年12月12日提交的美国专利申请10/017,367号所述。
图12是示出使用根据本发明的示例SPCRD系统在流体中检测环境变化的示例方法的流程图。步骤1200,将相干光辐射耦合入SPCRD系统的光腔中。该相干光辐射可以是脉冲形式的或CW形式的。理想地,该相干光辐射应当包括预定波长。
步骤1202,监测光腔中的相干光辐射的功率水平,而步骤1204,基于该被监测的功率水平确定该光腔的初始腔损耗。如果该耦合入腔中的相干光辐射是CW形式的,可基于光腔中的相干光辐射的平均监测功率水平确定该初始腔损耗。该平均监测功率水平表示耦合入腔中的相干光辐射和该腔损耗之间的平衡。然而,如果该耦合入腔中的相干光辐射是脉冲形式的,可基于该光腔中的相干光辐射的监测功率水平的衰减率而确定该初始腔损耗。机械遮光器可用于由CW源产生脉冲光。
应当注意,由于这种方法具有提高了的灵敏度,检测衰减率优于检测腔平衡功率水平。该衰减率仅仅涉及在开始测量的时候已经处于光腔中的辐射的特性,并且,因此,该衰减率对相干源中的噪声的敏感性弱。
步骤1206,将SPCRD系统的SPR传感器暴露于针对环境变化的待监测流体,而步骤1208,在将SPR传感器暴露于流体后,基于监测到的功率水平对光腔的腔损耗进行检测。根据耦合入腔中的相干光辐射是CW形式的还是脉冲形式的,在步骤1208中的腔损耗的检测以与步骤1204中的初始腔损耗相同的方式进行。
步骤1210,接着基于光腔的初始腔损耗和检测腔损耗之间的差异检测流体中的任何环境变化。应当注意,该流体可具有与用于建立初始腔损耗值的环境不同的折射率。如果没有对SPR传感器使用功能化学涂层,这种折射率的差异将被检测为环境变化。
尽管此处参照某些特定的实施例进行了示范和描述,本发明不应当局限于显示的细节。相反,可以不脱离本发明的精神在权利要求的范围及其等同的范围内对细节进行多种修改。

Claims (87)

1.一种形成于光纤部分中的基于光纤的表面等离子体谐振(SPR)检测器,所述SPR检测器包括:
光纤部分中的锥形光纤部分,该锥形光纤部分具有外表面;和
导电层,其能够支撑形成于所述锥形光纤部分的所述外表面上的表面等离子体,所述表面等离子体响应于所述锥形光纤部分附近的环境变化。
2.如权利要求1所述的SPR检测器,其中所述锥形光纤部分由对所述光纤部分进行加热和隔热拉伸而形成。
3.如权利要求1所述的SPR检测器,其中所述导电层包括形成于所述光纤部分中的所述锥形光纤部分上的金属膜。
4.如权利要求1所述的SPR检测器,其中所述导电层包括多个金属涂覆的电介质纳米粒子,每个电介质纳米粒子的直径都小于约1μm。
5.如权利要求1所述的SPR检测器,还包括:
导电层上的功能化学涂层,所述功能化学涂层具有响应于所述锥形光纤部分附近的环境变化的折射率。
6.如权利要求5所述的SPR检测器,其中所述功能化学涂层适于聚集预定分析物。
7.如权利要求5所述的SPR检测器,其中所述功能化学涂层包括多个化学涂层区域,每个化学涂层区域适于聚集不同的预定分析物。
8.如权利要求5所述的SPR检测器,其中所述功能化学涂层的折射率所响应的所述环境变化包括下述情形中的至少一种:
所述锥形光纤部分附近的流体的化学成分;
所述锥形光纤部分附近的环境温度;
所述锥形光纤部分附近的湿度;
所述锥形光纤部分附近的pH值;
所述锥形光纤部分附近的电场;以及
所述锥形光纤部分附近的电离辐射。
9.如权利要求1所述的SPR检测器,其中所述表面等离子体所响应的所述环境变化包括与所述导电层接触的材料的折射率。
10.如权利要求1所述的SPR检测器,其中所述光纤部分由塑料、熔融二氧化硅、蓝宝石、或氟化玻璃中的至少一种形成。
11.如权利要求1所述的SPR检测器,其中所述光纤部分由空心光纤形成。
12.如权利要求1所述的SPR检测器,其中所述光纤部分是单模光纤或多模光纤中的一种。
13.如权利要求1所述的SPR检测器,其中所述光纤部分在电磁光谱的可见光区域和所述电磁光谱的中-红外区域之间的波长处谐振。
14.一种与相干光源结合使用以检测环境变化的装置,所述装置包括:
光腔,包括输入耦合端口和光纤部分,所述光纤部分包括涂覆有导电层的检测部分,其中所述导电层能支撑表面等离子体以提供腔损耗,所述表面等离子体响应于所述检测部分附近的环境变化;
相干光源,光学地耦合至所述光腔的所述输入耦合端口,以便向所述光腔提供辐射;
检测器,光学地耦合至所述光腔以监测所述光腔中的辐射;和
电耦合至所述检测器的处理器,用于基于所述检测器监测的所述光腔中的辐射衰减率分析所述光腔的所述检测部分附近的环境变化。
15.如权利要求14所述的装置,其中:
所述光腔是调谐至所述相干光源的峰值波长的驻波腔;以及
由来自所述相干光源的辐射在所述驻波腔中形成的驻波图案包含多个波腹。
16.如权利要求15所述的装置,其中:
所述检测器与所述驻波图案的至少一个波腹光学地耦合;以及
所述光纤部分的所述检测部分包括所述驻波图案的至少一个波腹。
17.如权利要求16所述的装置,还包括在光学耦合至所述检测器的所述至少一个波腹附近的输出耦合端口。
18.如权利要求14所述的装置,其中所述光腔是行波腔。
19.如权利要求18所述的装置,其中所述光腔是由所述光纤部分形成的闭合光纤光学环。
20.如权利要求14所述的装置,其中所述光腔的所述输入耦合端口是下述中的一个:
光栅耦合器;
高反射率反射镜;或
消逝光纤耦合器。
21.如权利要求14所述的装置,其中所述光纤腔还包括至少一个其它光纤部分,每个光纤部分包括至少一个检测部分。
22.如权利要求14所述的装置,其中所述光纤部分的所述检测部分是锥形光纤部分。
23.如权利要求22所述的装置,其中所述锥形光纤部分是通过对所述光纤部分进行加热和隔热拉伸而形成的。
24.如权利要求14所述的装置,其中所述光纤部分还包括至少一个其它检测部分。
25.如权利要求14所述的装置,其中覆盖所述光纤部分中的所述检测部分的所述导电层包括形成于所述光纤部分中的所述检测部分上的金属膜。
26.如权利要求14所述的装置,其中覆盖所述光纤部分中的所述检测部分的所述导电层包括多个金属涂覆的电介质纳米粒子,每个电介质纳米粒子的直径小于约1μm。
27.如权利要求14所述的装置,其中:
所述光纤部分的所述检测部分还包括在所述导电涂层上的功能化学涂层;且
所述功能化学涂层的折射率响应于所述检测部分附近的环境变化。
28.如权利要求27所述的装置,其中所述功能化学涂层适于聚集预定分析物。
29.如权利要求27所述的装置,其中所述功能化学涂层包括多个化学涂层部分,每个化学涂层部分适于集中不同的预定分析物。
30.如权利要求27所述的装置,其中所述功能化学涂层的折射率所响应的所述环境变化包括下述情形中的至少一个:
所述检测部分附近的流体的化学成分;
所述检测部分附近的环境温度;
所述检测部分附近的湿度;
所述检测部分附近的pH值;
所述检测部分附近的电场;以及
所述检测部分附近的电离辐射。
31.如权利要求14所述的装置,其中所述表面等离子体所响应的所述环境变化包括与所述导电层接触的材料的折射率。
32.如权利要求14所述的装置,其中所述光纤部分由塑料、熔融二氧化硅、蓝宝石、或氟化玻璃中的至少一种形成。
33.如权利要求14所述的装置,其中所述光纤部分由空心光纤形成。
34.如权利要求14所述的装置,其中所述光纤部分是单模光纤或多模光纤中的一种。
35.如权利要求14所述的装置,其中所述光纤部分在电磁光谱的可见光区域和所述电磁光谱的中-红外区域之间的波长处谐振。
36.如权利要求14所述的装置,其中所述光纤部分至少约1m长。
37.如权利要求14所述的装置,其中所述光纤部分至少约10m长。
38.如权利要求14所述的装置,其中所述光纤部分至少约1km长。
39.如权利要求14所述的装置,其中所述相干光源包括光学参量发生器或光学参量放大器中的至少一个。
40.如权利要求14所述的装置,其中所述相干光源是激光源。
41.如权利要求40所述的装置,其中所述激光源包括脉冲激光器或连续波激光器中的一个。
42.如权利要求40所述的装置,其中所述激光源包括光纤激光器或具有窄波带的可调二极管激光器中的一个。
43.如权利要求40所述的装置,其中所述激光源是在约400nm和约700nm波长范围内可调的单模激光器。
44.如权利要求40所述的装置,其中所述激光源是在约1250nm和约1650nm波长范围内可调的单模激光器。
45.如权利要求14所述的装置,其中由所述相干光源提供给所述光腔的所述辐射是具有预定峰值波长的单模激光。
46.如权利要求45所述的装置,其中所述预定峰值波长在约400nm至约700nm的第一范围或在约1250nm至约1650nm的第二范围内。
47.如权利要求14所述的装置,其中:
由所述相干光源提供给所述光腔的所述辐射具有多个光谱峰值,每个光谱峰值都具有对应的峰值波长;
所述检测器单独光学地监测所述光腔中的所述辐射的每个光谱峰值;以及
所述处理器基于与所述光腔中所述辐射的多个光谱峰值相对应的多个光谱峰值衰减率,分析所述光腔的所述检测部分附近的环境变化。
48.如权利要求47所述的装置,其中所述光腔包括多个检测部分,每个检测部分具有相应的能支撑相应表面等离子体以便在相应的峰值波长处提供腔损耗的导电层。
49.如权利要求48所述的装置,其中:
所述光纤部分中的每个检测部分还包括相应的功能化学涂层;
每个功能化学涂层都适合于聚集相应的预定分析物;以及
每个功能化学涂层的折射率响应于所聚集的所述相应预定分析物的量。
50.如权利要求14所述的装置,还包括:
光隔离器,光学耦合在所述相干光源和所述光腔的所述输入端口之间,该光隔离器与从所述相干光源发出的所述辐射同轴,以便所述光隔离器使得来自相干光源的噪声最小化。
51.如权利要求14所述的装置,其中所述检测器是在所述光纤部分中的同轴的电吸收监测器。
52.如权利要求14所述的装置,其中:
所述光腔还包括输出端口;
所述输出端口包括下述至少之一:
光栅耦合器;
高反射率反射镜;或
消逝光纤耦合器;以及
所述检测器通过所述输出端口光学地耦合至所述光腔。
53.如权利要求52所述的装置,其中所述检测器包括光电二极管、光敏电阻、或光敏晶体管中的至少一个。
54.如权利要求52所述的装置,其中所述装置还包括置于所述输出端口和所述检测器之间的光路中的滤光器,以选择性地使得从所述光腔至所述检测器的所述辐射的一部分通过。
55.如权利要求54所述的装置,其中所述滤光器是可调滤光器。
56.如权利要求14所述的装置,还包括输入检测器,用于确定何时将来自所述相干光源的所述辐射提供给所述光腔。
57.如权利要求56所述的装置,还包括光源控制装置,以便在所述输入检测器确定所述相干光源已经将所述辐射提供给所述光腔后使所述相干光源无效。
58.如权利要求57所述的装置,其中将所述控制装置和所述输入检测器电耦合至所述处理装置。
59.如权利要求56所述的装置,其中:
所述输入检测器电耦合至所述处理器,并且在将来自所述相干光源的辐射提供给所述光腔时传输触发信号至所述处理器;以及
在接收到来自所述输入检测器的所述触发时,所述处理器开始分析所述光腔中的所述辐射的衰减率。
60.一种与发出辐射的相干光源结合使用的用于检测结合事件的装置,所述装置包括:
无源的、闭合的光纤光学环;
具有预定形状和导电涂层的传感器,所述传感器与所述无源的、闭合的光纤光学环同轴,所述导电涂层能支撑由所述无源的、闭合的光纤光学环中的传播场驱动的表面等离子体并响应于所述导电涂层表面上的结合事件的水平;
耦合装置,用于i)将由所述相干光源发出的辐射的至少一部分光学地耦合至所述无源的、闭合的光纤光学环,以便在所述无源的、闭合的光纤光学环中产生传播场,以及ii)传输来自所述无源的、闭合的光纤光学环的传播场的检测部分;
检测器,用于检测由所述耦合装置传输出的所述传播场的所述检测部分的功率水平,并产生响应于该功率水平的信号;以及
处理器,其被电耦合至所述检测器上,用于基于由所述检测器检测的所述传播场的所述检测部分的功率水平的衰减率,确定在所述传感器的所述导电涂层的表面上的所述结合事件的水平。
61.如权利要求60所述的装置,其中:
所述传感器的所述预定形状是形成于所述传感器的两个末端之间的锥形部分;以及
所述预定形状被暴露于周围的流体中。
62.如权利要求61所述的装置,其中所述锥形部分通过对所述无源的、闭合的光纤光学环的传感器部分进行加热和隔热拉伸而形成。
63.如权利要求61所述的装置,其中所述流体是气体、液体、或悬浮液中的至少一种。
64.如权利要求60所述的装置,其中当所述无源的、闭合的光纤光学环中的所述传播场的波长与所述导电涂层的特征等离子体谐振波长匹配时,所述传感器的所述导电涂层是可激发的。
65.如权利要求64所述的装置,其中所述传感器还包括形成于所述导电涂层上的功能化学涂层。
66.如权利要求65所述的装置,其中所述功能化学涂层适于聚集预定的分析物。
67.如权利要求60所述的装置,其中所述传感器的所述导电涂层包含金属膜。
68.如权利要求60所述的装置,其中所述传感器的导电涂层包括多个金属涂覆的电介质纳米粒子,每个电介质纳米粒子的直径小于约1μm。
69.如权利要求60所述的装置,其中所述耦合装置是单个光耦合器。
70.如权利要求60所述的装置,其中所述耦合装置包括i)第一光耦合器,用于将由所述相干光源发出的所述部分辐射光学地耦合入所述无源的、闭合的光纤光学环的第一部分中,和ii)第二光耦合器,用于传输来自所述无源的、闭合的光纤光学环的第二部分的所述传播场的所述检测部分。
71.如权利要求60所述的装置,还包括滤光器,置于所述耦合装置和所述检测器之间的光路中,以选择性地使由所述耦合装置传输出的来自所述无源的、闭合的光纤光学环的所述传播场的所述检测部分通到所述检测器。
72.如权利要求71所述的装置,其中所述滤光器基于所述检测部分的波长选择性地使所述传播场的所述检测部分通过并到达所述检测器。
73.如权利要求60所述的装置,其中所述相干光源包括至少如下之一:
光学参量发生器;
光学参量放大器;或
激光源。
74.如权利要求60所述的装置,还包括:
光隔离器,其耦合于所述相干光源和所述耦合装置之间,且与由所述相干光源发出的所述辐射同轴,以使所述光隔离器能使得反射回所述相干光源的噪声最小化。
75.如权利要求60所述的装置,其中所述产生于所述传感器的所述导电涂层表面上的所述表面等离子体使得无源的、闭合的光纤光学环中的传播场耗散。
76.如权利要求60所述的装置,其中所述无源的、闭合的光纤光学环由塑料、熔融二氧化硅、蓝宝石、或氟化玻璃中的至少一种形成。
77.如权利要求60所述的装置,其中所述无源的、闭合的光纤光学环由空心的光纤形成。
78.如权利要求60所述的装置,其中所述无源的、闭合的光纤光学环由单模光纤或多模光纤之一形成。
79.如权利要求60所述的装置,其中耦合到所述无源的、闭合的光纤光学环中的所述辐射的输入部分的耦合功率低于由所述相干光源发出的所述辐射的出射功率的约1%。
80.如权利要求60所述的装置,其中耦合到所述无源的、闭合的光纤光学环中的所述辐射的输入部分的耦合功率是可变的。
81.如权利要求80所述的装置,其中:
所述辐射的输入部分的所述耦合功率是基于所述无源的、闭合的光纤光学环内的环路损耗而变化的;和
所述环路损耗至少是基于连接器损耗和光纤损耗。
82.如权利要求60所述的装置,其中所述无源的、闭合的光纤光学环的周长至少是约1m。
83.如权利要求60所述的装置,其中所述无源的、闭合的光纤光学环的周长至少是约10m。
84.如权利要求60所述的装置,其中所述无源的、闭合的光纤光学环的周长至少是约1km。
85.一种利用表面等离子体腔衰荡检测(SPCRD)系统检测流体中的环境变化的改进方法,其中所述表面等离子体腔衰荡检测(SPCRD)系统包括在光腔内光学耦合的表面等离子体谐振(SPR)传感器,所述SPR传感器由金属涂覆的锥形光纤部分形成,所述方法包括:
将相干光辐射耦合入所述SPCRD系统的所述光腔中,所述相干光辐射包括预定的波长;
监测所述光腔中的所述相干光辐射的功率水平;
基于监测到的功率水平确定所述光腔的初始腔损耗;
将SPR传感器暴露于所述流体;
在将所述SPR传感器暴露于所述流体后,基于监测到的功率水平确定所述光腔的检测腔损耗;和
基于所述光腔的所述初始腔损耗和所述检测腔损耗之间的差异,检测所述流体中的环境变化。
86.如权利要求85所述的方法,其中:
耦合入所述光腔中的所述相干光辐射是恒定波光辐射;
基于将所述SPR传感器暴露于所述流体之前监测到的所述光腔中的所述相干光辐射的平均监测功率水平,确定所述初始腔损耗;和
基于将所述SPR传感器暴露于所述流体之后监测到的所述光腔中的所述相干光辐射的所述平均监测功率水平,确定所述检测腔损耗。
87.如权利要求85所述的方法,其中:
耦合入所述光腔的所述相干光辐射是脉冲光辐射;
基于将所述SPR传感器暴露于所述流体之前监测到的所述光腔中的所述相干光辐射的所述监测功率水平的衰减速率,确定初始腔损耗;和
基于将所述SPR传感器暴露于所述流体之后监测到的所述光腔中的所述相干光辐射的所述监测功率水平的衰减速率确定检测腔损耗。
CNA2005800486108A 2004-12-23 2005-12-20 光纤谐振器中表面等离子体谐振的光腔衰荡检测法 Pending CN101128730A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/021,572 2004-12-23
US11/021,572 US7352468B2 (en) 2001-12-12 2004-12-23 Cavity ring-down detection of surface plasmon resonance in an optical fiber resonator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101128730A true CN101128730A (zh) 2008-02-20

Family

ID=36143233

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2005800486108A Pending CN101128730A (zh) 2004-12-23 2005-12-20 光纤谐振器中表面等离子体谐振的光腔衰荡检测法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7352468B2 (zh)
EP (1) EP1846750A1 (zh)
JP (1) JP2008525802A (zh)
KR (1) KR20070100325A (zh)
CN (1) CN101128730A (zh)
TW (1) TW200636229A (zh)
WO (1) WO2006071642A1 (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103064145A (zh) * 2013-01-05 2013-04-24 南京信息工程大学 一种湿度传感光纤及其制备方法与应用
CN103733100A (zh) * 2011-07-27 2014-04-16 诺基亚公司 与检测电磁信号发送有关的装置和关联方法
CN104321638A (zh) * 2012-06-01 2015-01-28 日东电工株式会社 Spr传感器元件和spr传感器
CN104458586A (zh) * 2014-12-05 2015-03-25 中国科学院光电技术研究所 一种在光反馈光腔衰荡技术中筛选衰荡信号的方法
CN104568751A (zh) * 2014-12-22 2015-04-29 广西师范大学 一种光衰荡腔表面等离子共振传感器解调装置
CN106442419A (zh) * 2016-09-06 2017-02-22 大连理工大学 自补偿spr光纤生化传感器
CN107750333A (zh) * 2015-05-18 2018-03-02 Inl-国际伊比利亚纳米技术实验室 在用于对流体中的一种或多种化合物进行检测的系统中使用的光纤
CN112033676A (zh) * 2020-09-03 2020-12-04 中铁隧道局集团有限公司 盾构机主轴承检测及修复方法

Families Citing this family (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7361472B2 (en) 2001-02-23 2008-04-22 Invitrogen Corporation Methods for providing extended dynamic range in analyte assays
GB0302174D0 (en) * 2003-01-30 2003-03-05 Shaw Andrew M Sensing apparatus and methods
US20050141843A1 (en) * 2003-12-31 2005-06-30 Invitrogen Corporation Waveguide comprising scattered light detectable particles
GB0405820D0 (en) * 2004-03-15 2004-04-21 Evanesco Ltd Time resolved and multiplexed cavity sensing apparatus and methods
US20070229834A1 (en) 2004-10-22 2007-10-04 Patel C Kumar N System and method for high sensitivity optical detection of gases
US7327460B2 (en) * 2005-11-02 2008-02-05 Honeywell International, Inc. Transmission mode RFOG and method for detecting rotation with RFOG
TWI354781B (en) * 2005-11-11 2011-12-21 Laikwan Chau Surface plasmon resonance sensing system, apparatu
US8305583B2 (en) * 2005-11-11 2012-11-06 National Chung Cheng University Localized surface plasmon resonance sensing system, appartatus, method thereof
US7903704B2 (en) * 2006-06-23 2011-03-08 Pranalytica, Inc. Tunable quantum cascade lasers and photoacoustic detection of trace gases, TNT, TATP and precursors acetone and hydrogen peroxide
US20080116361A1 (en) * 2006-11-16 2008-05-22 Honeywell International, Inc. Apparatus and method for chemical and biological sensing
US7586619B2 (en) 2006-12-21 2009-09-08 Honeywell International, Inc. Spectral balancing system and method for reducing noise in fiber optic gyroscopes
US7671325B2 (en) * 2007-02-27 2010-03-02 Honeywell International Inc. Biological Agent Signature Detector With an Optical Fiber Cladding Combined With a Bio-Indicator
JP2009025199A (ja) * 2007-07-20 2009-02-05 Univ Soka 光ファイバ型表面プラズモン湿度センサ、表面プラズモン湿度センサ、光ファイバ型湿度センサ及び湿度測定装置
US7668420B2 (en) * 2007-07-26 2010-02-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optical waveguide ring resonator with an intracavity active element
TW200944776A (en) * 2008-03-04 2009-11-01 Kurashiki Boseki Kk Total reflection attenuation type far-ultraviolet spectroscopy and concentration measurement device using the spectroscopy
JP5392949B2 (ja) * 2008-03-25 2014-01-22 Nuエコ・エンジニアリング株式会社 キャビティリングダウン分光方法及びその方法を用いた分光装置
TW200942803A (en) * 2008-04-07 2009-10-16 Delta Electronics Inc Biosensor
WO2010084523A1 (ja) * 2009-01-20 2010-07-29 学校法人創価大学 湿度センサ及び湿度測定装置
US20150285728A1 (en) 2009-12-11 2015-10-08 Washington University Detection of nano-scale particles with a self-referenced and self-heterodyned raman micro-laser
US9012830B2 (en) * 2009-12-11 2015-04-21 Washington University Systems and methods for particle detection
US11754488B2 (en) 2009-12-11 2023-09-12 Washington University Opto-mechanical system and method having chaos induced stochastic resonance and opto-mechanically mediated chaos transfer
IT1400852B1 (it) * 2010-05-14 2013-07-02 Torino Politecnico Sensore a risonanza plasmonica superficiale a base di fibre magneto-ottiche e procedimento per la determinazione di sostanze chimiche presenti nell'aria
WO2011114314A1 (en) * 2010-03-19 2011-09-22 Politecnico Di Torino Optical fibre made with magneto-optical glasses, surface plasmon resonance sensor based on said optical fibre and method for determining chemical substances present in the air
CN101871791B (zh) * 2010-06-30 2012-03-14 中国人民解放军国防科学技术大学 基于光子晶体光纤的压力测量系统
US8452134B1 (en) 2010-08-30 2013-05-28 Sandia Corporation Frequency selective infrared sensors
KR101249754B1 (ko) * 2010-10-25 2013-04-02 중앙대학교 산학협력단 비대칭 마흐-젠더 간섭계를 포함한 링 공진기 센서, 이러한 링 공진기를 구비한 자기 참조 도파로 센서 및 이러한 링 공진기 센서를 구비한 마이크로 공진기 센서 장치
JP2012132743A (ja) * 2010-12-21 2012-07-12 Fujifilm Corp 光電場増強デバイスおよび光検出装置
CN102183487B (zh) * 2011-02-11 2013-01-23 上海理工大学 一种基于spr镀金属膜双峰谐振液体传感器的制造方法
CA2768946C (en) * 2011-02-22 2019-01-08 Queen's University At Kingston Multiple wavelength cavity ring-down spectroscopy
CN102353655A (zh) * 2011-07-07 2012-02-15 天津大学 基于光子晶体光纤表面等离子体共振传感器
US9608408B2 (en) 2012-09-26 2017-03-28 Pranalytica, Inc. Long wavelength quantum cascade lasers based on high strain composition
US10060851B2 (en) 2013-03-05 2018-08-28 Plexense, Inc. Surface plasmon detection apparatuses and methods
KR101592241B1 (ko) 2013-04-15 2016-02-05 (주)플렉센스 나노 입자 어레이의 제조 방법, 표면 플라즈몬 공명 기반의 센서, 및 이를 이용한 분석 방법
CN103884679B (zh) * 2014-04-18 2016-01-20 山西大学 结合卡尔曼滤波器的腔衰荡光谱技术气体浓度监测方法
US10460188B2 (en) * 2014-08-26 2019-10-29 Gingy Technology Inc. Bio-sensing apparatus
US9437629B1 (en) 2015-03-02 2016-09-06 Sandia Corporation Rectenna that converts infrared radiation to electrical energy
WO2016171670A1 (en) * 2015-04-21 2016-10-27 Halliburton Energy Services, Inc. Partially reflective materials and coatings for optical communication in a wellbore
US10545290B2 (en) * 2016-01-18 2020-01-28 Corning Incorporated Polymer clad fiber for evanescent coupling
WO2017193223A1 (en) * 2016-05-12 2017-11-16 Senswear Inc. Optical fiber sensor
KR101854073B1 (ko) 2017-02-07 2018-05-02 연세대학교 산학협력단 회랑 모드 기반 센서, 그를 이용하여 분자를 측정하는 장치 및 상기 회랑 모드 기반 센서의 제조 시 금속 나노 입자를 캐비티에 형성하는 방법
CN107271406A (zh) * 2017-06-23 2017-10-20 西北大学 级联微球谐振腔型湿度传感器
US10134569B1 (en) * 2017-11-28 2018-11-20 Lam Research Corporation Method and apparatus for real-time monitoring of plasma chamber wall condition
CN108593119B (zh) * 2018-04-11 2020-10-30 南京大学 一种连续分布式微结构光纤生化传感器和信号处理方法
US11296240B1 (en) 2018-12-10 2022-04-05 National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc Tunneling full-wave infrared rectenna
CN109540179B (zh) * 2018-12-21 2024-05-17 南京信息工程大学 基于表面等离子体共振的光纤锥形传感探头及其制作方法
US11805396B2 (en) 2019-03-27 2023-10-31 Analog Devices, Inc. Coherent summation in wireless sensor platforms
US10718711B1 (en) * 2019-04-11 2020-07-21 Jinan University Fiber optic sensing apparatus, system, and method of use thereof
KR20220024908A (ko) 2019-07-24 2022-03-03 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 방사선 소스
CO2019014494A1 (es) * 2019-12-20 2021-06-21 Politecnico Colombiano Jaime Isaza Cadavid Estructura de fibra óptica
JP7443894B2 (ja) * 2020-03-31 2024-03-06 横河電機株式会社 分光分析装置、分光分析装置の動作方法、及びプログラム
WO2023100203A1 (en) * 2021-12-03 2023-06-08 Universita' Degli Studi Della Campania "Luigi Vanvitelli" Optical sensor, support for said optical sensor and detection system to detect the presence and/or concentration of an analyte in a solution
CN116930831B (zh) * 2023-09-18 2023-11-17 中北大学 一种基于宽谱光源的光纤腔磁传感器及测量方法

Family Cites Families (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1719443A (en) 1925-06-24 1929-07-02 Zeiss Carl Fa Reversing prism affording parallel vision
NL291813A (zh) 1963-04-22 1900-01-01
US3434073A (en) 1964-02-24 1969-03-18 Philco Ford Corp Rapid acting laser q-switch
US3520610A (en) * 1965-03-08 1970-07-14 Technical Operations Inc Particle distribution readout using holographic methods
US4161436A (en) 1967-03-06 1979-07-17 Gordon Gould Method of energizing a material
US4746201A (en) 1967-03-06 1988-05-24 Gordon Gould Polarizing apparatus employing an optical element inclined at brewster's angle
US3976368A (en) 1973-12-03 1976-08-24 Polaroid Corporation Special optical element for camera to microscope adaptor
US3982203A (en) 1973-12-28 1976-09-21 Texas Instruments Incorporated Method of preventing post pulsing of Q-switched laser
US4677639A (en) 1977-12-12 1987-06-30 Laser Photonics, Inc. Laser device
US4530603A (en) 1982-09-29 1985-07-23 The Board Of Trustees Of Leland Stanford Jr. Univ. Stabilized fiber optic sensor
US4525034A (en) 1982-12-07 1985-06-25 Simmons Clarke V Polarizing retroreflecting prism
US4775214A (en) 1983-12-21 1988-10-04 Rosemount Inc. Wavelength coded resonant optical sensor
US4578793A (en) 1984-07-13 1986-03-25 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Solid-state non-planar internally reflecting ring laser
US4740986A (en) 1985-12-20 1988-04-26 Hughes Aircraft Company Laser resonator
JPS6313386A (ja) 1986-07-04 1988-01-20 Hamamatsu Photonics Kk 短パルスレ−ザ光発生装置
DE3826527A1 (de) * 1988-08-04 1990-02-08 Bosch Gmbh Robert Stereolambdaregelung
US5026991A (en) 1989-09-20 1991-06-25 Spectral Sciences, Inc. Gaseous species absorption monitor
EP0517930B1 (en) 1991-06-08 1995-05-24 Hewlett-Packard GmbH Method and apparatus for detecting the presence and/or concentration of biomolecules
US5168156A (en) 1991-06-28 1992-12-01 The Standard Oil Company Reflective evanescent fiber-optic chemical sensor
US5239176A (en) 1991-10-03 1993-08-24 Foster-Miller, Inc. Tapered optical fiber sensing attenuated total reflectance
US5276548A (en) 1992-12-01 1994-01-04 Eli Margalith Ring cavity optical parametric apparatus
US5463493A (en) 1993-01-19 1995-10-31 Mvm Electronics Acousto-optic polychromatic light modulator
US5483342A (en) 1993-06-25 1996-01-09 Hughes Aircraft Company Polarization rotator with frequency shifting phase conjugate mirror and simplified interferometric output coupler
GB9401170D0 (en) 1994-01-21 1994-03-16 Lynxvale Limited . Optical sensor
US5528040A (en) 1994-11-07 1996-06-18 Trustees Of Princeton University Ring-down cavity spectroscopy cell using continuous wave excitation for trace species detection
US5591407A (en) * 1995-04-21 1997-01-07 American Research Corporation Of Virginia Laser diode sensor
DE19650899A1 (de) 1996-12-07 1998-06-18 Gunnar Dr Brink Optische Sensoren unter der Verwendung durchstimmbarer Laserdioden
US5912740A (en) 1997-06-20 1999-06-15 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Ring resonant cavities for spectroscopy
US6172823B1 (en) 1997-10-21 2001-01-09 Trustees Of Princeton University Mode matching for cavity ring-down spectroscopy based upon Brewster's angle prism retroreflectors
US5973864A (en) 1997-10-21 1999-10-26 Trustees Of Princeton University High-finesse optical resonator for cavity ring-down spectroscopy based upon Brewster's angle prism retroreflectors
US6172824B1 (en) 1997-10-21 2001-01-09 Trustees Of Princeton University Low loss prism retroreflectors for relative index of refraction less than the square root of 2
US5986768A (en) 1997-10-31 1999-11-16 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Commerce Intra-cavity total reflection for high sensitivity measurement of optical properties
US5835231A (en) 1997-10-31 1998-11-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Broad band intra-cavity total reflection chemical sensor
DE19814575A1 (de) 1998-04-01 1999-10-07 Bosch Gmbh Robert Optischer Sensor
US6466322B1 (en) 1998-12-31 2002-10-15 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Swept continuous wave cavity ring-down spectroscopy
US6532072B1 (en) 2000-03-13 2003-03-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Fiber-amplifier cavity for cavity ring down spectroscopy
EP1195582A1 (en) 2000-10-09 2002-04-10 Eidgenössische Technische Hochschule Zürich Fiber optic sensor with an optical resonator
CA2442359C (en) 2001-04-11 2011-04-05 Rapid Biosensor Systems Limited Optical biological measurement system using scraping means to collect the sample
US6842548B2 (en) 2001-05-29 2005-01-11 Queen's University At Kingston Optical loop ring-down
US6795190B1 (en) * 2001-10-12 2004-09-21 Los Gatos Research, Inc. Absorption spectroscopy instrument with off-axis light insertion into cavity
US7318909B2 (en) 2001-12-12 2008-01-15 Trustees Of Princeton University Method and apparatus for enhanced evanescent field exposure in an optical fiber resonator for spectroscopic detection and measurement of trace species

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103733100A (zh) * 2011-07-27 2014-04-16 诺基亚公司 与检测电磁信号发送有关的装置和关联方法
CN103733100B (zh) * 2011-07-27 2016-09-07 诺基亚技术有限公司 与检测电磁信号发送有关的装置和关联方法
CN104321638A (zh) * 2012-06-01 2015-01-28 日东电工株式会社 Spr传感器元件和spr传感器
US9470631B2 (en) 2012-06-01 2016-10-18 Nitto Denko Corporation SPR sensor cell and SPR sensor
CN103064145A (zh) * 2013-01-05 2013-04-24 南京信息工程大学 一种湿度传感光纤及其制备方法与应用
CN104458586A (zh) * 2014-12-05 2015-03-25 中国科学院光电技术研究所 一种在光反馈光腔衰荡技术中筛选衰荡信号的方法
CN104458586B (zh) * 2014-12-05 2017-02-22 中国科学院光电技术研究所 一种在光反馈光腔衰荡技术中筛选衰荡信号的方法
CN104568751A (zh) * 2014-12-22 2015-04-29 广西师范大学 一种光衰荡腔表面等离子共振传感器解调装置
CN107750333A (zh) * 2015-05-18 2018-03-02 Inl-国际伊比利亚纳米技术实验室 在用于对流体中的一种或多种化合物进行检测的系统中使用的光纤
CN106442419A (zh) * 2016-09-06 2017-02-22 大连理工大学 自补偿spr光纤生化传感器
CN112033676A (zh) * 2020-09-03 2020-12-04 中铁隧道局集团有限公司 盾构机主轴承检测及修复方法
CN112033676B (zh) * 2020-09-03 2022-06-24 中铁隧道局集团有限公司 盾构机主轴承检测装置及修复方法

Also Published As

Publication number Publication date
US7352468B2 (en) 2008-04-01
TW200636229A (en) 2006-10-16
KR20070100325A (ko) 2007-10-10
JP2008525802A (ja) 2008-07-17
EP1846750A1 (en) 2007-10-24
WO2006071642A1 (en) 2006-07-06
US20050117157A1 (en) 2005-06-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101128730A (zh) 光纤谐振器中表面等离子体谐振的光腔衰荡检测法
CN1628241B (zh) 用于增强对痕量物质进行光谱测量的光纤谐振器中的瞬逝场暴露的方法和装置
CN1625680B (zh) 基于光纤的腔环降光谱装置
DeGrandpre et al. Long path fiber-optic sensor for evanescent field absorbance measurements
Wawro et al. Optical fiber endface biosensor based on resonances in dielectric waveguide gratings
US20040118997A1 (en) Tapered fiber optic strain gauge using cavity ring-down spectroscopy
US8759767B2 (en) Combined raman and IR fiber-based sensor for gas detection
CN102095719A (zh) 基于表面等离子共振和受激拉曼散射的光纤型传感系统
Kim et al. Fiber-optic surface plasmon resonance for vapor phase analyses
JPH0450639A (ja) 光学式試料分析装置
Dakin et al. Optical fibre chemical sensing using direct spectroscopy
Beam et al. Planar fiber-optic chips for broadband spectroscopic interrogation of thin films
Ruddy et al. Remote flammable-gas sensing using a fluoride-fiber evanescent probe
Ko et al. Development of fiber-type surface plasmon resonance sensor for protein detection
Shen et al. Optical lightpipe sensor based on surface plasmon resonance

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication